JPH09304413A - 透明流体中の異物検出方法と装置 - Google Patents
透明流体中の異物検出方法と装置Info
- Publication number
- JPH09304413A JPH09304413A JP8120603A JP12060396A JPH09304413A JP H09304413 A JPH09304413 A JP H09304413A JP 8120603 A JP8120603 A JP 8120603A JP 12060396 A JP12060396 A JP 12060396A JP H09304413 A JPH09304413 A JP H09304413A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foreign matter
- transparent fluid
- laser beam
- flow
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 101
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 30
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 40
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 abstract description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 15
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 10
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 10
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 2
- 240000005572 Syzygium cordatum Species 0.000 description 1
- 235000006650 Syzygium cordatum Nutrition 0.000 description 1
- OMOVVBIIQSXZSZ-UHFFFAOYSA-N [6-(4-acetyloxy-5,9a-dimethyl-2,7-dioxo-4,5a,6,9-tetrahydro-3h-pyrano[3,4-b]oxepin-5-yl)-5-formyloxy-3-(furan-3-yl)-3a-methyl-7-methylidene-1a,2,3,4,5,6-hexahydroindeno[1,7a-b]oxiren-4-yl] 2-hydroxy-3-methylpentanoate Chemical compound CC12C(OC(=O)C(O)C(C)CC)C(OC=O)C(C3(C)C(CC(=O)OC4(C)COC(=O)CC43)OC(C)=O)C(=C)C32OC3CC1C=1C=COC=1 OMOVVBIIQSXZSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 229920003020 cross-linked polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004703 cross-linked polyethylene Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000008157 edible vegetable oil Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 流体中の異物検出に際して、その流れ方向の
大きさを正確に測定することのできる流体中の異物検出
装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 流路内を流れる透明流体に、その流れと
交差する方向からレーザビームを走査し、その透過光を
受光装置で受光して電気信号に変換し、前記透明流体中
に異物が混在している場合に生ずる受光量の低下に基づ
いて異物を検出する異物検出方法において、前記透明流
体中の異物の流速Vと、前記受光量が連続して低下した
レーザビームの走査回数Nを検出し、これらの検出値と
レーザビームの走査周期Tに基づいて、前記透明流体中
における異物の流れ方向の大きさLを算出することを特
徴とする。
大きさを正確に測定することのできる流体中の異物検出
装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 流路内を流れる透明流体に、その流れと
交差する方向からレーザビームを走査し、その透過光を
受光装置で受光して電気信号に変換し、前記透明流体中
に異物が混在している場合に生ずる受光量の低下に基づ
いて異物を検出する異物検出方法において、前記透明流
体中の異物の流速Vと、前記受光量が連続して低下した
レーザビームの走査回数Nを検出し、これらの検出値と
レーザビームの走査周期Tに基づいて、前記透明流体中
における異物の流れ方向の大きさLを算出することを特
徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は透明流体中に混在す
る異物の有無や大きさをレーザビームを用いて検出する
異物検出方法と装置に関する。
る異物の有無や大きさをレーザビームを用いて検出する
異物検出方法と装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、高電圧の電力ケーブルとしては、
ケーブル絶縁層に架橋ポリエチレンを用いたCVケーブ
ルが多用されている。このCVケーブルは通常、架橋剤
を添加したポリエチレンを押出機からケーブル導体上の
内部半導電層の外周に押出し被覆し、更にその外周に外
部半導電層を押出し被覆した後、架橋管内で加圧状態で
加熱し、架橋剤を反応させてポリエチレンを架橋させる
工程を経て製造される。一般に、CVケーブルを使用し
て長距離の電力ケーブル線路を構築するする場合には、
CVケーブルを短スパンごとにケーブルルートに沿って
敷設した後、その前後端を順次接続し、線路の終端に終
端接続部を設置する。このCVケーブルの接続方法とし
ては、種々の方法が開発されているが、中でも、EMJ
(押出しモールドジョイント)法やBMJ(ブロックモ
ールドジョイント)法が、絶縁性能および信頼性の点か
ら、広く採用される傾向にある。EMJ法は、ケーブル
絶縁層や内外の半導電層をペンシリングし、露出したケ
ーブル導体間を導体スリーブで接続した電力ケーブルの
導体接続部の周囲にモールド型を組立て、架橋剤を添加
したポリエチレンを押出機からモールド型内に導入し、
加熱・加圧してポリエチレンを成形すると共に架橋させ
るものである。また、BMJ法は、予め半円筒状に成形
した架橋剤入りのポリエチレンブロックを上記電力ケー
ブルの導体接続部の周囲に円筒状に組立て、あるいは予
め円筒状に成形した架橋剤入りのポリエチレンブロック
を上記電力ケーブルの導体接続部に挿入し、その外周に
モールド型を配置し、加熱・加圧してポリエチレンを成
形一体化させると共に架橋させるものである。
ケーブル絶縁層に架橋ポリエチレンを用いたCVケーブ
ルが多用されている。このCVケーブルは通常、架橋剤
を添加したポリエチレンを押出機からケーブル導体上の
内部半導電層の外周に押出し被覆し、更にその外周に外
部半導電層を押出し被覆した後、架橋管内で加圧状態で
加熱し、架橋剤を反応させてポリエチレンを架橋させる
工程を経て製造される。一般に、CVケーブルを使用し
て長距離の電力ケーブル線路を構築するする場合には、
CVケーブルを短スパンごとにケーブルルートに沿って
敷設した後、その前後端を順次接続し、線路の終端に終
端接続部を設置する。このCVケーブルの接続方法とし
ては、種々の方法が開発されているが、中でも、EMJ
(押出しモールドジョイント)法やBMJ(ブロックモ
ールドジョイント)法が、絶縁性能および信頼性の点か
ら、広く採用される傾向にある。EMJ法は、ケーブル
絶縁層や内外の半導電層をペンシリングし、露出したケ
ーブル導体間を導体スリーブで接続した電力ケーブルの
導体接続部の周囲にモールド型を組立て、架橋剤を添加
したポリエチレンを押出機からモールド型内に導入し、
加熱・加圧してポリエチレンを成形すると共に架橋させ
るものである。また、BMJ法は、予め半円筒状に成形
した架橋剤入りのポリエチレンブロックを上記電力ケー
ブルの導体接続部の周囲に円筒状に組立て、あるいは予
め円筒状に成形した架橋剤入りのポリエチレンブロック
を上記電力ケーブルの導体接続部に挿入し、その外周に
モールド型を配置し、加熱・加圧してポリエチレンを成
形一体化させると共に架橋させるものである。
【0003】上述の電力ケーブルのケーブル絶縁層やそ
のモールドジョイント部は高い電界のもとで使用される
ものであるから、それらの中に金属粉やゴミ、あるいは
ヤケ(樹脂材料の熱劣化物)などの異物が混入している
と、それらが起点となって絶縁破壊を引き起こす恐れが
ある。また、電力ケーブルを長期間に亘って使用する間
に、異物の周囲に水トリーなどが発生し、絶縁性能を次
第に低下させる恐れがある。したがって、電力ケーブル
のケーブル絶縁層やモールドジョイント部に使用される
絶縁材料は、押出機に供給される前に、異物が混入して
いないか十分な検査を受けると共に、押出し工程やモー
ルド工程においても、過度の加熱や滞留によって樹脂が
異物化して絶縁性能が低下することのないように、細心
の注意が払われる。
のモールドジョイント部は高い電界のもとで使用される
ものであるから、それらの中に金属粉やゴミ、あるいは
ヤケ(樹脂材料の熱劣化物)などの異物が混入している
と、それらが起点となって絶縁破壊を引き起こす恐れが
ある。また、電力ケーブルを長期間に亘って使用する間
に、異物の周囲に水トリーなどが発生し、絶縁性能を次
第に低下させる恐れがある。したがって、電力ケーブル
のケーブル絶縁層やモールドジョイント部に使用される
絶縁材料は、押出機に供給される前に、異物が混入して
いないか十分な検査を受けると共に、押出し工程やモー
