JPH087216A - Ｍｉｇ型磁気ヘッドとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 疑似ギャップによるノイズ発生を防止した高
品質のＭＩＧ型磁気ヘッドの提供。 【構成】 頂面がセンダスト等の高飽和磁束密度の金属
磁性膜４で形成されたフェライトの一対のコア半体２を
ガラス３で接合して、金属磁性膜４の間に磁気ギャップ
Ｇを形成したコアチップ１を有する磁気ヘッド。コアチ
ップ１の頂面を研磨して、磁気ギャップＧとその両側方
に延在する金属磁性膜４で媒体摺接面ｍが形成される。
金属磁性膜４の磁気ギャップＧと反対の端とコア半体２
の界面に形成される疑似ギャップｇ’が、媒体摺接面ｍ
の略中央の磁気ギャップＧから十分に離れた位置に在っ
て、磁気ギャップＧによる記録再生時に疑似ギャップ
ｇ’が原因となる摺動ノイズ等のノイズ発生が無くな
り、高品質のＶＴＲ用やＨＤＤ用のＭＩＧ型磁気ヘッド
が提供できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、強磁性体のコアと非磁
性体で形成された磁気ギャップの間に高飽和磁束密度の
金属磁性膜を形成したＭＩＧ［メタルインギャップ］型
磁気ヘッドとその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＶＴＲの磁気テープやＨＤＤのハードデ
ィスク等の磁気記録媒体に高記録密度で情報の記録及び
再生をするＭＩＧ型磁気ヘッドは、強磁性体のコアと非
磁性体の磁気ギャップの間にセンダストなどの高飽和磁
束密度の金属磁性膜を形成している。このＭＩＧ型磁気
ヘッドのコアチップは、フェライト等の強磁性体の一対
のコア半体をガラス接合したものが一般的で、その従来
例を図１０及び図１１に示し説明する。

【０００３】同図はＶＴＲ用コアチップ１１が示され、
これはフェライトの一対のコア半体１２をガラス１３で
接合一体化している。各コア半体１２は、接合面側に巻
線用溝１４、ガラス充填用溝を兼ねるトラック幅出し用
溝１５を有し、トラック幅出し用溝１５の在る面にＮｉ
−Ｆｅ合金（パーマロイ）などの薄膜である金属磁性膜
１６が形成される。一対のコア半体１２を接合一体化し
て、それぞれの金属磁性膜１６の間に磁気ギャップＧが
形成される。

【０００４】ＶＴＲ用コアチップ１１においては、磁気
ギャップＧの在る頂面が磁気ギャップＧを頂点位置にし
て略球面研磨されて、図示しない磁気記録媒体の磁気テ
ープに摺接する媒体摺接面ｍ’とされる。一対のコア半
体１２と金属磁性膜１６と磁気ギャップＧで閉磁路が形
成され、所定のトラック幅で形成された磁気ギャップＧ
で磁気ギャップＧと直交方向に摺接する磁気テープに対
して情報の記録再生を行う。金属磁性膜１６は磁気ギャ
ップＧでの漏れ磁束密度を高くして、磁気記録媒体にお
ける情報の記録再生密度を高くする。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】コアチップ１１の媒体
摺接面ｍ’に形成された磁気ギャップＧ上を磁気テープ
を摺接させて情報の記録再生を行うとき、磁気ギャップ
Ｇの両側の金属磁性膜１６とコア半体１２の界面に微少
ではあるが漏れ磁束が発生して、磁気ギャップＧの記録
再生時に摺動ノイズやウィグル等のノイズ発生を引き起
こすことがある。このようなノイズを発生させる金属磁
性膜１６とコア半体１２の界面は疑似ギャップｇ’を呼
ばれ、この疑似ギャップｇ’と磁気ギャップＧの平行度
が高いほどノイズ発生を引き起こし易く、ＭＩＧ型磁気
ヘッドの品質改善を難しくしている。

