JPH09232499A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH09232499A JPH09232499A JP8038171A JP3817196A JPH09232499A JP H09232499 A JPH09232499 A JP H09232499A JP 8038171 A JP8038171 A JP 8038171A JP 3817196 A JP3817196 A JP 3817196A JP H09232499 A JPH09232499 A JP H09232499A
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- semiconductor device
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- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3421—Leaded components
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
- H10W72/853—On the same surface
- H10W72/865—Die-attach connectors and bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体装置製造上、外部接続用アウターリー
ドはリードフレームから切断されるため、その切断面に
メッキが無く、その結果、はんだ付け時に理想的なフロ
ントフィレットの形成ができない。 【解決手段】 専用金型で切断されガルウィング状に曲
げ成形された外部接続用アウターリード2の、パッド9
に載置される載置部7には、先端の切断面2aのリード
厚を小さくするための傾斜状面が形成されている。
ドはリードフレームから切断されるため、その切断面に
メッキが無く、その結果、はんだ付け時に理想的なフロ
ントフィレットの形成ができない。 【解決手段】 専用金型で切断されガルウィング状に曲
げ成形された外部接続用アウターリード2の、パッド9
に載置される載置部7には、先端の切断面2aのリード
厚を小さくするための傾斜状面が形成されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子の入出
力信号を伝える端子として、パッケージ外部に外部接続
用アウターリードを備えた半導体装置、該半導体装置の
製造方法に関する。
力信号を伝える端子として、パッケージ外部に外部接続
用アウターリードを備えた半導体装置、該半導体装置の
製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体装置におけるパッケージ構
造としては、DIP、FP、PLCC及びセラミック・
パッケージ等の端子挿入型や面実装型が一般的に知られ
ている。これらの半導体装置の入出力信号を伝える端子
はそれぞれ、電気的特性上、独立した状態に事前にパタ
ーニングされ、半導体素子の電極端子とワイヤーボンデ
ィングにより接続され、これらは絶縁樹脂によりパッケ
ージングされている。
造としては、DIP、FP、PLCC及びセラミック・
パッケージ等の端子挿入型や面実装型が一般的に知られ
ている。これらの半導体装置の入出力信号を伝える端子
はそれぞれ、電気的特性上、独立した状態に事前にパタ
ーニングされ、半導体素子の電極端子とワイヤーボンデ
ィングにより接続され、これらは絶縁樹脂によりパッケ
ージングされている。
【0003】これらの端子は、リードと呼ばれ、パッケ
ージ内部のものをインナーリード、パッケージ外部のも
のを外部接続用アウターリードと呼んでおり、特にパッ
ケージ外部に突出した外部接続用アウターリードの形状
としては、配線回路基板のパッド面とはんだ接合する為
に、必要な長さに切断された後、ガルウィング状にフォ
ーミングされたものが知られている。そして、このよう
にフォーミングされた多数のアウターリードは配線回路
基板のパッド面とはんだ接合されている。
ージ内部のものをインナーリード、パッケージ外部のも
のを外部接続用アウターリードと呼んでおり、特にパッ
ケージ外部に突出した外部接続用アウターリードの形状
としては、配線回路基板のパッド面とはんだ接合する為
に、必要な長さに切断された後、ガルウィング状にフォ
ーミングされたものが知られている。そして、このよう
にフォーミングされた多数のアウターリードは配線回路
基板のパッド面とはんだ接合されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では各アウターリードを配線回路基板のパッド面と
はんだ接合するのが一般的である為に、配線回路基板の
パッド面と接合し易いようにアウターリードを専用金型
で切断し、曲げ形成を行っており、この時のアウターリ
ードの切断面が配線回路基板のパッド面とのはんだ接合
の際に不具合を生じている。
来例では各アウターリードを配線回路基板のパッド面と
はんだ接合するのが一般的である為に、配線回路基板の
パッド面と接合し易いようにアウターリードを専用金型
で切断し、曲げ形成を行っており、この時のアウターリ
ードの切断面が配線回路基板のパッド面とのはんだ接合
の際に不具合を生じている。
【0005】その理由は、半導体装置の製造工程におい
て、その工程を効率良くするため、リードとしては金属
製の板材にレジストを用いパターニングするか、専用金
型でパンチングする方法かによって製造したものを用
い、このような板材に半導体素子を搭載し、半導体素子
の電極端子とインナーリードの各々をワイヤーボインデ
ィング等で接続した後、絶縁樹脂でパッケージを形成す
る。次工程ではアウターリードの表面が酸化しないよう
に、しかもはんだ付けが容易な材料でメッキ処理を施
す。そして、最終工程ではリード形成用金型で切断及び
曲げ形成を行うため、アウターリードの先端の切断面は
メッキ処理の無い表面に成るからである。
て、その工程を効率良くするため、リードとしては金属
製の板材にレジストを用いパターニングするか、専用金
型でパンチングする方法かによって製造したものを用
い、このような板材に半導体素子を搭載し、半導体素子
