JPH09162682A - 圧電共振子 - Google Patents
圧電共振子Info
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- JPH09162682A JPH09162682A JP31772795A JP31772795A JPH09162682A JP H09162682 A JPH09162682 A JP H09162682A JP 31772795 A JP31772795 A JP 31772795A JP 31772795 A JP31772795 A JP 31772795A JP H09162682 A JPH09162682 A JP H09162682A
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- piezoelectric
- base metal
- conductor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 マイグレーションの心配がなく、Ｑｍ値を小
さくすることができ、しかも製造コストが安価な圧電共
振子を得る。 【解決手段】 圧電共振子１は、圧電体基板２と振動電
極３〜５とで構成されている。振動電極３〜５は、固有
抵抗が３×１０-6Ωｃｍ以上の導電体からなる。導電体
は、安価でマイグレーションが生じにくい卑金属単体又
は卑金属を主成分とした合金が好ましい。具体的には、
卑金属はＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｐｄ等の貴金属を除いた金
属群、例えばＮｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｆｅ，Ｓｎ等で
ある。合金は、Ｎｉが７０％、Ｃｕが３０％のモネル等
である。
さくすることができ、しかも製造コストが安価な圧電共
振子を得る。 【解決手段】 圧電共振子１は、圧電体基板２と振動電
極３〜５とで構成されている。振動電極３〜５は、固有
抵抗が３×１０-6Ωｃｍ以上の導電体からなる。導電体
は、安価でマイグレーションが生じにくい卑金属単体又
は卑金属を主成分とした合金が好ましい。具体的には、
卑金属はＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｐｄ等の貴金属を除いた金
属群、例えばＮｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｆｅ，Ｓｎ等で
ある。合金は、Ｎｉが７０％、Ｃｕが３０％のモネル等
である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電共振子、特に
フィルタ回路等を構成する際に使用される圧電共振子に
関する。
フィルタ回路等を構成する際に使用される圧電共振子に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、圧電体基板の表面に振動電極
を設けた圧電共振子が知られている。そして、振動電極
の材料としては、一般に、Ａｇ，Ａｇ−Ｐｄ，Ａｕ等が
使用されている。
を設けた圧電共振子が知られている。そして、振動電極
の材料としては、一般に、Ａｇ，Ａｇ−Ｐｄ，Ａｕ等が
使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ａｇ，
Ａｇ−Ｐｄ，Ａｕ等の貴金属は高価であるため、製造コ
ストがアップするという問題があった。さらに、Ａｇの
場合は、マイグレーションの問題がある。また、フィル
タ回路の場合、圧電共振子のＱｍ（機械的品質係数）の
値が大きいと、リップルが発生したり、ＧＤＴ（群遅延
時間）が悪化する等の不具合が生じるため、他の物性を
変更しないでＱｍだけを小さくすることが要求されるこ
とがある。しかしながら、従来の圧電共振子は、振動電
極の材料として、Ａｇ，Ａｇ−Ｐｄ，Ａｕ等の固有抵抗
の低いものしか用いないため、Ｑｍ値の選択できる範囲
は狭く、上記要求に応じることができなかった。
Ａｇ−Ｐｄ，Ａｕ等の貴金属は高価であるため、製造コ
ストがアップするという問題があった。さらに、Ａｇの
場合は、マイグレーションの問題がある。また、フィル
タ回路の場合、圧電共振子のＱｍ（機械的品質係数）の
値が大きいと、リップルが発生したり、ＧＤＴ（群遅延
時間）が悪化する等の不具合が生じるため、他の物性を
変更しないでＱｍだけを小さくすることが要求されるこ
とがある。しかしながら、従来の圧電共振子は、振動電
極の材料として、Ａｇ，Ａｇ−Ｐｄ，Ａｕ等の固有抵抗
の低いものしか用いないため、Ｑｍ値の選択できる範囲
は狭く、上記要求に応じることができなかった。
【０００４】そこで、本発明の目的は、マイグレーショ
ンの心配がなく、Ｑｍ値を任意に選択することができ、
しかも製造コストが安価な圧電共振子を提供することに
ある。
ンの心配がなく、Ｑｍ値を任意に選択することができ、
しかも製造コストが安価な圧電共振子を提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
め、本発明に係る圧電共振子は、圧電体基板とこの圧電
体基板の表面に設けた振動電極とを備え、前記振動電極
が３×１０-6Ωｃｍ以上の固有抵抗を有する導電体から
なることを特徴とする。導電体は、卑金属単体又は卑金
属を主成分とした合金が好ましい。卑金属は、Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｐｔ，Ｐｄ等の貴金属を除いた金属群、例えばＮ
ｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，Ｆｅ，Ｓｎ等を意味す
る。
め、本発明に係る圧電共振子は、圧電体基板とこの圧電
体基板の表面に設けた振動電極とを備え、前記振動電極
が３×１０-6Ωｃｍ以上の固有抵抗を有する導電体から
なることを特徴とする。導電体は、卑金属単体又は卑金
属を主成分とした合金が好ましい。卑金属は、Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｐｔ，Ｐｄ等の貴金属を除いた金属群、例えばＮ
ｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，Ｆｅ，Ｓｎ等を意味す
る。
【０００６】
【作用】振動電極が３×１０-6Ωｃｍ以上の比較的高い
固有抵抗を有する導電体からなるため、Ｑｍ値が小さく
なり、選択できるＱｍ値の範囲が従来より広くなる。ま
た、振動電極の膜厚が厚くなるにつれてＱｍ値が小さく
なるという性質を利用することにより、必要なＱｍ値が
容易に得られる。そして、振動電極の材料として安価な
卑金属単体又は卑金属を主成分とした合金を用いるた
め、圧電共振子の製造コストが安価になる。
固有抵抗を有する導電体からなるため、Ｑｍ値が小さく
なり、選択できるＱｍ値の範囲が従来より広くなる。ま
た、振動電極の膜厚が厚くなるにつれてＱｍ値が小さく
なるという性質を利用することにより、必要なＱｍ値が
容易に得られる。そして、振動電極の材料として安価な
卑金属単体又は卑金属を主成分とした合金を用いるた
め、圧電共振子の製造コストが安価になる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る圧電共振子の
実施形態について添付図面を参照して説明する。 ［第１実施形態、図１〜図４］図１及び図２に示すよう
に、圧電共振子１は、圧電体基板２と、この圧電体基板
２の表裏面に設けた振動電極３，４，５とで構成されて
いる。圧電体基板２はＰＺＴ等のセラミックや水晶、Ｌ
ｉＴａＯ3等の単結晶からなる。
実施形態について添付図面を参照して説明する。 ［第１実施形態、図１〜図４］図１及び図２に示すよう
に、圧電共振子１は、圧電体基板２と、この圧電体基板
２の表裏面に設けた振動電極３，４，５とで構成されて
いる。圧電体基板２はＰＺＴ等のセラミックや水晶、Ｌ
ｉＴａＯ3等の単結晶からなる。
【０００８】振動電極３，４は圧電体基板２の表面中央
部に対向して設けられている。振動電極３の引出し部３
ａは圧電体基板２の左側端部に延在し、振動電極４の引
出し部４ａは右側端部に延在している。振動電極５は圧
電体基板２の裏面中央部に設けられている。振動電極３
〜５は、固有抵抗が３×１０-6Ωｃｍ以上の導電体から
なる。導電体は、安価でマイグレーションが生じにくい
卑金属単体又は卑金属を主成分とした合金が好ましい。
具体的には、卑金属はＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｐｄ等の貴金
属を除いた金属群、例えばＮｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔ
ｉ，Ｆｅ，Ｓｎ等である。合金は、Ｎｉが７０％、Ｃｕ
が３０％のモネル等である。モネルは耐食性に優れ、か
つ、導電性にも優れており、固有抵抗は約２０×１０-6
