JPH0855706A - 酸化物系半導体微粉体の製造方法 - Google Patents
酸化物系半導体微粉体の製造方法Info
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- JPH0855706A JPH0855706A JP6095817A JP9581794A JPH0855706A JP H0855706 A JPH0855706 A JP H0855706A JP 6095817 A JP6095817 A JP 6095817A JP 9581794 A JP9581794 A JP 9581794A JP H0855706 A JPH0855706 A JP H0855706A
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- fine powder
- spinel
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 サ−ミスタ特性の再現性、信頼性、精度等の
飛躍的な向上を行うために、粒子組成の均一性、粒子形
状の均質性、焼結性等に優れたスピネル系サ−ミスタ微
粒子粉体原料の開発。 【構成】 サ−ミスタを構成する各金属硫酸塩等の混合
溶液に、沈澱剤としてシュウ酸水溶液を加えて共沈させ
た後、その共沈スラリ−にアンモニア水を徐々に加えて
適正なｐＨ調整を行い、水溶性錯体の形成を抑制して未
沈澱イオンをさらに沈澱させ、それを十分に熟成して濾
過・乾燥を行ったシュウ酸複塩共沈物を５００〜１００
０℃で加熱処理してサ−ミスタ微粒子粉体原料を製造す
る。
飛躍的な向上を行うために、粒子組成の均一性、粒子形
状の均質性、焼結性等に優れたスピネル系サ−ミスタ微
粒子粉体原料の開発。 【構成】 サ−ミスタを構成する各金属硫酸塩等の混合
溶液に、沈澱剤としてシュウ酸水溶液を加えて共沈させ
た後、その共沈スラリ−にアンモニア水を徐々に加えて
適正なｐＨ調整を行い、水溶性錯体の形成を抑制して未
沈澱イオンをさらに沈澱させ、それを十分に熟成して濾
過・乾燥を行ったシュウ酸複塩共沈物を５００〜１００
０℃で加熱処理してサ−ミスタ微粒子粉体原料を製造す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、温度センサなどのデバ
イス応用に適したスピネル系のサ−ミスタ微粉末の製造
方法に関するものである。
イス応用に適したスピネル系のサ−ミスタ微粉末の製造
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体サ−ミスタは、その比抵抗が温度
とともに著しく変化することを利用して、温度を鋭敏に
感知するセンサ素子として用いられてきた。 材料とし
ては、Ｍn、Ｎi、Ｆe、Ｃoなど遷移金属酸化物からなる
スピネル系セラミックスが使用されてきた。近年、電子
工業などの発展に伴って、サ−ミスタの応用範囲も格段
に拡大し、素子自体も信頼性、安定性、応答性などの高
性能化が求められるようになった。スピネル系サ−ミス
タの研究は長い歴史があり、その組成と電気特性との関
係はかなり明らかとなっているが、酸化物などの出発原
料を混合して加熱処理する通常合成法では特性の再現性
がまだ乏しく、小型高性能化の要求が進めば進むほど、
その厳密な再現性は困難になり、製造コストが安価な方
法で組成均質で焼結性に優れたサ−ミスタ微粉体原料の
製造技術の開発が急がれている。
とともに著しく変化することを利用して、温度を鋭敏に
感知するセンサ素子として用いられてきた。 材料とし
ては、Ｍn、Ｎi、Ｆe、Ｃoなど遷移金属酸化物からなる
スピネル系セラミックスが使用されてきた。近年、電子
工業などの発展に伴って、サ−ミスタの応用範囲も格段
に拡大し、素子自体も信頼性、安定性、応答性などの高
