JPH09294006A - 非可逆回路素子及び非可逆回路装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 部品点数の低減及び組み立て作業の簡略化を
果たすことができ、信頼性に優れており、かつ安価な非
可逆回路素子を提供する。 【解決手段】 マイクロ波用磁性体２２内に伝送線路と
しての中心電極１２ａ〜１２ｃを形成してなり、該マイ
クロ波用磁性体２２の内部及び表面の少なくとも一方に
抵抗体１４を一体に形成したことを特徴とする非可逆回
路素子。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばサーキュレ
ータやアイソレータなどに代表される非可逆回路素子に
関し、特に、抵抗体が一体化されて小型化が可能とされ
ている高周波用非可逆回路素子に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、移動体通信機器等の高周波機器の
小型化や汎用化が進んでおり、これらに用いられる非可
逆回路素子においても小型化及び低コスト化が求められ
ている。この種の非可逆回路素子としては、電気的に互
いに絶縁されており、かつ互いに交差するように配置さ
れた複数の中心電極を有し、該複数の中心電極の上部及
び下部にマイクロ波用磁性体を配置し、さらに永久磁石
により直流磁界が印加されるように構成された素子、い
わゆる集中定数型サーキュレータやアイソレータなどが
知られている。

【０００３】上述した従来の非可逆回路素子の一例を、
図１を参照して説明する。図１は、従来の非可逆回路素
子の一例を説明するための分解斜視図である。この非可
逆回路素子では、ストリップ状の中心電極１ａ〜１ｃが
互いに交差するように配置されている。なお、図１では
必ずしも明確ではないが、中心電極１ａ〜１ｃは、互い
に電気的に絶縁されている。すなわち、中心電極１ａ〜
１ｃを構成する帯状の導体の表面に絶縁処理を施すこと
により、あるいは中心電極１ａ〜１ｃ間に絶縁性シート
等を介在させることにより、中心電極１ａ〜１ｃ間は互
いに電気的に絶縁されている。

【０００４】上記中心電極１ａ〜１ｃは、円板状のマイ
クロ波用フェライト２，３により挟持されている。マイ
クロ波用フェライト２，３で中心電極１ａ〜１ｃを挟持
した構造体が、アルミナ基板４、アース板５及び磁気ヨ
ーク６，７で挟持されて非可逆回路素子内に収納され
る。

【０００５】アルミナ基板４は、中央に上記マイクロ波
用フェライト２，３を用いて構成さた構造体が収納され
る部分を形成するための開口４ａを有する。また、アル
ミナ基板４上には、整合用容量を構成するための容量電
極４ｂ，４ｃ並びに抵抗体４ｄが形成されている。抵抗
体４ｄは、電極４ｅ，４ｆ間に半田等を用いて接合され
ている。

【０００６】アース板５は、金属板よりなり、アース電
位に接続されるように構成されている。また、磁気ヨー
ク６，７は、それぞれ、金属板を折り曲げ加工すること
により形成されており、磁気ヨーク６の側面６ａ，６ｂ
に、磁気ヨーク７の側面７ａ，７ｂが埋め込まれるよう
に構成されている。なお、磁気ヨーク７の下面には、想
像線で示すように、永久磁石８が固定されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の非可逆回路素子
では、上記のように抵抗体４ｄが実装されたアルミナ基
板４が用いられている。しかしながら、近年、マイクロ
波用非可逆回路素子の小型化に伴って、中心電極１ａ〜
１ｃの長さが数ｍｍ程度と小さくなってきている。その
結果、中心電極１ａ〜１ｃが設けられている部分だけで
なく他の部分も小型化が強く求められている。従って、
手作業による組み立てが困難となってきており、中心電
極１ａ〜１ｃの位置ずれなどの組み立て不良が増加した
り、信頼性が低下したり、あるいは製造コストが高くつ
くといった問題が生じている。

【０００８】すなわち、図１に示した非可逆回路素子で
は、上記アルミナ基板４、マイクロ波用磁性体２，３で
中心電極１ａ〜１ｃを挟持した構造及び抵抗体４ｄの実
装などの種々の作業を手作業で行わねばならなかった。
よって、組み立て部品点数が多いため、非可逆回路素子
の低コスト化に限界が生じており、より一層の低コスト
化は困難であった。

