JPH09316641A - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPH09316641A JPH09316641A JP8129504A JP12950496A JPH09316641A JP H09316641 A JPH09316641 A JP H09316641A JP 8129504 A JP8129504 A JP 8129504A JP 12950496 A JP12950496 A JP 12950496A JP H09316641 A JPH09316641 A JP H09316641A
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- Japan
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- carrier belt
- endless carrier
- vapor deposition
- cooling
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エンドレスキャリアベルトを使用する真空蒸
着装置において、エンドレスキャリアベルトの冷却効率
を高め、量産性の点で優れた真空蒸着装置を提供する。 【解決手段】 エンドレスキャリアベルト４と冷却ロー
ラ２，３の間に冷却媒体１０を介在させることによりエ
ンドレスキャリアベルト４と冷却媒体１０の接触面積が
確保でき、エンドレスキャリアベルト４の冷却効率を高
める。これにより、蒸着中の高分子フィルム１の温度上
昇を低く抑えることができ、長尺の蒸着が可能な巻取り
式真空蒸着装置が実現できる。
着装置において、エンドレスキャリアベルトの冷却効率
を高め、量産性の点で優れた真空蒸着装置を提供する。 【解決手段】 エンドレスキャリアベルト４と冷却ロー
ラ２，３の間に冷却媒体１０を介在させることによりエ
ンドレスキャリアベルト４と冷却媒体１０の接触面積が
確保でき、エンドレスキャリアベルト４の冷却効率を高
める。これにより、蒸着中の高分子フィルム１の温度上
昇を低く抑えることができ、長尺の蒸着が可能な巻取り
式真空蒸着装置が実現できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高分子フィルムに
薄膜を形成する真空蒸着装置に関する。
薄膜を形成する真空蒸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の磁気記録分野においては、高記録
密度化、小型化とともに省資源、低コスト化などの時代
要請があり薄膜磁性層を持つ高密度磁気記録媒体の応用
範囲が広がっている。
密度化、小型化とともに省資源、低コスト化などの時代
要請があり薄膜磁性層を持つ高密度磁気記録媒体の応用
範囲が広がっている。
【０００３】現在、高密度磁気記録媒体の製法の一つと
して、円筒キャンに高分子フィルムを沿わせて酸素ガス
を介在介入させながら磁性材料を電子ビームで蒸着する
斜め蒸着法がある。しかし、この方式では、蒸発した磁
性材料のごく一部しか高分子フィルム上に付着させるこ
とができず、省資源、高生産性の観点から蒸発物の付着
効率を改善する方法として、高分子フィルムを円筒キャ
ンでなくエンドレスキャリアベルトにより搬送する方式
が試みられてきた。
して、円筒キャンに高分子フィルムを沿わせて酸素ガス
を介在介入させながら磁性材料を電子ビームで蒸着する
斜め蒸着法がある。しかし、この方式では、蒸発した磁
性材料のごく一部しか高分子フィルム上に付着させるこ
とができず、省資源、高生産性の観点から蒸発物の付着
効率を改善する方法として、高分子フィルムを円筒キャ
ンでなくエンドレスキャリアベルトにより搬送する方式
が試みられてきた。
【０００４】以下に従来の蒸着装置について説明する。
図３は従来の真空蒸着装置の構造を示すものであり、特
開平６−１４５９８２号公報、特開平６−２３１４５７
号公報に開示されている。図３において、１は高分子フ
ィルム、２，３は冷却ローラ、４はエンドレスキャリア
ベルト、５は耐火容器、６は蒸発材料、７は蒸気流、８
は電子ビーム、９はマスクである。
図３は従来の真空蒸着装置の構造を示すものであり、特
開平６−１４５９８２号公報、特開平６−２３１４５７
号公報に開示されている。図３において、１は高分子フ
ィルム、２，３は冷却ローラ、４はエンドレスキャリア
ベルト、５は耐火容器、６は蒸発材料、７は蒸気流、８
は電子ビーム、９はマスクである。
【０００５】以上のように構成された真空蒸着装置につ
いて、以下その動作について説明する。
いて、以下その動作について説明する。
【０００６】まず、加速された電子ビーム８により蒸発
材料６を加熱し蒸気流７を生じせしめる。この蒸気流は
磁気テープの製造時によく用いられる高分子フィルム１
への入射角度を限定するマスク９により一部さえぎられ
移動する高分子フィルム１に付着する。高分子フィルム
１は蒸発材料６の輻射熱及び蒸気流７の持つ熱によって
耐熱温度以上に温度上昇しないようにエンドレスキャリ
アベルト４に沿わせることにより冷却し、更に、エンド
レスキャリアベルト４を冷却ローラ２、３に密着させる
ことにより冷却させる。
材料６を加熱し蒸気流７を生じせしめる。この蒸気流は
磁気テープの製造時によく用いられる高分子フィルム１
への入射角度を限定するマスク９により一部さえぎられ
移動する高分子フィルム１に付着する。高分子フィルム
１は蒸発材料６の輻射熱及び蒸気流７の持つ熱によって
耐熱温度以上に温度上昇しないようにエンドレスキャリ
アベルト４に沿わせることにより冷却し、更に、エンド
レスキャリアベルト４を冷却ローラ２、３に密着させる
ことにより冷却させる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、冷却ローラとエンドレスキャリアベルト
を密着させて冷却しているが、一般的に冷却ローラとエ
ンドレスキャリアベルトは金属であり、完全に密着せず
にエンドレスキャリアベルトの冷却が不十分になり磁気
テープの性能に影響があった。また、エンドレスキャリ
アベルトのつなぎ部分、使用による経時劣化での形状変
化、また蒸着処理の時間の経過と共に蒸発材料６の輻射
熱及び蒸気流７の持つ熱によってエンドレスキャリアベ
ルトの幅方向の形状変形等で、エンドレスキャリアベル
トと冷却ローラに隙間が大きくなり、エンドレスキャリ
アベルトの冷却効率が低下して温度が上昇し、高分子フ
ィルムが耐熱温度以上の温度となって劣化変形したり溶
断するなどの問題点があった。
来の構成では、冷却ローラとエンドレスキャリアベルト
を密着させて冷却しているが、一般的に冷却ローラとエ
ンドレスキャリアベルトは金属であり、完全に密着せず
にエンドレスキャリアベルトの冷却が不十分になり磁気
テープの性能に影響があった。また、エンドレスキャリ
アベルトのつなぎ部分、使用による経時劣化での形状変
化、また蒸着処理の時間の経過と共に蒸発材料６の輻射
熱及び蒸気流７の持つ熱によってエンドレスキャリアベ
ルトの幅方向の形状変形等で、エンドレスキャリアベル
トと冷却ローラに隙間が大きくなり、エンドレスキャリ
アベルトの冷却効率が低下して温度が上昇し、高分子フ
ィルムが耐熱温度以上の温度となって劣化変形したり溶
断するなどの問題点があった。
【０００８】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、高付着効率で長尺の蒸着ができる巻取り式真空蒸
着装置を提供することを目的とする。
ので、高付着効率で長尺の蒸着ができる巻取り式真空蒸
着装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明の真空蒸着装置は、真空槽内で高分子フィル
ムを搬送するエンドレスキャリアベルトに直接冷却媒体
を密着させることにより、エンドレスキャリアベルトの
冷却効率を上げることを特徴としたものである。
に、本発明の真空蒸着装置は、真空槽内で高分子フィル
ムを搬送するエンドレスキャリアベルトに直接冷却媒体
を密着させることにより、エンドレスキャリアベルトの
冷却効率を上げることを特徴としたものである。
【００１０】または、真空槽内で高分子フィルムを搬送
するエンドレスキャリアベルトと冷却ローラの隙間にゲ
ル状態の物質を介在させることにより、エンドレスキャ
リアベルトと冷却ローラの伝熱面積を広げエンドレスキ
ャリアベルトの冷却効率を上げることを特徴としたもの
である。
するエンドレスキャリアベルトと冷却ローラの隙間にゲ
ル状態の物質を介在させることにより、エンドレスキャ
リアベルトと冷却ローラの伝熱面積を広げエンドレスキ
ャリアベルトの冷却効率を上げることを特徴としたもの
である。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、真空槽内で、高分子フィルムを搬送するエンドスレ
キャリアベルトを使用した蒸着装置において、エンドレ
スキャリアベルトを直接冷却媒体に接触させながら冷却
する機能を有することを特徴とする真空蒸着装置とした
ものであり、これにより、エンドレスキャリアベルトの
冷却効果を上げ蒸着中の高分子フィルムの温度上昇を低
く抑えることができ、長尺の蒸着が可能な巻取り式真空
蒸着装置を実現できるものである。
は、真空槽内で、高分子フィルムを搬送するエンドスレ
キャリアベルトを使用した蒸着装置において、エンドレ
スキャリアベルトを直接冷却媒体に接触させながら冷却
する機能を有することを特徴とする真空蒸着装置とした
ものであり、これにより、エンドレスキャリアベルトの
冷却効果を上げ蒸着中の高分子フィルムの温度上昇を低
く抑えることができ、長尺の蒸着が可能な巻取り式真空
蒸着装置を実現できるものである。
【００１２】以下本発明の実施の形態について、図１か
ら図２を用いて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明における真空蒸着装置の
構造を示すものである。図１において、１は高分子フィ
ルム、２，３は冷却ローラ、４はエンドレスキャリアベ
ルト、５は耐火容器、６は蒸発材料、７は蒸気流、８は
電子ビーム、９はマスク、１０はゲル状の冷却媒体であ
る。
ら図２を用いて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明における真空蒸着装置の
構造を示すものである。図１において、１は高分子フィ
ルム、２，３は冷却ローラ、４はエンドレスキャリアベ
ルト、５は耐火容器、６は蒸発材料、７は蒸気流、８は
電子ビーム、９はマスク、１０はゲル状の冷却媒体であ
る。
【００１３】以上のように構成された真空蒸着装置につ
いて、その動作を説明する。まず、加速された電子ビー
ム８により蒸発材料６を加熱し蒸気流７を生じせしめ
る。この蒸気流は磁気テープの製造時によく用いられる
高分子基板１への入射角度を限定するマスク９により一
部さえぎられ、エンドレスキャリアベルト４に密着して
移動する高分子フィルム１に付着する。エンドレスキャ
リアベルト４の内側には、冷却媒体１０を塗布してある
ために、エンドレスキャリアベルト４の使用による劣
化、熱等による変形のため、冷却ローラ２，３との間に
隙間が生じても、その隙間にゲル状物質の媒体があるた
めにエンドレスキャリアベルト４の熱伝面積が広がり冷
却効果は得られる。
いて、その動作を説明する。まず、加速された電子ビー
ム８により蒸発材料６を加熱し蒸気流７を生じせしめ
る。この蒸気流は磁気テープの製造時によく用いられる
高分子基板１への入射角度を限定するマスク９により一
部さえぎられ、エンドレスキャリアベルト４に密着して
移動する高分子フィルム１に付着する。エンドレスキャ
リアベルト４の内側には、冷却媒体１０を塗布してある
ために、エンドレスキャリアベルト４の使用による劣
化、熱等による変形のため、冷却ローラ２，３との間に
隙間が生じても、その隙間にゲル状物質の媒体があるた
めにエンドレスキャリアベルト４の熱伝面積が広がり冷
却効果は得られる。
【００１４】ゲル状物質としてシリコングリスをエンド
レスキャリアベルト４の内側に塗布した実施の形態１に
よる真空蒸着装置と従来の真空蒸着装置の比較を、高記
録密度に適した蒸着磁気テープを試作することにより比
較した。
レスキャリアベルト４の内側に塗布した実施の形態１に
よる真空蒸着装置と従来の真空蒸着装置の比較を、高記
録密度に適した蒸着磁気テープを試作することにより比
較した。
【００１５】高分子フィルム厚み６μｍ、長さ５０００
ｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを１２０ｍ／
分の速度で移動させ、この高分子フィルム上にＣｏ８０
％−Ｎｉ２０％からなる厚さ０．２μｍの磁性層を形成
するという試作を行った。
ｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを１２０ｍ／
分の速度で移動させ、この高分子フィルム上にＣｏ８０
％−Ｎｉ２０％からなる厚さ０．２μｍの磁性層を形成
するという試作を行った。
【００１６】その結果、比較例では蒸着開始後５〜１０
分後にエンドレスキャリアベルトが変形し、８〜１５分
後にポリエチレンテレフタレートフィルムが温度上昇に
より溶断した。
分後にエンドレスキャリアベルトが変形し、８〜１５分
後にポリエチレンテレフタレートフィルムが温度上昇に
より溶断した。
【００１７】それに対し、本実施の形態１では、４１分
間でポリエチレンテレフタレートの溶断は生じなかった
が、テープ長手方向で性能にバラツキが生した。
間でポリエチレンテレフタレートの溶断は生じなかった
が、テープ長手方向で性能にバラツキが生した。
【００１８】以上のように本実施の形態１によれば、エ
ンドレスキャリヤベルトと冷却ローラ間にゲル状物質を
塗布することにより、従来の蒸着装置よりエンドレスキ
ャリアベルトの冷却効率は改善された。
ンドレスキャリヤベルトと冷却ローラ間にゲル状物質を
塗布することにより、従来の蒸着装置よりエンドレスキ
ャリアベルトの冷却効率は改善された。
【００１９】（実施の形態２）次に本発明の実施の形態
２について図面を参照しながら説明する。図２におい