性能化が求められるようになった。スピネル系サ−ミス
タの研究は長い歴史があり、その組成と電気特性との関
係はかなり明らかとなっているが、酸化物などの出発原
料を混合して加熱処理する通常合成法では特性の再現性
がまだ乏しく、小型高性能化の要求が進めば進むほど、
その厳密な再現性は困難になり、製造コストが安価な方
法で組成均質で焼結性に優れたサ−ミスタ微粉体原料の
製造技術の開発が急がれている。
【０００３】組成均質なスピネル系微粉体の化学的合成
法としては、硝酸塩などの混合溶液を可性ソ−ダ水溶液
などにより水酸化物として沈澱させる方法や遷移金属の
アルコキシドやアセチルアセトナ−トの前駆体溶液を加
水分解する方法がある。
法としては、硝酸塩などの混合溶液を可性ソ−ダ水溶液
などにより水酸化物として沈澱させる方法や遷移金属の
アルコキシドやアセチルアセトナ−トの前駆体溶液を加
水分解する方法がある。
【０００４】しかし、前者の場合には沈澱物の中に吸着
したＮａやＫなどのアルカリイオンは水洗しても完全に
除去することが難しく、アルカリイオンは電気特性に悪
い影響を与えるばかりでなく、その残存量によって電気
特性が大きく変動し、特性の再現性が極めて困難である
という問題点がある。また、後者の場合には、等質な前
駆体溶液を加水分解することによって組成変動のない微
粒子粉体を得ることができるが、出発原料となる金属有
機化合物は極めて高価であるため製造コストが極めて高
くなる難点があり、バルク多結晶体として利用する場合
には、このような高価な出発原料を使用する方法は本質
的に不向きである。
したＮａやＫなどのアルカリイオンは水洗しても完全に
除去することが難しく、アルカリイオンは電気特性に悪
い影響を与えるばかりでなく、その残存量によって電気
特性が大きく変動し、特性の再現性が極めて困難である
という問題点がある。また、後者の場合には、等質な前
駆体溶液を加水分解することによって組成変動のない微
粒子粉体を得ることができるが、出発原料となる金属有
機化合物は極めて高価であるため製造コストが極めて高
くなる難点があり、バルク多結晶体として利用する場合
には、このような高価な出発原料を使用する方法は本質
的に不向きである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】フェライト磁性材料の
分野では、沈澱剤としてシュウ酸アンモニウムを使用し
て硫酸塩等の混合溶液からシュウ酸塩として沈澱させる
方法が試みられてきている。この方法は沈澱物濾過工程
の容易さ、微粒子粉体の低温合成等、多くの長所がある
が、この方法では沈澱反応過程でアンモニウムイオンと
反応して水溶性錯体を形成するために共沈物の組成は仕
込時とは大幅に組成変動が起こる難点がある。
分野では、沈澱剤としてシュウ酸アンモニウムを使用し
て硫酸塩等の混合溶液からシュウ酸塩として沈澱させる
方法が試みられてきている。この方法は沈澱物濾過工程
の容易さ、微粒子粉体の低温合成等、多くの長所がある
が、この方法では沈澱反応過程でアンモニウムイオンと
反応して水溶性錯体を形成するために共沈物の組成は仕
込時とは大幅に組成変動が起こる難点がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、二段階の沈澱反応によってアンモニウムイ
オンとの錯体反応を抑制し、さらにその共沈スラリ−を
熟成により仕込時と組成変動が極めて少ないシュウ酸複
塩共沈乾燥物を得るもので、これを加熱処理してスピネ
ル系サ−ミスタ微粉末を製造する方法及び該製造方法に
よって構成されるスピネル系サ−ミスタ素子を提供する
ものである。
するために、二段階の沈澱反応によってアンモニウムイ
オンとの錯体反応を抑制し、さらにその共沈スラリ−を
熟成により仕込時と組成変動が極めて少ないシュウ酸複
