JPH09237740A - 誘電体ユニットの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】誘電体ユニットを大きな誘電体基板から複数個
同時に製造し、品質がよく、かつ量産性に優れた誘電体
ユニットの製造方法を提供することにある。 【解決手段】誘電体ユニットの製造方法は、板状の誘電
体基板を準備し、誘電体基板の一方主面に複数の電極を
形成し、誘電体基板の電極形成面にシートを貼着し、誘
電体基板を電極を有する誘電体ユニットにそれぞれ分割
し、誘電体ユニットの他方主面を研磨し、誘電体ユニッ
トを前記シートから分離して誘電体ユニットを得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、可変コンデンサ等
に用いられる誘電体ユニットの製造方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の誘電体ユニットの製造方
法について、図３を参照して説明する。誘電体のセラミ
ック粉末を原料として、セラミックス粉末を成形して成
形体を準備するか、誘電体のセラミックグリーンシート
を所定の大きさに切り抜いて成形体を準備し、この成形
体を１個ずつ並べて焼成用の匣に詰めて、焼成炉で焼成
し、板状の誘電体素体６を得る。

【０００３】次に、誘電体素体６をその一方主面６ａの
平面度をよくするために、一方主面６ａまたは両主面を
ラップ盤を用いて平面研磨する。この際、図示していな
いが、複数の貫通孔を有するキャリアの貫通孔にそれぞ
れ誘電体素体６を挿入して研磨する。

【０００４】このようにして得られた一方主面６ａが研
磨されて面精度がよい誘電体素体６を、１個ずつその他
方主面にＡｇを主成分とする固定電極７を印刷、乾燥、
焼付けて誘電体ユニット１を得る。なお、複数の誘電体
素体６を同時に印刷する場合は、誘電体素体６を整列さ
せる整列治具に装填して固定電極７を印刷し、乾燥およ
び焼付けを経て誘電体ユニット１を得ることもある。

【０００５】この誘電体ユニット１が用いられる可変コ
ンデンサについて、図４を参照して説明する。可変コン
デンサは、誘電体ユニット１、金属ロータ２、ステータ
端子３、ロータ端子４、ケース５からなる。

【０００６】誘電体ユニット１はセラミックからなる板
状の誘電体素体６の一方主面６ａが金属ロータ２に接触
され、他方主面に固定電極７が形成されている。

【０００７】金属ロータ２は上面に調整用回転工具が係
止できる係止溝８を備え、下面は誘電体ユニット１の固
定電極７に誘電体素体６を介して対向するように一部が
突出したロータ電極９と凹部１０とからなり、凹部１０
にはロータ電極９と同じ高さに突出した突出部１１を備
えている。

【０００８】ステータ端子３はその一端１２が弾性的に
固定電極７に接触して電気的に導通されるもので、他端
１３がケース５の外部に導出されて外部端子になる。ロ
ータ端子４はその一端１４が弾性的に金属ロータ２の上
面に接触して電気的に導通されるもので、他端１５がケ
ース５の外部に導出されて外部端子になる。ケース５は
樹脂等の絶縁体からなり、誘電体ユニット１及び金属ロ
ータ２を収納する内部空間を有しているとともに、ロー
タ端子４を保持するものである。ケース５にはステータ
端子３が例えばインサート成型されて保持されている。

【０００９】ケース５の内部空間に誘電体ユニット１の
固定電極７を下側にして収納し、次に金属ロータ２のロ
ータ電極９を下側にして収納し、さらにロータ端子４を
収納して、ケース５の開口部５ａをかしめ等によって閉
じて保持する。つまり、ケース５はその内部空間に誘電
体ユニット１に対して金属ロータ２を回転可能に保持す
る。この際、ステータ端子３はその一端１２が固定電極
７と弾性的に接触して電気的に導通され、ロータ端子４
はその一端１４が弾性的に金属ロータ２の上面に接触し
て電気的に導通される。