ルド工程においても、過度の加熱や滞留によって樹脂が
異物化して絶縁性能が低下することのないように、細心
の注意が払われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】電力ケーブルの絶縁材
料として使用される樹脂材料中の異物の検査方法として
は種々の方法が開発され、実用化されているが、いずれ
も一長一短がある。例えば、押出機に供給される前の樹
脂ペレットを抜取って、異物の有無や程度(大きさや個
数)を目視検査したり、あるいは押出機から押出した樹
脂材料をフィルム状に成形し、これにレーザビームを照
射してその透過像から異物の有無や程度を判定する方法
が知られているが、これらの方法はいずれも全量検査で
ないため、その信頼性に懸念がある。また、押出機の先
端の樹脂通路に透明な窓を設け、そこからレーザビーム
を照射して走査させ、その透過光の強度の変化から異物
の有無や程度を判定する方法も知られているが、この方
法では、樹脂中の異物は樹脂と一緒に流動しているた
め、異物の大きさ、特にその流れ方向の大きさを正確に
測定することができないという難点がある。本発明は、
レーザビームによる異物検出に際して、異物の有無と、
その大きさを正確に測定することのできる流体中の異物
検出方法と装置を提供することを課題とするものであ
る。
料として使用される樹脂材料中の異物の検査方法として
は種々の方法が開発され、実用化されているが、いずれ
も一長一短がある。例えば、押出機に供給される前の樹
脂ペレットを抜取って、異物の有無や程度(大きさや個
数)を目視検査したり、あるいは押出機から押出した樹
脂材料をフィルム状に成形し、これにレーザビームを照
射してその透過像から異物の有無や程度を判定する方法
が知られているが、これらの方法はいずれも全量検査で
ないため、その信頼性に懸念がある。また、押出機の先
端の樹脂通路に透明な窓を設け、そこからレーザビーム
を照射して走査させ、その透過光の強度の変化から異物
の有無や程度を判定する方法も知られているが、この方
法では、樹脂中の異物は樹脂と一緒に流動しているた
め、異物の大きさ、特にその流れ方向の大きさを正確に
測定することができないという難点がある。本発明は、
レーザビームによる異物検出に際して、異物の有無と、
その大きさを正確に測定することのできる流体中の異物
検出方法と装置を提供することを課題とするものであ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明において、流体中
の異物検出方法に関する第1の発明は、流路内を流れる
透明流体に、その流れと交差する方向からレーザビーム
を走査し、その透過光を受光装置で受光して電気信号に
変換し、前記透明流体中に異物が混在している場合に生
ずる受光量の低下に基づいて異物を検出する異物検出方
法において、前記透明流体中の異物の流速Vと、前記受
光量が連続して低下したレーザビームの走査回数Nを検
出し、これらの検出値とレーザビームの走査周期Tに基
づいて、前記透明流体中における異物の流れ方向の大き
さLを次式 L=V×N×T …………………………………………………… (1) により算出することを特徴とするものであり、第2の発
明は、流路内を流れる透明流体に、その流れと交差する
複数の方向からレーザビームを走査し、それらの透過光
を受光装置で受光して電気信号に変換し、前記透明流体
中に異物が混在している場合に生ずる受光量の低下に基
づいて前記透明流体の流れと直交する方向の異物の大き
さWを検出すると共に、前記透明流体中の異物の流速V
と、前記受光量が連続して低下したレーザビームの走査
回数Nを検出し、これらの検出値とレーザビームの走査
周期Tに基づいて前記透明流体中における異物の流れ方
向の大きさLを算出することを特徴とするものである。
の異物検出方法に関する第1の発明は、流路内を流れる
透明流体に、その流れと交差する方向からレーザビーム
を走査し、その透過光を受光装置で受光して電気信号に
変換し、前記透明流体中に異物が混在している場合に生
ずる受光量の低下に基づいて異物を検出する異物検出方
法において、前記透明流体中の異物の流速Vと、前記受
光量が連続して低下したレーザビームの走査回数Nを検
出し、これらの検出値とレーザビームの走査周期Tに基
づいて、前記透明流体中における異物の流れ方向の大き
さLを次式 L=V×N×T …………………………………………………… (1) により算出することを特徴とするものであり、第2の発
明は、流路内を流れる透明流体に、その流れと交差する
複数の方向からレーザビームを走査し、それらの透過光
を受光装置で受光して電気信号に変換し、前記透明流体
中に異物が混在している場合に生ずる受光量の低下に基
づいて前記透明流体の流れと直交する方向の異物の大き
さWを検出すると共に、前記透明流体中の異物の流速V
と、前記受光量が連続して低下したレーザビームの走査
回数Nを検出し、これらの検出値とレーザビームの走査
周期Tに基づいて前記透明流体中における異物の流れ方
向の大きさLを算出することを特徴とするものである。
【0006】本発明において、流体中の異物検出装置に
関する第3の発明は、流路内を流れる透明流体に、その
流れと交差する方向からレーザビームを走査し、その透
過光を受光装置で受光して電気信号に変換し、前記透明
流体中に異物が混在している場合に生ずる受光量の低下
に基づいて異物を検出する異物検出装置において、前記
透明流体中の異物の流速Vを検出する流速検出手段と、
前記受光量が連続して低下したレーザビームの走査回数
Nを検出する走査回数検出手段と、これらの検出手段か
らの信号とレーザビームの走査周期Tに基づいて、前記
透明流体中における異物の流れ方向の大きさLを前記
(1)式により算出する大きさ算定手段とを備えること
を特徴とするものであり、第4の発明は、単一のレーザ
光源から得られたレーザビームを多角形回転ミラーで反
射させ、平行な走査レーザビームを出力するレーザビー
ム照射装置と、この走査レーザビームを2つのレーザビ
ームに分光する分光手段と、これらの分光された2つの
レーザビームを、透明流体の流れ方向に異なる位置か
ら、かつそれに直交する異なる方向から透明流体に照射
する光学系と、これらの2つのレーザビームの透過光を
それぞれ受光して電気信号に変換する受光装置と、これ
らの受光装置から出力される信号を処理し、前記透明流
体中の異物の流速Vと、前記受光量が連続して低下した
レーザビームの走査回数Nと、レーザビームの走査周期
Tに基づいて、前記透明流体中における異物の流れ方向
の大きさLを算出すると共に、前記異物の流れと直交す
る方向の大きさWを算出する信号処理装置と、この信号
処理装置の出力に基づいて検出された異物の大きさを表
示する出力装置とを備えることを特徴とするものであ
る。
関する第3の発明は、流路内を流れる透明流体に、その
流れと交差する方向からレーザビームを走査し、その透
過光を受光装置で受光して電気信号に変換し、前記透明
流体中に異物が混在している場合に生ずる受光量の低下
に基づいて異物を検出する異物検出装置において、前記
透明流体中の異物の流速Vを検出する流速検出手段と、
前記受光量が連続して低下したレーザビームの走査回数
Nを検出する走査回数検出手段と、これらの検出手段か
らの信号とレーザビームの走査周期Tに基づいて、前記
透明流体中における異物の流れ方向の大きさLを前記
(1)式により算出する大きさ算定手段とを備えること
を特徴とするものであり、第4の発明は、単一のレーザ
光源から得られたレーザビームを多角形回転ミラーで反
射させ、平行な走査レーザビームを出力するレーザビー
ム照射装置と、この走査レーザビームを2つのレーザビ
ームに分光する分光手段と、これらの分光された2つの
レーザビームを、透明流体の流れ方向に異なる位置か
ら、かつそれに直交する異なる方向から透明流体に照射
する光学系と、これらの2つのレーザビームの透過光を
それぞれ受光して電気信号に変換する受光装置と、これ
らの受光装置から出力される信号を処理し、前記透明流
体中の異物の流速Vと、前記受光量が連続して低下した
レーザビームの走査回数Nと、レーザビームの走査周期
Tに基づいて、前記透明流体中における異物の流れ方向
の大きさLを算出すると共に、前記異物の流れと直交す
る方向の大きさWを算出する信号処理装置と、この信号
処理装置の出力に基づいて検出された異物の大きさを表
示する出力装置とを備えることを特徴とするものであ
る。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明は、前述した電力ケーブル
のケーブル絶縁層やそのモールドジョイント部に供給さ
れるポリエチレン材料中の異物検出に利用することがで
きる。ポリエチレン樹脂は常温では乳白色の半透明であ
り、光の透過性は十分でないが、押出機で混練する際に
加熱されて溶融すると透明になり、溶融樹脂中に異物が
混在している場合には、外部から容易に透視することが
できる。したがって、押出機とクロスヘッドの間、ある
いは押出機とモールド型の間を連結する樹脂流路の途中
に透明なガラスあるいは樹脂材料からなる透明流路を介
挿しておき、その外側から、レーザビームを照射してそ
の受光量の変化をとらえ、それを信号処理または画像処
理すれば、流路内を通過したポリエチレン樹脂中の異物
の有無および大きさを検出することができる。
のケーブル絶縁層やそのモールドジョイント部に供給さ
れるポリエチレン材料中の異物検出に利用することがで
きる。ポリエチレン樹脂は常温では乳白色の半透明であ
り、光の透過性は十分でないが、押出機で混練する際に
加熱されて溶融すると透明になり、溶融樹脂中に異物が
混在している場合には、外部から容易に透視することが
できる。したがって、押出機とクロスヘッドの間、ある
いは押出機とモールド型の間を連結する樹脂流路の途中
に透明なガラスあるいは樹脂材料からなる透明流路を介
挿しておき、その外側から、レーザビームを照射してそ
の受光量の変化をとらえ、それを信号処理または画像処
理すれば、流路内を通過したポリエチレン樹脂中の異物
の有無および大きさを検出することができる。
【0008】レーザビームの走査によって異物の透過像
を電気信号としてとらえる場合、異物はポリエチレン樹
脂の流れの方向に移動するので、異物の大きさは、流れ