塩共沈乾燥物を得るもので、これを加熱処理してスピネ
ル系サ−ミスタ微粉末を製造する方法及び該製造方法に
よって構成されるスピネル系サ−ミスタ素子を提供する
ものである。
【０００７】スピネル系サ−ミスタの主要成分となるマ
ンガン、ニッケル、鉄、コバルト等の硫酸塩混合溶液、
あるいは、これに若干量のエチルアルコ−ル類を加えた
混合溶液に沈澱剤として必要量以上のシュウ酸水溶液を
加えてシュウ酸複塩の共沈スラリ−を作製し、さらにア
ンモニア水を徐々に加えて適正なｐＨ調整を行い、水溶
性錯体の形成を抑制して未沈澱イオンをさらに沈澱さ
せ、それをを十分に熟成した後に濾過・乾燥し、これを
５００〜１０００℃で加熱処理してスピネル系サ−ミス
タ微粉末を製造する方法を提供するものである。
ンガン、ニッケル、鉄、コバルト等の硫酸塩混合溶液、
あるいは、これに若干量のエチルアルコ−ル類を加えた
混合溶液に沈澱剤として必要量以上のシュウ酸水溶液を
加えてシュウ酸複塩の共沈スラリ−を作製し、さらにア
ンモニア水を徐々に加えて適正なｐＨ調整を行い、水溶
性錯体の形成を抑制して未沈澱イオンをさらに沈澱さ
せ、それをを十分に熟成した後に濾過・乾燥し、これを
５００〜１０００℃で加熱処理してスピネル系サ−ミス
タ微粉末を製造する方法を提供するものである。
【０００８】本発明にかかる方法は、スピネル系サ−ミ
スタの構成元素はシュウ酸複塩として共沈させているた
め４００〜５００℃という低い加熱処理温度でシュウ酸
複塩の熱分解により直接スピネル微粉体が生成し、ま
た、ｐＨ調整により仕込組成にほぼ近いものが得られる
ため複雑組成な多成分系スピネル固溶体に対しても組成
均一性に優れたサ−ミスタ微粒子粉体が得られる。
スタの構成元素はシュウ酸複塩として共沈させているた
め４００〜５００℃という低い加熱処理温度でシュウ酸
複塩の熱分解により直接スピネル微粉体が生成し、ま
た、ｐＨ調整により仕込組成にほぼ近いものが得られる
ため複雑組成な多成分系スピネル固溶体に対しても組成
均一性に優れたサ−ミスタ微粒子粉体が得られる。
【０００９】上記混合溶液に若干量のエチルアルコ−ル
類を加えるのは、沈澱生成において溶媒の誘電率を低下
させ、沈澱生成が容易となり、また、イオン会合定数が
高くなって多重イオンを形成しやすくなり、それ故に沈
澱核が速やかにかつ多量に発生し、生成沈澱粒子径を小
さくする効果があるためである。また、沈澱剤としての
シュウ酸水溶液については、一般的には所定量のシュウ
酸２水和物を温水で溶解して調製される。本発明では、
上記の共沈乾燥物を大気中、５００〜１０００℃、３〜
５時間の加熱処理により仮焼物の解砕性が極めてよく、
結晶粒子径がサブミクロンオ−ダ−で、焼結性に優れた
スピネル系微粒子を得ることができる。
類を加えるのは、沈澱生成において溶媒の誘電率を低下
させ、沈澱生成が容易となり、また、イオン会合定数が
高くなって多重イオンを形成しやすくなり、それ故に沈
澱核が速やかにかつ多量に発生し、生成沈澱粒子径を小
さくする効果があるためである。また、沈澱剤としての
シュウ酸水溶液については、一般的には所定量のシュウ
酸２水和物を温水で溶解して調製される。本発明では、
上記の共沈乾燥物を大気中、５００〜１０００℃、３〜
５時間の加熱処理により仮焼物の解砕性が極めてよく、
結晶粒子径がサブミクロンオ−ダ−で、焼結性に優れた
スピネル系微粒子を得ることができる。
【００１０】
【実施例】出発原料として、硫酸ニッケル水和物、硫酸
鉄水和物、硫酸マンガン水和物、シュウ酸二水和物を使
用した。組成は（Ｎｉ0.6Ｆｅ0.3Ｍｎ2.1）Ｏ4となるよ
うに、各硫酸塩ストック溶液（濃度：０.５モル／リッ
トル）から採取し、蒸留水を加えておよそ０.０５モル
／リットルの濃度の硫酸塩混合溶液を調製した。一方、
シュウ酸塩として沈澱させるに必要なモル相当量の１.
