JPH08621B2

JPH08621B2 - 搬送装置

Info

Publication number: JPH08621B2
Application number: JP61148602A
Authority: JP
Inventors: 規安加島; 幸一郎渥美; 之宏池谷; 恵太郎岡野
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-06-25
Filing date: 1986-06-25
Publication date: 1996-01-10
Anticipated expiration: 2011-01-10
Also published as: JPS638124A

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明はマガジンに多段に収納されたワークを取出
して搬送するための搬送装置に関する。

（従来の技術）たとえば半導体装置の製造においては、ウエハプロセ
ス終了後の半導体チップ上の電極を引出してパッケージ
のリードとするため、リードフレームに半導体チップを
固定するダイボンディング、チップ上の電極とリードフ
レームのリード間を配線するワイヤボンディング、樹脂
でパッケージを形成する樹脂封止などが行われる。これ
らの工程および工程間ではワークとしてのリードフレー
ムを単位として製造が行われるため、上記リードフレー
ムの搬送が重要である。

第５図はワイヤボンディング工程におけるリードフレ
ームを搬送する搬送装置の一部を示したもであって、マ
ガジン１に収納されたリードフレーム２は送り爪３によ
って１枚ずつ引出され、ガイドレール４の上に搭載さ
れ、別の送り爪３′、３″によって搬送されたガイドレ
ール４の他端に置かれたもう１つの空のマガジン５に収
納される。これらマガジン１および５はマガジンエレベ
ータ６および７に載せられており、マガジンエレベータ
６および７はそれぞれモータ８および９の回転により駆
動されるリードスクリュー10および11によって摺動軸12
と13、14と15に沿って上下する。また、ガイドレール４
の中央部にはワイヤボンディング装置16が設けられてお
り、そのアーム17が動くことにより、その下にあるリー
ドフレーム２のダイボンディングされた半導体チップ18
の電極とリードフレーム２のリード間にワイヤ19が配線
される。

ここで、ガイドレール４、マガジンエレベータ６、
７、送り爪３および図示されていない送り爪の駆動機構
などはリードフレーム２の搬送装置を構成する。

ところで、リードフレーム２には第６図に示すように
位置決め孔2aと送り孔2bとが形成されており、この送り
孔2bに上記送り爪３、３′が係合して上記リードフレー
ム２がマガジン１から取出される。

しかしながら、上記送り爪2bはリードフレーム２の品
種によってその形状や位置などが異なるため、品種を変
えたときには上記送り爪３、３′を送り孔2bの形状に対
応したものに交換したり、その取付位置を調節しなけれ
ばならないなどの問題があった。

（発明が解決しようとする問題点）この発明は、ワークの品種を変えた場合に、部品の交
換や種々の調節などをせずにすむようにした搬送装置を
提供することを目的とする。

［発明の構成］（問題点を解決するための手段及び作用）この発明は、ワークが複数段に収納され一端側に取出
開口部を有するマガジンから上記ワークを取出すための
搬送装置において、上記マガジンを案内に沿って昇降駆動する駆動機構
と、上記案内の所定位置に上記マガジンの取出開口部に対
向して配設され上記マガジンに収納されたワークを挟持
して取出す取出機構とを具備し、上記取出機構は、上記マガジンに対して接離する方向に駆動されるスラ
イド体と、基端部が上記スライド体に回動自在に取り付けられる
とともに上記マガジンに収納されたワークの厚さ方向に
沿って平行に離間して設けられた一対の舌片と、一対の舌片の一方を回動駆動する駆動手段と、上記各舌片の基端部に互いに噛合して設けられ上記駆
動手段による一方の舌片の回動にもとづき他方の舌片を
上記一方の舌片に連動させる動力伝達機構とを具備したことを特徴とする。

そして、ワークの品種に応じて部品の交換や調節など
を行なわなくとも、上記ワークを搬送できるようにした
ものである。

（実施例）以下、この発明の一実施例を第１図乃至第４図を参照
して説明する。第４図に示す搬送装置はマガジンエレベ
ータ21を有する。このマガジンエレベータ21にはワーク
としてのリードフレーム22が収容されたマガジン23が載
置されている。また、マガジンエレベータ21はモータ24
の回転によりリードスクリュウ25によって摺動軸26、27
に沿って上下駆動されるようになっている。なお、マガ
ジン23は両端が開口し、一端側が取出開口部23aとなっ
ている。

上記マガジンエレベータ21と対向して一対のフレーム
28が配設されている。このフレーム28の上端にはそれぞ
れガイドレール29が敷設されている。また、上記マガジ
ンエレベータ21と上記フレーム28との間において、摺動
軸26、27に沿う所定位置に上記マガジン23の取出開口部
23aに対向して後述する取出機構31が設けられ、この取
出機構31によって上記マガジン23内のリードフレーム22
が取出されるようになっている。