の電極端子とインナーリードの各々をワイヤーボインデ
ィング等で接続した後、絶縁樹脂でパッケージを形成す
る。次工程ではアウターリードの表面が酸化しないよう
に、しかもはんだ付けが容易な材料でメッキ処理を施
す。そして、最終工程ではリード形成用金型で切断及び
曲げ形成を行うため、アウターリードの先端の切断面は
メッキ処理の無い表面に成るからである。
【0006】したがって、メッキの無い切断面は製造後
の放置によって酸化が進行し、この酸化がはんだ付け時
にはんだ濡れの不具合を生じていた。このはんだ濡れの
不具合は、はんだ接合部のはんだのフロントフィレット
形成の状態が悪くなり、外観検査時の良否の判別を難し
くしている。また、接合強度や環境特性の低下を来た
し、信頼性に欠けるという問題点があり、高信頼性のリ
ード接合が要求されていた。
の放置によって酸化が進行し、この酸化がはんだ付け時
にはんだ濡れの不具合を生じていた。このはんだ濡れの
不具合は、はんだ接合部のはんだのフロントフィレット
形成の状態が悪くなり、外観検査時の良否の判別を難し
くしている。また、接合強度や環境特性の低下を来た
し、信頼性に欠けるという問題点があり、高信頼性のリ
ード接合が要求されていた。
【0007】上述した従来の外部接続用アウターリード
の製造工程およびその接合状態を判り易く図示したもの
が図13乃至15である。
の製造工程およびその接合状態を判り易く図示したもの
が図13乃至15である。
【0008】図13の(a)及び(b)は、リードフレ
ーム用基板103に外部接続用アウターリード102の
形状をパターニングし、これをエッチング工程にて不要
部となるリード間開口部104を形成した時の一部分の
平面図及び断面図を示したものである。
ーム用基板103に外部接続用アウターリード102の
形状をパターニングし、これをエッチング工程にて不要
部となるリード間開口部104を形成した時の一部分の
平面図及び断面図を示したものである。
【0009】図14の(a)及び(b)は、図13に示
した工程後リードフレーム用基板103と外部接続用ア
ウターリード102の表面全面にメッキ処理を施した
後、専用の金型で外部接続用アウターリード102を規
定寸法内に切断した状態の一部分の平面図及び断面図を
示したものである。
した工程後リードフレーム用基板103と外部接続用ア
ウターリード102の表面全面にメッキ処理を施した
後、専用の金型で外部接続用アウターリード102を規
定寸法内に切断した状態の一部分の平面図及び断面図を
示したものである。
【0010】図15は、外部接続用アウターリード10
2が切断され、ガルウィング状に曲げ形成されたもの
を、配線回路基板8上に配置されたパッド109面上に
搭載し、はんだ11で接合した状態の一部分の断面図を
示したものである。
2が切断され、ガルウィング状に曲げ形成されたもの
を、配線回路基板8上に配置されたパッド109面上に
搭載し、はんだ11で接合した状態の一部分の断面図を
示したものである。
【0011】この図15の断面図から判るように、外部
接続用アウターリード102の先端部102aの切断面
のリード厚が大きい為、この切断部分の酸化の影響では
んだ111の濡れ性が悪くなり、理想的なはんだフィレ
ットが形成できず、これによってはんだ接合強度が低下
し、また外観検査時の良否の判別を難しくしている。
接続用アウターリード102の先端部102aの切断面
のリード厚が大きい為、この切断部分の酸化の影響では
んだ111の濡れ性が悪くなり、理想的なはんだフィレ
ットが形成できず、これによってはんだ接合強度が低下
し、また外観検査時の良否の判別を難しくしている。
【0012】本発明の目的は上記従来例の問題点に鑑
み、はんだ漏れ性の不具合を減少させることで、はんだ
付け強度の向上、環境特性、その他外観検査の向上等、
高信頼性のはんだ接合を図ることができる半導体装置を
提供することにある。
み、はんだ漏れ性の不具合を減少させることで、はんだ
付け強度の向上、環境特性、その他外観検査の向上等、
高信頼性のはんだ接合を図ることができる半導体装置を
提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の第1発明は、半導体素子を封止した絶縁用樹脂のパッ
ケージの外側に導出されている外部接続用アウターリー
ド、および該アウターリードを支持するリードフレーム
にメッキを施した後に、該リードフレームから前記アウ
ターリードを切断しガルウィング状に曲げ形成してなる
半導体装置において、前記アウターリードは、前記リー
ドフレームから切断した時のメッキの無い切断面を先端
に持つ、配線回路基板のパッド面に載置し易い平面的な
載置部を有し、前記アウターリードの載置部の先端の切
断面の厚さは、前記載置部の前記パッケージ側のリード
厚より小さいことを特徴とする。
の第1発明は、半導体素子を封止した絶縁用樹脂のパッ
ケージの外側に導出されている外部接続用アウターリー
ド、および該アウターリードを支持するリードフレーム
にメッキを施した後に、該リードフレームから前記アウ
ターリードを切断しガルウィング状に曲げ形成してなる
半導体装置において、前記アウターリードは、前記リー
ドフレームから切断した時のメッキの無い切断面を先端
に持つ、配線回路基板のパッド面に載置し易い平面的な
載置部を有し、前記アウターリードの載置部の先端の切
断面の厚さは、前記載置部の前記パッケージ側のリード
厚より小さいことを特徴とする。
【0014】また、前記載置部の上面あるいは下面は、
前記載置部の先端の切断面に向けて連続的にリード厚を
小さくする傾斜状面を含むことを特徴とする。
前記載置部の先端の切断面に向けて連続的にリード厚を
小さくする傾斜状面を含むことを特徴とする。
【0015】前記傾斜状面は傾斜角度が30〜60度で
あることや、前記載置部の先端の切断面の厚さが、前記
載置部の前記パッケージ側のリード厚の1/5〜2/5
であることが、理想的なフィレットを形成してはんだ接
合の信頼性を向上させる上で好ましい。
あることや、前記載置部の先端の切断面の厚さが、前記
載置部の前記パッケージ側のリード厚の1/5〜2/5
であることが、理想的なフィレットを形成してはんだ接
合の信頼性を向上させる上で好ましい。
【0016】勿論、前記傾斜状面には、はんだ材による
接合に適した材料でメッキが施されている。
接合に適した材料でメッキが施されている。
【0017】上記構成のとおりの第1発明では、半導体
装置のガルウィング状に曲げ形成された外部接続用アウ
ターリードの一部分に、配線回路基板のパッド面に載置
し易い平面的な載置部を設ける事により、アウターリー
ドと配線回線基板のパッド面との合わせが良くなり、配
線回路基板のパッド面上への半導体装置の載置が安定
し、はんだ接合状態も良くなる。
装置のガルウィング状に曲げ形成された外部接続用アウ
ターリードの一部分に、配線回路基板のパッド面に載置
し易い平面的な載置部を設ける事により、アウターリー
ドと配線回線基板のパッド面との合わせが良くなり、配
線回路基板のパッド面上への半導体装置の載置が安定
し、はんだ接合状態も良くなる。
【0018】特に外部接続用アウターリードの形成にお
いて、アウターリードの載置部と成る部分の上面あるい
は下面の一部分に、先端方向に向けて傾斜状となる傾斜
状面を形成し、この傾斜状に形成して細くなった部分を
切断してガルウィング状に曲げ形成することで、外部接
続用アウターリードのはんだ付け部となる先端の切断面
が小さくなり、曲げ形成後の外部接続用アウターリード
のはんだ接合面となる大部分が、はんだ接合に適した材
料でメッキされた状態となる。そのため、切断面の酸化
による影響も少なくはんだとの馴染みが良くなり、これ
によって、はんだ接合の不具合を生じること無く外部接
続用の各アウターリードのはんだ接合強度の向上が得ら
れると共に、はんだ接合部のはんだフィレットの形状も
奇麗に形成でき、画像及び目視による外観検査等も容易
となり、はんだ接合の信頼性の向上が図れる。
いて、アウターリードの載置部と成る部分の上面あるい
は下面の一部分に、先端方向に向けて傾斜状となる傾斜
状面を形成し、この傾斜状に形成して細くなった部分を
切断してガルウィング状に曲げ形成することで、外部接
続用アウターリードのはんだ付け部となる先端の切断面
が小さくなり、曲げ形成後の外部接続用アウターリード
のはんだ接合面となる大部分が、はんだ接合に適した材
料でメッキされた状態となる。そのため、切断面の酸化
による影響も少なくはんだとの馴染みが良くなり、これ
によって、はんだ接合の不具合を生じること無く外部接
続用の各アウターリードのはんだ接合強度の向上が得ら
れると共に、はんだ接合部のはんだフィレットの形状も
奇麗に形成でき、画像及び目視による外観検査等も容易
となり、はんだ接合の信頼性の向上が図れる。
【0019】上記目的を達成するための第2発明は、半
導体素子を封止した絶縁用樹脂のパッケージの外側に導
出されている外部接続用アウターリード、および該アウ
ターリードを支持するリードフレームにメッキを施した
後に、該リードフレームから前記アウターリードを切断
しガルウィング状に曲げ形成してなる半導体装置におい
て、前記アウターリードは、前記リードフレームから切
断した時のメッキの無い切断面を先端に持つ、配線回路
基板のパッド面に載置し易い平面的な載置部を有し、前
記アウターリードの載置部の先端は、前記パッド面から
離反する方向へ曲げ形成してなることを特徴とする。特
に、前記先端は前記パッド面から離反するように直角に
曲げられていることが好ましい。
導体素子を封止した絶縁用樹脂のパッケージの外側に導
出されている外部接続用アウターリード、および該アウ
ターリードを支持するリードフレームにメッキを施した
後に、該リードフレームから前記アウターリードを切断
しガルウィング状に曲げ形成してなる半導体装置におい
て、前記アウターリードは、前記リードフレームから切
断した時のメッキの無い切断面を先端に持つ、配線回路
基板のパッド面に載置し易い平面的な載置部を有し、前
記アウターリードの載置部の先端は、前記パッド面から
離反する方向へ曲げ形成してなることを特徴とする。特
に、前記先端は前記パッド面から離反するように直角に
曲げられていることが好ましい。
【0020】また、前記パッド面からの前記先端の高さ
は前記アウターリードのリード厚の1.5〜2.0倍で
あることが良好なはんだフィレット形成上好ましい。
は前記アウターリードのリード厚の1.5〜2.0倍で
あることが良好なはんだフィレット形成上好ましい。
【0021】勿論、前記外部接続用アウターリードの表
面のメッキは、はんだ材による接合に適した材料で施さ
れており、前記メッキの材料は、錫、金、銀、パラジュ
ウム、はんだ、若しくはニッケル等が考えられる。
面のメッキは、はんだ材による接合に適した材料で施さ
れており、前記メッキの材料は、錫、金、銀、パラジュ
ウム、はんだ、若しくはニッケル等が考えられる。
【0022】上記構成のとおりの第2発明では、外部接
続用のアウターリードの形成において、ガルウィング状
形成時に、回路配線基板のパッド面に載置し易い平面的
な載置部を有すると共に、その載置部の先端の切断面を
配線回路基板のパッド面から離反するように曲げ形成す
ることにより、はんだ付け時にフロントフィレットを形
成するはんだ接合部分がメッキされたアウターリード表
面となるので、メッキの無い切断面がフロントフィレッ
ト形成の為のはんだ接合部分に位置することが無い。そ
のため、切断面の酸化によるはんだ接合の不具合を生じ
る事がなく、各アウターリードのはんだ強度の向上が得
られると共に、はんだ接合部のはんだフィレット形状が
奇麗に形成でき、外観検査が容易となり、また、画像に
よる検査時でも安定した画像が得られ、はんだ接合の信
頼性の向上が図れる。
続用のアウターリードの形成において、ガルウィング状
形成時に、回路配線基板のパッド面に載置し易い平面的
な載置部を有すると共に、その載置部の先端の切断面を
配線回路基板のパッド面から離反するように曲げ形成す
ることにより、はんだ付け時にフロントフィレットを形
成するはんだ接合部分がメッキされたアウターリード表
面となるので、メッキの無い切断面がフロントフィレッ
ト形成の為のはんだ接合部分に位置することが無い。そ
のため、切断面の酸化によるはんだ接合の不具合を生じ
る事がなく、各アウターリードのはんだ強度の向上が得
られると共に、はんだ接合部のはんだフィレット形状が
奇麗に形成でき、外観検査が容易となり、また、画像に
よる検査時でも安定した画像が得られ、はんだ接合の信
