JPH0916262A - モータ制御装置 - Google Patents
モータ制御装置Info
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- JPH0916262A JPH0916262A JP7189708A JP18970895A JPH0916262A JP H0916262 A JPH0916262 A JP H0916262A JP 7189708 A JP7189708 A JP 7189708A JP 18970895 A JP18970895 A JP 18970895A JP H0916262 A JPH0916262 A JP H0916262A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 モータの位置を厳密且つ高分解能に制御でき
るようにすること。 【構成】 サーボモータ１１と、このサーボモータを駆
動させるサーボドライバ１３と、サーボドライバを介し
てサーボモータに駆動指令を出力する制御装置１２と、
サーボモータに接続されサーボモータの位置を検出する
タコジェネレートエンコーダ１４と、このタコジェネレ
ートエンコーダから出力されるサーボモータの位置検出
信号をアナログ信号として取り込み、このアナログ信号
に基づいてサーボモータの位置を認識し、この位置が所
定の位置に対してずれを生じたときにこのずれを修正す
べくサーボモータの位置を補正する補正信号をサーボド
ライバに出力しサーボモータの位置を修正するアナログ
ロック回路１５とを有するサーボモータ制御装置１０に
おいて、アナログロック回路に取り込まれるアナログ信
号の波形を整形する波形整形回路１６を設けたものであ
る。
るようにすること。 【構成】 サーボモータ１１と、このサーボモータを駆
動させるサーボドライバ１３と、サーボドライバを介し
てサーボモータに駆動指令を出力する制御装置１２と、
サーボモータに接続されサーボモータの位置を検出する
タコジェネレートエンコーダ１４と、このタコジェネレ
ートエンコーダから出力されるサーボモータの位置検出
信号をアナログ信号として取り込み、このアナログ信号
に基づいてサーボモータの位置を認識し、この位置が所
定の位置に対してずれを生じたときにこのずれを修正す
べくサーボモータの位置を補正する補正信号をサーボド
ライバに出力しサーボモータの位置を修正するアナログ
ロック回路１５とを有するサーボモータ制御装置１０に
おいて、アナログロック回路に取り込まれるアナログ信
号の波形を整形する波形整形回路１６を設けたものであ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、サーボモータ等の
ように位置制御可能なモータにおける上記位置を良好に
制御するモータ制御装置に関する。
ように位置制御可能なモータにおける上記位置を良好に
制御するモータ制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体製造装置（ペレットボン
ディング装置やワイヤボンディング装置）に用いられる
ＸＹテーブルは、サーボモータを駆動源とし、所定位置
に位置制御可能とされている。
ディング装置やワイヤボンディング装置）に用いられる
ＸＹテーブルは、サーボモータを駆動源とし、所定位置
に位置制御可能とされている。
【０００３】このサーボモータを制御するサーボモータ
制御装置は、図３に示すように、制御装置１が、サーボ
モータ２を所定の回転速度で回転させる回転速度指令信
号ｈを出力し、サーボドライバ３が、上記回転速度指令
信号ｈに比例する速度でサーボモータ２を回転させる。
タコジェネレートエンコーダ４は、サーボモータ２の回
転速度及び位置を検出し、この検出信号のうち、回転速
度検出信号ｊをサーボドライバ３へ出力し、位置検出信
号ｍを制御装置１に出力し、そして、位置検出信号ｋを
位置修正手段としてのアナログロック回路６へ出力す
る。サーボドライバ３は、回転速度検出信号ｊに基づい
てサーボモータ２の回転速度をフィードバック制御し、
制御装置１は、位置検出信号ｍに基づいて不図示の演算
器によってサーボモータ２の位置ずれを認識し、この位
置ずれに基づいて位置補正信号ｎを出力し、サーボモー
タ２の位置をフィードバック制御する。そして、アナロ
グロック回路６は、位置検出信号ｋに基づいてサーボモ
ータ２が停止状態にあるときの停止位置を認識し、この
サーボモータ２の停止位置が所定の停止位置に対してず
れを生じたときに、このずれを修正すべく、サーボドラ
イバ３へ位置補正信号１を出力し、サーボモータ２の停
止位置をフィードバック制御する。
制御装置は、図３に示すように、制御装置１が、サーボ
