JPH09274103A - カラーフィルター組成物、カラー表示装置およびその製造方法 - Google Patents
カラーフィルター組成物、カラー表示装置およびその製造方法Info
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- JPH09274103A JPH09274103A JP8264096A JP8264096A JPH09274103A JP H09274103 A JPH09274103 A JP H09274103A JP 8264096 A JP8264096 A JP 8264096A JP 8264096 A JP8264096 A JP 8264096A JP H09274103 A JPH09274103 A JP H09274103A
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- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高輝度化、高コントラスト化、色再現範囲の
拡大および外光反射防止機能の向上を達成することがで
きるカラーフィルター組成物、カラー表示装置およびそ
の製造方法を提供すること。 【解決手段】 本発明に係るカラーフィルター組成物
は、可視領域の特定の光を透過する分光特性を有し、か
つ、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１５重量％以
下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍの粒子が全
粒子の７０重量％以上含有する無機金属酸化物の微粒子
から成る。このカラーフィルター組成物を用いてスクリ
ーン印刷あるいは熱転写印刷により、表示装置のパネル
内面に、カラーフィルターを形成する。
拡大および外光反射防止機能の向上を達成することがで
きるカラーフィルター組成物、カラー表示装置およびそ
の製造方法を提供すること。 【解決手段】 本発明に係るカラーフィルター組成物
は、可視領域の特定の光を透過する分光特性を有し、か
つ、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１５重量％以
下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍの粒子が全
粒子の７０重量％以上含有する無機金属酸化物の微粒子
から成る。このカラーフィルター組成物を用いてスクリ
ーン印刷あるいは熱転写印刷により、表示装置のパネル
内面に、カラーフィルターを形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
組成物、カラー表示装置およびその製造方法に関する。
組成物、カラー表示装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、真空蛍光発光装置（ＶＦＤ）、電
気蛍光発光装置（ＥＬ）、光ダイオード発光装置（ＬＥ
Ｄ）などの画像管、あるいはプラズマ表示装置（ＰＤ
Ｐ）、電界放出型表示装置（ＦＥＤ）、陰極線管（ＣＲ
Ｔ）などの映像管に代表されるカラー表示装置の高機能
化による差別化や、量産方式の見直しによるコストダウ
ンの検討が盛んである。
気蛍光発光装置（ＥＬ）、光ダイオード発光装置（ＬＥ
Ｄ）などの画像管、あるいはプラズマ表示装置（ＰＤ
Ｐ）、電界放出型表示装置（ＦＥＤ）、陰極線管（ＣＲ
Ｔ）などの映像管に代表されるカラー表示装置の高機能
化による差別化や、量産方式の見直しによるコストダウ
ンの検討が盛んである。
【０００３】テレビのブラウン管に代表されるＣＲＴ
は、電子銃より出る電子ビームが蛍光体の膜面に衝突
し、蛍光体粒子が励起され発光表示するものである。近
年のエレクトロニクスの発展に伴うＣＲＴを用いた各種
ビジュアル機器の多様化により、種々の改良および開発
が成されている。
は、電子銃より出る電子ビームが蛍光体の膜面に衝突
し、蛍光体粒子が励起され発光表示するものである。近
年のエレクトロニクスの発展に伴うＣＲＴを用いた各種
ビジュアル機器の多様化により、種々の改良および開発
が成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】たとえばＣＲＴに用い
られる蛍光体は、色純度の向上のために、蛍光体粒子に
無機顔料を被着している。しかし、被着した顔料が蛍光
体粒子に付着された状態にあって層分離した形でコート
されていないため蛍光体の発光輝度を低下させていた。
られる蛍光体は、色純度の向上のために、蛍光体粒子に
無機顔料を被着している。しかし、被着した顔料が蛍光
体粒子に付着された状態にあって層分離した形でコート
されていないため蛍光体の発光輝度を低下させていた。
【０００５】この状態を補うため、蛍光面に照射される
電子ビームの出力を上げることが考えられるが、この方
法によると、シャドウマスクの熱膨張による色ずれや蛍
光体の寿命の短命化につながるおそれがある。また、Ｎ
ｉ，Ｃｏの金属化合物の内１種以上を含有し染料と併用
するカラーフィルターが設けられたカラー表示装置も提
案されている（特開平２−４６，４０３号公報）。
電子ビームの出力を上げることが考えられるが、この方
法によると、シャドウマスクの熱膨張による色ずれや蛍
光体の寿命の短命化につながるおそれがある。また、Ｎ
ｉ，Ｃｏの金属化合物の内１種以上を含有し染料と併用
するカラーフィルターが設けられたカラー表示装置も提
案されている（特開平２−４６，４０３号公報）。
【０００６】しかしながら、染料フィルターは、耐熱性
および耐光性に欠けるため、焼成工程がとれず、合わせ
ガラス方式で使われることになる。さらに、この染料フ
ィルター方式のカラー表示装置では、屋外映像装置等の
用途には使用できない。また、フェースプレート内面に
蛍光面を有するカラーＣＲＴの製法において、ガラスか
ら成るフェースプレート内面に超微粒子顔料分散液を塗
布し、顔料層を形成した後、更に蛍光体懸濁液を塗布
し、積層形成した後に シャドーマスクを介し、一括露
光、現像でパターニング（フォトリソグラフィー）する
カラーフィルター付きＣＲＴの製法があり公知である。
および耐光性に欠けるため、焼成工程がとれず、合わせ
ガラス方式で使われることになる。さらに、この染料フ
ィルター方式のカラー表示装置では、屋外映像装置等の
用途には使用できない。また、フェースプレート内面に
蛍光面を有するカラーＣＲＴの製法において、ガラスか
ら成るフェースプレート内面に超微粒子顔料分散液を塗
布し、顔料層を形成した後、更に蛍光体懸濁液を塗布
し、積層形成した後に シャドーマスクを介し、一括露
光、現像でパターニング（フォトリソグラフィー）する
カラーフィルター付きＣＲＴの製法があり公知である。
【０００７】しかるに、このフォトリソグラフィー法
は、スループットと安定性の問題を含んでいる。すなわ
ち、ＵＶ架橋型のビヒクル（ＰＶＡ／ＡＤＣ系）はポッ
トライフがあり、暗反応による経時変化から顔料の粗大
化を招くことが避けられず、液交換頻度からの作業性の
低下や品質の安定性不良（透過率の悪化）につながって
いる。
は、スループットと安定性の問題を含んでいる。すなわ
ち、ＵＶ架橋型のビヒクル（ＰＶＡ／ＡＤＣ系）はポッ
トライフがあり、暗反応による経時変化から顔料の粗大
化を招くことが避けられず、液交換頻度からの作業性の
低下や品質の安定性不良（透過率の悪化）につながって
いる。
【０００８】また、カラーフィルターと蛍光体層との積
層塗布時の難点として、同一ビヒクル系によるダブルコ
ートのため、下塗り層（３μｍ≧カラーフィルター薄
膜）を上塗り層（１０μｍ≦蛍光体厚膜）が侵すという
課題を有する。したがって、良好な層分離塗膜が得られ
難く、品質のバラツキにつながっていた。
層塗布時の難点として、同一ビヒクル系によるダブルコ
ートのため、下塗り層（３μｍ≧カラーフィルター薄
膜）を上塗り層（１０μｍ≦蛍光体厚膜）が侵すという
課題を有する。したがって、良好な層分離塗膜が得られ
難く、品質のバラツキにつながっていた。
【０００９】また、このようなカラーフィルター付カラ
ー表示装置では、コントラストの向上のためには、カラ
ーフィルターの着色濃度を高くする必要があり、従来の
顔料分散レベルでは１μｍ以上の粗大粒子が混在し粒度
分布も広いことから、光の透過率が悪化し、高コントラ
スト化および演色範囲の拡大に限界があった。
ー表示装置では、コントラストの向上のためには、カラ
ーフィルターの着色濃度を高くする必要があり、従来の
顔料分散レベルでは１μｍ以上の粗大粒子が混在し粒度
分布も広いことから、光の透過率が悪化し、高コントラ
スト化および演色範囲の拡大に限界があった。
【００１０】本発明は、このような実状に鑑みてなさ
れ、カラー表示装置において、高輝度化、高コントラス
ト化、色再現範囲の拡大および外光反射防止機能の向上
を達成することができるカラーフィルター組成物、カラ
ー表示装置およびその製造方法を提供することを目的と
する。
れ、カラー表示装置において、高輝度化、高コントラス
ト化、色再現範囲の拡大および外光反射防止機能の向上
を達成することができるカラーフィルター組成物、カラ
ー表示装置およびその製造方法を提供することを目的と
する。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るカラーフィルター組成物は、可視領域
の特定の光を透過する分光特性を有し、かつ、粒径０．
１μｍ以上の粒子が全粒子の１５重量％以下であり、粒
径０．０１μｍ〜０．０７μｍの粒子が全粒子の７０重
量％以上含有する無機金属酸化物の微粒子から成る。
に、本発明に係るカラーフィルター組成物は、可視領域
の特定の光を透過する分光特性を有し、かつ、粒径０．
１μｍ以上の粒子が全粒子の１５重量％以下であり、粒
径０．０１μｍ〜０．０７μｍの粒子が全粒子の７０重
量％以上含有する無機金属酸化物の微粒子から成る。
【００１２】焼成後におけるカラーフィルター組成物の
光吸収領域の光透過率が２０％以下、光透過領域の光透
過率が５０％以上あることが好ましい。前記無機金属酸
化物が、酸化鉄、酸化チタン、酸化ニッケル、酸化コバ
ルト、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化クロムのうち
のいずれかを少なくとも含むことが好ましい。たとえば
赤色カラーフィルター組成物としては、Ｆｅ2 Ｏ3 を含
むことが好ましい。また、緑色カラーフィルター組成物
としては、ＴｉＯ2 ・ＮｉＯ・ＣｏＯ・ＺｎＯまたはＣ
ｏＯ・ＣｒＯ・ＴｉＯ2 ・Ａｌ2 Ｏ3 を含むことが好ま
しい。また、青色カラーフィルター組成物としては、Ｃ
ｏＯ・Ａｌ2 Ｏ3を含むことが好ましい。
光吸収領域の光透過率が２０％以下、光透過領域の光透
過率が５０％以上あることが好ましい。前記無機金属酸
化物が、酸化鉄、酸化チタン、酸化ニッケル、酸化コバ
ルト、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化クロムのうち
のいずれかを少なくとも含むことが好ましい。たとえば
赤色カラーフィルター組成物としては、Ｆｅ2 Ｏ3 を含
むことが好ましい。また、緑色カラーフィルター組成物
としては、ＴｉＯ2 ・ＮｉＯ・ＣｏＯ・ＺｎＯまたはＣ
ｏＯ・ＣｒＯ・ＴｉＯ2 ・Ａｌ2 Ｏ3 を含むことが好ま
しい。また、青色カラーフィルター組成物としては、Ｃ
ｏＯ・Ａｌ2 Ｏ3を含むことが好ましい。
【００１３】本発明の第１の観点に係るカラー表示装置
は、透明パネルと、前記透明パネルの内面側に設けら
れ、エネルギービームが照射されることにより、それぞ
れ赤色、緑色および青色の光を発する赤色蛍光体層、緑
色蛍光体層および青色蛍光体層と、いずれかの蛍光体層
と前記透明パネルとの間に設けられ、可視領域の特定の
光の波長域において高透過性を有するカラーフィルター
とを有するカラー表示装置であって、前記カラーフィル
ターが、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１５重量
％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍの粒子
が全粒子の７０重量％以上含有する無機金属酸化物の微
粒子からなることを特徴とする。
は、透明パネルと、前記透明パネルの内面側に設けら
れ、エネルギービームが照射されることにより、それぞ
れ赤色、緑色および青色の光を発する赤色蛍光体層、緑
色蛍光体層および青色蛍光体層と、いずれかの蛍光体層
と前記透明パネルとの間に設けられ、可視領域の特定の
光の波長域において高透過性を有するカラーフィルター
とを有するカラー表示装置であって、前記カラーフィル
ターが、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１５重量
％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍの粒子
が全粒子の７０重量％以上含有する無機金属酸化物の微
粒子からなることを特徴とする。
【００１４】本発明の第２の観点に係るカラー表示装置
は、透明パネルと、前記透明パネルの内面側に所定パタ
ーンで設けられ、赤色、緑色および青色の光をそれぞれ
選択的に透過させる３種類のカラーフィルターと、前記
３種類のカラーフィルターの内面側にそれぞれ設けら
れ、エネルギービームの照射により単一種類の光を発す
る単一色蛍光体層とを有するカラー表示装置であって、
前記カラーフィルターが、粒径０．１μｍ以上の粒子が
全粒子の１５重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜
０．０７μｍの粒子が全粒子の７０重量％以上含有する
無機金属酸化物の微粒子からなる。
は、透明パネルと、前記透明パネルの内面側に所定パタ
ーンで設けられ、赤色、緑色および青色の光をそれぞれ
選択的に透過させる３種類のカラーフィルターと、前記
３種類のカラーフィルターの内面側にそれぞれ設けら
れ、エネルギービームの照射により単一種類の光を発す
る単一色蛍光体層とを有するカラー表示装置であって、
前記カラーフィルターが、粒径０．１μｍ以上の粒子が
全粒子の１５重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜
０．０７μｍの粒子が全粒子の７０重量％以上含有する
無機金属酸化物の微粒子からなる。
【００１５】本発明の第１の観点に係るカラー表示装置
の製造方法は、前記カラーフィルター組成物を用いてス
クリーン印刷を行い、パネルの内面にカラーフィルター
層と蛍光体層とを形成することを特徴とする。また、こ
の製造方法では、無着色のピュアな単一色蛍光体を使用
することを特徴とする。すなわち、この製造方法は、透
明パネルの内面側に、赤色、緑色および青色の光をそれ
ぞれ選択的に透過させる３種類のカラーフィルターを所
定パターンでスクリーン印刷する工程と、前記３種類の
カラーフィルターの内面側に、それぞれ、エネルギービ
ームの照射により単一種類の光を発する単一色蛍光体層
をスクリーン印刷により形成する工程とを有し、前記カ
ラーフィルターをスクリーン印刷するための顔料ペース
ト中に、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１５重量
％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍの粒子
が全粒子の７０重量％以上含有する無機金属酸化物の微
粒子が含まれていることを特徴とする。
の製造方法は、前記カラーフィルター組成物を用いてス
クリーン印刷を行い、パネルの内面にカラーフィルター
層と蛍光体層とを形成することを特徴とする。また、こ
の製造方法では、無着色のピュアな単一色蛍光体を使用
することを特徴とする。すなわち、この製造方法は、透
明パネルの内面側に、赤色、緑色および青色の光をそれ
ぞれ選択的に透過させる３種類のカラーフィルターを所
定パターンでスクリーン印刷する工程と、前記３種類の
カラーフィルターの内面側に、それぞれ、エネルギービ
ームの照射により単一種類の光を発する単一色蛍光体層
をスクリーン印刷により形成する工程とを有し、前記カ
ラーフィルターをスクリーン印刷するための顔料ペース
ト中に、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１５重量
％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍの粒子
が全粒子の７０重量％以上含有する無機金属酸化物の微
粒子が含まれていることを特徴とする。
【００１６】本発明の第２の観点に係るカラー表示装置
の製造方法は、前記カラーフィルター組成物を用いて熱
転写印刷を行い、パネルの内面にカラーフィルター層と
蛍光体層とを同時に形成することを特徴とする。すなわ
ち、この製造方法は、熱転写用基材シートの表面に、剥
離層を形成する工程と、前記剥離層の表面に、エネルギ
ービームが照射されることにより、それぞれ赤色、緑色
および青色の光を発する赤色蛍光体層、緑色蛍光体層お
よび青色蛍光体層を形成する工程と、前記各色の蛍光体
層の表面に、それぞれ赤色、緑色および青色の光をそれ
ぞれ選択的に透過させる３種類のカラーフィルターを、
各色の蛍光体層に対応して形成する工程と、前記カラー
フィルターの表面に熱シール剤層を形成し、転写シート
を形成する工程と、前記転写シートの熱シール剤層を透
明パネルに密着させ、熱転写印刷を行い、透明パネルの
内面に、カラーフィルター付蛍光体層を形成する工程と
を有し、前記カラーフィルターを形成するための顔料ペ
ースト中に、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１５
重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍの
粒子が全粒子の７０重量％以上含有する無機金属酸化物
の微粒子が含まれている。
の製造方法は、前記カラーフィルター組成物を用いて熱
転写印刷を行い、パネルの内面にカラーフィルター層と
蛍光体層とを同時に形成することを特徴とする。すなわ
ち、この製造方法は、熱転写用基材シートの表面に、剥
離層を形成する工程と、前記剥離層の表面に、エネルギ
ービームが照射されることにより、それぞれ赤色、緑色
および青色の光を発する赤色蛍光体層、緑色蛍光体層お
よび青色蛍光体層を形成する工程と、前記各色の蛍光体
層の表面に、それぞれ赤色、緑色および青色の光をそれ
ぞれ選択的に透過させる３種類のカラーフィルターを、
各色の蛍光体層に対応して形成する工程と、前記カラー
フィルターの表面に熱シール剤層を形成し、転写シート
を形成する工程と、前記転写シートの熱シール剤層を透
明パネルに密着させ、熱転写印刷を行い、透明パネルの
内面に、カラーフィルター付蛍光体層を形成する工程と
を有し、前記カラーフィルターを形成するための顔料ペ
ースト中に、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１５
重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍの
粒子が全粒子の７０重量％以上含有する無機金属酸化物
の微粒子が含まれている。
【００１７】本発明に係るカラーフィルター組成物を用
いて、カラー表示装置のカラーフィルターを形成すれ
ば、フィルター組成物が、無機金属酸化物で構成される
ので、耐熱性に優れ、５００°Ｃ程度の熱処理工程を伴
うＣＲＴなどのカラー表示装置の製造に際しても、フィ
ルター層が劣化することはない。また、本発明では、無
機金属酸化物の微粒子でカラーフィルターを構成するの
で、得られるカラーフィルターの透過率が向上し、輝度
も向上する。そのため、カラーフィルターの着色濃度を
高めることが可能になり、高コントラスト化および演色
範囲の拡大に寄与する。
いて、カラー表示装置のカラーフィルターを形成すれ
ば、フィルター組成物が、無機金属酸化物で構成される
ので、耐熱性に優れ、５００°Ｃ程度の熱処理工程を伴
うＣＲＴなどのカラー表示装置の製造に際しても、フィ
ルター層が劣化することはない。また、本発明では、無
機金属酸化物の微粒子でカラーフィルターを構成するの
で、得られるカラーフィルターの透過率が向上し、輝度
も向上する。そのため、カラーフィルターの着色濃度を
高めることが可能になり、高コントラスト化および演色
範囲の拡大に寄与する。
【００１８】本発明において、カラーフィルターと蛍光
体層とをスクリーン印刷または熱転写印刷により形成す
ることで、カラーフィルターと蛍光体層とが良好に層分
離した積層構造が得られ、蛍光体の発光輝度が低下せ
ず、画質が向上すると共に、カラー表示装置の品質の安
定性にも寄与する。
体層とをスクリーン印刷または熱転写印刷により形成す
ることで、カラーフィルターと蛍光体層とが良好に層分
離した積層構造が得られ、蛍光体の発光輝度が低下せ
ず、画質が向上すると共に、カラー表示装置の品質の安
定性にも寄与する。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るカラーフィル
ター組成物、カラー表示装置およびその製造方法を、図
面に示す実施形態に基づき、詳細に説明する。第１実施形態 図１に示す実施形態は、カラー表示装置としてのカラー
ＣＲＴに本発明を適用したものである。
ター組成物、カラー表示装置およびその製造方法を、図
面に示す実施形態に基づき、詳細に説明する。第１実施形態 図１に示す実施形態は、カラー表示装置としてのカラー
ＣＲＴに本発明を適用したものである。
【００２０】図１に示すように、本実施形態のカラーＣ
ＲＴ１０は、内面に蛍光面が形成されたパネルガラス１
２と、このパネルガラスに接合され、ネック部内に電子
銃１６が収容されるファンネルガラス１４とを有する。
電子銃１６から発射された電子ビームは、偏向ヨークに
より偏向されて、パネルガラス１２の内面側に装着され
た色選別電極としてのアパーチャグリル２０を通して、
蛍光面に当り発光させる。
ＲＴ１０は、内面に蛍光面が形成されたパネルガラス１
２と、このパネルガラスに接合され、ネック部内に電子
銃１６が収容されるファンネルガラス１４とを有する。
電子銃１６から発射された電子ビームは、偏向ヨークに
より偏向されて、パネルガラス１２の内面側に装着され
た色選別電極としてのアパーチャグリル２０を通して、
蛍光面に当り発光させる。
【００２１】パネルガラス１２は、光透過率が高い（た
とえば透過率９０％以上）ガラスで構成され、その内面
に蛍光面が形成してある。光透過率が高いパネルガラス
としては、高透過率のガラスパネルの表面に、高透過率
のセーフティパネルを貼着したパネルガラスが用いられ
る。高透過率のパネルガラスとしては、具体的には、日
本電気板硝子社製ティントパネル（ＥＩＡＪコードＪＰ
５２０ＡＧ１１）にクリヤーのセーフティパネル（ＥＩ
ＡＪコードＪＳ５２０ＡＡ０１）を組み合わせたものを
用いることができる。
とえば透過率９０％以上）ガラスで構成され、その内面
に蛍光面が形成してある。光透過率が高いパネルガラス
としては、高透過率のガラスパネルの表面に、高透過率
のセーフティパネルを貼着したパネルガラスが用いられ
る。高透過率のパネルガラスとしては、具体的には、日
本電気板硝子社製ティントパネル（ＥＩＡＪコードＪＰ
５２０ＡＧ１１）にクリヤーのセーフティパネル（ＥＩ
ＡＪコードＪＳ５２０ＡＡ０１）を組み合わせたものを
用いることができる。
【００２２】図２に示すように、本実施形態では、パネ
ルガラス１２の内面に、黒色ストライプ（カーボンスト
ライプ）２が所定間隔で形成してあり、これらのストラ
イプ２間に、赤色（Ｒ）蛍光体層１５Ｒと、緑色（Ｇ）
蛍光体層１５Ｇと、青色蛍光体層１５Ｂとが、この順で
交互に配置してある。これら蛍光体層１５Ｒ，１５Ｇ，
１５Ｂは、たとえばアルミニウム膜（図示省略）で覆わ
れている。
ルガラス１２の内面に、黒色ストライプ（カーボンスト
ライプ）２が所定間隔で形成してあり、これらのストラ
イプ２間に、赤色（Ｒ）蛍光体層１５Ｒと、緑色（Ｇ）
蛍光体層１５Ｇと、青色蛍光体層１５Ｂとが、この順で
交互に配置してある。これら蛍光体層１５Ｒ，１５Ｇ，
１５Ｂは、たとえばアルミニウム膜（図示省略）で覆わ
れている。
【００２３】本実施形態では、各蛍光体層１５Ｒ，１５
Ｇ，１５Ｂとパネルガラス１２との間に、それぞれ対応
する色の光の波長域で透過率が高い赤色フィルター４
Ｒ、緑色フィルター４Ｇおよび青色フィルター４Ｂが装
着してある。赤色フィルター４Ｒは、無機金属酸化物と
してＦｅ2 Ｏ3 を主成分とするものであり、粒径０．１
μｍ以上の粒子が全粒子の１５重量％以下であり、粒径
０．０１μｍ〜０．０７μｍの粒子が全粒子の７０重量
％以上含有するカラーフィルター組成物で構成される。
緑色フィルター４Ｇは、無機酸化物としてＴｉＯ2 ・Ｎ
ｉＯ・ＣｏＯ・ＺｎＯ（１：１：１：１）を主成分とす
るものであり、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１
５重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍ
の粒子が全粒子の７０重量％以上含有するカラーフィル
ター組成物で構成される。青色フィルター４Ｂは、無機
酸化物としてＣｏＯ・Ａｌ2 Ｏ3 （１：１）を主成分と
するものであり、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の
１５重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μ
ｍの粒子が全粒子の７０重量％以上含有するカラーフィ
ルター組成物で構成される。
Ｇ，１５Ｂとパネルガラス１２との間に、それぞれ対応
する色の光の波長域で透過率が高い赤色フィルター４
Ｒ、緑色フィルター４Ｇおよび青色フィルター４Ｂが装
着してある。赤色フィルター４Ｒは、無機金属酸化物と
してＦｅ2 Ｏ3 を主成分とするものであり、粒径０．１
μｍ以上の粒子が全粒子の１５重量％以下であり、粒径
０．０１μｍ〜０．０７μｍの粒子が全粒子の７０重量
％以上含有するカラーフィルター組成物で構成される。
緑色フィルター４Ｇは、無機酸化物としてＴｉＯ2 ・Ｎ
ｉＯ・ＣｏＯ・ＺｎＯ（１：１：１：１）を主成分とす
るものであり、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１
５重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍ
の粒子が全粒子の７０重量％以上含有するカラーフィル
ター組成物で構成される。青色フィルター４Ｂは、無機
酸化物としてＣｏＯ・Ａｌ2 Ｏ3 （１：１）を主成分と
するものであり、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の
１５重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μ
ｍの粒子が全粒子の７０重量％以上含有するカラーフィ
ルター組成物で構成される。
【００２４】カラーフィルターの厚さは、特に限定され
ないが、たとえば０．１μｍ≦ｄ≦３．０μｍ、より好
ましくは０．５μｍ≦ｄ≦２．０μｍ程度である。膜厚
ｄが０．１μｍ未満であると、フィルターを設けたこと
によるコントラストの向上効果が望めず、また全体に均
一な膜厚のフィルターとすることが困難となり、一方、
膜厚ｄが３．０μｍを越えるものであると輝度の低下が
大きくなり、いずれも望ましくないためである。
ないが、たとえば０．１μｍ≦ｄ≦３．０μｍ、より好
ましくは０．５μｍ≦ｄ≦２．０μｍ程度である。膜厚
ｄが０．１μｍ未満であると、フィルターを設けたこと
によるコントラストの向上効果が望めず、また全体に均
一な膜厚のフィルターとすることが困難となり、一方、
膜厚ｄが３．０μｍを越えるものであると輝度の低下が
大きくなり、いずれも望ましくないためである。
【００２５】図３（Ａ）は赤色フィルター４Ｒの分光透
過率曲線であり、同図（Ｂ）は緑色フィルター４Ｇの分
光透過率曲線であり、同図（Ｃ）は青色フィルターの分
光透過率曲線である。これらのフィルターは、図３に示
すように、それぞれ光吸収領域の光透過率が２０％以
下、光透過領域の光透過率が５０％以上ある。
過率曲線であり、同図（Ｂ）は緑色フィルター４Ｇの分
光透過率曲線であり、同図（Ｃ）は青色フィルターの分
光透過率曲線である。これらのフィルターは、図３に示
すように、それぞれ光吸収領域の光透過率が２０％以
下、光透過領域の光透過率が５０％以上ある。
【００２６】本実施形態において、赤色（Ｒ）蛍光体層
１５Ｒとして、次の一般式で表されるものを使用し、上
記フィルターと組合せることが、より良好な色度、輝度
を得る上で望ましい。 Ａ：Ｂ （但し、式中ＡはＹ2 Ｏ2 Ｓ、Ｙ2 Ｏ3 またはこれらの
混合物、ＢはＥｕまたはＥｕとＳｍの混合物であり、当
該蛍光体層中のＥｕ濃度［Ｅｕ］が０．１ｍｏｌ％≦
［Ｅｕ］≦６．０ｍｏｌ％である） 具体的には、イットリウム・オキシ・サルファイドを母
体結晶とし、ユーロピウムを付加剤として含有するも
の、イットリウム・オキシドを母体結晶とし、ユーロビ
ューを付加剤として含有するもの、イットリウム・オキ
シ・サルファイドを母体結晶とし、ユーロピウムおよび
サマリウムを付加剤として含有するものなどがある。
１５Ｒとして、次の一般式で表されるものを使用し、上
記フィルターと組合せることが、より良好な色度、輝度
を得る上で望ましい。 Ａ：Ｂ （但し、式中ＡはＹ2 Ｏ2 Ｓ、Ｙ2 Ｏ3 またはこれらの
混合物、ＢはＥｕまたはＥｕとＳｍの混合物であり、当
該蛍光体層中のＥｕ濃度［Ｅｕ］が０．１ｍｏｌ％≦
［Ｅｕ］≦６．０ｍｏｌ％である） 具体的には、イットリウム・オキシ・サルファイドを母
体結晶とし、ユーロピウムを付加剤として含有するも
の、イットリウム・オキシドを母体結晶とし、ユーロビ
ューを付加剤として含有するもの、イットリウム・オキ
シ・サルファイドを母体結晶とし、ユーロピウムおよび
サマリウムを付加剤として含有するものなどがある。
【００２７】最も望ましくは、赤色蛍光体層１５Ｒとし
て、前記一般式で表わされる蛍光体層であってＥｕ濃度
［Ｅｕ］が２．８ｍｏｌ％≦［Ｅｕ］≦４．７ｍｏｌ％
のものを使用し、かつ上記赤色フィルターの膜厚ｄを
０．５μｍ≦ｄ≦２．０μｍとする。
て、前記一般式で表わされる蛍光体層であってＥｕ濃度
［Ｅｕ］が２．８ｍｏｌ％≦［Ｅｕ］≦４．７ｍｏｌ％
のものを使用し、かつ上記赤色フィルターの膜厚ｄを
０．５μｍ≦ｄ≦２．０μｍとする。
【００２８】緑色蛍光体層１５Ｇとしては、例えば母体
結晶が硫化亜鉛であり、銅、アルミニウムなどが付加剤
として含有されるものが用いられる。青色蛍光体層１５
Ｂとしては、例えば母体結晶が硫化亜鉛であり、銀など
が付加剤として含有されるものが用いられる。
結晶が硫化亜鉛であり、銅、アルミニウムなどが付加剤
として含有されるものが用いられる。青色蛍光体層１５
Ｂとしては、例えば母体結晶が硫化亜鉛であり、銀など
が付加剤として含有されるものが用いられる。
【００２９】次に、本実施形態において、パネルガラス
の内面に蛍光面を作成する方法の一例を示す。まず、非
発光性光吸収性物質としてのカーボンブラックなどで構
成される図２に示す黒色ストライプ２の形成が行なわれ
る。黒色ストライプ２の形成は、パネルガラスを洗浄
し、パネルガラス１２の内面に、感光剤およびポリビニ
ルアルコール（ＰＶＡ）などの水溶性高分子からなるフ
ォトレジストを塗布、乾燥してレジスト被膜を形成す
る。次に、マスクを用いてレジスト被膜の所定部分を露
光により硬化させる。
の内面に蛍光面を作成する方法の一例を示す。まず、非
発光性光吸収性物質としてのカーボンブラックなどで構
成される図２に示す黒色ストライプ２の形成が行なわれ
る。黒色ストライプ２の形成は、パネルガラスを洗浄
し、パネルガラス１２の内面に、感光剤およびポリビニ
ルアルコール（ＰＶＡ）などの水溶性高分子からなるフ
ォトレジストを塗布、乾燥してレジスト被膜を形成す
る。次に、マスクを用いてレジスト被膜の所定部分を露
光により硬化させる。
【００３０】次に、現像によりレジスト被膜の非露光部
分を除去し、乾燥してレジスト被膜のストライプを形成
し、次いでパネルガラス全面にカーボンブラック懸濁液
を塗布、乾燥後、反転液を塗布し、現像、乾燥してカー
ボンブラックから成る黒色ストライプ２を形成する。な
お、この黒色ストライプ２も、後述する熱転写印刷によ
りカラーフィルターおよび蛍光体層と共に同時に形成し
ても良い。
分を除去し、乾燥してレジスト被膜のストライプを形成
し、次いでパネルガラス全面にカーボンブラック懸濁液
を塗布、乾燥後、反転液を塗布し、現像、乾燥してカー
ボンブラックから成る黒色ストライプ２を形成する。な
お、この黒色ストライプ２も、後述する熱転写印刷によ
りカラーフィルターおよび蛍光体層と共に同時に形成し
ても良い。
【００３１】カラーフィルターおよび蛍光体層を熱転写
印刷でパネルガラスの内面に形成するには、まず、転写
シートを形成する。転写シートを形成するには、熱転写
用基材シートの表面に、剥離層を形成し、この剥離層の
表面に、前述した赤色、緑色および青色の光を発する赤
色蛍光体層１５Ｒ、緑色蛍光体層１５Ｇおよび青色蛍光
体層１５Ｂを所定パターンで形成する。次に、各色の蛍
光体層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの表面に、それぞれ赤
色、緑色および青色の光をそれぞれ選択的に透過させる
前述した３種類のカラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４Ｂ
を、各色の蛍光体層に対応したパターンで形成する。次
に、カラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４Ｂの表面に熱シー
ル剤層を形成し、転写シートを完成させる。
印刷でパネルガラスの内面に形成するには、まず、転写
シートを形成する。転写シートを形成するには、熱転写
用基材シートの表面に、剥離層を形成し、この剥離層の
表面に、前述した赤色、緑色および青色の光を発する赤
色蛍光体層１５Ｒ、緑色蛍光体層１５Ｇおよび青色蛍光
体層１５Ｂを所定パターンで形成する。次に、各色の蛍
光体層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの表面に、それぞれ赤
色、緑色および青色の光をそれぞれ選択的に透過させる
前述した３種類のカラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４Ｂ
を、各色の蛍光体層に対応したパターンで形成する。次
に、カラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４Ｂの表面に熱シー
ル剤層を形成し、転写シートを完成させる。
【００３２】この転写シートの熱シール剤層を透明なパ
ネルガラス１２に密着させ、熱転写印刷を行い、パネル
ガラス１２の内面に、図２に示すように、カラーフィル
ター付蛍光体層を形成する。このようにして、赤緑青三
色の蛍光体層が形成された後で、その上に、中間膜を形
成する。中間膜は、有機物膜で構成され、蛍光面を平坦
化し、後工程で金属薄膜層としてのアルミニウム薄膜層
を被着し易くする。後工程のプリベーキングおよびフリ
ットシール時のベーキング処理後には、中間膜は、ＰＶ
Ａなどと共に、アルミニウム膜を通して飛ばされる。
ネルガラス１２に密着させ、熱転写印刷を行い、パネル
ガラス１２の内面に、図２に示すように、カラーフィル
ター付蛍光体層を形成する。このようにして、赤緑青三
色の蛍光体層が形成された後で、その上に、中間膜を形
成する。中間膜は、有機物膜で構成され、蛍光面を平坦
化し、後工程で金属薄膜層としてのアルミニウム薄膜層
を被着し易くする。後工程のプリベーキングおよびフリ
ットシール時のベーキング処理後には、中間膜は、ＰＶ
Ａなどと共に、アルミニウム膜を通して飛ばされる。
【００３３】その後、金属薄膜層としてのアルミニウム
薄膜層を中間膜の上に被着する。アルミニウム薄膜層を
形成することで、表示画面の輝度を向上させ、イオン化
を防止することができる。その後、プリベイキングを行
い、アパーチャグリルをパネルガラスの内面に装着した
後、パネルガラスのシールエッジ面とファンネルガラス
のシールエッジ面とをフリットシール接合する。プリベ
ーキングは、アパーチャグリルを装着した後でも良い。
このプリベーキングおよびフリットシール時のベーキン
グ処理（熱処理）により、中間膜の成分および蛍光体ス
トライプ（蛍光体層）に含まれる有機成分を、アルミニ
ウム膜を通して、蛍光面から除去し、蛍光面の被膜を固
定化する。
薄膜層を中間膜の上に被着する。アルミニウム薄膜層を
形成することで、表示画面の輝度を向上させ、イオン化
を防止することができる。その後、プリベイキングを行
い、アパーチャグリルをパネルガラスの内面に装着した
後、パネルガラスのシールエッジ面とファンネルガラス
のシールエッジ面とをフリットシール接合する。プリベ
ーキングは、アパーチャグリルを装着した後でも良い。
このプリベーキングおよびフリットシール時のベーキン
グ処理（熱処理）により、中間膜の成分および蛍光体ス
トライプ（蛍光体層）に含まれる有機成分を、アルミニ
ウム膜を通して、蛍光面から除去し、蛍光面の被膜を固
定化する。
【００３４】本実施形態では、フィルター組成物が、無
機金属酸化物で構成されるので、耐熱性に優れ、５００
°Ｃ程度の熱処理工程を伴うＣＲＴの製造に際しても、
フィルター層が劣化することはない。また、本実施形態
では、無機金属酸化物の微粒子でカラーフィルターを構
成するので、得られるカラーフィルターの透過率が向上
し、輝度も向上する。そのため、カラーフィルターの着
色濃度を高めることが可能になり、高コントラスト化お
よび演色範囲の拡大に寄与する。
機金属酸化物で構成されるので、耐熱性に優れ、５００
°Ｃ程度の熱処理工程を伴うＣＲＴの製造に際しても、
フィルター層が劣化することはない。また、本実施形態
では、無機金属酸化物の微粒子でカラーフィルターを構
成するので、得られるカラーフィルターの透過率が向上
し、輝度も向上する。そのため、カラーフィルターの着
色濃度を高めることが可能になり、高コントラスト化お
よび演色範囲の拡大に寄与する。
【００３５】また、カラーフィルターと蛍光体層とを熱
転写印刷により形成することで、カラーフィルター４
Ｒ，４Ｇ，４Ｂと蛍光体層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂとが
良好に層分離した積層構造が得られ、蛍光体の発光輝度
が低下せず、画質が向上すると共に、ＣＲＴの品質の安
定性にも寄与する。
転写印刷により形成することで、カラーフィルター４
Ｒ，４Ｇ，４Ｂと蛍光体層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂとが
良好に層分離した積層構造が得られ、蛍光体の発光輝度
が低下せず、画質が向上すると共に、ＣＲＴの品質の安
定性にも寄与する。
【００３６】第２実施形態 次に、カラー表示装置としての電界放出型マイクロカソ
ードを利用したカラー平面表示装置に本発明を適用した
実施形態について説明する。図４に示すように、本実施
形態のカラー平面表示装置６０は、半導体基板３０の上
に行列状に配置された複数の電界放出型マイクロカソー
ド５０から走査して発射される電子ビームが、ガラス基
板などの透明パネル３２の内面に形成された蛍光面に照
射して発光させることにより、画像表示を行う表示装置
である。半導体基板３０と透明基板３２との間は、高真
空に保持される。透明パネル３２の内面に形成してある
蛍光面は、図２に示す実施形態と同様な黒色ストライプ
２およびカラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４Ｂが形成して
あるが、蛍光体層１５がＲ，Ｇ，Ｂの３種類でなく、単
一種類の光を発する単一色蛍光体層で構成してある。ま
た、カラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４Ｂおよび単一色蛍
光体層１５の形成は、スクリーン印刷を用いる点で、前
記第１実施形態と異なる。単一色蛍光体層１５として
は、特に限定されないが、たとえば青緑色に発光するＺ
ｎＯ：Ｚｎが用いられる。
ードを利用したカラー平面表示装置に本発明を適用した
実施形態について説明する。図４に示すように、本実施
形態のカラー平面表示装置６０は、半導体基板３０の上
に行列状に配置された複数の電界放出型マイクロカソー
ド５０から走査して発射される電子ビームが、ガラス基
板などの透明パネル３２の内面に形成された蛍光面に照
射して発光させることにより、画像表示を行う表示装置
である。半導体基板３０と透明基板３２との間は、高真
空に保持される。透明パネル３２の内面に形成してある
蛍光面は、図２に示す実施形態と同様な黒色ストライプ
２およびカラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４Ｂが形成して
あるが、蛍光体層１５がＲ，Ｇ，Ｂの３種類でなく、単
一種類の光を発する単一色蛍光体層で構成してある。ま
た、カラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４Ｂおよび単一色蛍
光体層１５の形成は、スクリーン印刷を用いる点で、前
記第１実施形態と異なる。単一色蛍光体層１５として
は、特に限定されないが、たとえば青緑色に発光するＺ
ｎＯ：Ｚｎが用いられる。
【００３７】次に、半導体基板３０の上にマイクロカソ
ード５０を製造するための方法の一例を次に説明する。
本実施形態では、まず、半導体基板３０の上に、絶縁層
３１およびゲート電極３５を順次成膜する。半導体基板
３０としては、たとえば単結晶シリコン基板が用いられ
る。
ード５０を製造するための方法の一例を次に説明する。
本実施形態では、まず、半導体基板３０の上に、絶縁層
３１およびゲート電極３５を順次成膜する。半導体基板
３０としては、たとえば単結晶シリコン基板が用いられ
る。
【００３８】本実施形態では、絶縁層３１は、主絶縁層
３２と水素含有層３３とで構成される。主絶縁層３２
は、たとえばＣＶＤ法により成膜される酸化シリコンで
構成され、水素含有層３３は、主絶縁層３２を成膜する
ためのＣＶＤに引き続いて行われるプラズマＣＶＤによ
り成膜される水素含有酸化シリコンで構成される。酸化
シリコン膜で構成される主絶縁層３２は、たとえば以下
の条件でＣＶＤにより成膜される。ＣＶＤ原料ガスとし
て、ＳｉＨ4 とＯ2 とを用い、ＳｉＨ4 ／Ｏ2 の流量比
が、たとえば３００／３００SCCM、雰囲気圧力が、たと
えば３００Ｐａ、基板温度がたとえば４００°Ｃ、成膜
時間がたとえば４分の条件である。主絶縁層３２の層厚
は、たとえば０．８μｍである。
３２と水素含有層３３とで構成される。主絶縁層３２
は、たとえばＣＶＤ法により成膜される酸化シリコンで
構成され、水素含有層３３は、主絶縁層３２を成膜する
ためのＣＶＤに引き続いて行われるプラズマＣＶＤによ
り成膜される水素含有酸化シリコンで構成される。酸化
シリコン膜で構成される主絶縁層３２は、たとえば以下
の条件でＣＶＤにより成膜される。ＣＶＤ原料ガスとし
て、ＳｉＨ4 とＯ2 とを用い、ＳｉＨ4 ／Ｏ2 の流量比
が、たとえば３００／３００SCCM、雰囲気圧力が、たと
えば３００Ｐａ、基板温度がたとえば４００°Ｃ、成膜
時間がたとえば４分の条件である。主絶縁層３２の層厚
は、たとえば０．８μｍである。
【００３９】引き続いてプラズマＣＶＤにより成膜され
る水素含有酸化シリコン膜で構成される水素含有層３３
は、たとえば以下の条件のプラズマＣＶＤで成膜され
る。プラズマＣＶＤ原料ガスとして、ＳｉＨ4 とＯ2 と
を用い、ＳｉＨ4 ／Ｏ2 の流量比が、たとえば４００／
３００SCCM、雰囲気圧力がたとえば３００Ｐａ、基板温
度がたとえば３５０°Ｃ、成膜時間がたとえば１分の条
件である。この水素含有層３３の層厚は、たとえば０．
２μｍである。
る水素含有酸化シリコン膜で構成される水素含有層３３
は、たとえば以下の条件のプラズマＣＶＤで成膜され
る。プラズマＣＶＤ原料ガスとして、ＳｉＨ4 とＯ2 と
を用い、ＳｉＨ4 ／Ｏ2 の流量比が、たとえば４００／
３００SCCM、雰囲気圧力がたとえば３００Ｐａ、基板温
度がたとえば３５０°Ｃ、成膜時間がたとえば１分の条
件である。この水素含有層３３の層厚は、たとえば０．
２μｍである。
【００４０】ゲート電極３５は、特に限定されないが、
本実施形態では、ｎ+ の導電型のポリシリコン膜３４と
タングステンシリサイド（ＷＳｉx ）膜３６との積層膜
であるポリサイド膜が用いられる。このゲート電極３５
は、たとえばマイクロカソードのグリッドとして機能す
る。なお、半導体基板３０の表面に形成されるエミッタ
電極の形成工程は省略してある。
本実施形態では、ｎ+ の導電型のポリシリコン膜３４と
タングステンシリサイド（ＷＳｉx ）膜３６との積層膜
であるポリサイド膜が用いられる。このゲート電極３５
は、たとえばマイクロカソードのグリッドとして機能す
る。なお、半導体基板３０の表面に形成されるエミッタ
電極の形成工程は省略してある。
【００４１】ポリシリコン膜３４の膜厚は、たとえば１
００〜３００ｎｍである。タングステンシリサイド膜３
６の膜厚は、たとえば１５０〜３００ｎｍである。ポリ
シリコン膜３４およびタングステンシリサイド膜３６
は、たとえばＣＶＤにより成膜される。ポリシリコン膜
３４は、たとえば以下の条件で成膜される。ＣＶＤ原料
ガスとして、ＳｉＨ4 とＰＨ3 とを用い、ＳｉＨ4 ／Ｐ
Ｈ3 の流量比が、たとえば５００／０．３SCCM、雰囲気
圧力がたとえば１００Ｐａ、基板温度がたとえば５００
°Ｃの条件である。タングステンシリサイド膜３６は、
たとえば以下の条件で成膜される。ＣＶＤ原料ガスとし
て、ＷＦ6 とＳｉＨ4 とＨｅとを用い、ＷＦ6 ／ＳｉＨ
4 ／Ｈｅの流量比がたとえば３／３００／５００SCCM、
雰囲気圧力がたとえば７０Ｐａ、基板温度がたとえば３
６０°Ｃの条件である。
００〜３００ｎｍである。タングステンシリサイド膜３
６の膜厚は、たとえば１５０〜３００ｎｍである。ポリ
シリコン膜３４およびタングステンシリサイド膜３６
は、たとえばＣＶＤにより成膜される。ポリシリコン膜
３４は、たとえば以下の条件で成膜される。ＣＶＤ原料
ガスとして、ＳｉＨ4 とＰＨ3 とを用い、ＳｉＨ4 ／Ｐ
Ｈ3 の流量比が、たとえば５００／０．３SCCM、雰囲気
圧力がたとえば１００Ｐａ、基板温度がたとえば５００
°Ｃの条件である。タングステンシリサイド膜３６は、
たとえば以下の条件で成膜される。ＣＶＤ原料ガスとし
て、ＷＦ6 とＳｉＨ4 とＨｅとを用い、ＷＦ6 ／ＳｉＨ
4 ／Ｈｅの流量比がたとえば３／３００／５００SCCM、
雰囲気圧力がたとえば７０Ｐａ、基板温度がたとえば３
６０°Ｃの条件である。
【００４２】次に、このタングステンシリサイド膜３６
の上にレジスト膜を成膜し、このレジスト膜に、フォト
リソグラフィー法により、カソード孔に対応する所定の
パターンで、開口部を形成する。この開口部の内径は、
カソード孔の内径に相当し、たとえば０．８μｍ程度で
ある。レジスト膜としては、特に限定されないが、たと
えばノボラック系のｇ線用レジストを用いることができ
る。
の上にレジスト膜を成膜し、このレジスト膜に、フォト
リソグラフィー法により、カソード孔に対応する所定の
パターンで、開口部を形成する。この開口部の内径は、
カソード孔の内径に相当し、たとえば０．８μｍ程度で
ある。レジスト膜としては、特に限定されないが、たと
えばノボラック系のｇ線用レジストを用いることができ
る。
【００４３】次に、このレジスト膜が形成された半導体
基板３０を、たとえば一般のプラズマエッチング装置内
に設置し、レジスト膜３８をマスクとして、エッチング
加工を行う。プラズマエッチング装置としては、特に限
定されないが、たとえばマイクロ波電子サイクロトロン
共鳴プラズマ（ＥＣＲ）エッチング装置、誘導コイル型
プラズマ（ＩＣＰ）エッチング装置、ヘリコン波利用プ
ラズマエッチング装置、トランス結合プラズマ（ＴＣ
Ｐ）エッチング装置などを例示することができる。
基板３０を、たとえば一般のプラズマエッチング装置内
に設置し、レジスト膜３８をマスクとして、エッチング
加工を行う。プラズマエッチング装置としては、特に限
定されないが、たとえばマイクロ波電子サイクロトロン
共鳴プラズマ（ＥＣＲ）エッチング装置、誘導コイル型
プラズマ（ＩＣＰ）エッチング装置、ヘリコン波利用プ
ラズマエッチング装置、トランス結合プラズマ（ＴＣ
Ｐ）エッチング装置などを例示することができる。
【００４４】まず、たとえばＥＣＲエッチング装置を用
い、下記の条件で、タングステンシリサイド膜３６およ
びポリシリコン膜３４を連続エッチングする。エッチン
グガスとしては、Ｃｌ2 とＯ2 との混合ガスを用い、Ｃ
ｌ2 ／Ｏ2 の流量比を、たとえば７５／５SCCMとする。
雰囲気圧力は、たとえば１．０Ｐａである。また、マイ
クロ波パワーは、たとえば９００Ｗであり、高周波（Ｒ
Ｆ）パワーは、たとえば５０Ｗ（２ＭＨｚ）であり、基
板温度は、たとえば２０°Ｃである。
い、下記の条件で、タングステンシリサイド膜３６およ
びポリシリコン膜３４を連続エッチングする。エッチン
グガスとしては、Ｃｌ2 とＯ2 との混合ガスを用い、Ｃ
ｌ2 ／Ｏ2 の流量比を、たとえば７５／５SCCMとする。
雰囲気圧力は、たとえば１．０Ｐａである。また、マイ
クロ波パワーは、たとえば９００Ｗであり、高周波（Ｒ
Ｆ）パワーは、たとえば５０Ｗ（２ＭＨｚ）であり、基
板温度は、たとえば２０°Ｃである。
【００４５】続いて、絶縁層３１をエッチング加工す
る。エッチングに際しては、たとえばＥＣＲ型プラズマ
エッチング装置を用いる。そのエッチング条件を、次に
示す。エッチングガスとしては、ＣＨＦ3 とＣＨ2 Ｆ2
との混合ガスを用い、ＣＨＦ 3 ／ＣＨ2 Ｆ2 の流量比
を、たとえば４５／５SCCMとする。雰囲気圧力は、たと
えば０．２７Ｐａである。また、マイクロ波パワーは、
たとえば１２００Ｗであり、高周波（ＲＦ）パワーは、
たとえば２２５Ｗ（８００ｋＨｚ）であり、基板温度
は、たとえば２０°Ｃである。
る。エッチングに際しては、たとえばＥＣＲ型プラズマ
エッチング装置を用いる。そのエッチング条件を、次に
示す。エッチングガスとしては、ＣＨＦ3 とＣＨ2 Ｆ2
との混合ガスを用い、ＣＨＦ 3 ／ＣＨ2 Ｆ2 の流量比
を、たとえば４５／５SCCMとする。雰囲気圧力は、たと
えば０．２７Ｐａである。また、マイクロ波パワーは、
たとえば１２００Ｗであり、高周波（ＲＦ）パワーは、
たとえば２２５Ｗ（８００ｋＨｚ）であり、基板温度
は、たとえば２０°Ｃである。
【００４６】従来では、このような多層膜の連続エッチ
ングにおいて、高エネルギー条件の過剰なるオーバーエ
ッチングにより、レジスト膜３８が後退し、その開口部
４０の側壁も削られ、その下層に位置するタングステン
シリサイド膜３６も一部エッチングされて、テーパ形状
が形成される。これは、ゲート電極３５および絶縁層３
２を同一のレジスト膜でエッチング加工するために、レ
ジスト膜がプラズマエッチングに曝される時間が、従来
のコンタクトホール形成用エッチング技術に比較して長
くなったためと考えられる。しかしながら、本実施形態
では、絶縁層３１中に水素含有層３３を有するため、水
素リッチな（数十ｗｔ％）水素含有層３３がエッチング
されている際生じたＨが、ホール４４近傍のＣ／Ｆ比を
増大させ堆積性雰囲気を形成する事により、通常のＳｉ
Ｏ2 エッチング時に見られる様なフロロカーボン系堆積
物が側壁保護膜となってフォトレジストの後退を防止す
る。したがって、ゲート電極３５の開口部側壁までもオ
ーバエッチングされることはない。その結果、タングス
テンシリサイド膜３６の肩落ちなども防止することがで
き、良好な異方性形状のカソード孔４４を形成すること
ができる。
ングにおいて、高エネルギー条件の過剰なるオーバーエ