頼性の向上が図れる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【0024】(第1の実施形態)図1は本発明の半導体
装置の第1の実施形態における外部接続用アウターリー
ドの接合状態の一部分を表す模式的斜視図である。この
図において、図示しない半導体素子からの電気信号の入
出力を伝えるためのリードとして、図示しない半導体素
子をパッケージングしている絶縁用封止樹脂1の外周に
多数の外部接続用アウターリード2が導出されている。
装置の第1の実施形態における外部接続用アウターリー
ドの接合状態の一部分を表す模式的斜視図である。この
図において、図示しない半導体素子からの電気信号の入
出力を伝えるためのリードとして、図示しない半導体素
子をパッケージングしている絶縁用封止樹脂1の外周に
多数の外部接続用アウターリード2が導出されている。
【0025】この外部接続用アウターリード2は、ソル
ダーレジスト10で処理された配線回路基板8上に配置
されたパッド9面上に搭載された後に接合される為に、
専用金型で切断されガルウィング状に成形されるが、図
1から判るように、外部接続用アウターリード2の先端
部の切断による切断面2aのリード厚は従来例よりも小
さくなっている。これにより、パッド9上のはんだ11
は図示しないアウターリード2の載置部7から先端部の
切断面2aにおいて形成された傾斜状面の表面にも濡れ
広がり、はんだ付け強度の向上が得られ、また、はんだ
のフィレット形状も奇麗にでき、画像による検査や目視
検査も容易になり、はんだ付けの信頼性の向上する。
ダーレジスト10で処理された配線回路基板8上に配置
されたパッド9面上に搭載された後に接合される為に、
専用金型で切断されガルウィング状に成形されるが、図
1から判るように、外部接続用アウターリード2の先端
部の切断による切断面2aのリード厚は従来例よりも小
さくなっている。これにより、パッド9上のはんだ11
は図示しないアウターリード2の載置部7から先端部の
切断面2aにおいて形成された傾斜状面の表面にも濡れ
広がり、はんだ付け強度の向上が得られ、また、はんだ
のフィレット形状も奇麗にでき、画像による検査や目視
検査も容易になり、はんだ付けの信頼性の向上する。
【0026】すなわち本形態における半導体装置の外部
接続用アウターリード2は、図2乃至6に示す様な方法
によって製造されたものである。
接続用アウターリード2は、図2乃至6に示す様な方法
によって製造されたものである。
【0027】図2(a)では、リードフレーム用基板3
に外部接続用アウターリード2の形状をパターニング
し、これをエッチング工程にて不要部となるリード間開
口部4を形成し、図示しない半導体素子の入出力端子部
と外部接続用アウターリード2とをワイヤーボンディン
グした後、絶縁用封止樹脂1でパッケージングしている
時の平面図を示している。図2(b)では、図2(a)
のリード間開口部4を外部接続用アウターリード2と平
行方向に切断した時の断面図を示している。
に外部接続用アウターリード2の形状をパターニング
し、これをエッチング工程にて不要部となるリード間開
口部4を形成し、図示しない半導体素子の入出力端子部
と外部接続用アウターリード2とをワイヤーボンディン
グした後、絶縁用封止樹脂1でパッケージングしている
時の平面図を示している。図2(b)では、図2(a)
のリード間開口部4を外部接続用アウターリード2と平
行方向に切断した時の断面図を示している。
【0028】図3(a)では、図2(a)に示したよう
に絶縁用封止樹脂1でパッケージングしたものを、専用
金型で外部接続用アウターリード2の先端部分の上面を
先端方向に向け傾斜状面5に形成した時の一部分の平面
図を示している。図3(b)では、図3(a)のリード
間開口部4を外部接続用アウターリード2と平行方向に
切断した時の断面図を示している。
に絶縁用封止樹脂1でパッケージングしたものを、専用
金型で外部接続用アウターリード2の先端部分の上面を
先端方向に向け傾斜状面5に形成した時の一部分の平面
図を示している。図3(b)では、図3(a)のリード
間開口部4を外部接続用アウターリード2と平行方向に
切断した時の断面図を示している。
【0029】図4(a)及び(b)では、リードフレー
ム用基板3及び外部接続用アウターリード2の表面全面
に酸化防止の為に、しかもはんだ接合に適した材料でメ
ッキ6を施した状態の平面図及び断面図を示している。
ム用基板3及び外部接続用アウターリード2の表面全面
に酸化防止の為に、しかもはんだ接合に適した材料でメ
ッキ6を施した状態の平面図及び断面図を示している。
【0030】尚、図2乃至4に示す点線A・・・・A’は外
部接続用アウターリード2を規定寸法に切断する位置を
表している。
部接続用アウターリード2を規定寸法に切断する位置を
表している。
【0031】図5では、外部接続用アウターリード2を
専用金型で前図の点線部分A・・・・A’で切断し、リード
フレーム用基板3を排除した後、外部接続用アウターリ
ード2をガルウィング状に曲げ形成してなる半導体装置
の一部分の破断図を示しており、符号7は図1に示すと
ころのパッド9との合わせが良くなるように形成してな
る外部接続用アウターリードの載置部7、符号2aは外
部接続用アウターリード2の先端の切断面を指し示して
いる。
専用金型で前図の点線部分A・・・・A’で切断し、リード
フレーム用基板3を排除した後、外部接続用アウターリ
ード2をガルウィング状に曲げ形成してなる半導体装置
の一部分の破断図を示しており、符号7は図1に示すと
ころのパッド9との合わせが良くなるように形成してな
る外部接続用アウターリードの載置部7、符号2aは外
部接続用アウターリード2の先端の切断面を指し示して
いる。
【0032】この図5の断面図から判るように、外部接
続用アウターリード2の先端部の上面に傾斜状面5を形
成して切断面2aのリード厚を小さくした上で、外部接
続用アウターリード2の表面全面にメッキ6を施してい
る。
続用アウターリード2の先端部の上面に傾斜状面5を形
成して切断面2aのリード厚を小さくした上で、外部接
続用アウターリード2の表面全面にメッキ6を施してい
る。
【0033】図6では、外部接続用アウターリード2が
切断及び曲げ形成された状態の半導体装置を、配線回路