モータ２を所定の回転速度で回転させる回転速度指令信
号ｈを出力し、サーボドライバ３が、上記回転速度指令
信号ｈに比例する速度でサーボモータ２を回転させる。
タコジェネレートエンコーダ４は、サーボモータ２の回
転速度及び位置を検出し、この検出信号のうち、回転速
度検出信号ｊをサーボドライバ３へ出力し、位置検出信
号ｍを制御装置１に出力し、そして、位置検出信号ｋを
位置修正手段としてのアナログロック回路６へ出力す
る。サーボドライバ３は、回転速度検出信号ｊに基づい
てサーボモータ２の回転速度をフィードバック制御し、
制御装置１は、位置検出信号ｍに基づいて不図示の演算
器によってサーボモータ２の位置ずれを認識し、この位
置ずれに基づいて位置補正信号ｎを出力し、サーボモー
タ２の位置をフィードバック制御する。そして、アナロ
グロック回路６は、位置検出信号ｋに基づいてサーボモ
ータ２が停止状態にあるときの停止位置を認識し、この
サーボモータ２の停止位置が所定の停止位置に対してず
れを生じたときに、このずれを修正すべく、サーボドラ
イバ３へ位置補正信号１を出力し、サーボモータ２の停
止位置をフィードバック制御する。
【０００４】尚、アナログロック回路６は、制御装置１
の演算器では認識不可能な範囲の停止位置のずれを修正
するものである。即ち、制御装置１の演算器は、パルス
信号である位置検出信号ｍを処理しているため、サーボ
モータ２に１パルス未満の位置ずれが生じたとしてもそ
れを認識することは不可能である。これに対して、アナ
ログロック回路６は、位相が90°異なるＡsin 波とＢsi
n 波とからなるアナログ信号である位置検出信号ｋを処
理することによって、制御装置１の演算器では認識不可
能な１パルス未満の停止位置ずれを修正することを可能
としている。
の演算器では認識不可能な範囲の停止位置のずれを修正
するものである。即ち、制御装置１の演算器は、パルス
信号である位置検出信号ｍを処理しているため、サーボ
モータ２に１パルス未満の位置ずれが生じたとしてもそ
れを認識することは不可能である。これに対して、アナ
ログロック回路６は、位相が90°異なるＡsin 波とＢsi
n 波とからなるアナログ信号である位置検出信号ｋを処
理することによって、制御装置１の演算器では認識不可
能な１パルス未満の停止位置ずれを修正することを可能
としている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の従来
のサーボモータ制御装置で用いられているタコジェネレ
ートエンコーダ４は、その製造誤差によって、Ａsin
波、或いはＢsin 波が原点に対して変位軸方向にずれて
いたり（オフセット）、Ａsin 波とＢsin 波との位相が
ずれていることがある。従って、この場合には、アナロ
グロック回路６にて実施されるサーボモータ２に対する
停止位置のずれの修正を厳密に実施できないおそれがあ
る。
のサーボモータ制御装置で用いられているタコジェネレ
ートエンコーダ４は、その製造誤差によって、Ａsin
波、或いはＢsin 波が原点に対して変位軸方向にずれて
いたり（オフセット）、Ａsin 波とＢsin 波との位相が
ずれていることがある。従って、この場合には、アナロ
グロック回路６にて実施されるサーボモータ２に対する
停止位置のずれの修正を厳密に実施できないおそれがあ
る。
【０００６】本発明は、上述の事情を考慮してなされた
ものであり、モータの位置を厳密且つ高分解能に制御で
きるモータ制御システムを提供することを目的とする。
ものであり、モータの位置を厳密且つ高分解能に制御で
きるモータ制御システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、モータと、このモータを駆動させるドライバと、前
記ドライバを介して前記モータに駆動指令を出力する制
御装置と、前記モータに接続され前記モータの位置を検
出する検出器と、この検出器から出力される前記モータ
の位置検出信号をアナログ信号として取り込み、このア
ナログ信号に基づいて前記モータの位置を認識し、この
位置が所定の位置に対してずれを生じたときにこのずれ
を修正するべく前記モータの位置を補正する補正信号を
前記ドライバに出力し前記モータの位置を修正する位置
修正手段とを有するモータ制御装置において、前記位置
修正手段に取り込まれる前記アナログ信号の波形を整形
する波形整形手段を設けたものである。
は、モータと、このモータを駆動させるドライバと、前
記ドライバを介して前記モータに駆動指令を出力する制
御装置と、前記モータに接続され前記モータの位置を検
出する検出器と、この検出器から出力される前記モータ
の位置検出信号をアナログ信号として取り込み、このア
ナログ信号に基づいて前記モータの位置を認識し、この