【０００６】本発明の目的とするところは、金属磁性膜
間に形成される磁気ギャップによる情報の記録再生動作
から疑似ギャップの影響を排除した高品質化の容易なＭ
ＩＧ型磁気ヘッドを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
頂部に高飽和磁束密度の金属磁性膜を有する一対の強磁
性体のコア半体を、二つのコア半体の金属磁性膜の間に
磁気ギャップを形成して接合一体化させたコアチップを
有し、このコアチップの外部の磁気記録媒体に接近或い
は接触する媒体摺接面が、磁気ギャップとその両側に延
在する各コア半体の金属磁性膜の表面で形成されている
ことを特徴としている。

【０００８】また、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、
角形の強磁性体のコア母材の一面に高飽和磁束密度の金
属磁性膜を形成する工程、コア母材の金属磁性膜の面と
直交する一面に平行な複数条のトラック幅出し用溝を形
成する工程、一対のコア母材のトラック幅出し用溝の在
る一面を各コア母材の金属磁性膜間に磁気ギャップを形
成した状態でガラス接合してコアブロックを得る工程、
コアブロックをトラック幅出し用溝と平行な方向でスラ
イスして複数のコアチップを得る工程を含むことを特徴
としている。

【０００９】更に本発明の磁気ヘッド製造方法は、角形
の強磁性体のコア母材の一面に平行な複数条のトラック
幅出し用溝を形成する工程、コア母材のトラック幅出し
用溝の在る一面に高飽和磁束密度の金属磁性膜を形成す
る工程、コア母材をトラック幅出し用溝と直交方向にス
ライスしてコアバーを得る工程、一対のコアバーのトラ
ック幅出し用溝と直交する一面を各コアバーの金属磁性
膜間に磁気ギャップを形成した状態でガラス接合してコ
アブロックを得る工程、コアブロックをトラック幅出し
用溝と平行な方向でスライスして複数のコアチップを得
る工程を含むことを特徴としている。

【００１０】

【作用】頂部に高飽和磁束密度の金属磁性膜を有する一
対の強磁性体のコア半体を接合一体化させたコアチップ
においては、各コア半体の金属磁性膜間の磁気ギャップ
とその両側に延在する金属磁性膜で媒体摺接面が形成さ
れ、媒体摺接面の磁気ギャップから十分に離れた箇所に
コア半体と金属磁性膜の界面である疑似ギャップが位置
するようになる。疑似ギャップは、磁気ギャップと平行
なほど磁気ギャップの記録再生動作に及ぼす影響力が高
いが、本発明の磁気ヘッドにおいては疑似ギャップが摺
接面に存在しないため、これが記録再生動作に及ぼす影
響がほぼ皆無となる。

【００１１】

【実施例】以下、各種実施例について図１乃至図９を参
照して説明する。尚、全図を通じて同一、又は、相当部
分には同一符号が付してある。

【００１２】図１及び図２は、第１の実施例のＭＩＧ型
磁気ヘッドにおけるコアチップ１が示される。コアチッ
プ１は例えばＶＴＲ用で、フェライト（例えば、Ｎｉ−
Ｚｎ−フェライト等がよい）の強磁性体の一対のコア半
体２をガラス３で接合して、その接合部分に磁気ギャッ
プＧを形成している。一対のコア半体２は、それぞれに
頂部にセンダスト、パーマロイ、ＦｅＴａＮ合金、Ｆｅ
ＴａＣｕＮ合金などの高飽和磁束密度の金属磁性膜４を
有し、この一対の金属磁性膜４の端面間で磁気ギャップ
Ｇが形成される。コアチップ１の磁気ギャップＧと金属
磁性膜４の在る頂面が略球面研磨されて、研磨された金
属磁性膜４と磁気ギャップＧの面で外部の磁気記録媒体
（この場合は磁気テープ）に摺接する媒体摺接面ｍが形
成される。

【００１３】又、一対のコア半体２は、それぞれの接合
側の端面に磁気ギャップＧの長さ（トラック幅）を決め
るトラック幅出し用溝５と巻線用溝６を有する。トラッ
ク幅出し用溝５は、コア接合のためのガラス充填用溝を
兼ね、この溝５にガラス３を充填して一対のコア半体２
が接合され一体化される。