基板8上に配置されたパッド9上に搭載し、はんだ11
で接合した状態の一部分の破断図を示している。
切断及び曲げ形成された状態の半導体装置を、配線回路
基板8上に配置されたパッド9上に搭載し、はんだ11
で接合した状態の一部分の破断図を示している。
【0034】この図6の断面図から判るように、外部接
続用アウターリード2の先端部の切断面2aのリード厚
が小さいことにより、切断面2aの酸化によるはんだ付
け時の接合不良が生じにくく、理想的なはんだフィレッ
トが形成できる。その結果、はんだ接合強度の向上が得
られると共に、画像及び目視による外観検査等も容易と
なり、はんだ接合の信頼性が向上する。
続用アウターリード2の先端部の切断面2aのリード厚
が小さいことにより、切断面2aの酸化によるはんだ付
け時の接合不良が生じにくく、理想的なはんだフィレッ
トが形成できる。その結果、はんだ接合強度の向上が得
られると共に、画像及び目視による外観検査等も容易と
なり、はんだ接合の信頼性が向上する。
【0035】なお、理想的なフィレットを形成してはん
だ接合の信頼性を向上させるためには、前記傾斜状面5
は傾斜角度が30〜60度であることや、前記載置部7
の先端の切断面の厚さが、前記載置部7の前記封止樹脂
パッケージ側のリード厚の1/5〜2/5であることが
好ましい。
だ接合の信頼性を向上させるためには、前記傾斜状面5
は傾斜角度が30〜60度であることや、前記載置部7
の先端の切断面の厚さが、前記載置部7の前記封止樹脂
パッケージ側のリード厚の1/5〜2/5であることが
好ましい。
【0036】(第2の実施形態)図7及び図8は、本発
明の半導体装置の第2の実施形態における外部接続用ア
ウターリードを説明するための図である。これらの図に
おいて、第1の実施形態と同一の構成要素については同
一符号を付してある。
明の半導体装置の第2の実施形態における外部接続用ア
ウターリードを説明するための図である。これらの図に
おいて、第1の実施形態と同一の構成要素については同
一符号を付してある。
【0037】図7(a)では、第1の実施形態での図3
の(a)及び(b)と同様にリードフレーム用基板3を
外部接続用アウターリード2をパターニング形成し、図
示しない半導体素子の入出力端子部と外部接続用アウタ
ーリード2とをワイヤーボンディングした後、絶縁用封
止樹脂1でパッケージングしたものを、専用金型で外部
接続用アウターリード2の先端部分の下面を先端方向に
向け傾斜状面15に形成したものに、図4の(a)及び
(b)の如くその表面全体にはんだ接合に適した材料で
メッキ6を施した状態を示している。
の(a)及び(b)と同様にリードフレーム用基板3を
外部接続用アウターリード2をパターニング形成し、図
示しない半導体素子の入出力端子部と外部接続用アウタ
ーリード2とをワイヤーボンディングした後、絶縁用封
止樹脂1でパッケージングしたものを、専用金型で外部
接続用アウターリード2の先端部分の下面を先端方向に
向け傾斜状面15に形成したものに、図4の(a)及び
(b)の如くその表面全体にはんだ接合に適した材料で
メッキ6を施した状態を示している。
【0038】図7の(b)では、図7(a)のリード間
開口部4を外部接続用アウターリード2と平行方向に切
断した時の断面図を示している。
開口部4を外部接続用アウターリード2と平行方向に切
断した時の断面図を示している。
【0039】尚、図7に示す点線A・・・・A’は外部接続
用アウターリード2を規定寸法に切断する位置を表して
いる。
用アウターリード2を規定寸法に切断する位置を表して
いる。
【0040】図8では、外部接続用アウターリード2が
切断及び曲げ形成された状態の半導体装置を、配線回路
基板8上に配置されたパッド9上に搭載し、はんだ11
で接合した状態の一部分の破断図を示している。
切断及び曲げ形成された状態の半導体装置を、配線回路
基板8上に配置されたパッド9上に搭載し、はんだ11
で接合した状態の一部分の破断図を示している。
【0041】この図8の断面図から判るように、本形態
では、外部接続用アウターリード2の先端部の傾斜状面
15の形成において、外部接続用アウターリード2がパ
ッド9面と接する面から先端部に向けて離反するように
形成したものであり、外部接続用アウターリード2の先
端部の切断面2bは、第1の実施形態と同様に従来例よ
り切断面のリード厚が小さく、切断面2aの酸化による
はんだ付け時の接合不良が生じにくく、理想的なはんだ
フィレットが形成できる。その結果、はんだ接合強度の
向上が得られると共に、画像及び目視による外観検査等
も容易となり、はんだ接合の信頼性が向上した。
では、外部接続用アウターリード2の先端部の傾斜状面
15の形成において、外部接続用アウターリード2がパ
ッド9面と接する面から先端部に向けて離反するように
形成したものであり、外部接続用アウターリード2の先
端部の切断面2bは、第1の実施形態と同様に従来例よ
り切断面のリード厚が小さく、切断面2aの酸化による
はんだ付け時の接合不良が生じにくく、理想的なはんだ
フィレットが形成できる。その結果、はんだ接合強度の
向上が得られると共に、画像及び目視による外観検査等
も容易となり、はんだ接合の信頼性が向上した。
【0042】なお、理想的なフィレットを形成してはん
だ接合の信頼性を向上させるためには、前記傾斜状面1
5は傾斜角度が30〜60度であることや、前記載置部
7の先端の切断面の厚さが、前記載置部7の前記パッケ
ージ側のリード厚の1/5〜2/5であることが好まし
い。
だ接合の信頼性を向上させるためには、前記傾斜状面1
5は傾斜角度が30〜60度であることや、前記載置部
7の先端の切断面の厚さが、前記載置部7の前記パッケ
ージ側のリード厚の1/5〜2/5であることが好まし
い。
【0043】(第3の実施形態)図9は、本発明の半導
体装置の第3の実施形態を表す模式的断面図である。こ
の図では、第1及び第2の実施形態と同一の構成要素に
ついては同一の符号を付してある。
体装置の第3の実施形態を表す模式的断面図である。こ
の図では、第1及び第2の実施形態と同一の構成要素に
ついては同一の符号を付してある。
【0044】図9において、半導体素子12は、絶縁用
接着剤13で電気の入出力信号を伝える為のリードのイ
ンナーリード16の部分と固定されている。多数のイン