【０００９】本発明の目的は、抵抗体が組み合わされた
非可逆回路素子の構造の簡略化を果たすことができ、少
ない部品点数で製造することができ、小型であり、かつ
信頼性に優れた安価な高周波用非可逆回路素子を提供す
ることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の非可逆回路素子
は、高周波用磁性体と、前記高周波用磁性体内に形成さ
れた伝送線路と、前記高周波用磁性体内及び表面の少な
くとも一方に一体的に形成された抵抗体とを備えること
を特徴とする非可逆回路素子であり、それによって上記
課題を達成するものである。

【００１１】本発明に係る非可逆回路素子では、伝送線
路が形成された高周波用磁性体の内部及び表面の少なく
とも一方に抵抗体が一体的に形成されているため、抵抗
体を含む非可逆回路素子を単一の部品として取り扱うこ
とができるため、磁気ヨークや永久磁石等と組み合わせ
た非可逆回路装置の構造の簡略化及び部品点数の低減を
図ることができ、かつ組み立て作業も容易となる。

【００１２】すなわち、本発明は、非可逆回路素子にお
いて用いられる高周波用磁性体内もしくは磁性体表面
に、上記抵抗体をも一体に形成したことに特徴を有す
る。本発明において、上記高周波用磁性体は、高周波用
途に適した適宜の磁性材料により構成することができる
が、例えば、マイクロ波用フェライトを用いて構成する
ことができる。このマイクロ波用フェライトとしては、
例えば、カルシウムバナジウム鉄ガーネット、イットリ
ウム鉄ガーネットなどを挙げることができる。

【００１３】本発明の特定の局面では、上記マイクロ波
用フェライトがカルシウムバナジウム鉄ガーネットによ
り構成され、上記抵抗体が、カルシウムバナジウム鉄ガ
ーネット粉末とパラジムウ及び白金粉末の少なくとも一
方を含む抵抗ペーストを焼成することにより構成されて
おり、それによってマイクロ波用フェライトと抵抗体と
が一体に焼成されている。抵抗体が、マイクロ波用フェ
ライトの主成分であるカルシウムバナジウム鉄ガーネッ
トを含有している場合には、焼成により抵抗体がマイク
ロ波用フェライトに強固に接合されて一体化され得る。

【００１４】また、本発明の非可逆回路装置は、高周波
用磁性体及び伝送線路を有する磁気回転子と、抵抗体と
を備える構成において、抵抗体が高周波用磁性体の表面
及び内部の少なくとも一方に形成されて高周波用磁性体
と一体に構成されていることを特徴とする。すなわち、
本発明に係る非可逆回路装置とは、上記本発明に係る非
可逆回路素子を含む装置であり、特に限定はされない
が、例えば、マイクロ波用磁性体部分に磁界を印加する
ための永久磁石や磁気ヨーク等を組み合わせて構成され
る。

【００１５】本発明の非可逆回路素子の製造方法は、上
記本発明に係る非可逆回路素子を得るための方法であ
り、抵抗ペースト層が一方面に形成された磁性体グリー
ンシート及び伝送線路が一面に形成された磁性体グリー
ンシートを含む複数枚の磁性体グリーンシートを積層
し、積層体を得る工程と、この積層体を焼成し、抵抗ペ
ースト層及び磁性体を一体焼成する工程とを備えること
を特徴とする。

【００１６】すなわち、本発明に係る非可逆回路素子の
製造方法は、上記のように積層コンデンサなどで慣用さ
れているセラミックス積層・一体焼成技術を用いてい
る。従って、抵抗ペーストの印刷精度や伝送線路の形成
精度を高めることにより、小型化を図った場合でも精度
が高くかつ信頼性に優れた非可逆回路素子を容易に得る
ことができる。

【００１７】好ましくは、上記磁性体グリーンシートと
して、カルシウムバナジウム鉄ガーネットを主体とする
グリーンシートが用いられ、抵抗ペーストとしてはカル
シウムバナジウム鉄ガーネット粉末と、パラジウム粉末
及び白金粉末の少なくとも一方とを含むものが用いら
れ、この場合には、抵抗体が、磁性体層と同一材料を含
有しているため、抵抗体層と磁性体とが強固に一体化さ
れる。

