JPH0258335U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0258335U JPH0258335U JP13647488U JP13647488U JPH0258335U JP H0258335 U JPH0258335 U JP H0258335U JP 13647488 U JP13647488 U JP 13647488U JP 13647488 U JP13647488 U JP 13647488U JP H0258335 U JPH0258335 U JP H0258335U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulley
- ring
- lower ends
- transfer mechanism
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Discharge Of Articles From Conveyors (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Description
第１図は本考案が使用される状態の説明図、第
２図は本考案の構成を示す断面図、第３図はプー
リとテーブルとの連結機構を示す断面図、第４図
はプーリの平面図、第５図はプーリ上面の説明図
、第６図はリング、プーリの関係を示す説明図。 １……ウエハテーブル、２……ウエハ搬入出機
構、３……ウエハ、４……支持ピン、５……円筒
、７……モータ、８……プーリ、１０……ロツド
、１１……溝、１３……スプリング、１４……ス
トツパ、１５，１６，１７……傾斜部、１８……
リング、１９……コロ。
２図は本考案の構成を示す断面図、第３図はプー
リとテーブルとの連結機構を示す断面図、第４図
はプーリの平面図、第５図はプーリ上面の説明図
、第６図はリング、プーリの関係を示す説明図。 １……ウエハテーブル、２……ウエハ搬入出機
構、３……ウエハ、４……支持ピン、５……円筒
、７……モータ、８……プーリ、１０……ロツド
、１１……溝、１３……スプリング、１４……ス
トツパ、１５，１６，１７……傾斜部、１８……
リング、１９……コロ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハを所定の精密送り可能な載物用テー
ブルに搬入出する装置において、テーブルの回転
駆動用モータによつて回転するプーリ上面に設け
られた複数の部分的傾斜突出部と、この突出部に
関連して垂直に上下動するリングと、このリング
に下端を接触し、かつテーブルを垂直に貫通する
複数本のピンとから構成されるウエハ受渡し機構
。 (2) 請求項第１項において、プーリ上面の傾斜
突出部の上にその下端を接し、かつテーブルを垂
直に貫通する複数本のピンから構成されるウエハ
受渡し機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13647488U JPH0639449Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハ受渡し機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13647488U JPH0639449Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハ受渡し機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0258335U true JPH0258335U (ja) | 1990-04-26 |
| JPH0639449Y2 JPH0639449Y2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=31397020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13647488U Expired - Fee Related JPH0639449Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハ受渡し機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639449Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-10-19 JP JP13647488U patent/JPH0639449Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0639449Y2 (ja) | 1994-10-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |