JPH09240776A - ディスク保持装置 - Google Patents
ディスク保持装置Info
- Publication number
- JPH09240776A JPH09240776A JP4601796A JP4601796A JPH09240776A JP H09240776 A JPH09240776 A JP H09240776A JP 4601796 A JP4601796 A JP 4601796A JP 4601796 A JP4601796 A JP 4601796A JP H09240776 A JPH09240776 A JP H09240776A
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- Japan
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- disk
- holding device
- shaped
- disc
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ディスクと棒状治具との接触面積がきわめて
小さく、しかもディスクを安定して保持することが可能
なディスク保持装置を提供する。 【解決手段】 このディスク保装置は、枠体５内に４本
の棒状治具６，７を水平に配設してなる。棒状治具６，
７は、それぞれ薄板状のものであり、長手辺の一方に多
数の凹所（Ｖノッチ）６ａ、７ａを備えている。各棒状
治具６，７の長手方向の両端に脚片部６ｂ、７ｂが設け
られており、これらの脚片部６ｂ、７ｂがボルト１１に
よって長手アングル９，１０に固定されている。
小さく、しかもディスクを安定して保持することが可能
なディスク保持装置を提供する。 【解決手段】 このディスク保装置は、枠体５内に４本
の棒状治具６，７を水平に配設してなる。棒状治具６，
７は、それぞれ薄板状のものであり、長手辺の一方に多
数の凹所（Ｖノッチ）６ａ、７ａを備えている。各棒状
治具６，７の長手方向の両端に脚片部６ｂ、７ｂが設け
られており、これらの脚片部６ｂ、７ｂがボルト１１に
よって長手アングル９，１０に固定されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、円板状のディス
ク、例えば磁気ディスク等を保持する保持装置に関す
る。
ク、例えば磁気ディスク等を保持する保持装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスクはディスク状基板、例えば
アルミニウム合金基板上にＮｉ−Ｐメッキ処理を施した
後、その表面にテキスチヤ加工した後、洗浄処理し、次
いで下地層、磁性層、保護層を順次成膜し、さらに潤滑
剤を塗布することにより得られる。上記の各工程への移
送は通常ディスク状基板を保持具へ収納して移送してい
る。
アルミニウム合金基板上にＮｉ−Ｐメッキ処理を施した
後、その表面にテキスチヤ加工した後、洗浄処理し、次
いで下地層、磁性層、保護層を順次成膜し、さらに潤滑
剤を塗布することにより得られる。上記の各工程への移
送は通常ディスク状基板を保持具へ収納して移送してい
る。
【０００３】このようなディスク保持装置として、特開
平７−１９３１１９号公報の図１には、第９図のように
多数のＶ溝１を有した棒状治具２を３本、ディスク３を
両横と真下から支えるように配置したものが記載されて
いる。また、同号公報の図１３には、第１０図のように
この棒状治具２をディスク３の左斜め下側及び右斜め下
側に配置し、ディスク３の中心の鉛直下方をオープンス
ペースとしたディスク保持装置が記載されている。この
ようにディスク３の中心の鉛直下方をオープンスペース
としておくと、ディスク３を下方から押上げ治具によっ
て突き上げることができ、ディスクを保持装置から取り
出し易くなる。
平７−１９３１１９号公報の図１には、第９図のように
多数のＶ溝１を有した棒状治具２を３本、ディスク３を
両横と真下から支えるように配置したものが記載されて
いる。また、同号公報の図１３には、第１０図のように
この棒状治具２をディスク３の左斜め下側及び右斜め下
側に配置し、ディスク３の中心の鉛直下方をオープンス
ペースとしたディスク保持装置が記載されている。この
ようにディスク３の中心の鉛直下方をオープンスペース
としておくと、ディスク３を下方から押上げ治具によっ
て突き上げることができ、ディスクを保持装置から取り