位置が所定の位置に対してずれを生じたときにこのずれ
を修正するべく前記モータの位置を補正する補正信号を
前記ドライバに出力し前記モータの位置を修正する位置
修正手段とを有するモータ制御装置において、前記位置
修正手段に取り込まれる前記アナログ信号の波形を整形
する波形整形手段を設けたものである。
【０００８】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、検出器から出力されるアナログ信号
は、Ａsin 波とＢsin 波とからなり、波形整形手段は、
前記Ａsin 波及び前記Ｂsin 波の原点に対する変位方向
のずれと、両波の位相ずれを修正するものである。
の発明において、検出器から出力されるアナログ信号
は、Ａsin 波とＢsin 波とからなり、波形整形手段は、
前記Ａsin 波及び前記Ｂsin 波の原点に対する変位方向
のずれと、両波の位相ずれを修正するものである。
【０００９】本発明によれば、波形整形手段を設け、こ
の波形整形手段にて検出器から出力されて位置修正手段
に取り込まれるアナログ信号の波形を整形するようにし
たので、前記位置修正手段は波形が整形されたアナログ
信号を処理することができるので、モータの位置を厳密
且つ高分解能で制御できる。
の波形整形手段にて検出器から出力されて位置修正手段
に取り込まれるアナログ信号の波形を整形するようにし
たので、前記位置修正手段は波形が整形されたアナログ
信号を処理することができるので、モータの位置を厳密
且つ高分解能で制御できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明に係るモータ制御
装置の一つの実施の形態が適用されたサーボモータ制御
装置を示すブロック図である。図２は、図１のタコジェ
ネレートエンコーダから出力された検出信号（Ａsin 波
及びＢsin 波）の波形を示すグラフである。
に基づいて説明する。図１は、本発明に係るモータ制御
装置の一つの実施の形態が適用されたサーボモータ制御
装置を示すブロック図である。図２は、図１のタコジェ
ネレートエンコーダから出力された検出信号（Ａsin 波
及びＢsin 波）の波形を示すグラフである。
【００１１】図１に示すように、サーボモータ１１の回
転速度及び位置を制御するサーボモータ制御装置１０
は、制御装置１２、サーボドライバ１３、検出器として
のタコジェネレートエンコーダ１４及び位置修正手段と
してのアナログロック回路１５、並びに波形整形回路１
６、Ａ／Ｄ変換器１７及びＤ／Ａ変換器１８を有して構
成される。タコジェネレートエンコーダ１４とアナログ
ロック回路１５との間に、タコジェネレートエンコーダ
１４の側からＡ／Ｄ変換器１７、波形整形回路１６及び
Ｄ／Ａ変換器１８が順次配設される。
転速度及び位置を制御するサーボモータ制御装置１０
は、制御装置１２、サーボドライバ１３、検出器として
のタコジェネレートエンコーダ１４及び位置修正手段と
してのアナログロック回路１５、並びに波形整形回路１
６、Ａ／Ｄ変換器１７及びＤ／Ａ変換器１８を有して構
成される。タコジェネレートエンコーダ１４とアナログ
ロック回路１５との間に、タコジェネレートエンコーダ
１４の側からＡ／Ｄ変換器１７、波形整形回路１６及び
Ｄ／Ａ変換器１８が順次配設される。
【００１２】制御装置１２は、サーボモータ１１を所定
回転速度で回転させる回転速度指令信号ａをサーボドラ
イバ１３へ向い出力する。サーボドライバ１３は、回転
速度指令信号ａに比例した速度でサーボモータ１１を回
転させる。
回転速度で回転させる回転速度指令信号ａをサーボドラ
イバ１３へ向い出力する。サーボドライバ１３は、回転
速度指令信号ａに比例した速度でサーボモータ１１を回
転させる。
【００１３】タコジェネレートエンコーダ１４は、サー
ボモータ１１の回転速度及び位置を検出し、回転速度に
関する検出信号を回転速度検出信号ｃとしてサーボドラ
イバ１３へ出力する。このサーボドライバ１３がサーボ
モータ１１の回転速度をフィードバック制御する。
ボモータ１１の回転速度及び位置を検出し、回転速度に
関する検出信号を回転速度検出信号ｃとしてサーボドラ
イバ１３へ出力する。このサーボドライバ１３がサーボ
モータ１１の回転速度をフィードバック制御する。
【００１４】更に、タコジェネレートエンコーダ１４
は、上記検出信号のうち位置に関する検出信号を、位置
検出信号ｄとしてアナログロック回路１５に出力する。
この位置検出信号ｄは、図２に示すＡsin 波１９ＡとＢ
sin 波１９Ｂとからなるアナログ信号であり、これらの
Ａsin 波１９Ａ及びＢsin 波１９Ｂは、同一周期且つ同
一振幅で、位相差が90°のサインカーブである。
は、上記検出信号のうち位置に関する検出信号を、位置