ナーリード16は個々に分離され、各々はワイヤー14
で半導体素子の電極端子(不図示)の各々と接続されて
いる。
接着剤13で電気の入出力信号を伝える為のリードのイ
ンナーリード16の部分と固定されている。多数のイン
ナーリード16は個々に分離され、各々はワイヤー14
で半導体素子の電極端子(不図示)の各々と接続されて
いる。
【0045】上記のワイヤーボンディングされた半導体
素子12や、リードのインナーリード16の部分は絶縁
用封止樹脂1でパッケージングされており、パッケージ
ングされた絶縁用封止樹脂1の周辺にインナーリード1
6と同数の外部接続用アウターリード2が形成され、ア
ウターリード2の表面ははんだ付けし易い材料でメッキ
処理されている。
素子12や、リードのインナーリード16の部分は絶縁
用封止樹脂1でパッケージングされており、パッケージ
ングされた絶縁用封止樹脂1の周辺にインナーリード1
6と同数の外部接続用アウターリード2が形成され、ア
ウターリード2の表面ははんだ付けし易い材料でメッキ
処理されている。
【0046】次に上記の外部接続用アウターリード2に
ついて、ソルダーレジスト10で処理された配線回路基
板8のパッド9面上に搭載して接合する為、リードフレ
ームより専用の金型で切断(カット)と同時に曲げ形成
(フォーミング)が行われる。そのフォーミング形状
は、図9に示すように外部接続用アウターリード3bの
一部分に、配線回路基板8のパッド9との合わせが良く
なるように形成してなる載置部7を有し、更にそのアウ
ターリード2の最先端部に、リードフレームから切断し
た際の切断面がパッド9面上から離反するように直角に
曲げられた曲げ部17を設けた形状からなる。これによ
り、はんだ11の濡れ性が向上し、はんだ付けの信頼性
が向上した。
ついて、ソルダーレジスト10で処理された配線回路基
板8のパッド9面上に搭載して接合する為、リードフレ
ームより専用の金型で切断(カット)と同時に曲げ形成
(フォーミング)が行われる。そのフォーミング形状
は、図9に示すように外部接続用アウターリード3bの
一部分に、配線回路基板8のパッド9との合わせが良く
なるように形成してなる載置部7を有し、更にそのアウ
ターリード2の最先端部に、リードフレームから切断し
た際の切断面がパッド9面上から離反するように直角に
曲げられた曲げ部17を設けた形状からなる。これによ
り、はんだ11の濡れ性が向上し、はんだ付けの信頼性
が向上した。
【0047】すなわち、本実施形態で明らかなように、
外部接続用アウターリード2の最先端部が、配線回路基
板8のパッド9面上から切断面を離反するように直角に
曲げた曲げ部17を設けることで、外部接続用アウター
リード2のメッキされた面が常にはんだ接合される面と
して存在するので、理想的なはんだ接合を行なうことが
できる。前記パッド9面からの曲げ部17の先端の高さ
はアウターリード2のリード厚の1.5〜2.0倍であ
ることが良好なはんだフィレット形成する上で好まし
い。
外部接続用アウターリード2の最先端部が、配線回路基
板8のパッド9面上から切断面を離反するように直角に
曲げた曲げ部17を設けることで、外部接続用アウター
リード2のメッキされた面が常にはんだ接合される面と
して存在するので、理想的なはんだ接合を行なうことが
できる。前記パッド9面からの曲げ部17の先端の高さ
はアウターリード2のリード厚の1.5〜2.0倍であ
ることが良好なはんだフィレット形成する上で好まし
い。
【0048】尚、図10は本発明の外部接続用アウター
リード2の成形工程と、そのはんだ付けを示したもので
ある。この図でも第1及び第2の実施形態と同一の構成
については同一符号を付してある。
リード2の成形工程と、そのはんだ付けを示したもので
ある。この図でも第1及び第2の実施形態と同一の構成
については同一符号を付してある。
【0049】図10の(a)では、外部接続用アウター
リード2と、このアウターリード2を保持していて工程
中に金型でカットした後のリードフレーム用基板18を
示している。符号2cは切断面を指し示す。図10の
(b)では、カットされた外部接続用アウターリード2
を金型でフォーミングした状態を示している。図10の
(c)では、フォーミングされた外部接続用アウターリ
ード2を配線回路基板8のパッド9面上に搭載し、はん
だ11で接合した状態を示しており、先端部をパッド面
上から離反するように直角上方に折り曲げた外部接続用
アウターリード2を形成することで、はんだ11の濡れ
性の良いことが判る。
リード2と、このアウターリード2を保持していて工程
中に金型でカットした後のリードフレーム用基板18を
示している。符号2cは切断面を指し示す。図10の
(b)では、カットされた外部接続用アウターリード2
を金型でフォーミングした状態を示している。図10の
(c)では、フォーミングされた外部接続用アウターリ
ード2を配線回路基板8のパッド9面上に搭載し、はん
だ11で接合した状態を示しており、先端部をパッド面
上から離反するように直角上方に折り曲げた外部接続用
アウターリード2を形成することで、はんだ11の濡れ
性の良いことが判る。
【0050】図11の(a)及び(b)は比較例とし
て、従来の外部接続用アウターリードによるはんだ接合
の状態を示したものである。この図でも上述の形態と同
一の構成要素について同一符号を付してある。図11に
示すように、従来の外部接続用アウターリード22の先
端部の切断面22cは はんだ11の接合面に来る為、
はんだ11の濡れ性が悪く、はんだ接合強度の低下を来
たし、また接合評価時の外観検査においても判別不良を
来たす。
て、従来の外部接続用アウターリードによるはんだ接合
の状態を示したものである。この図でも上述の形態と同
一の構成要素について同一符号を付してある。図11に
示すように、従来の外部接続用アウターリード22の先
端部の切断面22cは はんだ11の接合面に来る為、
はんだ11の濡れ性が悪く、はんだ接合強度の低下を来
たし、また接合評価時の外観検査においても判別不良を
来たす。
【0051】同様に、他の従来例として、図12に示す
ような曲げ部22dによる接合方法も考えられている
が、はんだ11の濡れ性は向上するが接合評価時の外観
検査に難を来たす。
ような曲げ部22dによる接合方法も考えられている