出し易くなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の保持装置で
はディスクの外周部と棒状治具２の溝１との接触面積が
大きく、例えば、テキスチャ加工後のディスク基板を洗
浄処理する際、ディスク外周部と溝との接触部での洗浄
が不十分となる問題があった。
はディスクの外周部と棒状治具２の溝１との接触面積が
大きく、例えば、テキスチャ加工後のディスク基板を洗
浄処理する際、ディスク外周部と溝との接触部での洗浄
が不十分となる問題があった。
【０００５】本発明は、ディスクと棒状治具との接触面
積がきわめて小さく、しかもディスクを安定して保持す
ることが可能なディスク保持装置を提供することを目的
とする。
積がきわめて小さく、しかもディスクを安定して保持す
ることが可能なディスク保持装置を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１のディスク保持
装置は、長手方向を水平にして配置された複数本のディ
スク支承用の棒状治具を備え、各棒状治具にはディスク
の周縁部が係合する凹所が該棒状治具の長手方向に間隔
をおいて複数設けられており、該棒状治具は該ディスク
の鉛直下方部以外の箇所に配置されているディスク保持
装置において、該棒状治具は薄板状であって且つその長
手辺の一方に前記凹所が設けられていることを特徴とす
るものである。
装置は、長手方向を水平にして配置された複数本のディ
スク支承用の棒状治具を備え、各棒状治具にはディスク
の周縁部が係合する凹所が該棒状治具の長手方向に間隔
をおいて複数設けられており、該棒状治具は該ディスク
の鉛直下方部以外の箇所に配置されているディスク保持
装置において、該棒状治具は薄板状であって且つその長
手辺の一方に前記凹所が設けられていることを特徴とす
るものである。
【０００７】かかる本発明のディスク保持装置にあって
は、棒状治具が薄板状であり、この薄板の側辺部に形成
された凹所にディスクが係合保持されるため、ディスク
と棒状治具との接触面積がきわめて小さなものとなる。
は、棒状治具が薄板状であり、この薄板の側辺部に形成
された凹所にディスクが係合保持されるため、ディスク
と棒状治具との接触面積がきわめて小さなものとなる。
【０００８】請求項２のディスク保持装置は、請求項１
において、前記棒状治具は、ディスクの中心を通る鉛直
線を挟んで両側に２本ずつ配置されていることを特徴と
するものである。
において、前記棒状治具は、ディスクの中心を通る鉛直
線を挟んで両側に２本ずつ配置されていることを特徴と
するものである。
【０００９】かかるディスク保持装置にあっては、ディ
スクが４点で支持されるため、ディスクがきわめて安定
して保持されるようになる。また、ディスクの中心の鉛
直下方がオープンとなり、水溜りによるしみの発生が抑
制できるほか、ディスクを下方から治具で押し上げるこ
とも可能である。
スクが４点で支持されるため、ディスクがきわめて安定
して保持されるようになる。また、ディスクの中心の鉛
直下方がオープンとなり、水溜りによるしみの発生が抑
制できるほか、ディスクを下方から治具で押し上げるこ
とも可能である。
【００１０】
【発明の実施の形態】第１〜４図は本発明の第１の実施
の形態を示すものであり、第１図は斜視図、第２図は第
１図のII−II線に沿う断面図、第３，４図は棒状治具の
構成図である。
の形態を示すものであり、第１図は斜視図、第２図は第
１図のII−II線に沿う断面図、第３，４図は棒状治具の
構成図である。
【００１１】このディスク保持装置は、枠体５内に４本
の棒状治具６，７を水平に配設してなる。この枠体５
は、１対の短手アングル８，８間に２対の長手アングル
９，９、１０，１０を架け渡した構成のものであり、平
面視形状が長方形の枠状となっている。なお、長手アン
グル９は長手アングル１０よりも外側且つ上位に配置さ
れている。
の棒状治具６，７を水平に配設してなる。この枠体５
は、１対の短手アングル８，８間に２対の長手アングル
９，９、１０，１０を架け渡した構成のものであり、平
面視形状が長方形の枠状となっている。なお、長手アン
グル９は長手アングル１０よりも外側且つ上位に配置さ
れている。
【００１２】この長手アングル９に棒状治具６が取り付
けられ、長手アングル１０に棒状治具７が取り付けられ
ている。
けられ、長手アングル１０に棒状治具７が取り付けられ
ている。
【００１３】棒状治具６，７は、それぞれ薄板状のもの
であり、長手辺の一方に多数の凹所（Ｖノッチ）６ａ、
７ａを備えている。各棒状治具６，７の長手方向の両端