検出信号ｄとしてアナログロック回路１５に出力する。
この位置検出信号ｄは、図２に示すＡsin 波１９ＡとＢ
sin 波１９Ｂとからなるアナログ信号であり、これらの
Ａsin 波１９Ａ及びＢsin 波１９Ｂは、同一周期且つ同
一振幅で、位相差が90°のサインカーブである。
【００１５】位置検出信号ｄとしてのＡsin 波１９Ａ及
びＢsin 波１９Ｂは、直接アナログロック回路１５に取
り込まれるのではなく、まず、Ａ／Ｄ変換器１７に取り
込まれて、アナログ信号からデジタル信号に変換され
る。
びＢsin 波１９Ｂは、直接アナログロック回路１５に取
り込まれるのではなく、まず、Ａ／Ｄ変換器１７に取り
込まれて、アナログ信号からデジタル信号に変換され
る。
【００１６】波形整形回路１６は、不図示の演算器を備
え、この演算器が、Ａ／Ｄ変換器１７にてデジタル信号
化されたＡsin 波１９Ａ及びＢsin 波１９Ｂを波形整形
する。つまり、Ａsin 波１９Ａ或いはＢsin 波１９Ｂに
おける変位の最大値αと最小値βとに基づいて、このＡ
sin 波１９Ａ或いはＢsin 波１９Ｂの原点０に対する変
位軸方向のオフセット量を検出する。また、この波形整
形回路１６の演算器は、例えば、Ａsin 波１９ＡとＢsi
n 波１９Ｂとの時間軸交点の位置から、Ａsin波１９Ａ
とＢsin 波１９Ｂとの位相ずれを検出する。アナログロ
ック回路１６の演算器は、更に、Ａsin 波１９Ａ或いは
Ｂsin 波１９Ｂを図２の変位軸方向及び時間軸方向にオ
フセット及び位相ずれがともに０（零）になるまで移動
させて、オフセット及び位相のずれを補正して波形整形
する。
え、この演算器が、Ａ／Ｄ変換器１７にてデジタル信号
化されたＡsin 波１９Ａ及びＢsin 波１９Ｂを波形整形
する。つまり、Ａsin 波１９Ａ或いはＢsin 波１９Ｂに
おける変位の最大値αと最小値βとに基づいて、このＡ
sin 波１９Ａ或いはＢsin 波１９Ｂの原点０に対する変
位軸方向のオフセット量を検出する。また、この波形整
形回路１６の演算器は、例えば、Ａsin 波１９ＡとＢsi
n 波１９Ｂとの時間軸交点の位置から、Ａsin波１９Ａ
とＢsin 波１９Ｂとの位相ずれを検出する。アナログロ
ック回路１６の演算器は、更に、Ａsin 波１９Ａ或いは
Ｂsin 波１９Ｂを図２の変位軸方向及び時間軸方向にオ
フセット及び位相ずれがともに０（零）になるまで移動
させて、オフセット及び位相のずれを補正して波形整形
する。
【００１７】Ａ／Ｄ変換器１７にてデジタル信号化され
たＡsin 波１９Ａ及びＢsin 波１９Ｂは、波形整形回路
１６の演算器にて上述のように波形が整形され、Ｄ／Ａ
変換器１８にてアナログ信号に変換されて、アナログロ
ック回路１５へ出力される。
たＡsin 波１９Ａ及びＢsin 波１９Ｂは、波形整形回路
１６の演算器にて上述のように波形が整形され、Ｄ／Ａ
変換器１８にてアナログ信号に変換されて、アナログロ
ック回路１５へ出力される。
【００１８】アナログロック回路１５は、波形整形回路
１６にて波形整形され、Ｄ／Ａ変換器１８にてアナログ
信号に戻された位置検出信号ｄに基づき、サーボモータ
１１が停止状態にあるときの停止位置を認識し、この停
止位置が、制御装置１２にて指令された所定の停止位置
に対してずれを生じたときに、このずれを修正する位置
補正信号ｅをサーボドライバ１３へ向って出力し、サー
ボモータ１１をフィードバック制御する。
１６にて波形整形され、Ｄ／Ａ変換器１８にてアナログ
信号に戻された位置検出信号ｄに基づき、サーボモータ
１１が停止状態にあるときの停止位置を認識し、この停
止位置が、制御装置１２にて指令された所定の停止位置
に対してずれを生じたときに、このずれを修正する位置
補正信号ｅをサーボドライバ１３へ向って出力し、サー
ボモータ１１をフィードバック制御する。
【００１９】制御装置１２の演算器で認識可能な範囲の
位置ずれは、位置検出信号ｆに基づいて制御装置１２に
よって認識され、この制御装置１２からの位置補正信号
ｇがサーボドライバ１３に出力されることによって補正
される。
位置ずれは、位置検出信号ｆに基づいて制御装置１２に
よって認識され、この制御装置１２からの位置補正信号
ｇがサーボドライバ１３に出力されることによって補正
される。
【００２０】上記実施の形態によれば、タコジェネレー
トエンコーダ１４から検出された位置検出信号ｄ（Ａsi
n 波１９Ａ、Ｂsin 波１９Ｂ）がＡ／Ｄ変換器１７にて
デジタル信号化され、波形整形回路１６にてオフセット
量及び位置ずれ量が補正されて波形整形されるので、ア
ナログロック回路１５は、この波形整形された位置検出
信号ｄ（Ａsin 波１９Ａ、Ｂsin 波１９Ｂ）を用いてサ
ーボモータ１１の位置ずれを修正するための正確な位置
