JPH087217A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 トラック幅の狭小化に対応した加工精度の高
い、しかも、偏磨耗の生じない、サンドイッチ形磁気ヘ
ッド及びその製造方法を提供することを目的とする。 【構成】 磁気ギャップ形成部位のトラック幅方向の両
側に凸部１０を配置した非磁性体板１により磁性体層１
１を挟持したことを特徴とする磁気ヘッドであって、そ
の製造方法は、該非磁性体板１の少なくとも片面をエッ
チングして凸部１０を形成し、該凸部１０を形成した面
に磁性体層１１、接合層１３を順次形成した二枚の基板
１２ａ，１２ｂを、該凸部１０を対向させて一体化した
磁気コア基板１４を用いることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気記録装置に使用する
磁気ヘッドに関し、特に薄い磁気コアを非磁性体板で狭
持した構成の磁気ヘッド（以下サンドイッチ型磁気ヘッ
ドと呼ぶ）に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気記録の高密度化に伴い、金属磁性材
料のセンダスト、アモルファス、パーマロイ等の高飽和
磁束密度磁性金属を磁気コアとする磁気ヘッドが、最近
広く使用されている。このような金属磁性材料を磁気コ
アとするいわゆるバルク型磁気ヘッドは、磁気コアが高
飽和磁束密度を有するため、磁気特性上は磁気コアをフ
ェライト等の酸化物磁性材料とするものに比べて非常に
薄くできるが、記録媒体との摺動特性からは耐磨耗性や
機械的強度が要求されるため、特開昭６３−４８６０６
号公報に開示されているような、サンドイッチ型磁気ヘ
ッドが一般的に使用されている。このサンドイッチ型磁
気ヘッドの製造方法について、図面を参照して説明す
る。図６ａに示すように、非磁性体板１の片面に、高飽
和磁束密度を有する金属磁性材料としてセンダスト等か
らなる磁性層２を、スパッタ等の方法により形成する。
更に、少なくとも一方の非磁性体板１に、接合層３とな
るガラス層を同様の方法で形成する。図６ｂに示すよう
に、この非磁性体板１二枚を薄膜形成面を対向させて重
ね合わせて加熱して、接合層３のガラスを溶融し、一体
化して磁気コア基板４を作成する。次いで、この磁気コ
ア基板４を図６ｂに点線で示すように、積層方向と直交
する面で切断して磁気コア半体７を作成する。そして、
図６ｃに示すように、この磁気コア半体７の切断分離面
に、切削加工により卷線溝５及び磁気コアの厚さより小
さい寸法のトラック幅を形成するため、トラック幅規制
溝６ａ，６ｂを形成する。図７に示すように、この磁気
コア半体７，７を卷線溝５を対向させ、トラック幅規制
溝６ａ，６ｂに埋め込んだガラス８を溶融し、ギャップ
スペーサ（図示せず）を介して磁気ギャップＧを形成し
て一体化し、磁気コアチップ９が作成される。そして、
この磁気コアチップ９に形成した巻線溝５を通して導電
線（図示せず）を巻付けてサンドイッチ型磁気ヘッドが
完成する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】最近、磁気記録の高密
度化が更に進み、記録トラックの幅が数ミクロンと狭小
化すると、トラック幅規制溝の加工精度に対する要求が
厳しくなり、加工時の歩留が低下するとともに、このト
ラック幅規制溝に埋め込んだ、耐磨耗性の低い接合用の
ガラスが記録媒体との摺接面に露出するため、実用時に
記録媒体との摺接面の中で、特にガラス部の磨耗が大き
くなり、偏磨耗が起こり記録媒体との摺接に不具合が生
じるという問題があった。本発明は、上述した従来の問
題を解決するために提案するもので、トラック幅の狭小
化に対応した高精度加工に好適し、しかも偏磨耗の生じ
ない、サンドイッチ型磁気ヘッドを提供することを目的
とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】磁気ギャップＧ形成部位
のトラック幅方向の両側に凸部１０を配した非磁性体板
１により磁性体層１１を挟持したことを特徴とする磁気
ヘッドであって、その製造方法は、該非磁性体板１の少
なくとも片面をエッチングして凸部１０を形成し、該非
磁性体板１の凸部１０を含む凸部形成面に磁性体層１１
を形成し、平坦化して基板１２を作成し、二枚の前記基
板１２を凸部１０を対向させて、接合一体化して磁気コ
ア基板１４を作成し、該磁気コア基板１４を凸部対向部
において、該磁気コア基板１４の接合面に直交する面で
切断分離して磁気コア半体１５を作成し、該磁気コア半
体１５を前記切断面を対向させて、ギャップスペーサを
介して接合一体化して作成した磁気コアチップ１６を用
いることを特徴とする。そして、高密度記録用の高抗磁
力媒体への磁気記録特性を向上した狭トラック磁気ヘッ
ドを実現するには、該磁性体層１１をＦｅＴａＮ合金で
構成するのが望ましい。