に脚片部６ｂ、７ｂが設けられており、これらの脚片部
６ｂ、７ｂがボルト１１によって長手アングル９，１０
に固定されている。
であり、長手辺の一方に多数の凹所（Ｖノッチ）６ａ、
７ａを備えている。各棒状治具６，７の長手方向の両端
に脚片部６ｂ、７ｂが設けられており、これらの脚片部
６ｂ、７ｂがボルト１１によって長手アングル９，１０
に固定されている。
【００１４】棒状治具６，７の本体部分６ｃ、７ｃはそ
れぞれ枠体５の中央側に向って上り勾配となるように傾
斜している。この本体部分６ｃ，７ｃの長手辺のうち上
位側の辺に凹所としてのＶノッチ６ａ，７ａが治具６，
７の長手方向に一定間隔で設けられている。第２図に明
示の通り、棒状治具６の本体部分６ｃの方が棒状治具７
の本体部分７ｃよりも傾斜が緩やかなものとなってい
る。
れぞれ枠体５の中央側に向って上り勾配となるように傾
斜している。この本体部分６ｃ，７ｃの長手辺のうち上
位側の辺に凹所としてのＶノッチ６ａ，７ａが治具６，
７の長手方向に一定間隔で設けられている。第２図に明
示の通り、棒状治具６の本体部分６ｃの方が棒状治具７
の本体部分７ｃよりも傾斜が緩やかなものとなってい
る。
【００１５】この実施の形態ではＶノッチ６ａ、７ａの
開き角度は１２０°となっている。また、第２図のよう
に、左側の棒状治具６、７の内縁を結ぶ直線Ｌ1 と右側
の棒状治具６、７の内縁を結ぶ直線Ｌ2 との交叉角度θ
1 は５５°となっている。
開き角度は１２０°となっている。また、第２図のよう
に、左側の棒状治具６、７の内縁を結ぶ直線Ｌ1 と右側
の棒状治具６、７の内縁を結ぶ直線Ｌ2 との交叉角度θ
1 は５５°となっている。
【００１６】このように構成されたディスク保持装置に
対し、第２図のようにディスク３をＶノッチ６ａ、７ａ
に係止して立てるようにして保持させる。
対し、第２図のようにディスク３をＶノッチ６ａ、７ａ
に係止して立てるようにして保持させる。
【００１７】このディスク保持装置にあっては、棒状治
具６、７が薄板状であり、この薄板の側辺部に形成され
たＶノッチ６ａ、７ａにディスク３が係合保持されるた
め、ディスク３と棒状治具６、７との接触面積がきわめ
て小さなものとなる。
具６、７が薄板状であり、この薄板の側辺部に形成され
たＶノッチ６ａ、７ａにディスク３が係合保持されるた
め、ディスク３と棒状治具６、７との接触面積がきわめ
て小さなものとなる。
【００１８】また、この実施の形態のディスク保持装置
にあっては、第２図のようにディスク３が４点で支持さ
れるため、ディスク３がきわめて安定して保持されるよ
うになる。さらに、第２図の通り、水槽から引き上げた
際に最も水の残りやすいディスク３の中心の鉛直下方が
オープンであるため水じみによるエラーが低減されるほ
か、ディスク３を下方から治具で押し上げることも可能
である。
にあっては、第２図のようにディスク３が４点で支持さ
れるため、ディスク３がきわめて安定して保持されるよ
うになる。さらに、第２図の通り、水槽から引き上げた
際に最も水の残りやすいディスク３の中心の鉛直下方が
オープンであるため水じみによるエラーが低減されるほ
か、ディスク３を下方から治具で押し上げることも可能
である。
【００１９】第５〜８図は本発明の第２の実施の形態に
係るディスク保持装置を示すものであり、第５図（ａ）
はディスク保持装置の側面図、第５（ｂ），（ｃ）は第
５図（ａ）のＢ及びＣ部分の斜視図、第６図はディスク
保持装置の平面図、第７図は棒状治具の構成図である。
係るディスク保持装置を示すものであり、第５図（ａ）
はディスク保持装置の側面図、第５（ｂ），（ｃ）は第
５図（ａ）のＢ及びＣ部分の斜視図、第６図はディスク
保持装置の平面図、第７図は棒状治具の構成図である。
【００２０】このディスク保持装置も、枠体１３に棒状
治具１４、１５を２本ずつ平行に設置したものであり、
各棒状治具１４、１５に凹所としてのＶノッチ１４ａ、
１５ａが多数設けられている。
治具１４、１５を２本ずつ平行に設置したものであり、
各棒状治具１４、１５に凹所としてのＶノッチ１４ａ、
１５ａが多数設けられている。
【００２１】枠体１３は、１対の側板１６、１６同士を
タイロッド１７及びナット１８で連結したものである。
側板１６の内側面にブロック１９、２０が取り付けら
れ、このブロック１９、２０に棒状治具１４、１５の脚
片部１４ｂ、１５ｂがボルト２１によって固定されてい
る。
タイロッド１７及びナット１８で連結したものである。
側板１６の内側面にブロック１９、２０が取り付けら