【００１４】一対のコア半体２の金属磁性膜４はスパッ
タ膜などで、コアチップ１の媒体摺動方向に延在して、
これの磁気ギャップＧと反対側の端が媒体摺接面ｍの両
端部側に位置する。ＶＴＲ用コアチップ１においては、
媒体摺接面ｍを略球面研磨する関係から金属磁性膜４の
磁気ギャップＧと反対の端が媒体摺接面ｍの両端部に円
弧状に現われる。従って、各コア半体２の金属磁性膜４
の磁気ギャップＧと反対の端とコア半体２との界面に形
成される疑似ギャップｇ’は、媒体摺接面ｍの両端部に
磁気ギャップＧと非平行に形成されることになる。

【００１５】このように媒体摺接面ｍを略球面研磨する
ことで疑似ギャップｇ’が円弧状になり、磁気ギャップ
Ｇと非平行となる結果、疑似ギャップｇ’による磁気ギ
ャップＧの記録再生動作への悪影響が無くなる。

【００１６】図１のコアチップ１の本発明による製造方
法例を図３に基づき説明する。

【００１７】図３（ａ）に示すように、角形のフェライ
トのコア母材７の頂面にスパッタリングで金属磁性膜４
とガラス３を積層する。このコア母材７の２個と別の１
個のフェライトコア８を用意して、２個のコア母材７と
フェライトコア８を重合し、各コア母材７のガラス３を
利用して３者をガラス接合する。次に、図３（ｂ）に示
すように、接合一体化された各コア母材７の金属磁性膜
４と直交する一側面に、縦方向に複数条の平行なトラッ
ク幅出し用溝５と、横方向に巻線用溝６を形成する。次
に、図３（ｃ）に示すように、溝加工の終わったコア母
材７の一対を、それぞれの溝形成面を突き合わせて、巻
線用溝６にガラス棒３’を挿入し、ガラス棒３’を加熱
溶融させて、一対のコア母材７をガラス接合してコアブ
ロック９を得る。このとき、コアブロック９のコア母材
接合部分に磁気ギャップを形成する。

【００１８】次に、図３（ｃ）のコアブロック９を横方
向にスライスして、図３（ｄ）に示すコアブロック９を
得る。このコアブロック９をトラック幅出し用溝５と平
行な方向でスライス、つまり、図３（ｄ）の破線箇所を
スライスして図３（ｅ）に示すコアチップ１を得る。こ
のコアチップ１の頂面は、金属磁性膜４で形成された平
坦面である。この後、コアチップ１の頂面を球面研磨す
ると、図１のコアチップ１が得られる。

【００１９】図１のコアチップ１の製造は、上記例に限
らないが、図３のようなコア母材形成工程、コア母材溝
加工工程、コアブロック形成工程、コアブロックスライ
ス工程で製造すると、品質の安定したコアチップ１が量
産性良く製造できる。

【００２０】図４及び図５は、第２の実施例のＭＩＧ型
磁気ヘッドにおけるコアチップ１が示される。コアチッ
プ１は主にＨＤＤ用で、フェライト等の強磁性体の一対
のコア半体２をガラス３で接合している。一対のコア半
体２は、それぞれに頂部にセンダストなどの高飽和磁束
密度の金属磁性膜４を有し、この一対の金属磁性膜４の
端面間で磁気ギャップＧが形成される。コアチップ１の
磁気ギャップＧと金属磁性膜４の在る頂部の前面と側面
がテーパ状に研削されて、研磨された金属磁性膜４と磁
気ギャップＧの頂面で外部の磁気記録媒体（この場合は
ハードディスク）に接近又は接触する平坦な媒体摺接面
ｍが形成される。

【００２１】図４のＨＤＤ用コアチップ１においては、
媒体摺接面ｍの両端から各コア半体２の側面にかけて形
成されたテーパ面ｎの一部に疑似ギャップｇ’が形成さ
れる。この疑似ギャップｇ’は媒体摺接面ｍから離れた
位置にある結果、疑似ギャップｇ’が磁気ギャップＧの
記録再生動作に悪影響を及ぼすことは無い。

