JPH0865077A - 振動子とその製造方法 - Google Patents
振動子とその製造方法Info
- Publication number
- JPH0865077A JPH0865077A JP6201996A JP20199694A JPH0865077A JP H0865077 A JPH0865077 A JP H0865077A JP 6201996 A JP6201996 A JP 6201996A JP 20199694 A JP20199694 A JP 20199694A JP H0865077 A JPH0865077 A JP H0865077A
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- vibrating
- diaphragm
- vibrating portion
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は振動子に関するもので、特性劣化を
防止するものである。 【構成】 振動板１は、第１，第２のカバー２，３によ
る挟持部内方に舌片状の振動部７を有し、この振動部７
の表、裏面には励振用電極８を形成した。また振動部７
の先端側はプラスＸ方向としたものである。
防止するものである。 【構成】 振動板１は、第１，第２のカバー２，３によ
る挟持部内方に舌片状の振動部７を有し、この振動部７
の表、裏面には励振用電極８を形成した。また振動部７
の先端側はプラスＸ方向としたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は水晶等の振動子とその製
造方法に関するものである。
造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種振動子は、振動板と、この
振動板の表、裏面を覆うとともに、その外周部で前記振
動板の外周部を挟持した第１，第２のカバーとを備え、
前記振動板は、前記第１，第２のカバーによる挟持部内
方に舌片状の振動部を有し、この振動部の表、裏面には
励振用電極を形成していた。
振動板の表、裏面を覆うとともに、その外周部で前記振
動板の外周部を挟持した第１，第２のカバーとを備え、
前記振動板は、前記第１，第２のカバーによる挟持部内
方に舌片状の振動部を有し、この振動部の表、裏面には
励振用電極を形成していた。
【０００３】従来振動部の表、裏の励振用電極と第１，
第２のカバー外の外部電極との接続は、第１、あるいは
第２のカバーの内面に設けたリード電極を介して行って
いた。
第２のカバー外の外部電極との接続は、第１、あるいは
第２のカバーの内面に設けたリード電極を介して行って
いた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例で問題とな
るのは舌片状の振動部の形成、これは例えばサンドブラ
ストによりその外周を溝状に切抜いて形成するのである
が、この形成により振動部外周に加工変質層が出来て、
振動子としての特性が劣化してしまうということであっ
た。
るのは舌片状の振動部の形成、これは例えばサンドブラ
ストによりその外周を溝状に切抜いて形成するのである
が、この形成により振動部外周に加工変質層が出来て、
振動子としての特性が劣化してしまうということであっ
た。
【０００５】そこで本発明は、振動子としての劣化を防
止することを目的とするものである。
止することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そしてこの目的を達成す
るために本発明は、舌片状の振動部は、その先端側をプ
ラスＸ方向とするとともに、この舌片状の振動部の外周
をエッチング液によりエッチングしたものである。
るために本発明は、舌片状の振動部は、その先端側をプ
ラスＸ方向とするとともに、この舌片状の振動部の外周
をエッチング液によりエッチングしたものである。
【０００７】
【作用】以上の構成とすれば、舌片状振動部の外周の加
工変質層はエッチング液により効果的に除去されるの
で、この振動部の特性劣化は生じないものとなる。
工変質層はエッチング液により効果的に除去されるの
で、この振動部の特性劣化は生じないものとなる。
【０００８】
【実施例】図１において１は振動板で、板厚１００μｍ
の水晶板で構成されている。振動板１の表、裏面には、
板厚４００μｍの水晶板よりなるカバー２，３が直接接
合されている。尚、この図１における４，５は、外部電
極でカバー３の裏面の対角線部分に配置されている。前
記振動板１は、図２及び図３に示すように、その内方に
Ｕ字状の切溝６がサンドブラストにより形成され、これ
により舌片状の振動部７が形成されている。尚この振動
部７はその先端側がプラスＸ方向、根元側がマイナスＸ
方向、幅方向がＺ方向となっている。この振動部７の
表、裏面には、励振用電極８，９が形成され各々振動部
７の根元部分１０を介してそのリード電極１１，１２が
引き出されている。この内リード電極１１の端部は、図
２から図５に示すごとく、振動板１をスルーホール１３
により貫通し、その後図３に示すごとく振動部７の側方
を通って根元部１０の反対側に延長されて接続部１４を
形成している。またリード部１２は、根元部１０側にお
いて接続部１５を形成している。そしてこれらの接続部
１４，１５に対応するカバー３に形成された貫通孔１
６，１７内の導電体１８を介して各々外部電極４，５に
接続されている。尚カバー２，３は、その外周部で振動
板１の表、裏面の外周部を挟持し、また直接接合されて
いるものであるが、それは振動板１の切溝６の外周部に
おいて、接合されているのであってリード電極１１が振
動部７の側方を通過している部分については、その外方