２倍のシュウ酸二水和物を温水で溶解し、上記の硫酸塩
混液を撹拌しながらこのシュウ酸水溶液を加え、Ｎｉ、
Ｍｎ、Ｆｅの各金属イオンを薄い黄緑色のシュウ酸複塩
として沈澱させ、さらに１時間撹拌しておよそ２４時間
静置した。これを撹拌混合しながら３倍に希釈したアン
モニア水を徐々に加えてｐＨ＝２.４８に調整し、２４
時間熟成したものを濾過・乾燥し、最終的な共沈乾燥物
を得た。これを大気中、４００〜１０００℃、３時間で
仮焼すると、立方晶スピネル単相の微粒子粉体を得るこ
とができた。また、共沈乾燥物の熱分析結果は１つの鋭
い発熱ピ−クだけを観測し、シュウ酸複塩単相の熱分解
を示すものであった。これと比較のために同一組成で酸
化物を出発原料とした通常の固相反応法では、８００℃
の仮焼でスピネル相の生成が認めらられるようになる
が、１０００℃の仮焼ではまだ複数のスピネル相が混在
し、１２００℃の仮焼でも各回折線の幅は広く、完全に
は単相化しているとはいい難い。これに比べると、本発
明による微粒子粉体合成法では図１に示すように４００
℃の仮焼で結晶性はよくないがスピネル相の生成が認め
られ、６００℃の仮焼で結晶性のよいスピネル単相の微
粉体合成が可能となっている。各回折線の幅もシャ−プ
であり、これは組成均一性に優れていることを示してい
る。この共沈乾燥物を９００℃、３時間仮焼した微粉体
を用いて１３２５℃、５時間加熱処理した焼結体は、２
５℃での比抵抗として６４６３Ω・ｃｍ、Ｂ定数として
４１６０Ｋのサ−ミスタ特性を示した。
鉄水和物、硫酸マンガン水和物、シュウ酸二水和物を使
用した。組成は（Ｎｉ0.6Ｆｅ0.3Ｍｎ2.1）Ｏ4となるよ
うに、各硫酸塩ストック溶液（濃度：０.５モル／リッ
トル）から採取し、蒸留水を加えておよそ０.０５モル
／リットルの濃度の硫酸塩混合溶液を調製した。一方、
シュウ酸塩として沈澱させるに必要なモル相当量の１.
２倍のシュウ酸二水和物を温水で溶解し、上記の硫酸塩
混液を撹拌しながらこのシュウ酸水溶液を加え、Ｎｉ、
Ｍｎ、Ｆｅの各金属イオンを薄い黄緑色のシュウ酸複塩
として沈澱させ、さらに１時間撹拌しておよそ２４時間
静置した。これを撹拌混合しながら３倍に希釈したアン
モニア水を徐々に加えてｐＨ＝２.４８に調整し、２４
時間熟成したものを濾過・乾燥し、最終的な共沈乾燥物
を得た。これを大気中、４００〜１０００℃、３時間で
仮焼すると、立方晶スピネル単相の微粒子粉体を得るこ
とができた。また、共沈乾燥物の熱分析結果は１つの鋭
い発熱ピ−クだけを観測し、シュウ酸複塩単相の熱分解
を示すものであった。これと比較のために同一組成で酸
化物を出発原料とした通常の固相反応法では、８００℃
の仮焼でスピネル相の生成が認めらられるようになる
が、１０００℃の仮焼ではまだ複数のスピネル相が混在
し、１２００℃の仮焼でも各回折線の幅は広く、完全に
は単相化しているとはいい難い。これに比べると、本発
明による微粒子粉体合成法では図１に示すように４００
℃の仮焼で結晶性はよくないがスピネル相の生成が認め
られ、６００℃の仮焼で結晶性のよいスピネル単相の微
粉体合成が可能となっている。各回折線の幅もシャ−プ
であり、これは組成均一性に優れていることを示してい
る。この共沈乾燥物を９００℃、３時間仮焼した微粉体
を用いて１３２５℃、５時間加熱処理した焼結体は、２
５℃での比抵抗として６４６３Ω・ｃｍ、Ｂ定数として
４１６０Ｋのサ−ミスタ特性を示した。
【００１１】出発原料として、硫酸マンガン水和物、硫
酸ニッケル水和物、硫酸銅水和物、シュウ酸二水和物を
使用した。組成は（Ｃｕ0.1Ｎｉ0.80Ｍｎ2.10）Ｏ4とな
るように、各硫酸塩ストック溶液（濃度：０.５モル／
