JPH09262733A - 原盤の保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ディスク用スタンパー（原盤）を平面状に
保ちながら保持台に固定することができ、且つスタンパ
ーの凹凸情報形成部上に微小な異物を吸着させてしまう
というマグネット固定装置の問題点を解消した原盤保持
装置を提供する。 【解決手段】 表面に凹凸情報が形成された磁性体から
なる原盤を、その背面側からマグネットで保持台に保持
する装置であって、保持台に設けたマグネットの位置
を、原盤の表側の凹凸情報形成位置からずれた位置とし
たことを特徴とする原盤の保持装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光ディスク用スタンパー
等の原盤を処理する工程において原盤を保持する保持固
定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ディスク基板を射出成形により作製す
る際の型として用いられる原盤（スタンパー）は通常以
下のようにして作製される。即ち、研磨処理された清浄
かつ平坦なガラス板上に感光性樹脂を塗布した感光層
に、対物レンズで微小に絞ったレーザー光を、形成した
いプリフォーマットに対応する微細形状に基づいて照射
した後、それをアルカリ現像液を用いて現像し、感光し
た部分を除去して微細なピット及び／又はグルーブを有
する樹脂原盤を形成する。

【０００３】その樹脂原盤の表面にスパッタリング等に
より導電性のニッケル薄膜等を形成し、その後ニッケル
イオンを含む電解液中で湿式電鋳を行うことによりニッ
ケルを析出させ、次いで、樹脂原盤を有するガラス板か
らニッケル部分を剥離することにより、表面に微細な凹
凸を持ち肉厚が百ミクロンオーダーの光ディスク用スタ
ンパー（原盤）が作製される。

【０００４】ガラス板から剥離されたそのままの状態の
スタンパーは、その表面に上記工程で用いられた感光性
樹脂が残存しているため、通常該感光性樹脂をアルカリ
性洗浄液で除去することが行われる。また、このように
して作製されたスタンパーに適当な表面処理を施した
後、この表面に直接ニッケルイオン溶液から電鋳を施す
ことにより、１枚のスタンパーからこれと鏡像関係にあ
る微細形状を持つ複数枚のスタンパーを作製し、さらに
その各々を鋳型として最初のスタンパーと同一の微細形
状を持つ複数のスタンパーを作製するという、スタンパ
ー複製も行われている。

【０００５】スタンパー上に形成される微細形状すなわ
ちピット及び／又はグルーブの大きさはサブミクロンオ
ーダーと非常に微小なものであり、さらに近年の光ディ
スクの高密度化により一段と微細なパターンが要求され
ているため、上記の各工程において、スタンパー上に形
成された微細パターンに欠陥を生じさせる原因となり、
ひいてはディスクの特性を悪化させ得るスタンパー表面
の微小な塵を除去することは、光ディスクを作製する上
で極めて重要な意味を持っている。

【０００６】一方上述の諸工程の内には、その処理中に
スタンパーをその処理装置の特定部分に保持固定してお
かなければならない工程が存在する。例えば複製スタン
パー作製時の電鋳の際には、ニッケルイオンを含む電解
液中において、スタンパーにマイナスの電圧を供給する
ための先端治具にスタンパーを保持固定し、全面に一様
な厚さになるようにスタンパーを回転させるなどしなが
ら電鋳される。

【０００７】その際スタンパーはそれ自身の持つ応力に
より反った状態にならないように平面状に固定した状態
で保持されていることが必須であり、そのために適した
マグネット方式のスタンパー保持固定方法等が行われて
いる。また例えばスタンパー表面洗浄装置は、上記のよ
うに感光性樹脂の除去及びスタンパー表面の微細な塵等
の洗浄に用いられているが、具体的な洗浄方法として
は、スタンパーを回転ステージに保持固定した後、該ス
テージを回転させながら、ノズルより上記アルカリ性洗
浄液や超純水などの洗浄用液体をスタンパー表面に噴出
させることにより洗浄し、最後に該ステージを高速で回
転させてスタンパー表面の液体を振り切り乾燥により除
去することが行われている。

【０００８】このようなスタンパーを回転させる方法を
採るスタンパー表面洗浄装置を用いたスタンパー表面洗
浄法は、スタンパー表面に微小な塵や液体によるしみ等
を残しにくいという点に於いて非常に優れており、例え
ばスタンパーを液体漕に浸して超音波洗浄等の他の諸方
法による洗浄処理を行った後にも、そのまま風乾しただ
けではスタンパー表面に液体によるしみが残るが、該諸
方法による処理の後にスタンパー表面が乾燥する以前に
該スタンパー表面洗浄装置を用いて洗浄及び振り切り乾
燥を行うと、そのような液体によるしみ等が回避でき
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】一般にスタンパーの各
種処理工程において、スタンパーを平面状に保った状態
で保持固定しなければならないことがあるが、マグネッ
トによりスタンパーを裏面から吸着し保持固定する方法
は、取り付け取り外し共に簡便であり、且つ平板状のマ
グネットを用いるか乃至は平板状の取り付けステージに
マグネットを埋め込む方法を採ることによりスタンパー
を容易に安定した平面状に保つことができる点におい
て、適していると言える。