においてカバー３と接合されている。そして、このよう
に振動板１の裏面側において、振動部７の側方に、リー
ド電極１１を形成するために、図５，図６から明らかな
ように、振動板１は、カバー２，３との挟持部分だけを
板厚を厚くし、振動部７及びリード電極１１，１２を形
成する部分などは、エッチングによりその板厚を薄くし
ている。図４は、このエッチング工程後の振動板１を明
確に表しており、枠線１９に対応する裏面部分がエッチ
ングによりその板厚が薄くなっているのである。また、
この枠線１９の外周部分がカバー２，３によって挟持接
合される部分であり、この図４からも明らかなように、
振動板１の長手方向側の挟持幅２０は、短方向の挟持幅
２１よりも広くしている。
の水晶板で構成されている。振動板１の表、裏面には、
板厚４００μｍの水晶板よりなるカバー２，３が直接接
合されている。尚、この図１における４，５は、外部電
極でカバー３の裏面の対角線部分に配置されている。前
記振動板１は、図２及び図３に示すように、その内方に
Ｕ字状の切溝６がサンドブラストにより形成され、これ
により舌片状の振動部７が形成されている。尚この振動
部７はその先端側がプラスＸ方向、根元側がマイナスＸ
方向、幅方向がＺ方向となっている。この振動部７の
表、裏面には、励振用電極８，９が形成され各々振動部
７の根元部分１０を介してそのリード電極１１，１２が
引き出されている。この内リード電極１１の端部は、図
２から図５に示すごとく、振動板１をスルーホール１３
により貫通し、その後図３に示すごとく振動部７の側方
を通って根元部１０の反対側に延長されて接続部１４を
形成している。またリード部１２は、根元部１０側にお
いて接続部１５を形成している。そしてこれらの接続部
１４，１５に対応するカバー３に形成された貫通孔１
６，１７内の導電体１８を介して各々外部電極４，５に
接続されている。尚カバー２，３は、その外周部で振動
板１の表、裏面の外周部を挟持し、また直接接合されて
いるものであるが、それは振動板１の切溝６の外周部に
おいて、接合されているのであってリード電極１１が振
動部７の側方を通過している部分については、その外方
においてカバー３と接合されている。そして、このよう
に振動板１の裏面側において、振動部７の側方に、リー
ド電極１１を形成するために、図５，図６から明らかな
ように、振動板１は、カバー２，３との挟持部分だけを
板厚を厚くし、振動部７及びリード電極１１，１２を形
成する部分などは、エッチングによりその板厚を薄くし
ている。図４は、このエッチング工程後の振動板１を明
確に表しており、枠線１９に対応する裏面部分がエッチ
ングによりその板厚が薄くなっているのである。また、
この枠線１９の外周部分がカバー２，３によって挟持接
合される部分であり、この図４からも明らかなように、
振動板１の長手方向側の挟持幅２０は、短方向の挟持幅
２１よりも広くしている。
【０００９】また図３のごとくリード電極１１を振動部
７の側方に設けたので、当然のこととして、振動部７
は、振動板１の中心部より一方側へずれている。
７の側方に設けたので、当然のこととして、振動部７
は、振動板１の中心部より一方側へずれている。
【００１０】尚、根元部分１０における切溝６の切込み
は図４のごとく、半円形状となっており、これにより過
大な衝撃が加わった際にも、クラックが生じにくくなる
のである。
は図４のごとく、半円形状となっており、これにより過
大な衝撃が加わった際にも、クラックが生じにくくなる
のである。
【００１１】これは水晶を構成する原子がプラスＸ方向
には、マイナスＸ方向よりも多くの結合サイトを有して
いることに起因するものである。
には、マイナスＸ方向よりも多くの結合サイトを有して
いることに起因するものである。
【００１２】エッチングを行う場合は、その結合サイト
にエッチング液の分子が結合し、それにより水晶を構成
する原子を引き離すこととなる。
にエッチング液の分子が結合し、それにより水晶を構成
する原子を引き離すこととなる。
【００１３】さて本実施例のごとく振動部７の先端側が
プラスＸ方向となっていると、この先端部において切溝
６に臨む面には多くの結合サイトが表出している状態と
なっているので（反対に切溝６を介してこの先端部と対
向する面に表出している結合サイトは少ない。）、エッ
チングを行えば、この振動部７の先端側は効果的にエッ
チングされ、それにより加工変質層は確実に除去される
こととなる。尚振動部７の幅方向、つまりＺ方向にはさ
らに多くの結合サイトが表出しているので、このエッチ
ングによりその部分の加工変質層も確実に除去されるこ
ととなる。
プラスＸ方向となっていると、この先端部において切溝
６に臨む面には多くの結合サイトが表出している状態と
なっているので（反対に切溝６を介してこの先端部と対
向する面に表出している結合サイトは少ない。）、エッ
チングを行えば、この振動部７の先端側は効果的にエッ
チングされ、それにより加工変質層は確実に除去される
こととなる。尚振動部７の幅方向、つまりＺ方向にはさ
らに多くの結合サイトが表出しているので、このエッチ
ングによりその部分の加工変質層も確実に除去されるこ
ととなる。
【００１４】以上の構成において重要なことは、本実施
例においては舌片状の振動部７の先端側をプラスＸ方向
とし、その形状において切溝６部分のエッチングを行っ
たことである。すなわち舌片状の振動部７を形成するた
めに切溝６をサンドブラストにより形成するが、この時
に振動部７の外周には加工変質層が出来てしまう。
例においては舌片状の振動部７の先端側をプラスＸ方向
とし、その形状において切溝６部分のエッチングを行っ
たことである。すなわち舌片状の振動部７を形成するた
めに切溝６をサンドブラストにより形成するが、この時