リットル）から採取し、蒸留水を加えておよそ０.０６
モル／リットルの濃度の硫酸塩混合溶液を調製した。一
方、シュウ酸塩として沈澱させるに必要なモル相当量の
１.４倍のシュウ酸二水和物を温水で溶解し、上記の硫
酸塩混液を撹拌しながらこのシュウ酸水溶液をゆっくり
と加え、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｍｎの各金属イオンを薄い青色の
シュウ酸複塩として沈澱させ、さらに１時間撹拌して２
４時間静置した。この共沈スラリ−溶液に３倍に希釈し
たアンモニア水を徐々に加えてスタ−ラ−で撹拌混合し
てｐＨを２.５７に調整し、２４時間熟成したものを濾
過・乾燥し、最終的な共沈乾燥物を得た。これを９００
℃、３時間で仮焼すると、結晶性のよいスピネル単相の
微粒子粉体を得ることができた。この仮焼微粉体を用い
て１２００℃、４時間で焼成した焼結体は理論密度の９
４％に達し、サ−ミスタとしては低い焼結温度で高緻密
化した。この焼結体は２５℃での比抵抗として９４４Ω
・ｃｍ、Ｂ定数として４０５７Ｋのサ−ミスタ特性を示
し、自己発熱型レベルセンサとしての応用可能なサ−ミ
スタ素子が得られた。
酸ニッケル水和物、硫酸銅水和物、シュウ酸二水和物を
使用した。組成は（Ｃｕ0.1Ｎｉ0.80Ｍｎ2.10）Ｏ4とな
るように、各硫酸塩ストック溶液（濃度：０.５モル／
リットル）から採取し、蒸留水を加えておよそ０.０６
モル／リットルの濃度の硫酸塩混合溶液を調製した。一
方、シュウ酸塩として沈澱させるに必要なモル相当量の
１.４倍のシュウ酸二水和物を温水で溶解し、上記の硫
酸塩混液を撹拌しながらこのシュウ酸水溶液をゆっくり
と加え、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｍｎの各金属イオンを薄い青色の
シュウ酸複塩として沈澱させ、さらに１時間撹拌して２
４時間静置した。この共沈スラリ−溶液に３倍に希釈し
たアンモニア水を徐々に加えてスタ−ラ−で撹拌混合し
てｐＨを２.５７に調整し、２４時間熟成したものを濾
過・乾燥し、最終的な共沈乾燥物を得た。これを９００
℃、３時間で仮焼すると、結晶性のよいスピネル単相の
微粒子粉体を得ることができた。この仮焼微粉体を用い
て１２００℃、４時間で焼成した焼結体は理論密度の９
４％に達し、サ−ミスタとしては低い焼結温度で高緻密
化した。この焼結体は２５℃での比抵抗として９４４Ω
・ｃｍ、Ｂ定数として４０５７Ｋのサ−ミスタ特性を示
し、自己発熱型レベルセンサとしての応用可能なサ−ミ
スタ素子が得られた。
【００１２】上記実施例と同様な方法で、（Ｃｕ0.1Ｎ
ｉ0.50Ｍｎ2.10Ｆｅ0.30）Ｏ4の組成となるように０.０
８モル／リットルの濃度の硫酸塩混合溶液を作製した。
シュウ酸塩として沈澱させるに必要なモル相当量の１.
２倍のシュウ酸二水和物を温水で溶解し、上記の硫酸塩
混液を撹拌しながらこのシュウ酸水溶液を加え、各金属
イオンを薄い黄緑色のシュウ酸複塩として沈澱させ、さ
らに２時間撹拌して２８時間静置した。この共沈スラリ
−溶液に３倍に希釈したアンモニア水を徐々に加えてｐ
Ｈを１.９０に調整し、２４時間熟成したものを濾過・
乾燥し、 最終的な共沈乾燥物を得た。これを７００
℃、３時間で仮焼すると、上記実施例と同様に易焼結性
のサ−ミスタ微粉体を得た。この仮焼微粉体を用いて１
１００℃、４時間で焼成した緻密焼結体は２５℃での比
抵抗として１７７９Ω・ｃｍ、Ｂ定数として４０３２Ｋ
のサ−ミスタ特性を示した。
ｉ0.50Ｍｎ2.10Ｆｅ0.30）Ｏ4の組成となるように０.０
８モル／リットルの濃度の硫酸塩混合溶液を作製した。
シュウ酸塩として沈澱させるに必要なモル相当量の１.