補正信号ｅを出力することができる。このように、アナ
ログロック回路１５へ入力される位置検出信号ｄが、波
形整形回路１６によって波形整形処理されるので、この
アナログロック回路１５によるサーボモータ１１が停止
状態にあるときの停止位置の修正を厳密且つ高分解能で
実施できる。
トエンコーダ１４から検出された位置検出信号ｄ（Ａsi
n 波１９Ａ、Ｂsin 波１９Ｂ）がＡ／Ｄ変換器１７にて
デジタル信号化され、波形整形回路１６にてオフセット
量及び位置ずれ量が補正されて波形整形されるので、ア
ナログロック回路１５は、この波形整形された位置検出
信号ｄ（Ａsin 波１９Ａ、Ｂsin 波１９Ｂ）を用いてサ
ーボモータ１１の位置ずれを修正するための正確な位置
補正信号ｅを出力することができる。このように、アナ
ログロック回路１５へ入力される位置検出信号ｄが、波
形整形回路１６によって波形整形処理されるので、この
アナログロック回路１５によるサーボモータ１１が停止
状態にあるときの停止位置の修正を厳密且つ高分解能で
実施できる。
【００２１】尚、上記実施の形態において、タコジェネ
レートエンコーダ１４とアナログロック回路１５との間
に波形整形回路１６を設けた例で説明したが、波形整形
処理を制御装置１２の有する演算器を用いて行なわせる
ようにしても良い。即ち、タコジェネレートエンコーダ
１４から出力された位置検出信号ｄをＡ／Ｄ変換器１７
にてデジタル信号化し、このデジタル信号化された位置
検出信号ｄを制御装置１２の演算器を用いて波形整形処
理し、そして波形整形処理された位置検出信号ｄをＤ／
Ａ変換器１８にてアナログ信号化した後、アナログロッ
ク回路１５に入力するようにしても良い。
レートエンコーダ１４とアナログロック回路１５との間
に波形整形回路１６を設けた例で説明したが、波形整形
処理を制御装置１２の有する演算器を用いて行なわせる
ようにしても良い。即ち、タコジェネレートエンコーダ
１４から出力された位置検出信号ｄをＡ／Ｄ変換器１７
にてデジタル信号化し、このデジタル信号化された位置
検出信号ｄを制御装置１２の演算器を用いて波形整形処
理し、そして波形整形処理された位置検出信号ｄをＤ／
Ａ変換器１８にてアナログ信号化した後、アナログロッ
ク回路１５に入力するようにしても良い。
【００２２】また、アナログロック回路１５、波形整形
回路１６、Ａ／Ｄ変換器１７、Ｄ／Ａ変換器１８を全て
制御装置１２内に取り込み、制御装置１２内において波
形整形処理、及びアナログロック処理を行なうようにし
ても良い。
回路１６、Ａ／Ｄ変換器１７、Ｄ／Ａ変換器１８を全て
制御装置１２内に取り込み、制御装置１２内において波
形整形処理、及びアナログロック処理を行なうようにし
ても良い。
【００２３】また、上記実施の形態においてアナログロ
ック回路１５は、サーボモータ１１が停止状態にあると
きの停止位置を認識し、この停止位置が制御装置１２に
て指令された所定の停止位置に対してずれを生じたとき
にこのずれを修正する位置補正信号ｅを出力する例で説
明したが、サーボモータ１１が回転状態にあるときの時
系列的な位置を認識し、この位置が制御装置１２の指令
に基づく位置に対してずれを生じているときに、そのず
れを修正する補正信号を出力するようにしても良い。こ
の場合、サーボモータ１１を制御装置１２の駆動指令に
対して正確に追従させることができる。
ック回路１５は、サーボモータ１１が停止状態にあると
きの停止位置を認識し、この停止位置が制御装置１２に
て指令された所定の停止位置に対してずれを生じたとき
にこのずれを修正する位置補正信号ｅを出力する例で説
明したが、サーボモータ１１が回転状態にあるときの時
系列的な位置を認識し、この位置が制御装置１２の指令
に基づく位置に対してずれを生じているときに、そのず
れを修正する補正信号を出力するようにしても良い。こ
の場合、サーボモータ１１を制御装置１２の駆動指令に
対して正確に追従させることができる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るモータ制御
装置によればモータの位置を厳密且つ高分解能に制御で
きる。
装置によればモータの位置を厳密且つ高分解能に制御で
きる。
【図１】図１は、本発明に係るモータ制御装置の一つの
実施の形態が適用されたサーボモータ制御装置を示すブ
ロック図である。
実施の形態が適用されたサーボモータ制御装置を示すブ
ロック図である。
【図２】図２は、図１のタコジェネレートエンコーダか
ら出力されたアナログ信号（Ａsin 波及びＢsin 波）の
波形を示すグラフである。
ら出力されたアナログ信号（Ａsin 波及びＢsin 波）の
波形を示すグラフである。