が、はんだ11の濡れ性は向上するが接合評価時の外観
検査に難を来たす。
【0052】上記のような従来例では、接合強度や接合
評価等に問題があったが、本発明によれば本実施形態の
説明で判るように接合強度や接合評価においても優れて
いることが判る。
評価等に問題があったが、本発明によれば本実施形態の
説明で判るように接合強度や接合評価においても優れて
いることが判る。
【0053】
【発明の効果】第1発明によれば、半導体装置の外部接
続用アウターリードの形成において、アウターリード先
端部分の切断面において、この切断面のリード厚が小さ
くなるようにアウターリード先端部分に、アウターリー
ドの先端方向に向け傾斜状になる傾斜状面を形成し、こ
の傾斜状に形成して細くなったアウターリード先端部分
を切断して、ガルウィング状に曲げ形成することで、接
合面における切断面の酸化の影響が少なく、はんだの濡
れ不良を起こすことなく、はんだ付け性が向上し、はん
だ付け部のはんだフィレット形状も奇麗にでき、はんだ
接合強度向上、接合評価の容易さ等から、はんだ接合の
信頼性が向上する。
続用アウターリードの形成において、アウターリード先
端部分の切断面において、この切断面のリード厚が小さ
くなるようにアウターリード先端部分に、アウターリー
ドの先端方向に向け傾斜状になる傾斜状面を形成し、こ
の傾斜状に形成して細くなったアウターリード先端部分
を切断して、ガルウィング状に曲げ形成することで、接
合面における切断面の酸化の影響が少なく、はんだの濡
れ不良を起こすことなく、はんだ付け性が向上し、はん
だ付け部のはんだフィレット形状も奇麗にでき、はんだ
接合強度向上、接合評価の容易さ等から、はんだ接合の
信頼性が向上する。
【0054】第2発明によれば、半導体装置の外部接続
用アウターリードの成形において、アウターリードの最
先端部を、配線回路基板のパッド面から離反するように
直角に曲げ形成することで、はんだ付け時にフロントフ
ィレットを形成するはんだ接合部分がメッキされたアウ
ターリード表面となるので、はんだの濡れ性が良くな
り、その結果、はんだ付け部のはんだフィレット形状が
奇麗にでき、接合評価も容易になり、はんだ接合の信頼
性が向上する。
用アウターリードの成形において、アウターリードの最
先端部を、配線回路基板のパッド面から離反するように
直角に曲げ形成することで、はんだ付け時にフロントフ
ィレットを形成するはんだ接合部分がメッキされたアウ
ターリード表面となるので、はんだの濡れ性が良くな
り、その結果、はんだ付け部のはんだフィレット形状が
奇麗にでき、接合評価も容易になり、はんだ接合の信頼
性が向上する。
【図1】本発明の半導体装置の第1の実施形態における
外部接続用アウターリードの接合状態の一部分を表す模
式的斜視図である。
外部接続用アウターリードの接合状態の一部分を表す模
式的斜視図である。
【図2】本発明の半導体装置の第1の実施形態における
外部接続用アウターリードの形成工程を説明するための
図である。
外部接続用アウターリードの形成工程を説明するための
図である。
【図3】本発明の半導体装置の第1の実施形態における
外部接続用アウターリードの形成工程を説明するための
図である。
外部接続用アウターリードの形成工程を説明するための
図である。
【図4】本発明の半導体装置の第1の実施形態における
外部接続用アウターリードの形成工程を説明するための
図である。
外部接続用アウターリードの形成工程を説明するための
図である。
【図5】本発明の半導体装置の第1の実施形態における
外部接続用アウターリードの切断面を示す破断図であ
る。
外部接続用アウターリードの切断面を示す破断図であ
る。
【図6】本発明の半導体装置の第1の実施形態における
外部接続用アウターリードの接合状態を示す破断図であ
る。
外部接続用アウターリードの接合状態を示す破断図であ
る。
【図7】本発明の半導体装置の第2の実施形態における
外部接続用アウターリードの形成工程を説明するための
図である。
外部接続用アウターリードの形成工程を説明するための
図である。
【図8】本発明の半導体装置の第2の実施形態における
外部接続用アウターリードの接合状態を示す破断図であ
る。
外部接続用アウターリードの接合状態を示す破断図であ
る。
【図9】本発明の半導体装置の第3の実施形態を表す模
式的断面図である。
式的断面図である。
【図10】本発明の半導体装置の第3の実施形態におけ
る外部接続用アウターリードの成形工程と、そのはんだ
付け状態を示した図である。
る外部接続用アウターリードの成形工程と、そのはんだ
付け状態を示した図である。
【図11】本発明との比較例として、従来の外部接続用
アウターリードの一例によるはんだ接合の状態を示した
図である。
アウターリードの一例によるはんだ接合の状態を示した
図である。
【図12】本発明との比較例として、従来の外部接続用
アウターリードの他の例によるはんだ接合の状態を示し
た図である。
アウターリードの他の例によるはんだ接合の状態を示し
た図である。
【図13】従来の半導体装置における外部接続用アウタ
ーリードの製造工程の一部を判り易く説明した図であ
る。
ーリードの製造工程の一部を判り易く説明した図であ
る。
【図14】従来の半導体装置における外部接続用アウタ
ーリードの製造工程の一部を判り易く説明した図であ
る。
ーリードの製造工程の一部を判り易く説明した図であ
る。
【図15】従来の半導体装置における外部接続用アウタ
ーリードの接合状態を判り易く説明した図である。
ーリードの接合状態を判り易く説明した図である。
1 絶縁用封止樹脂 2、22 外部接続用アウターリード 2a、2b、2c、22c 切断面 3、18 リードフレーム用基板 4 リード間開口部 5、15 傾斜状面 6 メッキ 7 外部接続用アウターリードの載置部 8 配線回路基板 9 パッド 10 ソルダーレジスト 11 はんだ 12 半導体素子 13 絶縁用接着剤 14 ワイヤー 16 インナーリード 17、22d 外部接続用アウターリード先端の曲げ
部
部
Claims (11)
- 【請求項1】 半導体素子を封止した絶縁用樹脂のパッ
ケージの外側に導出されている外部接続用アウターリー
ド、および該アウターリードを支持するリードフレーム
にメッキを施した後に、該リードフレームから前記アウ