ッチングにより、レジスト膜３８が後退し、その開口部
４０の側壁も削られ、その下層に位置するタングステン
シリサイド膜３６も一部エッチングされて、テーパ形状
が形成される。これは、ゲート電極３５および絶縁層３
２を同一のレジスト膜でエッチング加工するために、レ
ジスト膜がプラズマエッチングに曝される時間が、従来
のコンタクトホール形成用エッチング技術に比較して長
くなったためと考えられる。しかしながら、本実施形態
では、絶縁層３１中に水素含有層３３を有するため、水
素リッチな（数十ｗｔ％）水素含有層３３がエッチング
されている際生じたＨが、ホール４４近傍のＣ／Ｆ比を
増大させ堆積性雰囲気を形成する事により、通常のＳｉ
Ｏ2 エッチング時に見られる様なフロロカーボン系堆積
物が側壁保護膜となってフォトレジストの後退を防止す
る。したがって、ゲート電極３５の開口部側壁までもオ
ーバエッチングされることはない。その結果、タングス
テンシリサイド膜３６の肩落ちなども防止することがで
き、良好な異方性形状のカソード孔４４を形成すること
ができる。
【００４７】次に、レジスト膜をレジストアッシングに
より除去する。レジストアッシングは、たとえば５００
SCCMのＯ2 を用い、雰囲気圧力が、たとえば３．０Ｐ
ａ、基板温度が、たとえば２００°Ｃ、高周波（ＲＦ）
パワーが、たとえば３００Ｗの条件で行う。このレジス
ト膜の除去時と同時またはその後の工程で、側壁保護膜
も除去する。
より除去する。レジストアッシングは、たとえば５００
SCCMのＯ2 を用い、雰囲気圧力が、たとえば３．０Ｐ
ａ、基板温度が、たとえば２００°Ｃ、高周波（ＲＦ）
パワーが、たとえば３００Ｗの条件で行う。このレジス
ト膜の除去時と同時またはその後の工程で、側壁保護膜
も除去する。
【００４８】次に、電子ビーム蒸着法などを用いて、タ
ングステンシリサイド膜３６の上に、剥離層を形成す
る。剥離層は、たとえばアルミニウム金属層などで構成
される。その剥離層の層厚は、特に限定されないが、た
とえば５０ｎｍ程度である。電子ビーム蒸着時の基板角
度は、約２０度程度（斜め入射蒸着）が好ましい。雰囲
気圧力は、たとえば１．０Ｐａである。
ングステンシリサイド膜３６の上に、剥離層を形成す
る。剥離層は、たとえばアルミニウム金属層などで構成
される。その剥離層の層厚は、特に限定されないが、た
とえば５０ｎｍ程度である。電子ビーム蒸着時の基板角
度は、約２０度程度（斜め入射蒸着）が好ましい。雰囲
気圧力は、たとえば１．０Ｐａである。
【００４９】次に、たとえば電子ビーム蒸着法を用い
て、剥離層の上にカソード形成層を堆積させる。カソー
ド形成層としては、好適にはモリブデン（Ｍｏ）を用い
るが、その他の高融点金属、あるいはその他の金属、化
合物などを使用することもできる。電子ビーム蒸着時の
基板の角度は、たとえば約９０度が好ましい。カソード
形成層を、たとえば約１．０μｍの層厚で形成すること
で、カソード孔４４の底部に位置する基板３０の表面に
は、鋭角円錐状のカソード５０が均一な形状および高さ
で形成される。各カソード５０の形状、特に高さは、カ
ソード形成層の各開口部が閉じるまでの時間などに依存
する。本実施形態では、タングステンシリサイド膜３６
の開口部の側壁に、テーパや肩落ちがないことから、カ
ソード形成層４８のステップカバレッジも一定となり、
その各開口部４８ａが閉じるまでの時間も一定であり、
各カソード５０の形状、特に高さを均一にすることがで
きる。
て、剥離層の上にカソード形成層を堆積させる。カソー
ド形成層としては、好適にはモリブデン（Ｍｏ）を用い
るが、その他の高融点金属、あるいはその他の金属、化
合物などを使用することもできる。電子ビーム蒸着時の
基板の角度は、たとえば約９０度が好ましい。カソード
形成層を、たとえば約１．０μｍの層厚で形成すること
で、カソード孔４４の底部に位置する基板３０の表面に
は、鋭角円錐状のカソード５０が均一な形状および高さ
で形成される。各カソード５０の形状、特に高さは、カ
ソード形成層の各開口部が閉じるまでの時間などに依存
する。本実施形態では、タングステンシリサイド膜３６
の開口部の側壁に、テーパや肩落ちがないことから、カ
ソード形成層４８のステップカバレッジも一定となり、
その各開口部４８ａが閉じるまでの時間も一定であり、
各カソード５０の形状、特に高さを均一にすることがで
きる。
【００５０】次に、水：フッ酸が約５：１の割合のフッ
酸でウエットエッチング（たとえば約３０秒）を行い、
アルミニウムなどで構成される剥離層をエッチング除去
し、その上に位置するカソード形成層をリフトオフ除去
する。カソード孔４４内には、均一形状および高さのマ
イクロカソード５０が残る。
酸でウエットエッチング（たとえば約３０秒）を行い、
アルミニウムなどで構成される剥離層をエッチング除去
し、その上に位置するカソード形成層をリフトオフ除去
する。カソード孔４４内には、均一形状および高さのマ
イクロカソード５０が残る。
【００５１】その後は、基板３０の上に、蛍光面が形成
された透明パネルを真空状態で張り合せて、本実施形態
の平面表示装置が形成される。本実施形態でも、前記実
施形態と同様に、無機金属酸化物の微粒子でカラーフィ
ルターを構成するので、得られるカラーフィルターの透
過率が向上する。しかも、本実施形態のカラーフィルタ
ーは、図３に示すように、共通の単一色蛍光体１５から
発せられる光に対する赤、緑および青の各色の分離能力
が、従来のフィルターに比べて高く、その結果、単一色
光から、より純粋な三原色を得ることができ、高コント
ラスト化および演色範囲の拡大に寄与する。
された透明パネルを真空状態で張り合せて、本実施形態
の平面表示装置が形成される。本実施形態でも、前記実
施形態と同様に、無機金属酸化物の微粒子でカラーフィ
ルターを構成するので、得られるカラーフィルターの透
過率が向上する。しかも、本実施形態のカラーフィルタ
ーは、図３に示すように、共通の単一色蛍光体１５から
発せられる光に対する赤、緑および青の各色の分離能力
が、従来のフィルターに比べて高く、その結果、単一色
光から、より純粋な三原色を得ることができ、高コント
ラスト化および演色範囲の拡大に寄与する。
【００５２】また、カラーフィルターと蛍光体層とをス
クリーン印刷により形成することで、カラーフィルター
４Ｒ，４Ｇ，４Ｂと蛍光体層１５とが良好に層分離した
積層構造が得られ、蛍光体の発光輝度が低下せず、画質
が向上すると共に、カラー平面表示装置の品質の安定性
にも寄与する。
クリーン印刷により形成することで、カラーフィルター
４Ｒ，４Ｇ，４Ｂと蛍光体層１５とが良好に層分離した
積層構造が得られ、蛍光体の発光輝度が低下せず、画質
が向上すると共に、カラー平面表示装置の品質の安定性
にも寄与する。
【００５３】なお、本発明は、上述した実施形態に限定
されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変する
ことができる。たとえば、本発明は、前記実施形態に係
るＣＲＴまたは平面表示装置に限らず、偏平ＣＲＴなど
のカラー陰極線管、あるいはプラズマディスプレイなど
のその他のカラー表示装置にも適用することができる。
されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変する
ことができる。たとえば、本発明は、前記実施形態に係
るＣＲＴまたは平面表示装置に限らず、偏平ＣＲＴなど
のカラー陰極線管、あるいはプラズマディスプレイなど
のその他のカラー表示装置にも適用することができる。
【００５４】
【実施例】次に、本発明を実施例に基づき、より詳細に
説明する。なお、以下の実施例および比較例では、特に
断わらない限り、部または％は、重量基準である。実施例１ 図２の概略断面図で示す構造の蛍光面を、透明パネルガ
ラス３２上にスクリーン印刷により形成した。ただし、
本実施例では、図２に示す蛍光体層１５Ｒ，１５Ｇ，１
５Ｂの代わりに、単一色蛍光体層１５を形成した。
説明する。なお、以下の実施例および比較例では、特に
断わらない限り、部または％は、重量基準である。実施例１ 図２の概略断面図で示す構造の蛍光面を、透明パネルガ
ラス３２上にスクリーン印刷により形成した。ただし、
本実施例では、図２に示す蛍光体層１５Ｒ，１５Ｇ，１
５Ｂの代わりに、単一色蛍光体層１５を形成した。
【００５５】まず、透明パネルガラス１２の上に、常法
に従い、黒色ストライプ２を形成した。次に、この黒色
ストライプ２の上に、カラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４
Ｂをスクリーン印刷で形成するために、各色のペースト
を準備した。
に従い、黒色ストライプ２を形成した。次に、この黒色
ストライプ２の上に、カラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４
Ｂをスクリーン印刷で形成するために、各色のペースト
を準備した。
【００５６】（Ａ）Ｒ（赤）ペースト 酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）系超微粒子からなる赤色顔料（同
和鉱業社ＤＥＦＩＣＲ１００７）３４部、化学吸着型高
分子分散剤（ＩＣＩ社ソルスパース）１５部、ターピネ
オール（安原油脂社）５１部の混合物を、アニューラ型
メディア分散機（三菱重工社ダイアモンドファインミ
ル）により微分散し、目標とする粒度のミルベースレッ
ドを得た。
和鉱業社ＤＥＦＩＣＲ１００７）３４部、化学吸着型高
分子分散剤（ＩＣＩ社ソルスパース）１５部、ターピネ
オール（安原油脂社）５１部の混合物を、アニューラ型
メディア分散機（三菱重工社ダイアモンドファインミ
ル）により微分散し、目標とする粒度のミルベースレッ
ドを得た。
【００５７】次いで、本ミルベース５４部にエトセルＳ
ＴＤ７ｃｐｓ（ダウケミカル社エチルセルロース）４部
をブチルジグリコールアセテート（ダイセル化学社）４
２部に加温溶解したワニス４６部を加え、３本ロール
（井上製作所社）で混合分散した。本ペーストの粒度分
布を遠心沈降式粒度分布測定器（島津製作所社ＳＡ−Ｃ
Ｐ３）で測定した所、平均粒子径は０．０３μｍであっ
た。また、最多品粒子数（粒子径０．０３５μｍ）を１
００％とした時の他粒子の分散率は０．１μｍ以上の粒
子数が全粒子の７０％以上であった。この粒度分布の測
定結果を図５（Ａ）に示す。
ＴＤ７ｃｐｓ（ダウケミカル社エチルセルロース）４部
をブチルジグリコールアセテート（ダイセル化学社）４