れ、このブロック１９、２０に棒状治具１４、１５の脚
片部１４ｂ、１５ｂがボルト２１によって固定されてい
る。
【００２２】棒状治具１４，１５は、棒状治具６、７と
同様に薄板状であり、長手方向の両端に該脚片部１４
ｂ、１５ｂが設けられている。棒状治具１４、１５の本
体部分１４ｃ、１５ｃの一方の長手辺に該Ｖノッチ１４
ａ、１５ａが連続的に一定間隔で多数設けられている。
この本体部分１４ｃ、１５ｃは枠体１３の中央に向って
上り勾配となっている。枠体中央側に配置された棒状治
具１５の本体部分１５ｃは、それよりも外側に配置され
た棒状治具１４の本体部分１４ｃよりも傾斜角度が立っ
たものとなっている。
同様に薄板状であり、長手方向の両端に該脚片部１４
ｂ、１５ｂが設けられている。棒状治具１４、１５の本
体部分１４ｃ、１５ｃの一方の長手辺に該Ｖノッチ１４
ａ、１５ａが連続的に一定間隔で多数設けられている。
この本体部分１４ｃ、１５ｃは枠体１３の中央に向って
上り勾配となっている。枠体中央側に配置された棒状治
具１５の本体部分１５ｃは、それよりも外側に配置され
た棒状治具１４の本体部分１４ｃよりも傾斜角度が立っ
たものとなっている。
【００２３】第５図（ａ）の通り、左側の棒状治具１
４、１５の内縁を結ぶ直線Ｌ3 と右側の棒状治具１４、
１５の内縁を結ぶ直線Ｌ4 との交叉角度θ2 は９０°と
なっている。また、第７図の通り、Ｖノッチ１４ａ，１
５ａの開き角度は１２０℃となっている。
４、１５の内縁を結ぶ直線Ｌ3 と右側の棒状治具１４、
１５の内縁を結ぶ直線Ｌ4 との交叉角度θ2 は９０°と
なっている。また、第７図の通り、Ｖノッチ１４ａ，１
５ａの開き角度は１２０℃となっている。
【００２４】この第２の実施の形態に係るディスク保持
装置においても、ディスク３と棒状治具１４、１５との
接触面積が小さい。また、ディスク３を４点で安定保持
できる。さらに、ディスク３の中心の鉛直下方がオープ
ンとなっており、ディスク３を下から治具で押し上げる
ことが可能である。
装置においても、ディスク３と棒状治具１４、１５との
接触面積が小さい。また、ディスク３を４点で安定保持
できる。さらに、ディスク３の中心の鉛直下方がオープ
ンとなっており、ディスク３を下から治具で押し上げる
ことが可能である。
【００２５】なお、本発明において、Ｖノッチの開き角
度は、９０〜１３０°であることが好ましい。また、上
記の交叉角度θ1 、θ2 は５０〜９０°であることが好
ましい。
度は、９０〜１３０°であることが好ましい。また、上
記の交叉角度θ1 、θ2 は５０〜９０°であることが好
ましい。
【００２６】枠体５，１３や棒状治具６，７，１４，１
５の材質としてはステンレス等の耐食性の金属や、フッ
素樹脂等の合成樹脂が好適である。
５の材質としてはステンレス等の耐食性の金属や、フッ
素樹脂等の合成樹脂が好適である。
【００２７】上記実施の形態ではディスクを４点で支持
しているが、５点以上で支持しても良い。
しているが、５点以上で支持しても良い。
【００２８】本発明では、上記実施の形態のように、Ｖ
ノッチのディスク当接面を傾斜させ、該当接面に液が溜
まりにくくするのが好ましい。
ノッチのディスク当接面を傾斜させ、該当接面に液が溜
まりにくくするのが好ましい。
【００２９】
【発明の効果】以上の通り、本発明のディスク保持装置
は、ディスクと棒状治具との接触面が小さく、ディスク
の全体を十分に洗浄できる。本発明では、ディスクを安
定して保持することも可能である。
は、ディスクと棒状治具との接触面が小さく、ディスク
の全体を十分に洗浄できる。本発明では、ディスクを安
定して保持することも可能である。
【図１】第１の実施の形態に係るディスク保持装置の斜
視図である。
視図である。
【図２】図１のII−II線に沿う断面図である。
【図３】（ａ）図は長手アングル６の正面図、（ｂ）図
は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】（ａ）図は長手アングル７の正面図、（ｂ）図
は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図５】（ａ）図は第２の実施の形態に係るディスク保
持装置の側面図、（ｂ）図及び（ｃ）図はその要部斜視
図である。
持装置の側面図、（ｂ）図及び（ｃ）図はその要部斜視
図である。
【図６】第２の実施の形態に係るディスク保持装置の平
面図である。
面図である。
【図７】（ａ）図は棒状治具１４の正面図、（ｂ）図は