【図３】図３は、従来のサーボモータ制御装置を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
１０ サーボモータ制御装置 １１ サーボモータ １２ 制御装置 １３ サーボドライバ １４ タコジェネレートエンコーダ １５ アナログロック回路（位置修正手段） １６ 波形整形回路 １７ Ａ／Ｄ変換器 １８ Ｄ／Ａ変換器 １９Ａ Ａsin 波 １９Ｂ Ｂsin 波 ｄ 位置検出信号 ｅ 位置補正信号
Claims (2)
- 【請求項１】 モータと、このモータを駆動させるドラ
イバと、前記ドライバを介して前記モータに駆動指令を
出力する制御装置と、 前記モータに接続され前記モータの位置を検出する検出
器と、 この検出器から出力される前記モータの位置検出信号を
アナログ信号として取り込み、このアナログ信号に基づ
いて前記モータの位置を認識し、 この位置が所定の位置に対してずれを生じたときにこの
ずれを修正すべく前記モータの位置を補正する補正信号
を前記ドライバに出力し前記モータの位置を修正する位
置修正手段とを有するモータ制御装置において、 前記位置修正手段に取り込まれる前記アナログ信号の波
形を整形する波形整形手段を設けたことを特徴とするモ
ータ制御装置。 - 【請求項２】 検出器から出力されるアナログ信号は、
Ａsin 波とＢsin 波とからなり、波形整形手段は、前記
Ａsin 波及び前記Ｂsin 波の原点に対する変位方向のず
れと、両波の位相ずれを修正することを特徴とする請求
項１に記載のモータ制御装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18970895A JP3594203B2 (ja) | 1995-07-04 | 1995-07-04 | モータ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18970895A JP3594203B2 (ja) | 1995-07-04 | 1995-07-04 | モータ制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0916262A true JPH0916262A (ja) | 1997-01-17 |
| JP3594203B2 JP3594203B2 (ja) | 2004-11-24 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP18970895A Expired - Fee Related JP3594203B2 (ja) | 1995-07-04 | 1995-07-04 | モータ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3594203B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6491203B2 (en) * | 1999-11-30 | 2002-12-10 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Wire bonding apparatus |
| CN113141130A (zh) * | 2020-01-02 | 2021-07-20 | 细美事有限公司 | 半导体制造装备的驱动装置及其驱动方法 |
-
1995
- 1995-07-04 JP JP18970895A patent/JP3594203B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6491203B2 (en) * | 1999-11-30 | 2002-12-10 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Wire bonding apparatus |
| CN113141130A (zh) * | 2020-01-02 | 2021-07-20 | 细美事有限公司 | 半导体制造装备的驱动装置及其驱动方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3594203B2 (ja) | 2004-11-24 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
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|
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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