に振動部７の外周には加工変質層が出来てしまう。
【００１５】この加工変質層は水晶の結晶性が失われた
ものであるので、これがそのまま存在すると全体の振動
特性が劣化してしまう。そこで本実施例では、切溝６部
分において振動部７の外周をエッチングすることにより
この加工変質層を除去するものである。この時振動部７
の先端側をプラスＸ方向としていることがきわめて重要
なこととなる。つまり水晶においてはプラスＸ方向とマ
イナスＸ方向とを比較すると、プラスＸ方向への成長の
方が数倍（例えば５〜６倍）大きくなっている。
ものであるので、これがそのまま存在すると全体の振動
特性が劣化してしまう。そこで本実施例では、切溝６部
分において振動部７の外周をエッチングすることにより
この加工変質層を除去するものである。この時振動部７
の先端側をプラスＸ方向としていることがきわめて重要
なこととなる。つまり水晶においてはプラスＸ方向とマ
イナスＸ方向とを比較すると、プラスＸ方向への成長の
方が数倍（例えば５〜６倍）大きくなっている。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明は、振動板と、この
振動板の表、裏面を覆うとともに、その外周部で前記振
動板の外周部を挟持した第１，第２のカバーとを備え、
前記振動板は、前記第１，第２のカバーによる挟持部内
方に舌片状の振動部を有し、この振動部の表、裏面には
励振用電極を設けるとともに、この振動部の外周部には
エッチング液によるエッチング面を形成し、かつこの舌
片状の振動部はその先端側をプラスＸ方向としたもので
ある。
振動板の表、裏面を覆うとともに、その外周部で前記振
動板の外周部を挟持した第１，第２のカバーとを備え、
前記振動板は、前記第１，第２のカバーによる挟持部内
方に舌片状の振動部を有し、この振動部の表、裏面には
励振用電極を設けるとともに、この振動部の外周部には
エッチング液によるエッチング面を形成し、かつこの舌
片状の振動部はその先端側をプラスＸ方向としたもので
ある。
【００１７】したがって、舌片状振動部の外周の加工変
質層はエッチング液によって効果的に除去されるので、
この振動部の特性劣化は生じないものとなる。
質層はエッチング液によって効果的に除去されるので、
この振動部の特性劣化は生じないものとなる。
【図１】本発明の一実施例の斜視図
【図２】その分解斜視図
【図３】その分解斜視図
【図４】振動板の上面図
【図５】図４の振動板にカバー２，３を接合した振動子
のＡ−Ａ断面図
のＡ−Ａ断面図
【図６】図４の振動板にカバー２，３を接合した振動子
のＢ−Ｂ断面図
のＢ−Ｂ断面図
１ 振動板 ２ カバー ３ カバー ７ 振動部 ８ 励振用電極 ９ 励振用電極 １０ 根元部 １１ リード電極 １２ リード電極 １４ 接続部 １５ 接続部
Claims (2)
- 【請求項１】 振動板と、この振動板の表、裏面を覆う
とともに、その外周部で前記振動板の外周部を挟持した
第１，第２のカバーとを備え、前記振動板は、前記第
１，第２のカバーによる挟持部内方に舌片状の振動部を
有し、この振動部の表、裏面には励振用電極を設けると
ともに、この振動部の外周部にはエッチング液によるエ
ッチング面を形成し、かつこの舌片状の振動部はその先
端側がプラスＸ方向となっている振動子。 - 【請求項２】 振動板と、この振動板の表、裏面を覆う
とともに、その外周部で前記振動板の外周部を挟持した
第１，第２のカバーとを備え、前記振動板は、前記第
１，第２のカバーによる挟持部内方に舌片状の振動部を
有し、この振動部の表、裏面には励振用電極を有し、前
記舌片状の振動部の先端側がプラスＸ方向となった構成
とし、この舌片状の振動部の外周をエッチング液により
エッチングする振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6201996A JPH0865077A (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | 振動子とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6201996A JPH0865077A (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | 振動子とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0865077A true JPH0865077A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16450216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6201996A Pending JPH0865077A (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | 振動子とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0865077A (ja) |
-
1994
- 1994-08-26 JP JP6201996A patent/JPH0865077A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050510 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050623 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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