その側面図である。
その側面図である。
【図８】（ａ）図は棒状治具１５の正面図、（ｂ）図は
その側面図である。
その側面図である。
【図９】従来のディスク保持装置の斜視図である。
【図１０】別の従来のディスク保持装置の側面図であ
る。
る。
２，６，７，１４，１５ 棒状治具 ３ ディスク ５，１３ 枠体 ６ａ，７ａ，１４ａ，１５ａ 凹所（Ｖノッチ）
Claims (2)
- 【請求項１】 長手方向を水平にして配置された複数本
のディスク支承用の棒状治具を備え、各棒状治具にはデ
ィスクの周縁部が係合する凹所が該棒状治具の長手方向
に間隔をおいて複数設けられており、該棒状治具は該デ
ィスクの鉛直下方部以外の箇所に配置されているディス
ク保持装置において、該棒状治具は薄板状であって且つ
その長手辺の一方に前記凹所が設けられていることを特
徴とするディスク保持装置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記棒状治具は、デ
ィスクの中心を通る鉛直線を挟んで両側に２本ずつ配置
されていることを特徴とするディスク保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4601796A JPH09240776A (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | ディスク保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4601796A JPH09240776A (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | ディスク保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09240776A true JPH09240776A (ja) | 1997-09-16 |
Family
ID=12735290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4601796A Pending JPH09240776A (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | ディスク保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09240776A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000074111A3 (en) * | 1999-05-27 | 2001-04-26 | Lam Res Corp | Apparatus and methods for drying batches of wafers |
-
1996
- 1996-03-04 JP JP4601796A patent/JPH09240776A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000074111A3 (en) * | 1999-05-27 | 2001-04-26 | Lam Res Corp | Apparatus and methods for drying batches of wafers |
| WO2000074116A3 (en) * | 1999-05-27 | 2001-06-14 | Oliver Design Inc | Apparatus and methods for drying batches of disks |
| US6430841B1 (en) | 1999-05-27 | 2002-08-13 | Lam Research Corporation | Apparatus for drying batches of wafers |
| US6446355B1 (en) | 1999-05-27 | 2002-09-10 | Lam Research Corporation | Disk drying apparatus and method |
| US6615510B2 (en) | 1999-05-27 | 2003-09-09 | Lam Research Corporation | Wafer drying apparatus and method |
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