上記取出機構31は第１図乃至第３図に示すように上記
フレーム28の一方の端面に一端を固着して上下方向に平
行に離間して設けられた一対のガイド軸32を有する。こ
れらガイド軸32にはスライド体33がスライド自在に支持
されている。このスライド体33の上部には第１の支軸34
と第２の支軸35とが回転自在に支持されている。上記第
１の支軸34には第１の挟持部材36が嵌着され、第２の支
軸35には第２の挟持部材37が嵌着されている。これら挟
持部材36、37からは所定間隔で離間対向した第１の舌片
38と第２の舌片39とが上記マガジン23の方向に向かって
ほぼ水平に延出されている。また、下方に位置する第２
の挟持部材37からは上記第２の舌片39に対してほぼ直角
な作動片41が下方へ向かって延出されている。

上記第１の支軸34と第２の支軸35の他端には互いに歯
合した第１の歯車42と第２の歯車43とがそれぞれ嵌着さ
れている。また、上記スライド体33の下端には上記作動
片41の端部の一側面にロッド44を対向させて第１のエア
シリンダ45が設けられている。また、作動片41の他側面
にはこの作動片41の一側面が上記ロッド44に当接する方
向に付勢したばね46が設けられている。したがって、上
記第１のエアシリンダ45が作動してそのロッド44が突出
方向に付勢され、作動片41が押圧されると、第２の挟持
部材37が第２の支軸35とともに第１図に示す矢印ａ方向
に回動する。すると、一対の歯車42、43を介して第１の
挟持部材36が矢印ａと逆方向である矢印ｂ方向に回動す
るから、第１、第２の舌片38、39が閉じることになる。

また、上記一方のフレーム28の側面には第２のエアシ
リンダ47がその軸線を上記スライド体33の移動方向と平
行にして取付片48によって取付けられている。この第２
のエアシリンダ47のロッド47aは連結片49によって上記
スライド体33に連結されている。したがって、上記スラ
イド体33は上記第２のエアシリンダ47によって第１図に
矢印ｃで示すように一対のガイド軸32に沿って駆動され
るようになっている。つまり、スライド体33はマガジン
エレベータ21に対して接離する方向に駆動されるように
なっている。

また、上記フレーム28の先端部分にはベルト51を介し
てモータ52によって回転駆動される駆動ローラ53と、こ
の駆動ローラ53に対して接離する方向に変位自在な従動
ローラ54とが上記一対の舌片38、39とほぼ同じ高さで配
置されている。この従動ローラ54は通常上記駆動ローラ
53に対して離間していて、上記取出機構31によりマガジ
ン23から後述するごとくリードフレーム22が取出される
と、駆動ローラ53に転接する方向に駆動され、そのリー
ドフレーム22の上下面を一対のローラ53、54で挟持して
搬送するようになっている。これら一対のローラ53、54
によって搬送されたリードフレーム22は上記ガイドレー
ル29に送られ、このガイドレール29に沿って図示せぬ送
り機構でピッチ送りされるようになっている。また、ガ
イドレール29の中央部にはワイヤボンディング装置55が
設けられており、そのアーム56が動くことにより、その
下にあるリードフレーム22にダイボンディングされた半
導体チップ57の電極とリードフレーム22のリード間にワ
イヤ58が配線されるようになっている。

つぎに、上記構造の搬送装置によってマガジン23から
リードフレーム22を搬送するときの作動を説明する。ま
ず、モータ24によってリードスクリュウ25を介してマガ
ジン23が駆動され、このマガジン23内のリードフレーム
22がガイドレール29の搬送面の高さとほぼ一致すると、
第２のエアシリンダ47が作動してそのロッド47aが突出
方向に付勢され、取出機構31のスライド体33が第１図に
鎖線で示すようにマガジン23の方向へ前進する。する
と、開状態にある一対の挟持部材36、37の舌片38、39間
にリードフレーム22の一端部が入込む。つぎに、第１の
エアシリンダ45が作動して一対の舌片38、39が閉方向に
付勢され、これら舌片38、39によって上記リードフレー
ム22の端部が挟持される。

上記一対の舌片38、39は水平（平行）に延出されてい
るから、これらの間隔をリードフレーム22の厚さよりも
わずかに大きくすればよい。つまり、一対の舌片38、39
の間隔を小さくできる。それによって、マガジン23に多
段に収容されるリードフレーム22の間隔も小さくできる
から、１つのマガジン23に収納できるリードフレーム22
の枚数を増大することが可能となる。