【００１８】なお、マイクロ波用フェライトとして、イ
ットリウム鉄ガーネットを用いた場合には、抵抗ペース
トについても、イットリウム鉄ガーネット粉末と、パラ
ジウム及び／または白金粉末を含有するものを用いるこ
とにより、抵抗体層と磁性体層との密着構造を効果的に
高め得る。

【００１９】また、本発明の非可逆回路素子の製造方法
においては、高周波用磁性体を予め焼成等により得た後
に、該高周波用磁性体上に抵抗性組成物からなる抵抗ペ
ーストを付与し、固化させて抵抗体を形成してもよい。
この場合には、抵抗ペーストを付与し、溶剤等を乾燥さ
せることにより固化し、抵抗体を形成してもよく、ある
いは抵抗ペーストを磁性体上に塗布した後、抵抗ペース
トを焼き付けることにより固化して抵抗体を形成しても
よい。

【００２０】

【発明の実施の形態】図２〜図４を参照して、本発明の
非可逆回路素子の製造方法及び本発明に係る非可逆回路
素子の一例を説明する。

【００２１】先ず、図２に分解斜視図で示すように、複
数枚の磁性体グリーンシート１１ａ〜１１ｉを用意す
る。なお、磁性体グリーンシート１１ａ，１１ｅ，１１
ｉは、図２に示されているように、それぞれ、複数枚用
いられている。磁性体グリーンシート１１ａ〜１１ｉ
は、マイクロ波用フェライト、例えばカルシウムバナジ
ウム鉄ガーネット粉末に有機バインダ及び溶剤を混練し
て得られるスラリーをシート成形することにより得るこ
とができる。磁性体グリーンシート１１ａ，１１ｉは、
後述する焼成体の上方及び下方の磁性体層を構成するた
めに設けられている。

【００２２】磁性体グリーンシート１１ｂ〜１１ｄの上
面には、それぞれ、中心電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃが
形成されている。中心電極１２ａ〜１２ｃはストリップ
状の形状を有し、かつ積層された状態で上方から見た際
に互いに１２０度の角度をなすように交差されている。
また、中心電極１２ａ〜１２ｃは、例えばパラジウムも
しくは白金粉末などの導電性粉末を含む導電ペーストを
磁性体グリーンシート１１ｂ〜１１ｄ上にスクリーン印
刷等により付与することにより形成されている。

【００２３】磁性体グリーンシート１１ｆ上には、それ
ぞれ、整合容量を形成するための容量電極１３ａ〜１３
ｃが形成されている。容量電極１３ａ〜１３ｃは、図２
に示すように、それぞれ、磁性体グリーンシート１１ｆ
の異なる端縁に引き出されている。容量電極１３ａは、
上方の中心電極１２ａの一方端と上下方向に重なる位置
に引き出されている。また、容量電極１３ｂは、中心電
極１２ｂの一端と上下方向に重なり合う位置に引き出さ
れている。容量電極１３ｃは、中心電極１２ｃの一端と
上下方向に重なり合う位置に引き出されている。

【００２４】容量電極１３ａ〜１３ｃについても、上記
導電ペーストを印刷することにより形成することができ
る。容量電極１３ａ〜１３ｃは、後述のアース電極１７
との間で静電容量を取り出すために形成されている。容
量電極１３ａ〜１３ｃとアース電極１７とで取り出され
る静電容量により、整合容量を調整することができる。
すなわち、容量電極１３ａ〜１３ｃの面積を調整するこ
とにより、あるいは磁性体グリーンシート１１ｆと磁性
体グリーンシート１１ｇとの間に、さらに１枚以上の適
宜の枚数の磁性体グリーンシートを挿入することにより
整合容量の大きさを調節し得る。従って、整合容量の調
整を容易に図り得ることがわかる。

【００２５】整合容量を構成するための容量電極１３ａ
〜１３ｃが設けられている部分と、前述した中心電極１
２ａ〜１２ｃが設けられている部分との間を隔てるため
に、複数枚の磁性体グリーンシート１１ｅが挿入されて
いる。