ターリードを切断しガルウィング状に曲げ形成してなる
半導体装置において、 前記アウターリードは、前記リードフレームから切断し
た時のメッキの無い切断面を先端に持つ、配線回路基板
のパッド面に載置し易い平面的な載置部を有し、 前記アウターリードの載置部の先端の切断面の厚さは、
前記載置部の前記パッケージ側のリード厚より小さいこ
とを特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 前記載置部の上面は、前記載置部の先端
の切断面に向けて連続的にリード厚を小さくする傾斜状
面を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装
置。 - 【請求項3】 前記載置部の下面は、前記載置部の先端
の切断面に向けて連続的にリード厚を小さくする傾斜状
面を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装
置。 - 【請求項4】 前記傾斜状面は、傾斜角度が30〜60
度であることを特徴とする請求項2又は3に記載の半導
体装置。 - 【請求項5】 前記載置部の先端の切断面の厚さが、前
記載置部の前記パッケージ側のリード厚の1/5〜2/
5であることを特徴とする請求項2又は3に記載の半導
体装置。 - 【請求項6】 前記傾斜状面には、はんだ材による接合
に適した材料でメッキが施されていることを特徴とする
請求項2又は3に記載の半導体装置。 - 【請求項7】 半導体素子を封止した絶縁用樹脂のパッ
ケージの外側に導出されている外部接続用アウターリー
ド、および該アウターリードを支持するリードフレーム
にメッキを施した後に、該リードフレームから前記アウ
ターリードを切断しガルウィング状に曲げ形成してなる
半導体装置において、 前記アウターリードは、前記リードフレームから切断し
た時のメッキの無い切断面を先端に持つ、配線回路基板
のパッド面に載置し易い平面的な載置部を有し、 前記アウターリードの載置部の先端は、前記パッド面か
ら離反する方向へ曲げ形成してなることを特徴とする請
求項1に記載の半導体装置。 - 【請求項8】 前記先端は前記パッド面から離反するよ
うに直角に曲げられていることを特徴とする請求項7に
記載の半導体装置。 - 【請求項9】 前記パッド面からの前記先端の高さは、
前記アウターリードのリード厚の1.5〜2.0倍であ
ることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。 - 【請求項10】 前記外部接続用アウターリードの表面
のメッキは、はんだ材による接合に適した材料で施され
ていることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。 - 【請求項11】 前記メッキの材料は、錫、金、銀、パ
ラジュウム、はんだ、若しくはニッケルであることを特
徴とする請求項10に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8038171A JPH09232499A (ja) | 1996-02-26 | 1996-02-26 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8038171A JPH09232499A (ja) | 1996-02-26 | 1996-02-26 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09232499A true JPH09232499A (ja) | 1997-09-05 |
Family
ID=12517954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8038171A Pending JPH09232499A (ja) | 1996-02-26 | 1996-02-26 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09232499A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7757375B2 (en) | 2006-03-31 | 2010-07-20 | Nec Electronics Corporation | Lead cutter and method of fabricating semiconductor device |
| JP2012195538A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-11 | Ricoh Co Ltd | フレキシブル配線部材、アクチュエータ、液体吐出ヘッド、画像形成装置 |
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| JP2015060844A (ja) * | 2013-09-17 | 2015-03-30 | セイコーインスツル株式会社 | リード端子付き電気化学セル |
| JP2017022258A (ja) * | 2015-07-10 | 2017-01-26 | 株式会社東芝 | 半導体パッケージ |
| NL2020940A (en) * | 2017-05-19 | 2018-11-23 | Shindengen Electric Mfg | Electronic module, lead frame and manufacturing method for electronic module |
| CN114097309A (zh) * | 2019-07-10 | 2022-02-25 | 住友电工印刷电路株式会社 | 柔性印刷配线板、电池配线模块及柔性印刷配线板的制造方法 |
| CN115117006A (zh) * | 2021-03-22 | 2022-09-27 | 株式会社东芝 | 半导体装置 |
-
1996
- 1996-02-26 JP JP8038171A patent/JPH09232499A/ja active Pending
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