の方向に実際よりも異なった大きさの信号として出力さ
れる。また、透明流路内を流れるポリエチレン樹脂中の
流速の分布は一様ではなく、流路の中心で大きく、流路
壁の近くでは小さい。例えば透明流路の内径が円筒形
で、そこを流れる流体がニュートンの粘性法則に従う場
合には、その流速分布は次式に示すようになり、これを
図示すれば図2(a)のようになる。
を電気信号としてとらえる場合、異物はポリエチレン樹
脂の流れの方向に移動するので、異物の大きさは、流れ
の方向に実際よりも異なった大きさの信号として出力さ
れる。また、透明流路内を流れるポリエチレン樹脂中の
流速の分布は一様ではなく、流路の中心で大きく、流路
壁の近くでは小さい。例えば透明流路の内径が円筒形
で、そこを流れる流体がニュートンの粘性法則に従う場
合には、その流速分布は次式に示すようになり、これを
図示すれば図2(a)のようになる。
【0009】 Ur=K(R2 −r2 ) ……………………………………………… (2) ただし、Ur:r位置における流速 K:定数 R:流路の半径 r:流路の半径方向位置 ポリエチレン樹脂は、上記(2)式に完全に従うニュー
トン流体ではないが、押出し時の平均流速が所定の範囲
内の場合にはそれに近い挙動を示す。また、それよりも
流速が低い場合には、むしろ図2(b)のVrのよう
に、ビンガム流体に近い流速分布を示す。
トン流体ではないが、押出し時の平均流速が所定の範囲
内の場合にはそれに近い挙動を示す。また、それよりも
流速が低い場合には、むしろ図2(b)のVrのよう
に、ビンガム流体に近い流速分布を示す。
【0010】したがって、本発明の第1の発明(請求項
1の発明)においては、流路内を流れる透明流体に、そ
の流れと交差する方向からレーザビームを走査し、その
透過光を受光装置で受光して電気信号に変換し、前記透
明流体中に異物が混在している場合に生ずる受光量の低
下に基づいて異物を検出する異物検出方法において、前
記透明流体中の異物の流速Vと、前記受光量が連続して
低下したレーザビームの走査回数Nを検出し、これらの
検出値とレーザビームの走査周期Tに基づいて前記透明
流体中における異物の流れ方向の大きさLを算出するよ
うにしている。また、本発明の第2の発明(請求項2の
発明)においては、流路内を流れる透明流体に、その流
れと交差する複数の方向からレーザビームを走査し、そ
れらの透過光を受光装置で受光して電気信号に変換し、
前記透明流体中に異物が混在している場合に生ずる受光
量の低下に基づいて前記透明流体の流れと直交する方向
の異物の大きさWを検出すると共に、前記透明流体中の
異物の流速Vと、前記受光量が連続して低下したレーザ
ビームの走査回数Nを検出し、これらの検出値とレーザ
ビームの走査周期Tに基づいて前記透明流体中における
異物の流れ方向の大きさLを算出するようにしている。
1の発明)においては、流路内を流れる透明流体に、そ
の流れと交差する方向からレーザビームを走査し、その
透過光を受光装置で受光して電気信号に変換し、前記透
明流体中に異物が混在している場合に生ずる受光量の低
下に基づいて異物を検出する異物検出方法において、前
記透明流体中の異物の流速Vと、前記受光量が連続して
低下したレーザビームの走査回数Nを検出し、これらの
検出値とレーザビームの走査周期Tに基づいて前記透明
流体中における異物の流れ方向の大きさLを算出するよ
うにしている。また、本発明の第2の発明(請求項2の
発明)においては、流路内を流れる透明流体に、その流
れと交差する複数の方向からレーザビームを走査し、そ
れらの透過光を受光装置で受光して電気信号に変換し、
前記透明流体中に異物が混在している場合に生ずる受光
量の低下に基づいて前記透明流体の流れと直交する方向
の異物の大きさWを検出すると共に、前記透明流体中の
異物の流速Vと、前記受光量が連続して低下したレーザ
ビームの走査回数Nを検出し、これらの検出値とレーザ
ビームの走査周期Tに基づいて前記透明流体中における
異物の流れ方向の大きさLを算出するようにしている。
【0011】これらの発明において、透明流体中の異物
の流速Vを求める方法としては、請求項3に記載されて
いるように、透明流体の流れの方向に異なる複数の位置
から透明流体にそれぞれレーザビームを走査し、それら
の透過光をそれぞれ受光装置で受光して電気信号に変換
し、これらの電気信号に基づいて、前記複数の受光装置
で検出された同一の異物の検出時間差からその異物の流
速Vを求めることができ、あるいは請求項5に記載され
ているように、流路内を流れる透明流体を、その流れと
交差する方向からビデオカメラで撮像し、このビデオカ
メラで撮像された、ある画面における異物の画像の位置
と、その後に撮像された画面における同一の異物の画像
の位置とを比較し、それらの位置の差から前記異物の流
速Vを求めることもできる。なお、ビデオカメラで撮像
した異物の画像の位置の差から異物の流速Vを求める場
合には、請求項6に記載されているように、流路内を流
れる透明流体にその流れと交差する方向からレーザビー
ムを走査し、その透過光を受光装置で受光して電気信号
に変換し、前記透明流体中に異物が混在している場合に
生ずる受光量の低下に基づいて異物を検出した際に、ト
リガーを掛け、最初の画像を取込むようにすることが望
ましい。
の流速Vを求める方法としては、請求項3に記載されて
いるように、透明流体の流れの方向に異なる複数の位置
から透明流体にそれぞれレーザビームを走査し、それら
の透過光をそれぞれ受光装置で受光して電気信号に変換
し、これらの電気信号に基づいて、前記複数の受光装置
で検出された同一の異物の検出時間差からその異物の流
速Vを求めることができ、あるいは請求項5に記載され
ているように、流路内を流れる透明流体を、その流れと
交差する方向からビデオカメラで撮像し、このビデオカ
メラで撮像された、ある画面における異物の画像の位置
と、その後に撮像された画面における同一の異物の画像
の位置とを比較し、それらの位置の差から前記異物の流
速Vを求めることもできる。なお、ビデオカメラで撮像
した異物の画像の位置の差から異物の流速Vを求める場
合には、請求項6に記載されているように、流路内を流
れる透明流体にその流れと交差する方向からレーザビー
ムを走査し、その透過光を受光装置で受光して電気信号
に変換し、前記透明流体中に異物が混在している場合に
生ずる受光量の低下に基づいて異物を検出した際に、ト
リガーを掛け、最初の画像を取込むようにすることが望
ましい。
【0012】2組のレーザビーム照射装置と受光装置を
使用する場合、一般にレーザビーム照射装置は高価であ
るので、単一のレーザビーム照射装置を使用し、そのレ
ーザ光源から得られたレーザビームをポリゴンミラーな
どの多角形回転ミラーで反射させ、得られた走査レーザ
ビームをミラーおよびハーフミラー等からなる分光手段
を通して2つのレーザビームに分光し、これらのレーザ
ビームを、透明流体の流れ方向の異なった位置から透明
流体に照射し、それらの透過光をそれぞれ受光装置で受
光するようにすることが望ましい。また、2つのレーザ
ビームを、透明流体の流れ方向の異なった位置から、か
つ透明流体の流れと交差する複数の方向から同時に透明
流体に照射するようにすれば、異物の有無および流速を
知ることができるだけでなく、異物が重なって通過する
場合でも、それらの重なりを識別できるので、異物の個
数や大きさを正確に求めることができる。本発明におい
て、レーザビームを照射するための透明流路は、管路の
途中に透明リングを介挿することにより構成することが
できる。この場合、透明リングは横断面を四角形として
おくこともできるが、中を流れる流体の流れを乱した
り、滞留を生じさせることがないよう、管路と同じ内径
の円筒状としておく方が好ましい。また、透明リングは
レーザビームの屈折を少なくする関係上、中を通過する
透明流体とほぼ等しい屈折率を持つことが望ましい。し
たがって、例えば透明流体が溶融ポリエチレンの場合に
は、その屈折率1.44に近い屈折率を持つパイレック
スガラス(屈折率1.47)で構成することが望まし
い。
使用する場合、一般にレーザビーム照射装置は高価であ
るので、単一のレーザビーム照射装置を使用し、そのレ
ーザ光源から得られたレーザビームをポリゴンミラーな
どの多角形回転ミラーで反射させ、得られた走査レーザ
ビームをミラーおよびハーフミラー等からなる分光手段
を通して2つのレーザビームに分光し、これらのレーザ
ビームを、透明流体の流れ方向の異なった位置から透明
流体に照射し、それらの透過光をそれぞれ受光装置で受
光するようにすることが望ましい。また、2つのレーザ
ビームを、透明流体の流れ方向の異なった位置から、か
つ透明流体の流れと交差する複数の方向から同時に透明
流体に照射するようにすれば、異物の有無および流速を
知ることができるだけでなく、異物が重なって通過する
場合でも、それらの重なりを識別できるので、異物の個
数や大きさを正確に求めることができる。本発明におい
て、レーザビームを照射するための透明流路は、管路の
途中に透明リングを介挿することにより構成することが
できる。この場合、透明リングは横断面を四角形として
おくこともできるが、中を流れる流体の流れを乱した
り、滞留を生じさせることがないよう、管路と同じ内径
の円筒状としておく方が好ましい。また、透明リングは
レーザビームの屈折を少なくする関係上、中を通過する
透明流体とほぼ等しい屈折率を持つことが望ましい。し
たがって、例えば透明流体が溶融ポリエチレンの場合に
は、その屈折率1.44に近い屈折率を持つパイレック
スガラス(屈折率1.47)で構成することが望まし
い。
【0013】
【実施例】次に、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図3は、CVケーブルの絶縁層を前述したEMJ
法により接続する際にモールド型に供給されるポリエチ
レン樹脂中の異物検出に本発明を適用する例を示すもの
で、押出機からモールド型へ至る樹脂供給用の管路1の
途中には、パイレックスガラスなどからなる透明リング
2が介挿されている。この透明リングは管路1と同じ内
径(約20mm)の円筒状であり、その上下両端はO−リ
ング3を介して管路側のフランジ4,5間に対面してい
る。また、フランジ4と5は、それらの周囲4か所に設
けた透孔に挿通したボルト・ナット6により締付けら