Ωｃｍとなる。
部に対向して設けられている。振動電極３の引出し部３
ａは圧電体基板２の左側端部に延在し、振動電極４の引
出し部４ａは右側端部に延在している。振動電極５は圧
電体基板２の裏面中央部に設けられている。振動電極３
〜５は、固有抵抗が３×１０-6Ωｃｍ以上の導電体から
なる。導電体は、安価でマイグレーションが生じにくい
卑金属単体又は卑金属を主成分とした合金が好ましい。
具体的には、卑金属はＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｐｄ等の貴金
属を除いた金属群、例えばＮｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔ
ｉ，Ｆｅ，Ｓｎ等である。合金は、Ｎｉが７０％、Ｃｕ
が３０％のモネル等である。モネルは耐食性に優れ、か
つ、導電性にも優れており、固有抵抗は約２０×１０-6
Ωｃｍとなる。
【０００９】また、振動電極３〜５は、物理気相法（以
下、ＰＶＤ法とする）により形成される。ＰＶＤ法採用
が好ましいのは、圧電共振子に与える熱ストレスが少な
いため、予め分極処理した圧電体基板上に振動電極を形
成することができ、製造工程を簡略化できるからであ
る。具体的には、導電体として単一金属を用いた場合は
真空蒸着法等の手段にて形成され、導電体として合金を
用いた場合はスパッタリング法等の手段にて形成され
る。
下、ＰＶＤ法とする）により形成される。ＰＶＤ法採用
が好ましいのは、圧電共振子に与える熱ストレスが少な
いため、予め分極処理した圧電体基板上に振動電極を形
成することができ、製造工程を簡略化できるからであ
る。具体的には、導電体として単一金属を用いた場合は
真空蒸着法等の手段にて形成され、導電体として合金を
用いた場合はスパッタリング法等の手段にて形成され
る。
【００１０】そして、Ｑｍ値は振動電極３〜５の膜厚が
厚くなるにつれて小さくなる性質を有するため、振動電
極３〜５の厚みを調整して所望のＱｍ値を容易に設定す
ることができる。以上の構造からなる圧電共振子１はエ
ネルギー閉じ込め型の圧電共振子であり、厚みすべり振
動を主振動としている。次に、図３に示すように、この
圧電共振子１の振動電極３，４の引出し部３ａ，４ａに
金属端子６，７がそれぞれ半田付けされ、振動電極５に
金属端子８が半田付けされる。次に、振動電極３〜５及
びその近傍にワックスが塗布された後、絶縁性樹脂浴に
圧電共振子１をディッピングし、この絶縁性樹脂を硬化
して外装材９を形成すると共に、ワックスを融解させて
外装材に吸収させることにより振動電極３〜５及びその
近傍に振動空間を形成する。こうして、３端子の圧電フ
ィルタが得られる。図４は、この圧電フィルタの電気等
価回路図である。
厚くなるにつれて小さくなる性質を有するため、振動電
極３〜５の厚みを調整して所望のＱｍ値を容易に設定す
ることができる。以上の構造からなる圧電共振子１はエ
ネルギー閉じ込め型の圧電共振子であり、厚みすべり振
動を主振動としている。次に、図３に示すように、この
圧電共振子１の振動電極３，４の引出し部３ａ，４ａに
金属端子６，７がそれぞれ半田付けされ、振動電極５に
金属端子８が半田付けされる。次に、振動電極３〜５及
びその近傍にワックスが塗布された後、絶縁性樹脂浴に
圧電共振子１をディッピングし、この絶縁性樹脂を硬化
して外装材９を形成すると共に、ワックスを融解させて
外装材に吸収させることにより振動電極３〜５及びその
近傍に振動空間を形成する。こうして、３端子の圧電フ
ィルタが得られる。図４は、この圧電フィルタの電気等
価回路図である。
【００１１】以上のように、振動電極３〜５は、３×１
０-6Ωｃｍ以上の比較的高い固有抵抗を有する導電体か
らなるので、Ｑｍ値を小さくすることができ、選択でき
るＱｍ値の範囲を従来より広くできる。この結果、リッ
プルやＧＤＴ改善のためにＱｍ値を小さくした圧電共振
子を製作することができる。
０-6Ωｃｍ以上の比較的高い固有抵抗を有する導電体か
らなるので、Ｑｍ値を小さくすることができ、選択でき
るＱｍ値の範囲を従来より広くできる。この結果、リッ
プルやＧＤＴ改善のためにＱｍ値を小さくした圧電共振
子を製作することができる。
【００１２】［第２実施形態、図５〜図７］図５に示す
ように、圧電共振子１１は、圧電体基板１２と、この圧
電体基板１２の表裏面に設けた振動電極１３，１４，１
５とで構成されている。振動電極１３は圧電体基板１２
の表面中央部に設けられ、振動電極１４は表面外周部に
設けられている。振動電極１５は圧電体基板１２の裏面