【００２６】他方、磁性体グリーンシート１１ｆの下方
には、磁性体グリーンシート１１ｇが配置される。磁性
体グリーンシート１１ｇ上には、抵抗体ペースト層１４
及び取り出し電極１５及び接続電極１６が形成されてお
り、これらの電極１５，１６間に抵抗ペースト層１４が
形成されている。また、接続電極１６はスルーホール導
体１６ａにより下方のアース電極１７に接続されてい
る。抵抗ペースト層１４は、抵抗体を構成するために印
刷されているものであり、例えば、カルシウムバナジウ
ム鉄ガーネット粉末と、パラジウム及び白金粉末の少な
くとも一方とを含む抵抗ペーストを用いて構成される。
好ましくは、カルシウムバナジウム鉄ガーネット粉末を
５〜９０重量％、パラジウム及び／または白金粉末を９
５〜５重量％含有するように構成することにより、抵抗
ペースト層１４が焼き付けられて構成された抵抗体と磁
性体グリーンシートが焼き付けられて構成される磁性体
層との密着強度を高め得る。

【００２７】なお、抵抗ペースト層１４において、カル
シウムバナジウム鉄ガーネット粉末の含有割合が５重量
％未満の場合には、磁性体層との密着強度を高める効果
を十分に得ることができないことがあり、他方、９０重
量％を超えると抵抗値が高くなりすぎ、目的とする抵抗
体を構成し得ないことがある。

【００２８】なお、上記カルシウムバナジウム鉄ガーネ
ット粉末と、白金及び／またはパラジウム粉末との含有
割合を変化させることにより、抵抗体ペースト層１４に
より構成される抵抗体の比抵抗値を容易に調整すること
ができる。また、抵抗体ペースト層１４の形成される面
積や厚みを変更することによっても、抵抗体より得られ
る抵抗値を容易に調整することができる。

【００２９】磁性体グリーンシート１１ｇの下方には、
磁性体グリーンシート１１ｈが配置されており、該磁性
体グリーンシート１１ｈの上面には、アース電極１７が
形成されている。アース電極１７は、上記容量電極１３
ａ〜１３ｃと厚み方向に対向し合うように形成されてお
り、かつ容量電極１３ａ〜１３ｃが引き出されている部
分とは上下方向に重ならない位置に引き出されている。
また、アース電極１７は、中心電極１２ａ，１２ｂ，１
２ｃの一方の端部が引き出されている部分と上下方向に
重なる位置に引き出されている。

【００３０】また、上記取り出し電極１５は、端面２２
ａ上において、中心電極１２ａ及び容量電極１３ａと上
下方向に重なる位置に引き出されている。接続電極１６
は、スルーホール導体１６ａによりアース電極１７に接
続されている。アース電極１７は、上述した導電ペース
トを全面に印刷等により付与することにより形成するこ
とができる。

【００３１】図２に示した磁性体グリーンシート１１ａ
〜１１ｉを図２に示した向きのまま積層し、厚み方向に
圧着することにより積層体を得ることができる。このよ
うにして得られた積層体を所望の平面形状を有するよう
に切断し、さらに、例えば１２５０〜１５００℃程度の
温度で焼成することにより、伝送線路としての中心電極
１２ａ〜１２ｃ並びに整合容量を構成するための容量電
極１３ａ〜１３ｃ並びに抵抗体ペースト層１４とが一体
化された磁気回転子を得ることができる。

【００３２】図３は、上記のようにして得られた磁気回
転子の内部構造を略図的に示す斜視図である。磁気回転
子２１は、マイクロ波用磁性体２２内に中心電極１２ａ
〜１２ｃを埋設した構造を有する。また、マイクロ波用
磁性体２２内においては、中心電極１２ａ〜１２ｃが設
けられている部分よりも下方において、前述した容量電
極１３ａ〜１３ｃが配置されている。

【００３３】また、容量電極１３ａ〜１３ｃが形成され
ている部分よりも下方において、抵抗体１４が取り出し
電極１５及び接続電極１６と電気的に接続された状態で
形成されている。抵抗体１４は、上述した抵抗体ペース
ト層１４が焼き付けられて構成されたものであり、取り
出し電極１５により磁性体２２の端面２２ａに引き出さ
れている。

【００３４】さらに、抵抗体１４が形成されている部分
よりも下方において、アース電極１７が形成されてい
る。実際の製造に際しては、上述した積層体を焼成した
後に、磁性体２２の側面及び端面を研磨することによ
り、中心電極１２ａ〜１２ｃ、容量電極１３ａ〜１３ｃ
及び取り出し電極１５の端部が確実に露出される。