れ、透明リング2との間をシールしている。
する。図3は、CVケーブルの絶縁層を前述したEMJ
法により接続する際にモールド型に供給されるポリエチ
レン樹脂中の異物検出に本発明を適用する例を示すもの
で、押出機からモールド型へ至る樹脂供給用の管路1の
途中には、パイレックスガラスなどからなる透明リング
2が介挿されている。この透明リングは管路1と同じ内
径(約20mm)の円筒状であり、その上下両端はO−リ
ング3を介して管路側のフランジ4,5間に対面してい
る。また、フランジ4と5は、それらの周囲4か所に設
けた透孔に挿通したボルト・ナット6により締付けら
れ、透明リング2との間をシールしている。
【0014】透明リング2の側方には、図1に示すよう
に、レーザビーム照射装置10と、ハーフミラー20
と、このハーフミラーによって分光されたレーザビーム
La,Lbをそれぞれ図1の紙面と平行な面内において
直角に屈折させる一対のミラー21a,21bと、これ
らのミラー21a,21bを出たレーザビームLa,L
bを透明リング2の軸線方向(図1の紙面と直交する方
向)に下方または上方にそれぞれ直角に屈折させる一対
のミラー22a,22b(図示せず)と、これらのミラ
ー22a,22bを出たレーザビームLa,Lbを再び
透明リング2の軸線と直交する方向(図1の紙面と平行
な面内)にそれぞれ直角に屈折させる一対のミラー23
a,23bと、これらのミラー23a,23bを出て透
明リング2内を透過したレーザビームLa,Lbを受光
する一対の受光装置30a,30bが配置されている。
ハーフミラー20は、レーザビームLa,Lbが1/2
ずつ等分に分光されるように透過率と反射率を選択され
ており、またミラー21a,21b,22a,22b,
23a,23bは、ハーフミラー20から受光装置30
a,30bに至る2本のレーザビームLa,Lbの光路
長さが等しくなり、同一の減衰量になるように反射率を
等しくされ、かつレーザビームの光軸に対してそれぞれ
45°の角度に正確に位置決めされている。なお、図3
には、上記レーザビームLaおよびLbの2系統の内、
レーザビームLaに関する構成部材だけが図示されてい
る。上記において、ミラー21a,21bはレーザビー
ムLa,Lbを透明リング2の軸線と直交する2つの方
向から照射するために使用するものであり、またミラー
22a,22b,23a,23bは、図3に示すよう
に、レーザビームLa,Lbが透明リング2の軸線方向
に適当な距離(例えば、10mm程度)離れた位置を通
過するようにするために使用されるものである。
に、レーザビーム照射装置10と、ハーフミラー20
と、このハーフミラーによって分光されたレーザビーム
La,Lbをそれぞれ図1の紙面と平行な面内において
直角に屈折させる一対のミラー21a,21bと、これ
らのミラー21a,21bを出たレーザビームLa,L
bを透明リング2の軸線方向(図1の紙面と直交する方
向)に下方または上方にそれぞれ直角に屈折させる一対
のミラー22a,22b(図示せず)と、これらのミラ
ー22a,22bを出たレーザビームLa,Lbを再び
透明リング2の軸線と直交する方向(図1の紙面と平行
な面内)にそれぞれ直角に屈折させる一対のミラー23
a,23bと、これらのミラー23a,23bを出て透
明リング2内を透過したレーザビームLa,Lbを受光
する一対の受光装置30a,30bが配置されている。
ハーフミラー20は、レーザビームLa,Lbが1/2
ずつ等分に分光されるように透過率と反射率を選択され
ており、またミラー21a,21b,22a,22b,
23a,23bは、ハーフミラー20から受光装置30
a,30bに至る2本のレーザビームLa,Lbの光路
長さが等しくなり、同一の減衰量になるように反射率を
等しくされ、かつレーザビームの光軸に対してそれぞれ
45°の角度に正確に位置決めされている。なお、図3
には、上記レーザビームLaおよびLbの2系統の内、
レーザビームLaに関する構成部材だけが図示されてい
る。上記において、ミラー21a,21bはレーザビー
ムLa,Lbを透明リング2の軸線と直交する2つの方
向から照射するために使用するものであり、またミラー
22a,22b,23a,23bは、図3に示すよう
に、レーザビームLa,Lbが透明リング2の軸線方向
に適当な距離(例えば、10mm程度)離れた位置を通
過するようにするために使用されるものである。
【0015】受光装置30a,30bから出力されたデ
ジタル信号は信号処理装置40において処理され、異物
の個数、幅方向の大きさW、幅方向の位置、および検出
された異物の流速に基づく異物の流れ方向の大きさLを
算定され、出力装置50およびモニタ60に出力され
る。
ジタル信号は信号処理装置40において処理され、異物
の個数、幅方向の大きさW、幅方向の位置、および検出
された異物の流速に基づく異物の流れ方向の大きさLを
算定され、出力装置50およびモニタ60に出力され
る。
【0016】レーザビーム照射装置10は図4に示すよ
うに、半導体レーザなどからなるレーザ発振器11と、
モータ(図示せず)によって駆動されて高速回転し、入
射したレーザビームをスキャンニングしてスイープさせ
る8面体ポリゴンスキャナーなどからなる多角形回転ミ
ラー12と、この多角形回転ミラー12からのレーザ光
線を反射させる反射ミラー13と、入射したレーザビー
ムを平行光線にするコリメータレンズ(Fθレンズ)1
4とを備えている。受光装置30a,30bは図5に示
すように、それぞれ集光レンズ31と、その焦点位置に
設置され、光信号をアナログ電気信号に変換する受光素
子32と、このアナログ電気信号をデジタル信号に変換
するアナログ・デジタル変換装置33とから構成されて
おり、その出力端子34には、図6に示すように、受光
量に応じたデジタル信号が時系列の2値信号としてそれ
ぞれ出力される。図6において、受光装置出力“0”
は、レーザビームが異物に遮られ、その透過光が減少し
て受光量がしきい値以下に低下したことを意味するの
で、異物の存在を示すことになる。信号処理装置40
は、透明流体中の異物の流速Vを検出する流速検出手段
と、前記受光量が連続して低下したレーザビームの走査
回数Nを検出する走査回数検出手段と、これらの検出手
段からの信号とレーザビームの走査周期Tに基づいて透
明流体中における異物の流れ方向の大きさLを(1)式
により算出する大きさ算定手段とを備えている。
うに、半導体レーザなどからなるレーザ発振器11と、
モータ(図示せず)によって駆動されて高速回転し、入
射したレーザビームをスキャンニングしてスイープさせ
る8面体ポリゴンスキャナーなどからなる多角形回転ミ
ラー12と、この多角形回転ミラー12からのレーザ光
線を反射させる反射ミラー13と、入射したレーザビー
ムを平行光線にするコリメータレンズ(Fθレンズ)1
4とを備えている。受光装置30a,30bは図5に示
すように、それぞれ集光レンズ31と、その焦点位置に
設置され、光信号をアナログ電気信号に変換する受光素
子32と、このアナログ電気信号をデジタル信号に変換
するアナログ・デジタル変換装置33とから構成されて
おり、その出力端子34には、図6に示すように、受光
量に応じたデジタル信号が時系列の2値信号としてそれ
ぞれ出力される。図6において、受光装置出力“0”
は、レーザビームが異物に遮られ、その透過光が減少し
て受光量がしきい値以下に低下したことを意味するの
で、異物の存在を示すことになる。信号処理装置40
は、透明流体中の異物の流速Vを検出する流速検出手段
と、前記受光量が連続して低下したレーザビームの走査
回数Nを検出する走査回数検出手段と、これらの検出手
段からの信号とレーザビームの走査周期Tに基づいて透
明流体中における異物の流れ方向の大きさLを(1)式
により算出する大きさ算定手段とを備えている。
【0017】信号処理装置40は、受光装置30a,3
0bからの信号に異物の存在を示す“0”信号が含まれ
ている場合には、その数と位置とから異物の数と走査方
向の大きさW(流路横断面内の大きさ)を演算する。ま
た、“0”信号が連続して含まれているレーザビームの
走査回数Nを検出すると共に、走査レーザビームLaと
Lbによる同一異物の検出時間差からその異物の流速V
を求め、これらの検出値N,Vと予め入力されているレ
ーザビームの走査周期T(レーザビームの走査周波数の
逆数)に基づいて、前述の(1)式の演算を行い、異物
の流れ方向の大きさLを出力する。なお、信号処理装置
40は画像処理回路を内蔵しており、その入力信号に異
物の存在を示す“0”信号が含まれている場合には、そ
の間の走査レーザビームの時系列データをそれぞれ記憶
装置に保存し、所定の時系列データ(例えば走査線10
24本分ずつ)が集積される度に画像処理してモニタ6
0に送り出す。これは受光装置30aおよび30bから
の信号系列ごとに別々に行われる。これによってモニタ
画面a,b上には、それぞれ受光装置30a,30bに
よって検出された異物の拡大像がゆっくりと移動する像
として写し出される。 出力装置50は、信号処理装置
40の出力結果を印字して出力すると共に、予め設定さ
れた一定値以上の大きさ、または個数の異物が検出され
た時は警報を出力する。
0bからの信号に異物の存在を示す“0”信号が含まれ
ている場合には、その数と位置とから異物の数と走査方
向の大きさW(流路横断面内の大きさ)を演算する。ま
た、“0”信号が連続して含まれているレーザビームの
走査回数Nを検出すると共に、走査レーザビームLaと
Lbによる同一異物の検出時間差からその異物の流速V
を求め、これらの検出値N,Vと予め入力されているレ
ーザビームの走査周期T(レーザビームの走査周波数の
逆数)に基づいて、前述の(1)式の演算を行い、異物
の流れ方向の大きさLを出力する。なお、信号処理装置
40は画像処理回路を内蔵しており、その入力信号に異
物の存在を示す“0”信号が含まれている場合には、そ
の間の走査レーザビームの時系列データをそれぞれ記憶
装置に保存し、所定の時系列データ(例えば走査線10
24本分ずつ)が集積される度に画像処理してモニタ6
0に送り出す。これは受光装置30aおよび30bから
の信号系列ごとに別々に行われる。これによってモニタ
画面a,b上には、それぞれ受光装置30a,30bに
よって検出された異物の拡大像がゆっくりと移動する像
として写し出される。 出力装置50は、信号処理装置
40の出力結果を印字して出力すると共に、予め設定さ
れた一定値以上の大きさ、または個数の異物が検出され
た時は警報を出力する。
【0018】このような構成の異物検出装置を用いて、
前述のEMJ法によりCVケーブルを接続する際にモー
ルド型に供給されるポリエチレン樹脂中の異物検出を行
う場合には、ケーブル絶縁層や内外の半導電層をペンシ
リングし、露出したケーブル導体間を導体スリーブで接
続した一対の電力ケーブル(図示せず)は、導体接続部
の周囲にモールド型(図示せず)を組立てられる。モー
ルドに使用されるポリエチレン樹脂は押出機(図示せ
ず)において、架橋剤とともに混練され、加熱溶融して
透明流体となり、樹脂供給用の管路1を通してモールド
型内へ供給されるが、管路1に介挿した透明リング2内
を通過する際、レーザビームを照射され、異物が混在し
ているか否かを検査される。すなわち、照射装置10の
レーザ発振器11から発振されたレーザ光線は多角形回
転ミラー12によって600Hz程度の周波数でスキャ
ンニングされ、コリメータレンズ14によって平行光線
となる。なお、このスキャンニングは図1および図4の
紙面と平行な面内で行われる。また、スキャンニングさ
れるレーザビームの高さH(図1および図4の紙面に直
交する方向の長さ)は60μm程度とされる。このレー
ザビームは、ハーフミラー20などの分光手段を通して
50%ずつの2つのレーザビームLa,Lbに分光さ
れ、それぞれミラー21a,21b,22a,22b,
23a,23bで反射した後、透明リング2内を通過す
るポリエチレン樹脂に、透明リング2の軸方向および円
周方向の異なった位置から照射される。
前述のEMJ法によりCVケーブルを接続する際にモー
ルド型に供給されるポリエチレン樹脂中の異物検出を行
う場合には、ケーブル絶縁層や内外の半導電層をペンシ
リングし、露出したケーブル導体間を導体スリーブで接
続した一対の電力ケーブル(図示せず)は、導体接続部
の周囲にモールド型(図示せず)を組立てられる。モー
ルドに使用されるポリエチレン樹脂は押出機(図示せ
ず)において、架橋剤とともに混練され、加熱溶融して
透明流体となり、樹脂供給用の管路1を通してモールド
型内へ供給されるが、管路1に介挿した透明リング2内
を通過する際、レーザビームを照射され、異物が混在し
ているか否かを検査される。すなわち、照射装置10の
レーザ発振器11から発振されたレーザ光線は多角形回
転ミラー12によって600Hz程度の周波数でスキャ
ンニングされ、コリメータレンズ14によって平行光線
となる。なお、このスキャンニングは図1および図4の
紙面と平行な面内で行われる。また、スキャンニングさ
れるレーザビームの高さH(図1および図4の紙面に直
交する方向の長さ)は60μm程度とされる。このレー
ザビームは、ハーフミラー20などの分光手段を通して
50%ずつの2つのレーザビームLa,Lbに分光さ
れ、それぞれミラー21a,21b,22a,22b,
23a,23bで反射した後、透明リング2内を通過す
るポリエチレン樹脂に、透明リング2の軸方向および円
周方向の異なった位置から照射される。
【0019】その際、ポリエチレン樹脂中に異物が混在
していると、それによってレーザビームの一部は吸収ま
たは散乱されるので、受光装置30a,30bに到達す
る光量は減少する。受光装置30a,30bにおける受
光量の変化は受光素子32によって電気信号に変換さ
れ、さらにアナログ・デジタル変換装置33によってデ
ジタル信号に変換されて出力される。この信号変換は、
図6に示すように、各走査線ごとに、かつ走査の途中に
おいても刻々と行われ、所定のしきい値で区分され、
“0”または“1”の2値信号として出力される。ここ
で、図7に示すように、ポリエチレン樹脂がZ−Z´方
向に下から上に流れており、レーザビームの走査をY−
Y´方向に行っている場合に、異物Aが混在しているポ
リエチレン樹脂が通過していく場合を想定すると、同図
(a)や(c)のように、異物Aが走査線の高さH(レ
ーザビームのスポット径)内にない場合には、図8
(a)や(c)に示すように、スキャンデータは全て
“1”となるが、図7(b)のように異物Aが走査線の
高さH内にある場合には、図8(b)のようにスキャン
データには“0”が含まれることになり、異物が通過し
たことが検出される。この場合、異物Aの横断面方向の
大きさW(横幅)はスキャンデータにおける横に並んだ
“0”の数(これは受光量が低下した時間幅と走査線の
スィープ速度の積に等しい)から求めることができる。
例えば、透明リングの内径が20mm、レーザビームの
走査速度が600Hzのとき、透明リング内のレーザビ
ームの通過時間は122.2μsec(実測結果)であ
る。サンプリング時間が0.125μsecであるとす
ると、分解数Mは M=122.2μsec/0.125μsec=978 となり、分解能Pは P=20mm/978=20μm となる。したがって、スキャンデータにおける横に並ん
だ“0”の数が3個の場合には、異物Aの横幅Wは W=20μm×3=60μm となる。
していると、それによってレーザビームの一部は吸収ま
たは散乱されるので、受光装置30a,30bに到達す
る光量は減少する。受光装置30a,30bにおける受
光量の変化は受光素子32によって電気信号に変換さ
れ、さらにアナログ・デジタル変換装置33によってデ
ジタル信号に変換されて出力される。この信号変換は、
図6に示すように、各走査線ごとに、かつ走査の途中に
おいても刻々と行われ、所定のしきい値で区分され、
“0”または“1”の2値信号として出力される。ここ
で、図7に示すように、ポリエチレン樹脂がZ−Z´方
向に下から上に流れており、レーザビームの走査をY−
Y´方向に行っている場合に、異物Aが混在しているポ
リエチレン樹脂が通過していく場合を想定すると、同図
(a)や(c)のように、異物Aが走査線の高さH(レ
ーザビームのスポット径)内にない場合には、図8
(a)や(c)に示すように、スキャンデータは全て
“1”となるが、図7(b)のように異物Aが走査線の
高さH内にある場合には、図8(b)のようにスキャン
データには“0”が含まれることになり、異物が通過し
たことが検出される。この場合、異物Aの横断面方向の
大きさW(横幅)はスキャンデータにおける横に並んだ
“0”の数(これは受光量が低下した時間幅と走査線の
スィープ速度の積に等しい)から求めることができる。
例えば、透明リングの内径が20mm、レーザビームの
走査速度が600Hzのとき、透明リング内のレーザビ
ームの通過時間は122.2μsec(実測結果)であ
る。サンプリング時間が0.125μsecであるとす
ると、分解数Mは M=122.2μsec/0.125μsec=978 となり、分解能Pは P=20mm/978=20μm となる。したがって、スキャンデータにおける横に並ん
だ“0”の数が3個の場合には、異物Aの横幅Wは W=20μm×3=60μm となる。
【0020】なお、前述したように、走査線の高さ方向
の寸法H(レーザビームのスポット径)を60μm程
度、走査の周波数を600Hz程度としておけば、異物
が通常時の最高速度(上記実施例の場合は平均流速7m
m/sec程度)で通過する場合でも、いずれかの走査
レーザビームによって異物を確実に照射することができ
る。換言すれば、走査レーザビームと次の走査レーザビ
ームとの間に到達した異物は次の走査レーザビームによ
って照射されるので、異物の検出を取り逃がすことはな
い。本実施例においては、レーザビームLa,Lbの透
過位置を透明リング2の軸線方向に10mm程度ずらし
てあるので、受光装置30a,30bにおいて同一の異
物を検出した際に生ずる信号には、その異物の流速に関
する情報が含まれている。すなわち受光装置30a,3
0bによって同一の異物を最初に検出した際の検出時間
差をレーザビームLa,Lbの透過距離(図3のS)で
割れば、その異物の流速を求めることができる。また、
異物Aの流れ方向の大きさLは、図9において縦方向に
並んだ“0”の数に基づいて求めることができる。即ち
“0”信号が連続して含まれているレーザビームの走査
回数Nを検出すると共に、走査レーザビームLaとLb
による同一異物の検出時間差からその異物の流速Vを求
め、これらの検出値N,Vと予め入力されているレーザ
ビームの走査周期Tに基づいて、前述の(1)式の演算
を行い、異物の流れ方向の大きさLを出力する。例え
ば、走査レーザビームLa,Lbが600Hzで走査し
ている場合、走査周期Tは T=1/600Hz=1.67msec/scan であるから、例えば異物の流速Vが10mm/secと
求められ、また“0”信号が連続して含まれているレー
ザビームの走査回数Nが4scanの場合には、異物の
流れ方向の大きさLは、(1)式より、 L=10mm/sec×4scan×1.67msec/scan =67μm であることが検出される。なお、複数の異物が透明リン
グ2内を同時に通過するような場合、レーザビームLa
によって最初に検出された異物が、流速が遅いため、レ
ーザビームLbを通過する際に、流速の速い他の異物よ
りも後に検出されることも考えられるが、これは異物の
大きさによって異同を判別するシステムを付加すること
によって解決できる。
の寸法H(レーザビームのスポット径)を60μm程
度、走査の周波数を600Hz程度としておけば、異物
が通常時の最高速度(上記実施例の場合は平均流速7m
m/sec程度)で通過する場合でも、いずれかの走査
レーザビームによって異物を確実に照射することができ
る。換言すれば、走査レーザビームと次の走査レーザビ
ームとの間に到達した異物は次の走査レーザビームによ
って照射されるので、異物の検出を取り逃がすことはな
い。本実施例においては、レーザビームLa,Lbの透
過位置を透明リング2の軸線方向に10mm程度ずらし
てあるので、受光装置30a,30bにおいて同一の異
物を検出した際に生ずる信号には、その異物の流速に関
する情報が含まれている。すなわち受光装置30a,3
0bによって同一の異物を最初に検出した際の検出時間
差をレーザビームLa,Lbの透過距離(図3のS)で
割れば、その異物の流速を求めることができる。また、
異物Aの流れ方向の大きさLは、図9において縦方向に
並んだ“0”の数に基づいて求めることができる。即ち