２部に加温溶解したワニス４６部を加え、３本ロール
（井上製作所社）で混合分散した。本ペーストの粒度分
布を遠心沈降式粒度分布測定器（島津製作所社ＳＡ−Ｃ
Ｐ３）で測定した所、平均粒子径は０．０３μｍであっ
た。また、最多品粒子数（粒子径０．０３５μｍ）を１
００％とした時の他粒子の分散率は０．１μｍ以上の粒
子数が全粒子の７０％以上であった。この粒度分布の測
定結果を図５（Ａ）に示す。
【００５８】（Ｂ）Ｂ（青）ペースト アルミン酸コバルト（ＣｏＯ，Ａｌ2Ｏ3）の超微粒子か
らなる青色顔料（大日精化社ダイピロキサイドＴＭブル
ー３４１０）３７部、化学吸着型高分子分散剤１０部、
ターピネオール５３部の混合物をＲペーストの製法と同
法により微分散し、目標とする粒度のミルベースブルー
を得た。
らなる青色顔料（大日精化社ダイピロキサイドＴＭブル
ー３４１０）３７部、化学吸着型高分子分散剤１０部、
ターピネオール５３部の混合物をＲペーストの製法と同
法により微分散し、目標とする粒度のミルベースブルー
を得た。
【００５９】次いで、本ミルベースブルー６８部にエト
セルＳＴＤ１０ｃｐｓ（ダイセル化学社エチルセルロー
ス）５．６部をブチルジグリコールアセテート２６．４
部に加温溶解したワニス３２部を加え、３本ロールで混
合分散した。本ペーストの粒度分布を同法により測定し
た所、平均粒子径は０．０５μｍであった。また、最多
品粒子数（粒径０．０４５μｍ）を１００％とした時の
他粒子の分布率はＲペーストと同等であった。この粒度
分布の測定結果を図５（Ｂ）に示す。
セルＳＴＤ１０ｃｐｓ（ダイセル化学社エチルセルロー
ス）５．６部をブチルジグリコールアセテート２６．４
部に加温溶解したワニス３２部を加え、３本ロールで混
合分散した。本ペーストの粒度分布を同法により測定し
た所、平均粒子径は０．０５μｍであった。また、最多
品粒子数（粒径０．０４５μｍ）を１００％とした時の
他粒子の分布率はＲペーストと同等であった。この粒度
分布の測定結果を図５（Ｂ）に示す。
【００６０】（Ｃ）Ｇ（緑）ペースト ＴｉＯ，ＺｎＯ，ＣｏＯ，ＮｌＯの超微粒子でなる緑色
顔料（大日精化社ダイピロキサイドＴＭグリーン３３２
０）３０部、化学吸着型高分子分散剤１０部、ターピネ
オール６０部の混合物をＲペーストの製法と同法によ
り、微分散し目標とする粒度のミルベースグリーンを得
た。
顔料（大日精化社ダイピロキサイドＴＭグリーン３３２
０）３０部、化学吸着型高分子分散剤１０部、ターピネ
オール６０部の混合物をＲペーストの製法と同法によ
り、微分散し目標とする粒度のミルベースグリーンを得
た。
【００６１】次いで本ミルベース：７６部とエトセル１
０ｃｐｓ：３．８部をブチルジグリコールアセテート：
２０．２部に加温溶解したワニス２４部を加え、３本ロ
ールで混合分散した。本ペーストの粒度分布を同法によ
り測定した所、平均粒度径は０．０６μｍであった。ま
た、最多品粒子数（粒径０．０４５μｍ）を１００％と
したときの他粒子の分布率はＲペーストと同レベルであ
った。この粒度分布の測定結果を図５（Ｃ）に示す。
０ｃｐｓ：３．８部をブチルジグリコールアセテート：
２０．２部に加温溶解したワニス２４部を加え、３本ロ
ールで混合分散した。本ペーストの粒度分布を同法によ
り測定した所、平均粒度径は０．０６μｍであった。ま
た、最多品粒子数（粒径０．０４５μｍ）を１００％と
したときの他粒子の分布率はＲペーストと同レベルであ
った。この粒度分布の測定結果を図５（Ｃ）に示す。
【００６２】印刷適性改良剤の混合 スクリーン適性を改善するため、レオロジー改良剤とし
て超微粒子の酸化アルミニウム（日本アエロジル社アル
ミニュームオキサイドＣ）やステアリン酸カルシウム
（堺化学ＳＣ-１００）が使用できる。
て超微粒子の酸化アルミニウム（日本アエロジル社アル
ミニュームオキサイドＣ）やステアリン酸カルシウム
（堺化学ＳＣ-１００）が使用できる。
【００６３】スクリーン印刷適性は、スクリーンのメッ
シュ（開口サイズ）、レジスト厚、スキージ角度、印刷
圧、印刷速度、パターン精度等で変化するため、顔料ペ
ーストのレオロジーも適宜コントロールすることが好ま
しい。レオメトリック社レオメーターによる測定値の好
ましい値を以下に示す。 定常粘土 ；２００〜８００Ｐａ・Ｓ／２５℃ 複素弾性率；５０００〜１５０００ｄｙｎｅ／ｃｍ2 上述した顔料ペーストを用いてスクリーン印刷を行い、
図２に示すように、カラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４Ｂ
を形成した。スクリーン印刷に際しては、マイクロテッ
ク（株）製 の高精度低圧スクリーン印刷を使用した。
また、スクリーン印刷に際しては、ＢＭストライプ（遮
光層）２が付帯されたパネルガラス１２面にＢ、Ｒ、Ｇ
が、互いに異なる色が隣り合うように印刷した。
シュ（開口サイズ）、レジスト厚、スキージ角度、印刷
圧、印刷速度、パターン精度等で変化するため、顔料ペ
ーストのレオロジーも適宜コントロールすることが好ま
しい。レオメトリック社レオメーターによる測定値の好
ましい値を以下に示す。 定常粘土 ；２００〜８００Ｐａ・Ｓ／２５℃ 複素弾性率；５０００〜１５０００ｄｙｎｅ／ｃｍ2 上述した顔料ペーストを用いてスクリーン印刷を行い、
図２に示すように、カラーフィルター４Ｒ，４Ｇ，４Ｂ
を形成した。スクリーン印刷に際しては、マイクロテッ
ク（株）製 の高精度低圧スクリーン印刷を使用した。
また、スクリーン印刷に際しては、ＢＭストライプ（遮
光層）２が付帯されたパネルガラス１２面にＢ、Ｒ、Ｇ
が、互いに異なる色が隣り合うように印刷した。
【００６４】次に、これらのカラーフィルター上に、共
通する色の蛍光体スラリー（ＺｎＯ・Ｚｎ含有）を用い
て、スクリーン印刷により、単一色蛍光体層１５を形成
した。このような蛍光面を４つ作製し、それぞれのフィ
ルターについて、透過率を測定したところ、図６（Ａ）
〜（Ｃ）に示す結果が得られた。図６（Ａ）は４つのサ
ンプルの赤色フィルター４Ｒ−１〜４Ｒ−４の透過率を
示し、図６（Ｂ）は４つのサンプルの緑色フィルター４
Ｇ−１〜４Ｇ−４の透過率を示し、図６（Ｃ）は４つの
サンプルの青色フィルター４Ｒ−１〜４Ｒ−４の透過率
を示す。但し、透過率の％は、カラーフィルターを形成
しない場合の透過率を１００％としての値である。
通する色の蛍光体スラリー（ＺｎＯ・Ｚｎ含有）を用い
て、スクリーン印刷により、単一色蛍光体層１５を形成
した。このような蛍光面を４つ作製し、それぞれのフィ
ルターについて、透過率を測定したところ、図６（Ａ）
〜（Ｃ）に示す結果が得られた。図６（Ａ）は４つのサ
ンプルの赤色フィルター４Ｒ−１〜４Ｒ−４の透過率を
示し、図６（Ｂ）は４つのサンプルの緑色フィルター４
Ｇ−１〜４Ｇ−４の透過率を示し、図６（Ｃ）は４つの
サンプルの青色フィルター４Ｒ−１〜４Ｒ−４の透過率
を示す。但し、透過率の％は、カラーフィルターを形成
しない場合の透過率を１００％としての値である。
【００６５】図６に示す結果から明らかなように、図７
に示す比較例（従来例）のカラーフィルターに比較し、
本実施例のカラーフィルターは、各色の光を選択的に透
過することが確認された。また、このようにして形成さ
れたパネルガラスをＣＲＴに組み込み、色度点と相対輝
度とを測定した。
に示す比較例（従来例）のカラーフィルターに比較し、
本実施例のカラーフィルターは、各色の光を選択的に透
過することが確認された。また、このようにして形成さ
れたパネルガラスをＣＲＴに組み込み、色度点と相対輝
度とを測定した。
【００６６】色度は、ミノルタ（株）製カラーアナライ
ザーＣＡ−１００により測定した。測定条件は、加速電
圧２７ｋＶ、カソード電流３００μＡであった。輝度Ｂ
は、ミノルタ（株）製カラーアナライザＣＡ−１００に
より測定した。測定条件は、ＣＲＴをセット（ＧＤＭ１
９インチ）に組み込んだ状態で、９３００Ｋの白色を出
して測定した。
ザーＣＡ−１００により測定した。測定条件は、加速電
圧２７ｋＶ、カソード電流３００μＡであった。輝度Ｂ
は、ミノルタ（株）製カラーアナライザＣＡ−１００に
より測定した。測定条件は、ＣＲＴをセット（ＧＤＭ１
９インチ）に組み込んだ状態で、９３００Ｋの白色を出
して測定した。
【００６７】測定結果を下記の表１と図８（Ａ）に示
す。
す。
【００６８】
【表１】
【００６９】表中の相対輝度は、フィルター無しを１０
０％とした値である。また、比較のために、従来例に係
るカラーフィルター（金属コロイドを用いたもので図７
に示す透過率を持つもの）を用いて、色度を測定した結
果を図８（Ｂ）に示す。
０％とした値である。また、比較のために、従来例に係
るカラーフィルター（金属コロイドを用いたもので図７
に示す透過率を持つもの）を用いて、色度を測定した結
果を図８（Ｂ）に示す。
【００７０】表１および図８（Ａ）に示すように、本実
施例に係るカラーフィルターを用いたＣＲＴでは、従来
例よりもはるかに色再現範囲の広い高輝度のＣＲＴを実
現できることが確認された。また、本実施例のＣＲＴの
コントラストを測定したところ、従来例のものに比較し
て、向上することも確認された。
施例に係るカラーフィルターを用いたＣＲＴでは、従来
例よりもはるかに色再現範囲の広い高輝度のＣＲＴを実
現できることが確認された。また、本実施例のＣＲＴの
コントラストを測定したところ、従来例のものに比較し
て、向上することも確認された。
【００７１】実施例２ 赤色フィルター４Ｒ−１〜４Ｒ−４の上にのみ、ＺｎＯ
・Ｚｎから成る蛍光体層の代わりに、ＳｎＯ2 ：Ｅｕか
ら成る蛍光体層を形成した以外は、前記実施例１と同様
にして、ＣＲＴを製造した。
・Ｚｎから成る蛍光体層の代わりに、ＳｎＯ2 ：Ｅｕか
ら成る蛍光体層を形成した以外は、前記実施例１と同様
にして、ＣＲＴを製造した。
【００７２】実施例１と同様にして、色度点と相対輝度
とを測定したところ、表２に示す結果が得られた。
とを測定したところ、表２に示す結果が得られた。
【００７３】
【表２】
【００７４】表２に示すように、赤色フィルター４Ｒ−
１〜４Ｒ−４の上に赤色の光を発光する蛍光体層を設け
た場合には、前記実施例１よりもさらに相対輝度が向上
し、色再現範囲が拡大することが確認された。実施例３ 本実施例では、図２に示すパネルガラスの蛍光面を、熱
転写印刷により形成し、蛍光体層として三原色蛍光体層
ストライプを形成した以外は、前記実施例１と同様にし
て、ＣＲＴを製作した。
１〜４Ｒ−４の上に赤色の光を発光する蛍光体層を設け