２倍のシュウ酸二水和物を温水で溶解し、上記の硫酸塩
混液を撹拌しながらこのシュウ酸水溶液を加え、各金属
イオンを薄い黄緑色のシュウ酸複塩として沈澱させ、さ
らに２時間撹拌して２８時間静置した。この共沈スラリ
−溶液に３倍に希釈したアンモニア水を徐々に加えてｐ
Ｈを１.９０に調整し、２４時間熟成したものを濾過・
乾燥し、 最終的な共沈乾燥物を得た。これを７００
℃、３時間で仮焼すると、上記実施例と同様に易焼結性
のサ−ミスタ微粉体を得た。この仮焼微粉体を用いて１
１００℃、４時間で焼成した緻密焼結体は２５℃での比
抵抗として１７７９Ω・ｃｍ、Ｂ定数として４０３２Ｋ
のサ−ミスタ特性を示した。
【００１３】共沈組成と仕込組成との比較をするために
ＩＣＰによる組成分析を行い、表１に代表例として上記
の３つ実施例の結果を示す。両者の組成間はかなりの一
致を示しており、組成均一性に優れたサ−ミスタ微粒子
粉体が低い加熱処理温度で得られることが明らかであ
る。
ＩＣＰによる組成分析を行い、表１に代表例として上記
の３つ実施例の結果を示す。両者の組成間はかなりの一
致を示しており、組成均一性に優れたサ−ミスタ微粒子
粉体が低い加熱処理温度で得られることが明らかであ
る。
【００１４】上記実施例と同様な方法で、（ＭｎaＮｉb
Ｆｅc）Ｏ4の一般式で、a+b+c=3、及び、0≦a,b,c＜3
の条件で a=1.8〜2.4、 b=0.15〜0.6、 c=0.15〜0.9とな
る組成について実施した結果、２５℃での比抵抗として
４０００〜１３００００Ω・ｃｍ、Ｂ定数として４００
０〜４５００Ｋの特性を示した。
Ｆｅc）Ｏ4の一般式で、a+b+c=3、及び、0≦a,b,c＜3
の条件で a=1.8〜2.4、 b=0.15〜0.6、 c=0.15〜0.9とな
る組成について実施した結果、２５℃での比抵抗として
４０００〜１３００００Ω・ｃｍ、Ｂ定数として４００
０〜４５００Ｋの特性を示した。
【００１５】上記実施例と同様な方法で、（ＭｎaＣｏb
Ｎｉc）Ｏ４の一般式で、a+b+c=3、及び、0≦a,b,c＜3
の条件で a=1.5〜2.7、 b=0.15〜1.5、 c=0.15〜1.5とな
る組成について実施した結果、２５℃での比抵抗が１０
０〜１０００００Ω・ｃｍ、Ｂ定数が３４００〜３６０
０Ｋの特性を示した。
Ｎｉc）Ｏ４の一般式で、a+b+c=3、及び、0≦a,b,c＜3
の条件で a=1.5〜2.7、 b=0.15〜1.5、 c=0.15〜1.5とな
る組成について実施した結果、２５℃での比抵抗が１０
０〜１０００００Ω・ｃｍ、Ｂ定数が３４００〜３６０
０Ｋの特性を示した。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、多
成分系のサ−ミスタについても粒子組成の均一性、粒子
径の大きさや粒子形状の均質性、焼結性などに優れた微
粒子粉体を製造することができる。また、本発明による
微粒子粉体の製造方法は、低い仮焼温度で得られるシュ
ウ酸複塩の仮焼物であるため解砕操作も極めて容易で、
不純物の混入の恐れもなく、従って、微粒子粉体を使用
することによりサ−ミスタ特性の再現性や高信頼性に優
れ、サ−ミスタ素子の小型化や厚膜化が容易となり、こ
の発明により各種のサ−ミスタなどへの幅広い応用化が
加速され、この発明の工業的価値は極めて大きい。
成分系のサ−ミスタについても粒子組成の均一性、粒子
径の大きさや粒子形状の均質性、焼結性などに優れた微
粒子粉体を製造することができる。また、本発明による
微粒子粉体の製造方法は、低い仮焼温度で得られるシュ
ウ酸複塩の仮焼物であるため解砕操作も極めて容易で、
不純物の混入の恐れもなく、従って、微粒子粉体を使用
することによりサ−ミスタ特性の再現性や高信頼性に優
れ、サ−ミスタ素子の小型化や厚膜化が容易となり、こ
の発明により各種のサ−ミスタなどへの幅広い応用化が
加速され、この発明の工業的価値は極めて大きい。
【図１】実施例の方法によって作製した（Ｎｉ0.6Ｆｅ
0.3Ｍｎ2.1）Ｏ4組成の共沈乾燥物（ａ）と、それを４
００℃（ｂ）、６００℃（ｃ）、８００℃（ｄ）で加熱
処理したサ−ミスタ微粉体のＸ線回折図形を示す。
（ｄ）のＸ線回折図形に書き込まれた数文字は立方晶ス
ピネル構造として指数付けされたミラ−指数である。
0.3Ｍｎ2.1）Ｏ4組成の共沈乾燥物（ａ）と、それを４
００℃（ｂ）、６００℃（ｃ）、８００℃（ｄ）で加熱
処理したサ−ミスタ微粉体のＸ線回折図形を示す。
（ｄ）のＸ線回折図形に書き込まれた数文字は立方晶ス