“0”信号が連続して含まれているレーザビームの走査
回数Nを検出すると共に、走査レーザビームLaとLb
による同一異物の検出時間差からその異物の流速Vを求
め、これらの検出値N,Vと予め入力されているレーザ
ビームの走査周期Tに基づいて、前述の(1)式の演算
を行い、異物の流れ方向の大きさLを出力する。例え
ば、走査レーザビームLa,Lbが600Hzで走査し
ている場合、走査周期Tは T=1/600Hz=1.67msec/scan であるから、例えば異物の流速Vが10mm/secと
求められ、また“0”信号が連続して含まれているレー
ザビームの走査回数Nが4scanの場合には、異物の
流れ方向の大きさLは、(1)式より、 L=10mm/sec×4scan×1.67msec/scan =67μm であることが検出される。なお、複数の異物が透明リン
グ2内を同時に通過するような場合、レーザビームLa
によって最初に検出された異物が、流速が遅いため、レ
ーザビームLbを通過する際に、流速の速い他の異物よ
りも後に検出されることも考えられるが、これは異物の
大きさによって異同を判別するシステムを付加すること
によって解決できる。
【0021】また、本発明においては流路内を異物が同
時に2個通過する場合でも直交方向から測定することに
よってそれらが2個であること、およびそれらのX方向
とY方向の大きさ(横幅と大きさ)をそれぞれ識別する
ことができる。図10はそのパターンと、モニタ画面
a,b上の異物像を示すもので、No.1は流路の中央
に球状の異物Aがあり、Y軸上の壁面近くにもう1個の
球状の異物B(この異物は壁面の近くにあるため、モニ
ター画面上には流れ方向に拡大され、長丸状に写る。)
があるパターンを示している。No.2は流路の中央と
X軸上の壁面近くに球状の異物A,Bがあるパターンを
示しており、またNo.3はY軸およびX軸上の壁面近
くに球状の異物A,Bがあるパターンを示している。こ
のように本実施例においては流路内を異物が同時に2個
通過する場合でも、それらの個数と大きさを識別するこ
とができ、また一般的には3個以上の場合でもそれらを
識別することができる。ただし、3個の異物が流路の中
央とY軸およびX軸上に各1個ずつあるような特異な場
合には、例外的に識別できない場合もある。それは、モ
ニター画面aにもモニター画面bにも、異物像は重り合
って2個ずつしか写らないからである。しかしながら、
このようなケースは極めて希なことと考えられるので、
実用上は問題がない。
時に2個通過する場合でも直交方向から測定することに
よってそれらが2個であること、およびそれらのX方向
とY方向の大きさ(横幅と大きさ)をそれぞれ識別する
ことができる。図10はそのパターンと、モニタ画面
a,b上の異物像を示すもので、No.1は流路の中央
に球状の異物Aがあり、Y軸上の壁面近くにもう1個の
球状の異物B(この異物は壁面の近くにあるため、モニ
ター画面上には流れ方向に拡大され、長丸状に写る。)
があるパターンを示している。No.2は流路の中央と
X軸上の壁面近くに球状の異物A,Bがあるパターンを
示しており、またNo.3はY軸およびX軸上の壁面近
くに球状の異物A,Bがあるパターンを示している。こ
のように本実施例においては流路内を異物が同時に2個
通過する場合でも、それらの個数と大きさを識別するこ
とができ、また一般的には3個以上の場合でもそれらを
識別することができる。ただし、3個の異物が流路の中
央とY軸およびX軸上に各1個ずつあるような特異な場
合には、例外的に識別できない場合もある。それは、モ
ニター画面aにもモニター画面bにも、異物像は重り合
って2個ずつしか写らないからである。しかしながら、
このようなケースは極めて希なことと考えられるので、
実用上は問題がない。
【0022】次に、本発明の他の実施例について説明す
る。図11は、流体中の異物の流速Vの検出にCCDカ
メラなどのビデオカメラを用いた例を示す。この実施例
においては、1組のレーザビーム照射装置10と受光装
置30が使用されており、透明リング2を中心とし、そ
の軸線と直交する同一横断面内の両側に対向して配置さ
れている。また、これらのレーザビーム照射装置10と
受光装置30を結ぶ軸線および透明リング2の軸線にそ
れぞれ直交する位置にビデオカメラ70が設置され、透
明リング2内を通過する透明流体を撮像している。透明
リング2を中心とし、ビデオカメラ70の反対側には照
明用のライト80が配置され、透明リング2内を照射し
ている。レーザビーム照射装置10と受光装置30とし
ては、それぞれ図4および図5におけると同様の構成の
ものが使用されており、レーザビーム照射装置10から
出力されるレーザビームは透明リング2内を通過する透
明流体を横断するようにして走査している。また、この
レーザビームの透過光は、受光装置30によって検出さ
れて電気信号に変換され、図6の場合と同様に、その受
光量がしきい値を越えた場合は“1”、しきい値以下の
場合は“0”のデジタル信号を出力している。
る。図11は、流体中の異物の流速Vの検出にCCDカ
メラなどのビデオカメラを用いた例を示す。この実施例
においては、1組のレーザビーム照射装置10と受光装
置30が使用されており、透明リング2を中心とし、そ
の軸線と直交する同一横断面内の両側に対向して配置さ
れている。また、これらのレーザビーム照射装置10と
受光装置30を結ぶ軸線および透明リング2の軸線にそ
れぞれ直交する位置にビデオカメラ70が設置され、透
明リング2内を通過する透明流体を撮像している。透明
リング2を中心とし、ビデオカメラ70の反対側には照
明用のライト80が配置され、透明リング2内を照射し
ている。レーザビーム照射装置10と受光装置30とし
ては、それぞれ図4および図5におけると同様の構成の
ものが使用されており、レーザビーム照射装置10から
出力されるレーザビームは透明リング2内を通過する透
明流体を横断するようにして走査している。また、この
レーザビームの透過光は、受光装置30によって検出さ
れて電気信号に変換され、図6の場合と同様に、その受
光量がしきい値を越えた場合は“1”、しきい値以下の
場合は“0”のデジタル信号を出力している。
【0023】信号処理装置40は、走査回数検出手段4
1と、流速検出手段42と、演算手段43と、モニタ画
像信号生成手段44と、比較手段45とを備えている。
走査回数検出手段41は、受光装置30から入力するデ
ジタル信号を処理し、図9に示すように、“0”信号が
連続して含まれているレーザビームの走査回数N(図9
の場合は、N=4)を検出する。この走査回数検出手段
41は、N>0の間、流速検出手段42に向けて信号取
込み指令信号を発する。流速検出手段42は、ビデオカ
メラ70からの画像信号を入力しているが、常時は出力
を生じていないが、走査回数検出手段41より、信号取
込み指令信号を受信するとトリガされ、ビデオカメラ7
0からの画像信号を処理し、異物の流速Vを算出する。
この流速Vの算出については後述する。
1と、流速検出手段42と、演算手段43と、モニタ画
像信号生成手段44と、比較手段45とを備えている。
走査回数検出手段41は、受光装置30から入力するデ
ジタル信号を処理し、図9に示すように、“0”信号が
連続して含まれているレーザビームの走査回数N(図9
の場合は、N=4)を検出する。この走査回数検出手段
41は、N>0の間、流速検出手段42に向けて信号取
込み指令信号を発する。流速検出手段42は、ビデオカ
メラ70からの画像信号を入力しているが、常時は出力
を生じていないが、走査回数検出手段41より、信号取
込み指令信号を受信するとトリガされ、ビデオカメラ7
0からの画像信号を処理し、異物の流速Vを算出する。
この流速Vの算出については後述する。
【0024】演算手段43は、走査回数検出手段41か
らの走査回数N、流速検出手段42からの流速Vの検出
信号を入力すると、レーザビーム照射装置10からレー
ザビームの走査周期Tを読込み、前記(1)式により、
異物の流れ方向の大きさLを演算して出力する。画像信
号生成手段44は、演算手段43の出力信号を入力する
と、受光装置30から入力された走査レーザビームの時
系列データをそれぞれ記憶装置に保存し、所定の時系列
データ(例えば、走査線1024本分ずつ)が集積され
る度に画像処理してモニタ60に送り出す。これによっ
てモニタのCRT画面上には、受光装置30によって検
出された異物の拡大像がゆっくりと移動する像として写
し出される。また、演算手段43の出力は比較手段45
にも導かれ、異物の流れ方向の大きさLが予め規定され
た限界値L´と比較され、L>L´の場合には、ブザー
などからなる警報装置90に駆動信号を送出し、これを
作動させると共に、押出機91に停止指令信号を送り、
透明流体の押出しを停止させる。次に、流速検出手段4
2による流速Vの算出について説明する。例えば、ビデ
オカメラとして、走査方式がノンインターレース方式、
525本、30フィールドのCCDカメラを使用し、そ
の撮像エリアを透明リング2の内側寸法に等しい20mm
×15mmとし、シャッタースピードを10ミリ秒(m
s)とした場合、撮像のタイムチャートは図12のよう
になる。ここで、あるコマ(時刻t=t1 )におけるあ
る画面上の異物Aの画像位置が図13(A)に示す通り
であり、その次のコマ(時刻t=t1 +33.3ms)
における画面上の異物Aの画像位置が図13(B)に示
す通りであったとすると、その間の移動距離Dmmをコマ
間の時間差(33.3ms)で割ることにより、異物の
流速Vを求めることができる。なお、異物の流速Vが遅
い場合には、あるコマとその数コマ後の画面間の移動距
離をその間の時間差で割るようにすればよい。なお、こ
の実施例においては、1組のレーザビーム照射装置10
と受光装置30を用いた例につき述べたが、図1の場合
と同様に、レーザビーム照射装置10からのレーザビー
ムをハーフミラーなどによって分光し、これらを同一平
面内において直交する方向から透明リング内を走査する
ようにすれば、異物の幅または奥行き方向の大きさを検
出することもでき、また流路内を異物が同時に2個通過
する場合でも、それらの個数と大きさを識別することが
できる。
らの走査回数N、流速検出手段42からの流速Vの検出
信号を入力すると、レーザビーム照射装置10からレー