【００１０】かかる構成の可変コンデンサは、金属ロー
タ２が回転工具によって回転されると誘電体素体６を介
して固定電極７に対向するロータ電極９の対向面積が変
化し、固定電極７とロータ電極９との間に発生する静電
容量が変化する。この静電容量はステータ端子３および
ロータ端子４を介して導出される。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
製造方法の誘電体ユニット１は、誘電体素体６を単体で
成形するために、成形コストが高くなるとともに、焼成
する際に、誘電体素体６を焼結用匣に一個ずつ並べる必
要があり、匣詰めコストが高くなるという問題点を有し
ていた。

【００１２】さらに、焼成された誘電体素体６の少なく
とも一方主面を平面研磨する際、誘電体素体６を一個ず
つ並べる必要があるために、誘電体素体６の研磨コスト
が高くなるという問題点を有していた。

【００１３】さらにまた、誘電体素体６の他方主面に固
定電極７を形成する際、誘電体素体６を一個ずつ扱う必
要があるとともに、複数個同時に固定電極７を印刷する
と誘電体素体６に対して固定電極７の位置がずれる等の
問題点を有していた。

【００１４】本発明の目的は、上述の問題点を解消すべ
くなされたもので、誘電体ユニットを大きな誘電体基板
から複数個同時に製造し、品質がよく、かつ量産性に優
れた誘電体ユニットの製造方法を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の誘電体ユニットの製造方法においては、板
状の誘電体基板を準備する工程と、前記誘電体基板の一
方主面に複数の電極を形成する工程と、前記誘電体基板
の電極形成面にシートを貼着する工程と、前記誘電体基
板を前記電極を有する誘電体ユニットにそれぞれ分割す
る工程と、前記誘電体ユニットの他方主面を研磨する工
程と、前記誘電体ユニットを前記シートから分離する工
程とを備える。

【００１６】特に、前記誘電体ユニットを研磨する工程
では、表面粗さを５μｍ以下に研磨することが好まし
い。

【００１７】これにより、誘電体ユニットの電極の形成
および研磨が大量にかつ容易にできるとともに、静電容
量が一定の品質がよい誘電体ユニットを製造することが
できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明による一つの実施の形態に
ついて、図１にもとづいて詳細に説明する。図１（ａ）
に示された大きな板状の誘電体基板２１は、例えば誘電
体のセラミック粉末から成形、焼成して得る。なお、誘
電体基板２１は、所定の大きさの誘電体のセラミックグ
リーンシートを焼成して得ることもできる。

【００１９】次に、図１（ｂ）に示すように、誘電体基
板２１の一方主面に例えばＡｇを主成分とする帯状の電
極２２を互いに平行に複数形成する。電極２２は、図１
（ｄ）に示すように後の工程で得られる、誘電体基板２
１を切断して得られる誘電体ユニット２４の固定電極２
６、２７になるもので、例えば、ペースト状の電極成分
を印刷、焼付けすることによって形成されたり、電極材
料をターゲットにしてスパッタリングによって形成され
る。

【００２０】次に、図１（ｃ）に示すように、誘電体基
板２１の電極２２の形成面にシート２３を貼る。シート
２３が貼られた状態の誘電体基板２１を、電極２２が形
成されていない他方主面２１ａ側から、互いに直交する
方向の一点鎖線Ｘ，Ｙに沿って、ダイシングまたはレー
ザ光線等によって小さな誘電体の個片、つまり誘電体ユ
ニット２４に切断する。なお、誘電体基板２１は、図２
に示すように、分離するようにその厚み方向に切断す
る。この際、シート２３は、その厚み方向の一部は切断
されるが、シート２３が分離しないようにその厚みすべ
てを切断しない。したがって、シート２３は分離せずに
一枚の状態に保たれ、シート２３に複数に分割された誘
電体ユニット２４が接着している。

【００２１】シート２３に複数の誘電体ユニット２４が
付着した状態で誘電体ユニット２４の他方主面２４ａを
ラップ盤等を用いて研磨し、表面粗さの精度をよくす
る。なお、誘電体ユニット２４を可変コンデンサに用い
るには、静電容量の大きさおよび安定性等の面から、他
方主面２４ａの表面粗さは５μｍ以下が好ましい。