【００２２】図６は、第３の実施例のＭＩＧ型磁気ヘッ
ドにおけるＨＤＤ用のコアチップ１が示される。このコ
アチップ１は、図４のコアチップ１と基本的に同一構造
で、コアチップ１の磁気ギャップＧと金属磁性膜４の在
る頂部の前面だけがテーパ状に研削されて、金属磁性膜
４と磁気ギャップＧの頂面で平坦な媒体摺接面ｍが形成
される。

【００２３】図６のコアチップ１の場合、コア半体２の
側面と金属磁性膜４の端面の界面に疑似ギャップｇ’が
形成される。この疑似ギャップｇ’も媒体摺接面ｍから
離れた位置にある結果、疑似ギャップｇ’が磁気ギャッ
プＧの記録再生動作に悪影響を及ぼすことは無い。

【００２４】図４のコアチップ１と図６のコアチップ１
の製造は、図３に示す製造工程で行うことも可能である
が、次に説明する図８及び図９に示す本発明の製造方法
で製造することもできる。

【００２５】即ち、図８（ａ）に示すように、フェライ
トの角形のコア母材７の頂面に複数条の平行な断面Ｖ形
のトラック幅出し用溝５を形成する。この溝５は、ガラ
ス充填用溝を兼用する。溝加工後、コア母材７の溝５の
在る面上にスパッタリングで金属磁性膜４を形成する。
次に、図８（ｂ）に示すように、コア母材７の金属磁性
膜４上にガラス３をモールドして所定厚に研磨する。そ
の後、コア母材７をトラック幅出し用溝５と直交する方
向でスライス、つまり、図８（ｂ）の破線箇所をスライ
スして、図８（ｃ）に示すようなコアバー１０を製造す
る。

【００２６】コアバー１０のガラス３の在る面と直交す
る一側面に横方向に巻線用溝６を形成しておいて、一対
のコアバー１０を巻線用溝６の在る面で突き合わせ、ガ
ラス接合して、図９に示すコアブロック９を得る。この
コアブロック９をトラック幅出し用溝５と平行な方向で
スライスして、複数のコアチップ１が量産性良く製造さ
れる。コアブロック９のスライス箇所は、Ｖ形のトラッ
ク幅出し用溝５の谷の箇所と、隣接する溝５の中間の箇
所である。次に、コアチップ１のトラック幅出し用溝５
と反対面を研磨して磁気ギャップＧのトラック幅を決
め、コアチップ１の頂部をテーパ状に研削して図４や図
６に示されるコアチップが製造される。

【００２７】図７は、第４の実施例のＭＩＧ型磁気ヘッ
ドにおけるＨＤＤ用のコアチップ１が示される。このコ
アチップ１は、Ｉ型のコア半体２’と、両側面に巻線用
溝６を有する横Ｈ型のコア半体２”をガラス３で接合し
ている。一対のコア半体２’、２”の頂部は縦断面山形
で、この頂面に金属磁性膜４が形成され、一対のコア半
体２’、２”の金属磁性膜４の間に磁気ギャップＧが形
成される。また、一対のコア半体２’、２”の金属磁性
膜４とガラス３の研磨された頂面で平坦な媒体摺接面ｍ
が形成される。

【００２８】図７のコアチップ１の製造は、基本的には
図８のコア母材７に形成されるトラック幅出し用溝５の
間隔をトラック幅に設定し、図９のコアブロック９をト
ラック幅出し用溝５の谷部分でスライスする要領で製造
すればよい。図７のコアチップ１においては、コアチッ
プ１の頂部の両側面に疑似ギャップｇ’が形成される。
この疑似ギャップｇ’は媒体摺接面ｍから離れた位置に
ある結果、疑似ギャップｇ’が磁気ギャップＧの記録再
生動作に悪影響を及ぼすことは無い。