ザビームの走査周期Tを読込み、前記(1)式により、
異物の流れ方向の大きさLを演算して出力する。画像信
号生成手段44は、演算手段43の出力信号を入力する
と、受光装置30から入力された走査レーザビームの時
系列データをそれぞれ記憶装置に保存し、所定の時系列
データ(例えば、走査線1024本分ずつ)が集積され
る度に画像処理してモニタ60に送り出す。これによっ
てモニタのCRT画面上には、受光装置30によって検
出された異物の拡大像がゆっくりと移動する像として写
し出される。また、演算手段43の出力は比較手段45
にも導かれ、異物の流れ方向の大きさLが予め規定され
た限界値L´と比較され、L>L´の場合には、ブザー
などからなる警報装置90に駆動信号を送出し、これを
作動させると共に、押出機91に停止指令信号を送り、
透明流体の押出しを停止させる。次に、流速検出手段4
2による流速Vの算出について説明する。例えば、ビデ
オカメラとして、走査方式がノンインターレース方式、
525本、30フィールドのCCDカメラを使用し、そ
の撮像エリアを透明リング2の内側寸法に等しい20mm
×15mmとし、シャッタースピードを10ミリ秒(m
s)とした場合、撮像のタイムチャートは図12のよう
になる。ここで、あるコマ(時刻t=t1 )におけるあ
る画面上の異物Aの画像位置が図13(A)に示す通り
であり、その次のコマ(時刻t=t1 +33.3ms)
における画面上の異物Aの画像位置が図13(B)に示
す通りであったとすると、その間の移動距離Dmmをコマ
間の時間差(33.3ms)で割ることにより、異物の
流速Vを求めることができる。なお、異物の流速Vが遅
い場合には、あるコマとその数コマ後の画面間の移動距
離をその間の時間差で割るようにすればよい。なお、こ
の実施例においては、1組のレーザビーム照射装置10
と受光装置30を用いた例につき述べたが、図1の場合
と同様に、レーザビーム照射装置10からのレーザビー
ムをハーフミラーなどによって分光し、これらを同一平
面内において直交する方向から透明リング内を走査する
ようにすれば、異物の幅または奥行き方向の大きさを検
出することもでき、また流路内を異物が同時に2個通過
する場合でも、それらの個数と大きさを識別することが
できる。
【0025】上述のように本発明の実施例によれば、溶
融樹脂に異物が含まれている場合、その流れ方向の大き
さを算出して表示することができ、また、必要に応じて
異物の幅または奥行き方向の大きさも検出することもで
きる。このように本発明においては、異物をその流速に
拘らず、真の大きさとして表示するので、異物混入時の
対策に正しく対応することができる。また、レーザビー
ムをハーフミラーなどからなる分光装置を用いて分光す
るようにすれば、高価なレーザビーム照射装置の設置台
数を増加させる必要がない。
融樹脂に異物が含まれている場合、その流れ方向の大き
さを算出して表示することができ、また、必要に応じて
異物の幅または奥行き方向の大きさも検出することもで
きる。このように本発明においては、異物をその流速に
拘らず、真の大きさとして表示するので、異物混入時の
対策に正しく対応することができる。また、レーザビー
ムをハーフミラーなどからなる分光装置を用いて分光す
るようにすれば、高価なレーザビーム照射装置の設置台
数を増加させる必要がない。
【0026】なお、以上の説明では、透明流体として、
CVケーブルのケーブル絶縁層やその接続に使用される
ポリエチレン樹脂中の異物検出に本発明を利用する例に
つき説明したが、本発明は、ポリエチレン以外の各種の
透明溶融樹脂材料、あるいは絶縁油や食用油など異物の
混入を嫌う各種の透明流体の検査に広く適用することが
できる。もっとも、本発明における透明流体は、完全透
明であることは必要ではなく、流体中に混在している異
物をレーザビームで照射した際に、その透過像が得られ
る程度の透明度を持っておればよい。なお、透明流体は
気体であっても本発明の適用が可能であることは勿論で
ある。また、図1の実施例では、レーザビームLa,L
bを透明流体の流れと直交する2つの方向から透明流体
に照射する例につき述べたが、これは必ずしも直交方向
からでなくてもよく、場合によっては同一方向からでも
よい。
CVケーブルのケーブル絶縁層やその接続に使用される
ポリエチレン樹脂中の異物検出に本発明を利用する例に
つき説明したが、本発明は、ポリエチレン以外の各種の
透明溶融樹脂材料、あるいは絶縁油や食用油など異物の
混入を嫌う各種の透明流体の検査に広く適用することが
できる。もっとも、本発明における透明流体は、完全透
明であることは必要ではなく、流体中に混在している異
物をレーザビームで照射した際に、その透過像が得られ
る程度の透明度を持っておればよい。なお、透明流体は
気体であっても本発明の適用が可能であることは勿論で
ある。また、図1の実施例では、レーザビームLa,L
bを透明流体の流れと直交する2つの方向から透明流体
に照射する例につき述べたが、これは必ずしも直交方向
からでなくてもよく、場合によっては同一方向からでも
よい。
【0027】
【発明の効果】本発明によれば、透明流体中に異物が混
入している場合、その流れ方向の大きさを正確に検出す
ることができる。
入している場合、その流れ方向の大きさを正確に検出す
ることができる。
【図1】 本発明の実施例の使用状態における全体構成
を示す概略構成図。
を示す概略構成図。
【図2】 流体の流路内半径方向位置と流速の関係を例
示するグラフ。
示するグラフ。
【図3】 本発明を電力ケーブルの絶縁接続用ポリエチ
レン樹脂中の異物検出に利用する例を示す説明図。
レン樹脂中の異物検出に利用する例を示す説明図。
【図4】 本発明におけるレーザビーム照射装置の構成
例を示す説明図。
例を示す説明図。
【図5】 本発明における受光装置の構成例を示す説明
図。
図。
【図6】 本発明における受光装置の受光量と出力デー
タを例示するグラフ。
タを例示するグラフ。
【図7】 本発明における受光装置の走査線と異物の位
置関係を、時間の変化と共に示す説明図。
置関係を、時間の変化と共に示す説明図。
【図8】 本発明装置において受光装置から出力される
デジタル信号を時間の変化と共に示す説明図。
デジタル信号を時間の変化と共に示す説明図。
【図9】 本発明装置において受光装置から出力される
デジタル信号を時間の変化と共に示す説明図。
デジタル信号を時間の変化と共に示す説明図。
【図10】 本発明装置において、2個の異物が通過す
る場合の3つのパターンとそれぞれのパターンにおける
モニタ画面a,b上の異物像を例示する説明図。
る場合の3つのパターンとそれぞれのパターンにおける
モニタ画面a,b上の異物像を例示する説明図。
【図11】 本発明において異物の流速検出にCCDカ
メラを使用する場合の実施例を示す説明図。
メラを使用する場合の実施例を示す説明図。
【図12】 図10の実施例における撮像のタイムチャ
ート。
ート。
【図13】 図10の実施例における、あるコマと次の
コマにおける異物の画像の状態を例示する説明図。
コマにおける異物の画像の状態を例示する説明図。
1……管路 2……透明リング 10……レーザビーム照射装置 20……ハーフミラー 21a,21b,22a,22b,23a,23b……
ミラー 30,30a,30b……受光装置 40……信号処理装置 50……出力装置 60……モニタ 70……ビデオカメラ。
ミラー 30,30a,30b……受光装置 40……信号処理装置 50……出力装置 60……モニタ 70……ビデオカメラ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // G01V 8/14 G01V 9/04 B
Claims (9)
- 【請求項1】 流路内を流れる透明流体に、その流れと
交差する方向からレーザビームを走査し、その透過光を
受光装置で受光して電気信号に変換し、前記透明流体中
に異物が混在している場合に生ずる受光量の低下に基づ
いて異物を検出する異物検出方法において、前記透明流
体中の異物の流速Vと、前記受光量が連続して低下した
レーザビームの走査回数Nを検出し、これらの検出値と
レーザビームの走査周期Tに基づいて、前記透明流体中
における異物の流れ方向の大きさLを次式 L=V×N×T …………………………………………………… (1) により算出することを特徴とする透明流体中の異物検出
方法。 - 【請求項2】 流路内を流れる透明流体に、その流れと
交差する複数の方向からレーザビームを走査し、それら
の透過光を受光装置で受光して電気信号に変換し、前記
透明流体中に異物が混在している場合に生ずる受光量の
低下に基づいて前記透明流体の流れと直交する方向の異
物の大きさWを検出すると共に、前記透明流体中の異物
の流速Vと、前記受光量が連続して低下したレーザビー
ムの走査回数Nを検出し、これらの検出値とレーザビー
ムの走査周期Tに基づいて前記透明流体中における異物
の流れ方向の大きさLを算出することを特徴とする透明
流体中の異物検出方法。 - 【請求項3】 透明流体の流れの方向に異なる複数の位
置から透明流体にそれぞれレーザビームを走査し、それ
らの透過光をそれぞれ受光装置で受光して電気信号に変
換し、これらの電気信号に基づいて、前記複数の受光装
置で検出された同一の異物の検出時間差からその異物の
流速Vを求めることを特徴とする請求項1または2に記
載の透明流体中の異物検出方法。 - 【請求項4】 単一のレーザ光源から得られたレーザビ
ームを多角形回転ミラーで反射させ、得られた走査レー
ザビームを分光手段を通して2つのレーザビームに分光
し、これらのレーザビームを透明流体の流れ方向に異な
る2つの位置から透明流体に照射し、それらの透過光を
それぞれ受光装置で受光することを特徴とする請求項1
ないし3のいずれか一項に記載の透明流体中の異物検出
方法。 - 【請求項5】 流路内を流れる透明流体を、その流れと
交差する方向からビデオカメラで撮像し、このビデオカ
メラで撮像された、ある画面における異物の画像の位置
と、所定時間経過後に撮像された画面における同一の異
物の画像の位置とを比較し、それらの位置の差と前記所
定時間の関係から前記異物の流速Vを求めることを特徴
とする請求項1または2に記載の透明流体中の異物検出
方法。 - 【請求項6】 流路内を流れる透明流体にレーザビーム