【０００５】

【作用】トラック幅が数ミクロンと非常に狭くても、本
発明の構成によれば、非磁性体板１の凸部１０形成面に
形成された磁性体層１１の厚さによりトラック幅が規制
されるが、この磁性体層１１の厚さはサブミクロンの単
位で平面研磨により加工できるので、トラック幅の加工
精度は高くできる。また、記録媒体との摺接面は、とも
に耐磨耗性の高い磁性体層１１と非磁性体板１のみで形
成され、ガラスが露出しないため、実用時にガラス部が
大きく磨耗して生ずる偏磨耗は起こらない。そして、磁
性体層１１としてＦｅＴａＮ合金を使用すれば、磁気記
録特性および耐磨耗性が向上するため、数ミクロンの狭
トラックで高抗磁力媒体に磁気記録再生が可能で、しか
も耐磨耗性を向上したサンドイッチ型磁気ヘッドを提供
できる。

【０００６】

【実施例】本発明の一実施例について図面を参照して説
明する。図において、従来例と同じ部分には同一符号を
付して説明を省略する。本発明の磁気ヘッドは非磁性体
板１に形成された凸部１０によりトラック幅が規制され
る構成となっていることを特徴とする。以下、本発明の
磁気ヘッドの製造方法について詳細に説明する。図１に
示すように、非磁性体板１の片面にエッチングにより磁
性体コアの厚さＴｃとトラック幅Ｔｔから求められる高
さｈ＝（Ｔｃ−Ｔｔ）／２の凸部１０を形成し、該凸部
１０形成面に磁性体層１１として、例えばＦｅＴａＮ合
金の薄膜を磁性体コアの厚さの半分の厚さＴｃ／２より
若干厚くスパッタで形成する。該磁性体層１１形成面
を、図２ａに示すように、磁性体コアの半分の厚さＴｃ
／２になるように研磨し、平担化して第一の基板１２ａ
を形成する。また、図２ｂに示すように、その平担化し
た磁性体層１１の上に、接合層１３としてガラス層を極
薄く形成した第二の基板１２ｂを形成する。図３に示す
ように、前記第一の基板１２ａと第二の基板１２ｂとを
相互に磁性体層１１及び接合層１３形成面で重ね合わ
せ、接合層１３のガラスを加熱溶融し、接合一体化して
磁気コア基板１４を形成する。そして、非磁性体板１に
形成した凸部１０のほぼ中央部において、接合面と直交
する面で点線で示すように、前記磁気コア基板１４を切
断し、磁気コア半体１５を得る。図４に示すように、該
磁気コア半体１５の少なくとも一方の切断面に、従来例
と同様に卷線溝５を形成し、この卷線溝５に埋め込んだ
接合用のガラス８により、ギャップスペーサ（図示せ
ず）を介して接合一体化して、磁気ギャップＧを形成し
た磁気コアチップ１６を得る、この磁気コアチップ１６
に形成した巻線溝５に導電線（図示せず）を卷付けて本
発明の磁気ヘッドが完成する。以上説明したように、こ
のように製造されたサンドイッチ型磁気ヘッドは、トラ
ツク幅Ｔｔが切削加工でなく、高精度加工が可能な平面
研磨で形成されるため、加工精度がサブミクロン単位と
向上し、例えば、トラツク幅Ｔｔが数ミクロンの磁気ヘ
ッドでも十分量産可能となる。また、記録媒体との摺接
面に耐磨耗性の低い接合用のガラス８が露出していない
ため、偏磨耗も起こらない。さらに、磁性体層にＦｅＴ
ａＮ合金を使用しているため、狭トラックでも高抗磁力
媒体に対して磁気記録再生特性の優れた、しかも耐磨耗
性の高いサンドイッチ型磁気ヘッドが提供できる。以
上、磁気コア基板１４の形成に第二の基板１２ｂのみに
接合層１３を形成した例について説明したが、本発明は
これに限定されず、更に薄い接合層１３を、第一の基板
１２ａに形成し、該第一の基板１２ａを二枚使用して接
合すれば、同様に加工できる。このように、基板を一種
類にすることにより、部品管理が容易になるという効果
がある。また、磁性体層１１としては、ＦｅＴａＮ合金
の薄膜を形成した例について説明したが、磁性体層１１
の材料としてはセンダスト、アモルファスおよびパーマ
ロイ等の高磁束飽和密度を有する磁性材料を用いること
もできる。尚、以上のものは、説明を簡単にするため、
単体のサンドイッチ型磁気ヘッドに注目して説明した
が、一般には、図５ａ乃至図５ｃに示すように、非磁性
体板１７の両面に、凸部１０、１０を形成し、該凸部１
０形成面にそれぞれ磁性体層１１，１１を形成した基板
１８を作成し（図５ａ）、この基板１８を複数枚積層し
て一体化した磁気コア基板ブロック１９を形成し（図５
ｂ）、この磁気コア基板ブロック１９を前記凸部１０の
ほぼ中央部において、点線で示すように、積層面と直交
する面で切断して、磁気コア半体ブロック２０とし、更
に、この磁気コア半体ブロック２０に卷線溝５を形成し
て、接合用のガラス８で接合一体化した磁気コアブロツ
ク２１を作成し（図５ｃ）、非磁性体板１７を、図５ｃ
に点線で示すように、スライスして磁気コアチップ１６
を作成するという、量産に適したブロック加工による製
造方法が採用される。