全面に設けられている。振動電極１３〜１５は、固有抵
抗が３×１０-6Ωｃｍ以上の導電体からなる。導電体
は、安価でマイグレーションが生じにくい卑金属単体又
は卑金属を主成分とした合金が好ましい。
ように、圧電共振子１１は、圧電体基板１２と、この圧
電体基板１２の表裏面に設けた振動電極１３，１４，１
５とで構成されている。振動電極１３は圧電体基板１２
の表面中央部に設けられ、振動電極１４は表面外周部に
設けられている。振動電極１５は圧電体基板１２の裏面
全面に設けられている。振動電極１３〜１５は、固有抵
抗が３×１０-6Ωｃｍ以上の導電体からなる。導電体
は、安価でマイグレーションが生じにくい卑金属単体又
は卑金属を主成分とした合金が好ましい。
【００１３】以上の構造からなる圧電共振子１１は面積
振動を主振動としている。この圧電共振子１１は金属端
子１６，１７，１８にて挟持される。すなわち、金属端
子１６は先端部に設けた突起１６ａが弾性的に振動電極
１３に接点接触し、金属端子１７は二つの腕部１７ａに
それぞれ設けた突起１７ｂが弾性的に振動電極１４に接
点接触し、金属端子１８は上方に凸状に湾曲した電極部
１８ａに設けた突起１８ｂが振動電極１５に接点接触し
ている。
振動を主振動としている。この圧電共振子１１は金属端
子１６，１７，１８にて挟持される。すなわち、金属端
子１６は先端部に設けた突起１６ａが弾性的に振動電極
１３に接点接触し、金属端子１７は二つの腕部１７ａに
それぞれ設けた突起１７ｂが弾性的に振動電極１４に接
点接触し、金属端子１８は上方に凸状に湾曲した電極部
１８ａに設けた突起１８ｂが振動電極１５に接点接触し
ている。
【００１４】次に、金属端子１６〜１８に挟持された状
態の圧電共振子１１は、図６に示すように、略箱形状の
ケース２０に収容された後、樹脂にて封止される。こう
して、３端子の圧電フィルタが得られる。図７はこの圧
電フィルタの電気等価回路図である。以上のように、振
動電極１３〜１５は、３×１０-6Ωｃｍ以上の比較的高
い固有抵抗を有する導電体からなるので、Ｑｍ値を小さ
くすることができ、選択できるＱｍ値の範囲を従来より
広くできる。この結果、リップルやＧＤＴ改善のために
Ｑｍ値を小さくした圧電共振子を製作することができ
る。
態の圧電共振子１１は、図６に示すように、略箱形状の
ケース２０に収容された後、樹脂にて封止される。こう
して、３端子の圧電フィルタが得られる。図７はこの圧
電フィルタの電気等価回路図である。以上のように、振
動電極１３〜１５は、３×１０-6Ωｃｍ以上の比較的高
い固有抵抗を有する導電体からなるので、Ｑｍ値を小さ
くすることができ、選択できるＱｍ値の範囲を従来より
広くできる。この結果、リップルやＧＤＴ改善のために
Ｑｍ値を小さくした圧電共振子を製作することができ
る。
【００１５】［他の実施形態］なお、本発明に係る圧電
共振子は前記実施形態に限定するものではなく、その要
旨の範囲内で種々に変更することができる。特に、圧電
共振子は３端子のものに限る必要はなく、ラダー型フィ
ルタに供される圧電共振子等であってもよい。
共振子は前記実施形態に限定するものではなく、その要
旨の範囲内で種々に変更することができる。特に、圧電
共振子は３端子のものに限る必要はなく、ラダー型フィ
ルタに供される圧電共振子等であってもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、振動電極の材料として３×１０-6Ωｃｍ以上の
固有抵抗を有する導電体を用いて振動電極の固有抵抗を
従来の振動電極と比較して高くしたので、Ｑｍ値を小さ
くすることができ、選択できるＱｍ値の範囲を従来より
広くできる。この結果、リップルやＧＤＴ改善のために
Ｑｍ値を小さくした圧電共振子を製作することができ
る。
よれば、振動電極の材料として３×１０-6Ωｃｍ以上の
固有抵抗を有する導電体を用いて振動電極の固有抵抗を
従来の振動電極と比較して高くしたので、Ｑｍ値を小さ
くすることができ、選択できるＱｍ値の範囲を従来より
広くできる。この結果、リップルやＧＤＴ改善のために
Ｑｍ値を小さくした圧電共振子を製作することができ
る。
【００１７】さらに、Ｑｍ値は振動電極の膜厚が厚くな
るにつれて小さくなる性質を有するため、振動電極の厚
みを調整して所望のＱｍ値を容易に設定することができ
る。また、導電体として、卑金属単体又は卑金属を主成
分とした合金を用いることにより、安価でマイグレーシ
ョンが生じにくく、また、耐食性に優れた材料の選定が