【００２９】

【発明の効果】本発明によれば、頂部に高飽和磁束密度
の金属磁性膜を有する一対の強磁性体のコア半体を接合
一体化させたコアチップの媒体摺接面が、磁気ギャップ
とその両側方に延在する金属磁性膜で形成されて、媒体
摺接面の磁気ギャップから十分に離れた先端部分にコア
半体と金属磁性膜の界面である疑似ギャップが位置する
ようになるため、疑似ギャップが磁気ギャップの記録再
生動作に及ぼす影響がほぼ皆無となり、摺動ノイズやウ
ィグル等のノイズ発生の少ない高品質のＭＩＧ型磁気ヘ
ッドが提供できる。

【００３０】特にコアチップの頂面を球面研磨するＶＴ
Ｒ用磁気ヘッドにおいては、そのコアチップの頂面を球
面研磨して媒体摺接面を形成したときに、疑似ギャップ
が磁気ギャップと非平行な円弧となるため、疑似ギャッ
プによる磁気ギャップへの悪影響をより確実に無くする
ことができて、安定した高品質なＶＴＲ用磁気ヘッドが
提供できる。

【００３１】更に、金属磁性膜の形成部がコアチップの
一部のみでよいため、合金バルクヘッドに比して渦電流
損を少なくできると共に、金属磁性膜形成のための蒸着
工程等がラミネート型磁気ヘッド等に比して短くすみ、
また材料費の節約できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの第１の実施例を示す
コアチップの斜視図

【図２】図１のコアチップの媒体摺動面から見た平面図

【図３】本発明による磁気ヘッド製造方法を説明するた
めの各製造工程でのコアの斜視図

【図４】本発明に係る磁気ヘッドの第２の実施例を示す
コアチップの斜視図

【図５】図４のコアチップの媒体摺動面から見た平面図

【図６】本発明に係る磁気ヘッドの第３の実施例を示す
コアチップの斜視図

【図７】本発明に係る磁気ヘッドの第４の実施例を示す
コアチップの斜視図

【図８】本発明による他の磁気ヘッド製造方法を説明す
るための各製造工程でのコアの斜視図で、図８（ａ）と
（ｂ）はコアの一部拡大図を含む。

【図９】図８の製造工程で製造されたコアブロックとコ
アチップの斜視図

【図１０】従来のＭＩＧ型磁気ヘッドにおけるコアチッ
プの斜視図

【図１１】図１０のコアチップの媒体摺動面から見た平
面図

【符号の説明】

１ コアチップ ２ コア半体 ２’ コア半体 ２” コア半体 ３ ガラス ４ 金属磁性膜 Ｇ 磁気ギャップ ｍ 媒体摺接面 ５ トラック幅出し用溝 ７ コア母材 ９ コアブロック １０ コアバー

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 頂部に高飽和磁束密度の金属磁性膜を有
   する一対の強磁性体のコア半体を、各コア半体の金属磁
   性膜間に磁気ギャップを形成して接合一体化させたコア
   チップを有し、このコアチップの外部の磁気記録媒体に
   接近或いは接触する媒体摺接面が、前記磁気ギャップと
   その両側に延在する各コア半体の金属磁性膜の表面で形
   成されていることを特徴とするＭＩＧ型磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 角形の強磁性体のコア母材の一面に高飽
   和磁束密度の金属磁性膜を形成する工程、コア母材の金
   属磁性膜の面と直交する一面に平行な複数条のトラック
   幅出し用溝を形成する工程、一対のコア母材のトラック
   幅出し用溝の在る一面をガラス接合してコアブロックを
   得る工程、コアブロックをトラック幅出し用溝と平行な
   方向でスライスして複数のコアチップを得る工程を含む
   請求項１記載のＭＩＧ型磁気ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 角形の強磁性体のコア母材の一面に平行
   な複数条のトラック幅出し用溝を形成する工程、コア母
   材のトラック幅出し用溝の在る一面に高飽和磁束密度の
   金属磁性膜を形成する工程、コア母材をトラック幅出し
   用溝と直交方向にスライスしてコアバーを得る工程、一
   対のコアバーのトラック幅出し用溝と直交する一面をガ
   ラス接合してコアブロックを得る工程、コアブロックを
   トラック幅出し用溝と平行な方向でスライスして複数の
   コアチップを得る工程を含む請求項１記載のＭＩＧ型磁
   気ヘッドの製造方法。