【００２２】誘電体ユニット２４の他方主面２４ａを研
磨した後、誘電体ユニット２４をシート２３から分離す
る。このようにして、図１（ｄ）に示す誘電体ユニット
２４を得る。なお、シート２３には、接着力を有する熱
発泡剥離シートまたはＵＶ硬化剥離シート等が用いら
れ、誘電体ユニット２４の加工後は、シート２３を加熱
またはＵＶ照射することによって、シート２３の接着力
を弱くして、シート２３から誘電体ユニット２４を容易
に分離することができる。

【００２３】誘電体ユニット２４は、一方主面の両端部
に電極２２が分割されて形成された略対称状の固定電極
２６、２７を備え、個片に分割された誘電体ユニット２
４の他方主面２４ａは研磨されて面精度がよい。

【００２４】なお、誘電体ユニット２４が可変コンデン
サに用いられる際、固定電極２６、２７は、その一方が
固定電極として機能し、他方が固定電極として機能しな
いダミーとなるもので、組み込みの際における誘電体ユ
ニット２４の長手方向の方向性を無くすために２か所に
設けているものである。したがって、組み込みの際にお
ける誘電体ユニット２４の方向性を問わない場合は、誘
電体ユニット２４の固定電極２６、２７のいずれか一方
がなくてもよい。

【００２５】かかる誘電体ユニット２４を、図４に示し
た可変コンデンサの誘電体ユニット１に代えて用いるこ
とによって、可変コンデンサを得ることができる。つま
り、この実施例の誘電体ユニット２４をその固定電極２
６、２７を下側にしてケース５に収納する。その他につ
いては前述の従来例と同様の工程になり、詳細な説明を
省略する。

【００２６】なお、誘電体ユニット２４の外形が従来例
の誘電体ユニット１の外形と異なるが、誘電体ユニット
２４の外形は金属ロータ２の回転に伴う共回りを避ける
ための形状であればよく、この実施例では外形が四角形
状である誘電体ユニット２４にケース５の内部空間の形
状を合わせればよい。

【００２７】

【発明の効果】以上述べたように、本発明による誘電体
ユニットの製造方法では、大きな誘電体基板を一単位と
した状態で成形、匣詰め、焼成をするために、取り扱い
が容易になる。さらに、焼成された誘電体基板の一方主
面に電極を形成する際も、大きな誘電体基板に複数同時
に電極を形成することができるとともに、誘電体ユニッ
トに対する電極の位置ずれが減少する。

【００２８】さらにまた、誘電体ユニットの他方主面を
平面研磨する際も、複数の誘電体ユニットをシートに貼
着した状態であるから、多数の誘電体ユニットをシート
単位で、容易に取り扱うことができるとともに、平面研
磨する研磨面はそれぞれの誘電体ユニットが独立の状態
であるため、研磨する面積がそれぞれ小さく表面粗さの
精度を容易によくすることができる。

【００２９】上述の通り、可変コンデンサに用いる場
合、静電容量に対する品質がよい誘電体ユニットを能率
よく製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る誘電体ユニットの製造方法の一つ
の実施の形態を示す工程図である。

【図２】図１（ｃ）のＡ面における断面図である。

【図３】従来の誘電体ユニットの斜視図である。

【図４】従来の可変コンデンサの断面図である。

【符号の説明】

２１ 誘電体基板 ２２，２６，２７ 電極 ２３ シート ２４ 誘電体ユニット ２４ａ 他方主面

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状の誘電体基板を準備する工程と、 前記誘電体基板の一方主面に複数の電極を形成する工程
   と、 前記誘電体基板の電極形成面にシートを貼着する工程
   と、 前記誘電体基板を前記電極を有する誘電体ユニットにそ
   れぞれ分割する工程と、 前記誘電体ユニットの他方主面を研磨する工程と、 前記誘電体ユニットを前記シートから分離する工程と、
   を備えたことを特徴とする誘電体ユニットの製造方法。
2. 【請求項２】 前記誘電体ユニットを研磨する工程は、
   表面粗さを５μｍ以下に研磨する工程であることを特徴
   とする請求項１に記載の誘電体ユニットの製造方法。