【０００７】

【発明の効果】本発明によれば、記録媒体との摺接面
は、ともに耐磨耗性の高い磁性体層と非磁性体板のみで
形成されるため、偏磨耗は起こらない。また、トラック
幅は非磁性体板に形成した凸部形成面に形成された磁性
体層の厚さに該当するため、幅精度は高くできる。そし
て、磁性体層としてＦｅＴａＮ合金を使用すれば、磁気
特性および耐磨耗性が向上するため、狭トラックでも十
分な磁気記録再生が可能で、しかも長寿命を有するサン
ドイッチ型磁気ヘッドを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例の磁性体層形成を示す要部
断面図

【図２】 （ａ）は本発明の一実施例の第一の基板の要
部断面図 （ｂ）は本発明の一実施例の第二の基板の要部断面図

【図３】 本発明の一実施例の磁気コア基板の要部側面
図

【図４】 本発明の一実施例の磁気コアチップの斜視図

【図５】 （ａ）乃至（ｂ）本発明の他の実施例の磁気
コア基板の要部側面図 （ｃ）は本発明の他の実施例の磁気コアブロックの斜視
図

【図６】 （ａ）は従来の磁性体層形成を示す要部断面
図 （ｂ）は従来の磁気コア基板の要部側面図 （ｃ）は従来の磁気コア半体の斜視図

【図７】 従来の磁気コアチップの斜視図

【符号の説明】

１ 非磁性体板 １０ 凸部 １１ 磁性体層 １２ａ 第一の基板 １２ｂ 第二の基板 １３ 接合層 １４ 磁気コア基板 １５ 磁気コア半体 Ｔｔ トラック幅 Ｔｃ 磁性体コアの厚さ ｈ 凸部の高さ Ｇ 磁気ギャップ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】磁気コアとなる磁性体層の両側を非磁性体
   板で挟持した磁気コア半体を、ギャップスペーサを介し
   て突き合せ、磁気ギャップを形成した構成の磁気ヘッド
   において、該磁気ギャップ形成部位の前記磁性体層を、
   前記非磁性体板に形成した凸部で挟持したことを特徴と
   する磁気ヘッド。
2. 【請求項２】前記磁性体層がＦｅＴａＮから成る合金層
   であることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】非磁性体板の少なくとも片面をエッチング
   して凸部を形成する工程と、該非磁性体板の凸部を形成
   した面に磁性体層を形成する工程と、前記磁性体層の表
   面を研磨し、平坦化して基板を作成する工程と、二つの
   前記基板を凸部を対向させて接合一体化し磁気コア基板
   を形成する工程と、前記磁気コア基板の凸部対向部にお
   いて、前記磁気コア基板の接合面と直交する面で切断分
   離して磁気コア半体を形成する工程と、前記磁気コア半
   体を切断面を対向させ、ギャップスペーサを介して接合
   一体化して磁気コアチップを形成する工程とを具備する
   ことを特徴とした磁気ヘッドの製造方法。