マガジン23に収納できるリードフレーム22の数が増大
できれば、マガジン23の交換回数を少なくできるから、
その分、生産性を向上させることができる。

また、第１のエアシリンダ45によって第２の舌片39が
回動させられると、互いに噛合した第１の歯車42と第２
の歯車43にのってその回動が第１の舌片38に確実に伝達
される。つまり、一対の舌片38、39は機械的に連動して
回動する。

そのため、一対の舌片38、39によってリードフレーム
22を確実に挟持することができるとともに、その挟持状
態が搬送の途中で緩むようなこともないから、リードフ
レーム22の搬送を確実に行うことが可能となる。

このように一対の舌片がリードフレーム22の一端部を
挟持すると、上記第２のエアシリンダ47の付勢が解除さ
れ、スライド体33が上記リードフレーム22とともに後退
する。スライド体33が後退すると、上記リードフレーム
22の一端部が駆動ローラ53上に位置し、従動ローラ54が
閉じる方向に駆動され、これら一対のローラ53、54によ
って上記リードフレーム22が挟持される。また、リード
フレーム22が挟持されると、第１のシリンダ45の付勢が
解除され、一対の舌片38、39によるリードフレーム22の
挟持状態が解除され、また上記駆動ローラ53がモータ52
によって駆動されて上記リードフレーム22をガイドレー
ル29の搬送面に送り込む。すると、そのリードフレーム
22は図示せぬ送り機構によってピッチ送りされてワイヤ
ボンディング装置55によってワイヤボンディングされる
ことになる。

つまり上記構成の搬送装置によれば、リードフレーム
22を取出機構31の一対の挟持部材36、37の舌片38、39に
よってその厚さ方向から挟持してマガジン23から取出し
搬送するようにしたから、品種の変更などで上記リード
フレーム22の形状などが異なっても、とくに部品の変更
や種々の調節をすることなくそのリードフレーム22をマ
ガジン23から取出すことができる。

［発明の効果］以上述べたようにこの発明は、マガジンに収容された
ワークを取出機構によってその厚さ方向から挟持して取
出すようにした。したがって、ワークに形成された送り
孔に送り爪を係合させて上記ワークを搬送する従来のよ
うにワークの品種が変わる毎に送り爪を異なるものに変
えたり、種々の調節をしなければならないということが
ないから、品種交換時における生産性の向上を計ること
ができる。

また、上記取出機構の一対の舌片を平行に離間させた
から、一対の舌片の間隔を、ワークの厚さよりもわずか
に大きくするだけですむ。つまり、一対の舌片の間隔を
小さくできる。それによって、マガジンに多段に収納さ
れるワークの間隔を小さくすることが可能になるから、
１つのマガジンに収納できるワークの数を増大させ、マ
ガジンの交換回数を減少させて生産性を向上させること
ができる。

さらに、互いに噛合した一対の歯車によって一方の舌
片の回動を他方の舌片に伝達するようにしたから、一対
の舌片の駆動が確実となる。それによって、ワークを確
実に挟持することができるばかりか、搬送途中でワーク
の挟持状態が緩むようなことがないから搬送も確実に行
える。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す要部を拡大した側面
図、第２図は同じく平面図、第３図は第２図III-III線
に沿う断面図、第４図は全体の概略的斜視図、第５図は
従来の装置の概略的斜視図、第６図はリードフレームの
平面図である。 22……リードフレーム、23……マガジン、24……モー
タ、25……リードスクリュウ、26、27……摺動軸、31…
…取出機構、36、37……挟持部材、38、39……舌片。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者岡野恵太郎神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地株式会社東芝生産技術研究所内 (56)参考文献特開昭60−259351（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークが複数段に収納され一端側に取出開
口部を有するマガジンから上記ワークを取出すための搬
送装置において、上記マガジンを案内に沿って昇降駆動する駆動機構と、上記案内の所定位置に上記マガジンの取出開口部に対向
して配設され上記マガジンに収納されたワークを挟持し
て取出す取出機構とを具備し、上記取出機構は、上記マガジンに対して接離する方向に駆動されるスライ
ド体と、基端部が上記スライド体に回動自在に取り付けられると
ともに上記マガジンに収納されたワークの厚さ方向に沿
って平行に離間して設けられた一対の舌片と、一対の舌片の一方を回動駆動する駆動手段と、上記各舌片の基端部に互いに噛合して設けられ上記駆動
手段による一方の舌片の回動にもとづき他方の舌片を上
記一方の舌片に連動させる動力伝達機構とを具備したことを特徴とする搬送装置。