【００３５】上記のように、磁気回転子２１からなる本
発明に係る非可逆回路素子では、伝送路としての中心電
極１２ａ〜１２ｃ、整合容量を得るための容量電極１３
ａ〜１３ｃ並びに抵抗体１４などがマイクロ波用磁性体
２２内に一体的に構成されている。

【００３６】従って、図３に示した磁気回転子２１を用
意すれば、例えば、図４に示すように、上記磁気回転子
２１の上方に矩形の永久磁石２３を配置し、さらに上下
から磁気ヨーク２４，２５を組み合わせることにより、
高周波用磁性体及び伝送線路を有する磁気回転子と、抵
抗体とを備える非可逆回路装置を容易に組み立てること
ができる。すなわち、非可逆回路素子の部品点数の低減
及び組み立て作業の簡略化を果たし得ることがわかる。

【００３７】なお、図４において、２６ａ〜２６ｆは、
それぞれ外部電極を示す。外部電極２６ａは、中心電極
１２ａの一端、容量電極１３ａ及び取り出し電極１５に
電気的に接続されている。外部電極２６ｂは、中心電極
１２ｃの一端、及びアース電極１７に電気的に接続され
ている。外部電極２６ｃは、中心電極１２ｂの一端及び
容量電極１３ｂに電気的に接続されている。外部電極２
６ｄは、中心電極１２ａの他端、及びアース電極１７に
電気的に接続されている。

【００３８】外部電極２６ｅは、中心電極１２ｃの一
端、容量電極１３ｃを電気的に接続している。外部電極
２６ｆは、中心電極１２ｂの一端、及びアース電極１７
を電気的に接続している。

【００３９】加えて、上記磁気回転子２１を製造する工
程は、前述したように積層セラミックコンデンサなどの
製造に際して慣用されている一体焼成技術が用いられて
いるため、小型化を図った場合においても、中心電極１
２ａ〜１２ｃの寸法や形成位置の精度、並びに容量電極
１３ａ〜１３ｃや抵抗体１４の形成位置や寸法精度を確
実に高め得る。すなわち、より小型でかつ信頼性に優れ
た非可逆回路素子を提供することができる。

【００４０】なお、図２〜図４を参照して説明した例で
は、抵抗体１４がマイクロ波用磁性体２２内に形成され
ていたが、図５に示すように、抵抗体１４は、マイクロ
波用磁性体２２の上面などの表面に形成されていてもよ
い。なお、図５は、マイクロ波用磁性体２２の上面２２
ｂに抵抗体１４を形成した構造を説明するために示した
略図的斜視図であり、マイクロ波用磁性体２２の内部構
造は簡略化してあるが（アース電極１７は図示を省
略）、抵抗体１４、取り出し電極１５及び接続電極１６
が設けられている部分を除けば、図３に示した磁気回転
子２１と同様に構成されている。

【００４１】

【実施例】次に、具体的な実験例に基づき、本発明を明
らかにする。実施例１ 焼成後に酸化カルシウム、酸化イットリウム、酸化鉄及
び酸化バナジウムを主成分とするカルシウムバナジウム
鉄ガーネットとなる仮焼粉末を用意した。上記カルシウ
ムバナジウム鉄ガーネット仮焼粉末を粉砕し、バインダ
としてのポリビニルブチラール、有機溶剤、分散剤及び
可塑剤と共に混合し、磁性体スラリーを得た。

【００４２】得られた磁性体スラリーを用い、ドクター
ブレード法により、カルシウムバナジウム鉄ガーネット
からなる磁性体グリーンシートを作製し、矩形形状に打
ち抜いた。

【００４３】上記のようにして用意した磁性体グリーン
シートは、図２に示した磁性体グリーンシート１１ａ〜
１１ｉと同様の形状を有する。このようにして用意した
磁性体グリーンシートのうち、３枚のグリーンシートに
おいて、それぞれ、パラジムムペーストを印刷し、中心
電極１２ａ〜１２ｃを形成した。

【００４４】さらに、上記カルシウムバナジウム鉄ガー
ネット粉末と、パラジウム粉末とを含む抵抗ペーストを
用い、磁性体グリーンシート１１ｇ上に抵抗体ペースト
層１４を印刷した。また、磁性体グリーンシート１１ｇ
にはスルーホール導体１６ａを形成するための貫通孔が
形成されており、上記パラジウムペーストを用いて取り
出し電極１５及び接続電極１６をスクリーン印刷により
磁性体グリーンシート１１ｇ上に印刷することにより、
スルーホール導体１６ａを上記貫通孔に形成した。