【００１０】スタンパーの保持固定方法としては、マグ
ネットを用いる方法以外にも例えば、スタンパー中心に
あけた穴を通してネジ式のジグで挟み込む方法も考えら
れるが、この場合にはネジとスタンパーとの境界部分か
らスタンパーが削られてできた微小金属片等の異物がス
タンパー表面上に付着し易く、また他にも例えば、スタ
ンパーの外周を数カ所で上下から挟み込むことにより固
定する方法も考えられるが、この場合には薄いスタンパ
ー面が歪みやすく平面状に固定することが難しくなるこ
とからスタンパーの平面性を維持しにくくなる、という
問題がある。

【００１１】これらの観点を綜合して、各種スタンパー
処理の際の、スタンパーの平面性を保ちつつ保持固定す
るための固定方法としては、スタンパーを容易に安定し
た平面状に保ちながら固定でき且つスタンパー上面すな
わち微細形状の記録面側でスタンパーとの接触部分をつ
くることのない、マグネットによるスタンパー裏面から
の固定方法が最も好ましいといえる。

【００１２】マグネットを用いるスタンパー固定方法で
は、平板ステージにスタンパーと同等のサイズの円盤型
マグネットを埋め込むか又は円盤型マグネット製の平板
ステージを用い、それにスタンパーの裏面を吸着固定さ
せることが可能であるが、スタンパーの厚さは通常百ミ
クロンのオーダーと薄いため、例えばスタンパーを振り
切り乾燥するのに必要とされる高速回転中（例えば千回
転毎分のオーダーの回転速度）においてもスタンパーを
強固に保持できる強さを持つマグネットの磁力は、スタ
ンパーの上面すなわち記録面側にまで及んでしまうこと
が避けられない。

【００１３】その結果として、清浄化された装置周囲の
環境空気や洗浄液中にやむを得ずごく微量残留して含ま
れてしまう微細な塵のうちで金属由来のものは、該スタ
ンパー固定用マグネットの磁力によりスタンパーの記録
面上に吸引吸着されて残ってしまうことにより、スタン
パー表面上に微小欠陥を生じさせてしまう場合があっ
た。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明では上記の問題点
を解決するために、光ディスク用スタンパー（原盤）の
処理工程において、スタンパーを保持固定するに際しマ
グネットを用い、且つ該マグネットを特殊の配置とする
ことにより問題を解決し得ることを見いだし本発明を完
成するに至った。

【００１５】即ち、本発明の要旨は、表面に凹凸情報が
形成された磁性体からなる原盤を、その背面側からマグ
ネットで保持台に保持する装置であって、保持台に設け
たマグネットの位置を、原盤の表側の凹凸情報形成位置
からずれた位置としたことを特徴とする原盤の保持装置
に存する。このような形状のマグネットを用いてスタン
パーを平板ステージ上に固定することにより、スタンパ
ーを安定して平面状に保ちながら平板ステージ上に保持
固定することができる。

【００１６】また、スタンパー上面すなわち記録面側に
おいてスタンパーと治具との接触等により発生する切削
屑等の微小な異物を発生させることがない。スタンパー
の情報記録部分に微小な異物を吸着させてしまうという
マグネット吸着固定法の問題点を解消することが可能、
等の優れた効果を奏する。以下、本発明の装置の一例に
つき図面を用いて具体的に説明する。

【００１７】図１は本発明の装置の一例の斜視図 図２は本発明の装置の一例の縦断面図 図３は本発明の装置の一例の縦断面図 図中１は原盤保持装置、２は保持台、３は軸、４はマグ
ネット、５は原盤、６は凹凸情報形成部、７は原盤剥離
用溝、８は貫通孔、９はマグネット移動部材、１０はバ
ネ、１１は押圧部材をそれぞれ示す。

【００１８】原盤保持装置１は通常、円盤状の保持台２
の裏面に軸３を設けた構造とされており、保持台２の表
面に原盤５を保持し、軸３により、電鋳槽や洗浄槽内で
回転し、種々の処理を行うハンドリング装置として用い
られる。本発明の原盤保持装置１においては、原盤５を
保持台２の表面に保持する方法としてマグネットを用い
ている。そしてこのマグネット４は原盤５の特定位置に
設置されていることを特徴としている。