容易となり、製造コストが安価で信頼性の高い圧電共振
子が得られる。
るにつれて小さくなる性質を有するため、振動電極の厚
みを調整して所望のＱｍ値を容易に設定することができ
る。また、導電体として、卑金属単体又は卑金属を主成
分とした合金を用いることにより、安価でマイグレーシ
ョンが生じにくく、また、耐食性に優れた材料の選定が
容易となり、製造コストが安価で信頼性の高い圧電共振
子が得られる。
【図１】本発明に係る圧電共振子の第１実施形態を示す
斜視図。
斜視図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ断面図。
【図３】図１に示した圧電共振子を用いた圧電フィルタ
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図４】図３に示した圧電フィルタの電気等価回路図。
【図５】本発明に係る圧電共振子の第２実施形態を示す
斜視図。
斜視図。
【図６】図５に示した圧電共振子を用いた圧電フィルタ
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図７】図６に示した圧電フィルタの電気等価回路図。
１…圧電共振子 ２…圧電体基板 ３，４，５…振動電極 １１…圧電共振子 １２…圧電体基板 １３，１４，１５…振動電極
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電体基板とこの圧電体基板の表面に設
けた振動電極とを備え、前記振動電極が３×１０-6Ωｃ
ｍ以上の固有抵抗を有する導電体からなることを特徴と
する圧電共振子。 - 【請求項２】 前記導電体が卑金属単体または卑金属を
主成分とした合金であることを特徴とする請求項１記載
の圧電共振子。 - 【請求項３】 前記卑金属は、Ｎｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａ
ｌ，Ｔｉ，Ｆｅ，Ｓｎから少なくとも一つ選択されるも
のであることを特徴とする請求項１記載の圧電共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31772795A JPH09162682A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | 圧電共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31772795A JPH09162682A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | 圧電共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09162682A true JPH09162682A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18091370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31772795A Pending JPH09162682A (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09162682A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6700311B2 (en) * | 2000-02-12 | 2004-03-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric ceramic body having silver-containing internal electrodes |
-
1995
- 1995-12-06 JP JP31772795A patent/JPH09162682A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6700311B2 (en) * | 2000-02-12 | 2004-03-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric ceramic body having silver-containing internal electrodes |
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