【００４５】さらに、磁性体グリーンシート１１ｆ上に
は、パラジウムペーストを用い、それぞれ、容量電極１
３ａ〜１３ｃを印刷した。上記のようにして各種電極あ
るいは抵抗体ペースト層が形成された磁性体グリーンシ
ートを、無地の磁性体グリーンシートと共に図２に示す
ように積層し、厚み方向に圧着した後、所望の寸法に打
ち抜き、積層体を得た。得られた積層体を、約４００℃
の温度で１０時間脱脂した後、１２５０〜１５００℃の
温度で焼成し、図３に示したマイクロ波用磁性体２２を
得た。

【００４６】次に、上記マイクロ波用磁性体２２の側面
を研磨し、中心電極１２ａ〜１２ｃや取り出し電極１５
などを側面に露出させると共に、マイクロ波用磁性体の
側面にガラスフリット含有導電ペーストを塗布し焼き付
けることにより図４に示した外部電極２６ａ〜２６ｆを
形成した。

【００４７】さらに、図４に示したように、永久磁石２
３を上部に配置し、さらに磁気ヨーク２４，２５で磁気
閉磁回路を構成することにより非可逆回路装置を組み立
てた。

【００４８】得られた非可逆回路装置を、磁場６０００
〜１１０００（Ｏｅ）で着磁することにより、この非可
逆回路装置はアイソレータとして動作し得ることが確か
められた。

【００４９】実施例２ 実施例１と同様にして、中心電極が印刷された複数枚の
磁性体グリーンシートを用意した。もっとも、図２に示
す磁性体グリーンシート１１ｇを除く他の磁性体グリー
ンシート１１ａ〜１１ｆ，１１ｈ，１１ｉを用意し、図
２に示すように積層した。このようにして得られた積層
体を厚み方向に圧着した後、所定寸法に打ち抜き、積層
体を得た。得られた積層体を、実施例１と同様にして焼
成し、マイクロ波用磁性体を得た。

【００５０】しかる後、得られたマイクロ波用磁性体の
端面を実施例１と同様にして研磨し、中心電極及び容量
電極１３ａ〜１３ｃを露出させ、さらにマイクロ波用磁
性体の側面に実施例１と同様にして外部電極２６ａ〜２
６ｆを形成した。

【００５１】次に、上記のようにして得られたマイクロ
波用磁性体の上面に、二酸化ルテニウムと、ガラス粉末
及び有機溶剤を混合してなる抵抗ペーストを用いて抵抗
ペースト層を印刷し、さらに導電ペーストからなる取り
出し電極を印刷した。次に、５００〜１０００℃で熱処
理することにより、上記抵抗ペースト層及び導電ペース
ト層を焼き付け、図５に示した磁気回転子３１を得た。

【００５２】実施例２で得られた磁気回転子３１につい
ても、永久磁石を上下に配置し、かつ磁気ヨークを用い
て磁気閉磁回路を構成し、非可逆回路装置を作製したと
ころ、磁場６００〜１１０００（Ｏｅ）で着磁すること
によりアイソレータとして動作させ得ることが確かめら
れた。

【００５３】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、高周波
用磁性体内及び表面の少なくとも一方に抵抗体が一体的
に形成されているため、高周波用磁性体、伝送線路及び
抵抗体が一体化された非可逆回路素子を提供することが
できる。この非可逆回路素子では、抵抗体が高周波用磁
性体と一体化されているため、半田付け等の作業が必要
となる抵抗体の実装作業を省略することができ、かつ抵
抗体の電気的接続の信頼性も高め得る。加えて、抵抗体
が伝送線路や高周波用磁性体と一体化されているため、
非可逆回路素子を用い、さらに永久磁石や磁気ヨーク等
と組み合わせて非可逆回路装置を構成する際の組み立て
作業の簡略化も果たし得る。

【００５４】よって、請求項１に記載の発明によれば、
高周波用非可逆回路素子や非可逆回路装置に必要な部品
点数の低減と組み立て作業の簡略化を図ることができ、
かつこれらの信頼性も効果的に高め得る。