た場合には、前記実施例１よりもさらに相対輝度が向上
し、色再現範囲が拡大することが確認された。実施例３ 本実施例では、図２に示すパネルガラスの蛍光面を、熱
転写印刷により形成し、蛍光体層として三原色蛍光体層
ストライプを形成した以外は、前記実施例１と同様にし
て、ＣＲＴを製作した。
【００７５】まず、転写シートを作製した。転写シート
を作製するために、大豊機械（株）製スクリーン５色機
を使用した。２５μｍ厚のポリエステルフィルム機材フ
ィルム上にアクリル樹脂から成る剥離層を全面印刷し、
グラファイイトを使用した遮光枠を印刷後、Ｂ、Ｒ、Ｇ
の各蛍光体スラリーを印刷した。各蛍光体スラリーとし
ては、公知のものを用いた。次いで、前記実施例１で用
いたカラーフィルター用顔料ペーストを、蛍光体印刷面
の共通する色に重ねてスクリーン印刷した。さらに、ア
クリル系のヒートシール剤を全面印刷し、カラーフィル
ター付き蛍光体転写シートを作成した。
を作製するために、大豊機械（株）製スクリーン５色機
を使用した。２５μｍ厚のポリエステルフィルム機材フ
ィルム上にアクリル樹脂から成る剥離層を全面印刷し、
グラファイイトを使用した遮光枠を印刷後、Ｂ、Ｒ、Ｇ
の各蛍光体スラリーを印刷した。各蛍光体スラリーとし
ては、公知のものを用いた。次いで、前記実施例１で用
いたカラーフィルター用顔料ペーストを、蛍光体印刷面
の共通する色に重ねてスクリーン印刷した。さらに、ア
クリル系のヒートシール剤を全面印刷し、カラーフィル
ター付き蛍光体転写シートを作成した。
【００７６】この転写シートのヒートシール剤側がパネ
ルガラス内面に密着するように、ガラス面に重ね、太平
工業（株）製ロータリー式熱転写機を使用して、１５０
°Ｃの条件で熱転写し、パネルガラス内面にカラーフィ
ルターと蛍光体層とを形成した。
ルガラス内面に密着するように、ガラス面に重ね、太平
工業（株）製ロータリー式熱転写機を使用して、１５０
°Ｃの条件で熱転写し、パネルガラス内面にカラーフィ
ルターと蛍光体層とを形成した。
【００７７】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、カラー表示装置において、高輝度化、高コントラス
ト化、色再現範囲の拡大および外光反射防止機能の向上
を達成することができる。
ば、カラー表示装置において、高輝度化、高コントラス
ト化、色再現範囲の拡大および外光反射防止機能の向上
を達成することができる。
【図１】図１は本発明の一実施形態に係るカラーＣＲＴ
の概略図である。
の概略図である。
【図２】図２は図１に示すパネル内面の要部断面図であ
る。
る。
【図３】図３（Ａ）〜（Ｃ）は本発明の実施形態に係る
赤色フィルターの分光透過率特性を示す図である。
赤色フィルターの分光透過率特性を示す図である。
【図４】図４は他の実施形態に係るカラー平面表示装置
の要部断面図である。
の要部断面図である。
【図５】図５（Ａ）〜（Ｃ）は本発明の実施例に係るカ
ラーフィルター組成物の粒度分布を示すグラフである。
ラーフィルター組成物の粒度分布を示すグラフである。
【図６】図６（Ａ）〜（Ｃ）は本発明の実施例に係るカ
ラーフィルターの透過率特性を示すグラフである。
ラーフィルターの透過率特性を示すグラフである。
【図７】図７は従来のカラーフィルターの透過率特性を
示すグラフである。
示すグラフである。
【図８】図８（Ａ）は本発明の実施例に係るカラーフィ
ルターを用いたＣＲＴの再現可能な色の範囲を示すグラ
フ、同図（Ｂ）は従来例に係るカラーフィルターを用い
たＣＲＴの再現可能な色の範囲を示すグラフである。
ルターを用いたＣＲＴの再現可能な色の範囲を示すグラ
フ、同図（Ｂ）は従来例に係るカラーフィルターを用い
たＣＲＴの再現可能な色の範囲を示すグラフである。
【符号の説明】 ２… 黒色ストライプ ４Ｒ… 赤色フィルター ４Ｇ… 緑色フィルター ４Ｂ… 青色フィルター １２… パネルガラス １４… ファンネルガラス １５… 単一色蛍光体層 １５Ｒ… 赤色蛍光体層 １５Ｇ… 緑色蛍光体層 １５Ｂ… 青色蛍光体層 １６… 電子銃
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｊ 29/88 Ｈ０１Ｊ 29/88 29/89 29/89 (72)発明者 山本 恭一 神奈川県横浜市緑区青砥町450番地 ザ・ インクテック株式会社内 (72)発明者 四方 義明 神奈川県横浜市緑区青砥町450番地 ザ・ インクテック株式会社内 (72)発明者 南部 智昭 神奈川県横浜市緑区青砥町450番地 ザ・ インクテック株式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】 可視領域の特定の光を透過する分光特性
を有し、かつ、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１
５重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍ
の粒子が全粒子の７０重量％以上含有する無機金属酸化
物の微粒子からなるカラーフィルター組成物。 - 【請求項２】 焼成後におけるカラーフィルター組成物
の光吸収領域の光透過率が２０％以下、光透過領域の光
透過率が５０％以上あることを特徴とする請求項１に記
載のカラーフィルター組成物。 - 【請求項３】 前記無機金属酸化物が、酸化鉄、酸化チ
タン、酸化ニッケル、酸化コバルト、酸化亜鉛、酸化ア
ルミニウム、酸化クロムのうちのいずれかを少なくとも
含む請求項１に記載のカラーフィルター組成物。 - 【請求項４】 透明パネルと、 前記透明パネルの内面側に設けられ、エネルギービーム
が照射されることにより、それぞれ赤色、緑色および青
色の光を発する赤色蛍光体層、緑色蛍光体層および青色
蛍光体層と、 前記いずれかの蛍光体層と、前記透明パネルとの間に設
けられ、可視領域の特定の光の波長域において高透過性
を有するカラーフィルターとを有するカラー表示装置で
あって、 前記カラーフィルターが、粒径０．１μｍ以上の粒子が
全粒子の１５重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜
０．０７μｍの粒子が全粒子の７０重量％以上含有する
無機金属酸化物の微粒子からなるカラー表示装置。 - 【請求項５】 透明パネルと、 前記透明パネルの内面側に所定パターンで設けられ、赤
色、緑色および青色の光をそれぞれ選択的に透過させる
３種類のカラーフィルターと、 前記３種類のカラーフィルターの内面側にそれぞれ設け
られ、エネルギービームの照射により単一種類の光を発
する単一色蛍光体層とを有するカラー表示装置であっ
て、 前記カラーフィルターが、粒径０．１μｍ以上の粒子が
全粒子の１５重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜
０．０７μｍの粒子が全粒子の７０重量％以上含有する
無機金属酸化物の微粒子からなるカラー表示装置。 - 【請求項６】 透明パネルの内面側に、赤色、緑色およ
び青色の光をそれぞれ選択的に透過させる３種類のカラ
ーフィルターを所定パターンでスクリーン印刷する工程
と、 前記３種類のカラーフィルターの内面側に、それぞれ、
エネルギービームの照射により単一種類の光を発する単
一色蛍光体層をスクリーン印刷により形成する工程とを
有し、 前記カラーフィルターをスクリーン印刷するための顔料
ペースト中に、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１
５重量％以下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍ
の粒子が全粒子の７０重量％以上含有する無機金属酸化
物の微粒子が含まれているカラー表示装置の製造方法。 - 【請求項７】 熱転写用基材シートの表面に、剥離層を
形成する工程と、 前記剥離層の表面に、エネルギービームが照射されるこ
とにより、それぞれ赤色、緑色および青色の光を発する
赤色蛍光体層、緑色蛍光体層および青色蛍光体層を形成
する工程と、 前記各色の蛍光体層の表面に、それぞれ赤色、緑色およ
び青色の光をそれぞれ選択的に透過させる３種類のカラ
ーフィルターを、各色の蛍光体層に対応して形成する工
程と、 前記カラーフィルターの表面に熱シール剤層を形成し、
転写シートを形成する工程と、 前記転写シートの熱シール剤層を透明パネルに密着さ
せ、熱転写印刷を行い、透明パネルの内面に、カラーフ
ィルター付蛍光体層を形成する工程とを有し、 前記カラーフィルターを形成するための顔料ペースト中
に、粒径０．１μｍ以上の粒子が全粒子の１５重量％以
下であり、粒径０．０１μｍ〜０．０７μｍの粒子が全
粒子の７０重量％以上含有する無機金属酸化物の微粒子
が含まれているカラー表示装置の製造方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8264096A JPH09274103A (ja) | 1996-04-04 | 1996-04-04 | カラーフィルター組成物、カラー表示装置およびその製造方法 |
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| US09/265,616 US6093349A (en) | 1996-04-04 | 1999-03-10 | Color filter composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8264096A JPH09274103A (ja) | 1996-04-04 | 1996-04-04 | カラーフィルター組成物、カラー表示装置およびその製造方法 |
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|---|---|---|---|
| JP2005111808A Division JP2005209662A (ja) | 2005-04-08 | 2005-04-08 | カラーフィルター組成物、カラー表示装置およびその製造方法 |
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Family
ID=13780038
Family Applications (1)
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