を走査し、透明流体中に異物が混在している場合に生ず
る受光量の低下を検出した際に、ビデオカメラから画像
信号を流速検出手段に取込み、異物の流速Vを求めるこ
とを特徴とする請求項5に記載の透明流体中の異物検出
方法。 - 【請求項7】 流路内を流れる透明流体に、その流れと
交差する方向からレーザビームを走査し、その透過光を
受光装置で受光して電気信号に変換し、前記透明流体中
に異物が混在している場合に生ずる受光量の低下に基づ
いて異物を検出する異物検出装置において、前記透明流
体中の異物の流速Vを検出する流速検出手段と、前記受
光量が連続して低下したレーザビームの走査回数Nを検
出する走査回数検出手段と、これらの検出手段からの信
号とレーザビームの走査周期Tに基づいて、前記透明流
体中における異物の流れ方向の大きさLを次式 L=V×N×T …………………………………………………… (1) により算出する大きさ算定手段とを備えることを特徴と
する透明流体中の異物検出装置。 - 【請求項8】 単一のレーザ光源から得られたレーザビ
ームを多角形回転ミラーで反射させ、平行な走査レーザ
ビームを出力するレーザビーム照射装置と、この走査レ
ーザビームを2つのレーザビームに分光する分光手段
と、これらの分光された2つのレーザビームを、透明流
体の流れ方向に異なる位置から、かつそれに直交する異
なる方向から透明流体に照射する光学系と、これらの2
つのレーザビームの透過光をそれぞれ受光して電気信号
に変換する受光装置と、これらの受光装置から出力され
る信号を処理し、前記透明流体中の異物の流速Vと、前
記受光量が連続して低下したレーザビームの走査回数N
と、レーザビームの走査周期Tに基づいて、前記透明流
体中における異物の流れ方向の大きさLを算出すると共
に、前記異物の流れと直交する方向の大きさWを算出す
る信号処理装置と、この信号処理装置の出力に基づいて
検出された異物の大きさを表示する出力装置とを備える
ことを特徴とする透明流体中の異物検出装置。 - 【請求項9】 流路内を流れる透明流体を、その流れと
交差する方向から撮像するビデオカメラと、このビデオ
カメラで撮像された、ある画面における異物の画像の位
置と、その後に撮像された画面における同一の異物の画
像の位置とを比較し、それらの位置の差から前記異物の
流速Vを求める流速算定手段とを備えることを特徴とす
る請求項7に記載の透明流体中の異物検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8120603A JPH09304413A (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 透明流体中の異物検出方法と装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8120603A JPH09304413A (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 透明流体中の異物検出方法と装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304413A true JPH09304413A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=14790349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8120603A Pending JPH09304413A (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 透明流体中の異物検出方法と装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09304413A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015127686A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-09 | 三菱重工業株式会社 | ガス成分濃度分布測定装置及び排ガス脱硝システム |
| WO2017187490A1 (ja) * | 2016-04-26 | 2017-11-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 分析装置 |
| CN109975298A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-07-05 | 深圳开立生物医疗科技股份有限公司 | 一种光学检测系统、特定蛋白分析仪及血液分析仪 |
| CN115656218A (zh) * | 2022-10-31 | 2023-01-31 | 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 | 一种板材破碎检出装置及设有该装置的平板涂布机 |
-
1996
- 1996-05-15 JP JP8120603A patent/JPH09304413A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015127686A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-09 | 三菱重工業株式会社 | ガス成分濃度分布測定装置及び排ガス脱硝システム |
| WO2017187490A1 (ja) * | 2016-04-26 | 2017-11-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 分析装置 |
| CN109975298A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-07-05 | 深圳开立生物医疗科技股份有限公司 | 一种光学检测系统、特定蛋白分析仪及血液分析仪 |
| CN109975298B (zh) * | 2019-04-29 | 2024-03-15 | 深圳开立生物医疗科技股份有限公司 | 一种光学检测系统、特定蛋白分析仪及血液分析仪 |
| CN115656218A (zh) * | 2022-10-31 | 2023-01-31 | 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 | 一种板材破碎检出装置及设有该装置的平板涂布机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR960003194B1 (ko) | 폴리에틸렌 샘플 검사 장치 및 방법 | |
| US4529306A (en) | Apparatus and method for polymer melt stream analysis | |
| US6153873A (en) | Optical probe having an imaging apparatus | |
| EP2752287B1 (en) | Apparatus for measuring industrial products manufactured by extrusion techniques | |
| US4208126A (en) | System for detecting foreign particles or voids in electrical cable insulation and method | |
| US20110128368A1 (en) | Hole Inspection Method and Apparatus | |
| Inari et al. | Optical inspection system for the inner surface of a pipe using detection of circular images projected by a laser source | |
| US20220414860A1 (en) | Imaging device and system for inspecting cables and cable joints | |
| US5274243A (en) | Cylindrical allumination system for inspection of sheet material | |
| US4563095A (en) | Method and apparatus for monitoring the surface of elongated objects | |
| JP2005043230A (ja) | 細長部材の欠陥検出方法及び装置 | |
| JPH09304413A (ja) | 透明流体中の異物検出方法と装置 | |
| KR20000021710A (ko) | 단층 검사 장치 | |
| JPH09304412A (ja) | 透明流体中の異物検出装置 | |
| JPH09287921A (ja) | 透明流体中の異物検出装置 | |
| JP3048342B2 (ja) | 透明板中の気泡検出装置 | |
| JPH10318932A (ja) | 流体中の異物検出装置 | |
| JPH10318931A (ja) | 透明流体中の異物検出装置 | |
| JP2996855B2 (ja) | 押出樹脂中の異物検出装置 | |
| JPH09257430A (ja) | 透明流体中の異物検出装置 | |
| US4719061A (en) | System and method for in-process detection of contamination in electrical conductor insulation | |
| JPS59174743A (ja) | ケ−ブルおよび導体の表面探傷用の光学式試験装置 | |
| DE9104596U1 (de) | Vorrichtung zur Qualitätskontrolle von transparenten Kunststoffen | |
| JPH0688786A (ja) | 流体中の微小異物検査方法 | |
| JP2020064066A (ja) | 多視点による対象検査装置及び方法 |