【００５５】請求項３に記載の発明に係る非可逆回路素
子では、マイクロ波用フェライトがカルシウムバナジウ
ム鉄ガーネットであり、抵抗体がパラジウム及び／また
は白金粉末とカルシウムバナジウム鉄ガーネット粉末と
を用いて構成されているため、抵抗体が磁性体に対して
強固に接合される。

【００５６】請求項５に記載の発明に係る非可逆回路素
子の製造方法では、抵抗ペースト層が形成された磁性体
グリーンシート及び伝送線路が形成された磁性体グリー
ンシートを含む複数枚の磁性体グリーンシートを用い、
積層・一体焼成技術により、請求項１に記載の発明に係
る非可逆回路素子を容易に得ることができる。

【００５７】特に、請求項６に記載のように、磁性体グ
リーンシートとして、カルシウムバナジウム鉄ガーネッ
トを主体とするグリーンシートを、抵抗ペーストとし
て、カルシウムバナジウム鉄ガーネット粉末と、パラジ
ウム粉末及び白金粉末の少なくとも一方とを含むものを
用いれば、磁性体グリーンシートが焼き付けられて構成
される磁性体層と、抵抗ペーストが焼き付けられて構成
される抵抗体との密着性を効果的に高め得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の非可逆回路素子の分解斜視図。

【図２】本発明の非可逆回路素子の製造方法を説明する
ための分解斜視図。

【図３】本発明の磁気回転子を示す斜視図。

【図４】図３に示した磁気回転子に永久磁石及び磁気ヨ
ークを組み合わせた非可逆回路装置を説明するための分
解斜視図。

【図５】本発明の非可逆回路素子の他の例を示し、マイ
クロ波用磁性体の上面に抵抗体が設けられている例を示
す略図的斜視図。

【符号の説明】

１１ａ〜１１ｉ…磁性体グリーンシート １２ａ〜１２ｃ…中心電極 １３ａ〜１３ｃ…容量電極 １４…抵抗体ペースト層（抵抗体） １５…取り出し電極 ２１…磁気回転子 ２２…マイクロ波用磁性体 ２３…永久磁石 ２４，２５…磁気ヨーク ３１…磁気回転子

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高周波用磁性体と、 前記高周波用磁性体内に形成された伝送線路と、 前記高周波用磁性体内及び表面の少なくとも一方に一体
   的に形成された抵抗体とを備えることを特徴とする、非
   可逆回路素子。
2. 【請求項２】 前記高周波用磁性体が、マイクロ波用フ
   ェライトにより構成されている、請求項１に記載の非可
   逆回路素子。
3. 【請求項３】 前記マイクロ波用フェライトが、カルシ
   ウムバナジウム鉄ガーネットであり、前記抵抗体がカル
   シウムバナジウム鉄ガーネット粉末と、パラジウム及び
   白金粉末の少なくとも一方とを含む抵抗ペーストを焼成
   することにより構成されており、前記マイクロ波用フェ
   ライトと前記抵抗体とが一体的に焼成されている、請求
   項２に記載の非可逆回路素子。
4. 【請求項４】 高周波用磁性体及び伝送線路を有する磁
   気回転子と、抵抗体とを備える非可逆回路装置におい
   て、 前記抵抗体が前記高周波用磁性体の表面及び内部の少な
   くとも一方に形成されており、該高周波用磁性体と一体
   的に構成されていることを特徴とする、非可逆回路装
   置。
5. 【請求項５】 抵抗ペースト層が一方面に形成された磁
   性体グリーンシート及び伝送線路が一方面に形成された
   磁性体グリーンシートを含む複数枚の磁性体グリーンシ
   ートを積層し積層体を得る工程と、 前記積層体を焼成し、抵抗ペースト層及び磁性体を一体
   焼成する工程とを備えることを特徴とする、請求項１に
   記載に非可逆回路素子の製造方法。
6. 【請求項６】 前記磁性体グリーンシートとして、カル
   シウムバナジウム鉄ガーネットを主体とするグリーンシ
   ートを用い、前記抵抗ペーストとして、カルシウムバナ
   ジウム鉄ガーネット粉末と、パラジウム粉末及び白金粉
   末の少なくとも一方とを含むものを用いる、請求項５に
   記載の非可逆回路素子の製造方法。
7. 【請求項７】 前記高周波用磁性体上に、抵抗性組成物
   からなる抵抗ペーストを付与し、固化することを特徴と
   する、請求項１に記載の非可逆回路素子の製造方法。