ピネル構造として指数付けされたミラ−指数である。
【表１】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０１Ｂ 1/08
Claims (2)
- 【請求項１】 （ＭｎaＮｉbＦｅcＣｏdＣｕe）Ｏ4のス
ピネル組成（a+b+c+d+e=3、0≦a,b,c,d,e＜3）におい
て、マンガン、ニッケル、鉄、コバルトなどの遷移金属
硫酸塩などの混合溶液、あるいは、これに若干量のエチ
ルアルコ−ルを加えた混合溶液を調製し、これに１.０
５〜１.５０倍のモル量のシュウ酸水溶液を加えて共沈
させ、さらにアンモニア水を徐々に加えてｐＨ調整と熟
成処理を行った乾燥共沈物を５００〜１０００℃で加熱
処理して得られることを特徴とする組成均一性に優れた
スピネル系サ−ミスタ微粉末原料の製造方法。 - 【請求項２】 特許請求の範囲第１項の製造方法によっ
て構成されることを特徴とする酸化物系サ−ミスタ素
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6095817A JP2782579B2 (ja) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | 酸化物系半導体微粉体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6095817A JP2782579B2 (ja) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | 酸化物系半導体微粉体の製造方法 |
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ID=14147980
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Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2014120588A (ja) * | 2012-12-14 | 2014-06-30 | Univ Kanagawa | 熱電材料及び熱電材料の製造方法 |
| JP2017514292A (ja) * | 2014-02-18 | 2017-06-01 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトＥｐｃｏｓ Ａｇ | Ｎｔｃデバイスおよびその製造のための方法 |
-
1994
- 1994-04-08 JP JP6095817A patent/JP2782579B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005289653A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 複合黒色酸化物粒子、その製造方法、黒色塗料及びブラックマトリックス |
| WO2007145030A1 (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 熱電材料 |
| US7618562B2 (en) | 2006-06-15 | 2009-11-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Thermoelectric material |
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| JP2014120588A (ja) * | 2012-12-14 | 2014-06-30 | Univ Kanagawa | 熱電材料及び熱電材料の製造方法 |
| JP2017514292A (ja) * | 2014-02-18 | 2017-06-01 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトＥｐｃｏｓ Ａｇ | Ｎｔｃデバイスおよびその製造のための方法 |
| US10074466B2 (en) | 2014-02-18 | 2018-09-11 | Epcos Ag | NTC component and method for the production thereof |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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