【００１９】特定位置とは、保持台２に吸着される原盤
５の表側の凹凸情報位置からずれた位置をいい、通常は
図に示すように原盤５の表側にリング状に凹凸情報形成
部６があるので、この凹凸情報形成部６からずれた位
置、即ち、通常は凹凸情報形成部６より外側の原盤５に
相当する部分をいう。このような位置にマグネット４を
設置することにより、電鋳槽内や洗浄槽内に浮遊する微
細金属がマグネット４に吸着されても、微細金属が付着
するのは原盤５の外縁部分となり、原盤５の表側の凹凸
情報位置に微細金属が付着して凹凸情報位置に欠陥を生
じさせるようなことがない、と言う優れた効果を奏す
る。

【００２０】図にはマグネット４を複数個環状に配置し
た構造を示したが、環状（リング状）のマグネット４を
埋設した構造としても良く、その構造は任意である。ま
た、図３に示す様に、マグネット４を保持台２に設けた
穴に移動可能に嵌挿し、バネ１０で付勢された梃子状の
マグネット移動部材９を押圧部材１１で作動させる等し
て、マグネット４を保持台の表面から後退可能とするこ
とにより、原盤５に対する吸着力を弱め原盤５を取り外
すような構造とすれば、原盤５の取り外しに際し、原盤
５を不要に屈曲するようなことがなく、好ましい。

【００２１】原盤５の凹凸情報形成部６に相当する部分
の保持台２の表面を平滑面とし、原盤５の凹凸情報形成
部６に相当する部分を保持台２の表面に密着させて保持
することにより処理時における原盤５の変形が防止さ
れ、良好な電鋳や洗浄が行われる。原盤５の中心部に開
口のあるものを用いる場合には、保持台２の表面に開口
に合致するセンタリング用の突起等をもうけても良い
が、中心部に開口のない原盤５もあるので、種々の原盤
５に適用可能とするため、通常はセンタリング用の突起
は設けない。

【００２２】保持台２の表裏に貫通する貫通口８を設け
ておけば、原盤５の取り外しに便利である、この貫通口
８の裏側から棒状の治具をさし込み原盤５を押し上げて
保持台２の表面から持ち上げ、手指等によりつまんで取
り外せば良い。貫通口８を設ける場合は原盤５の凹凸情
報形成部６に相当する部分より外側に設けるのが凹凸情
報形成部６の変形防止の上から好ましい。

【００２３】また、保持台２の原盤５の外縁部に対応す
る位置に原盤剥離用溝７を設け、手指で原盤５を剥離す
るような構造も考えられる。原盤剥離用溝７を設ける場
合も原盤５の凹凸情報形成部６に相当する部分より外側
に設けるのが凹凸情報形成部６の変形防止の上から好ま
しい。

【００２４】

【発明の効果】本発明の装置は、スタンパー（原盤）を
平面状に保ちながら保持台に固定することができ、且つ
スタンパーの凹凸情報形成部上に微小な異物を吸着させ
てしまうというマグネット固定装置の問題点を解消した
原盤保持装置であり、実用上の効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の装置の一例の斜視図

【図２】 本発明の装置の一例の縦断面図

【図３】 本発明の装置の一例の縦断面図

【符号の説明】

１ 原盤保持装置 ２ 保持台 ３ 軸 ４ マグネット ５ 原盤 ６ 凹凸情報形成部 ７ 盤剥離用溝 ８ 貫通孔 ９ マグネット移動部材 １０ バネ １１ 押圧部材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面に凹凸情報が形成された磁性体から
   なる原盤を、その背面側からマグネットで保持台に保持
   する装置であって、保持台に設けたマグネットの位置
   を、原盤の表側の凹凸情報形成位置からずれた位置とし
   たことを特徴とする原盤の保持装置。
2. 【請求項２】 原盤の凹凸情報形成位置に相当する部分
   の保持台の表面を平滑面とし、原盤の凹凸情報形成位置
   に相当する部分を保持台の表面に密着させて保持するこ
   とを特徴とする請求項１に記載の原盤の保持装置。
3. 【請求項３】 原盤の凹凸情報形成位置に相当する部分
   より外側の保持台の表面に原盤剥離用溝を設けたことを
   特徴とする請求項２に記載の原盤の保持装置。
4. 【請求項４】 保持台に設けたマグネットが保持台の表
   面から後退可能とされていることを特徴とする請求項１
   乃至３のいずれかに記載の原盤の保持装置。