て、１は高分子フィルム、２，３は冷却ローラ、４はエ
ンドレスキャリヤベルト、５は耐火容器、６は蒸発材
料、７は蒸気流、８は電子ビーム、９はマスク、１１は
高熱伝導物の粉とゲル状物の混合物媒体である。
２について図面を参照しながら説明する。図２におい
て、１は高分子フィルム、２，３は冷却ローラ、４はエ
ンドレスキャリヤベルト、５は耐火容器、６は蒸発材
料、７は蒸気流、８は電子ビーム、９はマスク、１１は
高熱伝導物の粉とゲル状物の混合物媒体である。
【００２０】以上のように構成された真空蒸着装置につ
いて、以下その動作について説明する。
いて、以下その動作について説明する。
【００２１】まず、加速された電子ビーム８により蒸発
材料６を加熱し蒸気流７を生じせしめる。この蒸気流は
磁気テープの製造時によく用いられる高分子基板１への
入射角度を限定するマスク９により一部さえぎられ、エ
ンドレスキャリヤベルト４に密着して移動する高分子フ
ィルム１に付着する。このときの蒸発材料６からの輻射
熱、また、使用によるエンドレスキャリアベルト４の劣
化等による変形のため、従来は冷却ローラ２，３との間
に隙間が生じエンドレスキャリアベルト４の冷却効率が
悪化するがその隙間にゲル状態の高熱伝導率の媒体が介
在するために、エンドレスキャリアベルト４と冷却ロー
ラ２，３の伝熱面積は変化せずにエンドレスキャリアベ
ルト４の冷却効果は得られる。
材料６を加熱し蒸気流７を生じせしめる。この蒸気流は
磁気テープの製造時によく用いられる高分子基板１への
入射角度を限定するマスク９により一部さえぎられ、エ
ンドレスキャリヤベルト４に密着して移動する高分子フ
ィルム１に付着する。このときの蒸発材料６からの輻射
熱、また、使用によるエンドレスキャリアベルト４の劣
化等による変形のため、従来は冷却ローラ２，３との間
に隙間が生じエンドレスキャリアベルト４の冷却効率が
悪化するがその隙間にゲル状態の高熱伝導率の媒体が介
在するために、エンドレスキャリアベルト４と冷却ロー
ラ２，３の伝熱面積は変化せずにエンドレスキャリアベ
ルト４の冷却効果は得られる。
【００２２】実施の形態２では、ゲル状態の高熱伝導率
の媒体は、シリコングリスと銅粉を１：３に混合させた
物をエンドレスキャリアベルト４の内側に塗布すること
により、実施の形態１と同様の蒸着条件で処理を行った
結果、蒸着処理時間４１分以上、処理長５０００ｍの長
尺の蒸着が可能となり、性能面でも問題ないテープが生
産できた。
の媒体は、シリコングリスと銅粉を１：３に混合させた
物をエンドレスキャリアベルト４の内側に塗布すること
により、実施の形態１と同様の蒸着条件で処理を行った
結果、蒸着処理時間４１分以上、処理長５０００ｍの長
尺の蒸着が可能となり、性能面でも問題ないテープが生
産できた。
【００２３】
【発明の効果】以上のように本発明は、真空槽内に、高
分子フィルムを搬送するエンドレスキャリアベルトと冷
却ローラの間に液体冷却媒体、高熱伝導物の粉とゲル状
物の混合物を介在させることにより、エンドレスキャリ
アベルトの冷却効果を上げ蒸着中の高分子フィルムの温
度上昇を低く抑えることができ、長尺の蒸着が可能な巻
取り式真空蒸着装置を実現できるものである。
分子フィルムを搬送するエンドレスキャリアベルトと冷
却ローラの間に液体冷却媒体、高熱伝導物の粉とゲル状
物の混合物を介在させることにより、エンドレスキャリ
アベルトの冷却効果を上げ蒸着中の高分子フィルムの温
度上昇を低く抑えることができ、長尺の蒸着が可能な巻
取り式真空蒸着装置を実現できるものである。
【図１】本発明の実施の形態１における真空蒸着装置の
構成図
構成図
【図２】本発明の実施の形態２における真空蒸着装置の
構成図
構成図
【図３】従来の真空蒸着装置の構成図
１ 高分子フィルム ２，３ 冷却ローラ ４ エンドレスキャリアベルト ５ 耐火容器 ６ 蒸発材料 ７ 蒸気流 ８ 電子ビーム ９ マスク １０ ゲル状態の媒体 １１ 高熱伝導物の粉とゲル状物の混合物媒体
フロントページの続き (72)発明者 嶋崎 智章 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 真空槽内で、高分子フィルムを搬送する
エンドスレキャリアベルトを使用した蒸着装置におい
て、エンドレスキャリアベルトを直接冷却媒体に接触さ
せながら冷却する機能を有することを特徴とする真空蒸
着装置。 - 【請求項２】 真空槽内で、高分子フィルムを搬送する
エンドレキャリアベルトとを使用した蒸着装置におい
て、エンドレスキャリアベルトと冷却機構の間にゲル状
物を介在させることを特徴とする真空蒸着装置。 - 【請求項３】 真空槽内で、高分子フィルムを搬送する
エンドレキャリアベルトとを使用した蒸着装置におい
て、エンドレスキャリアベルトと冷却機構の間に高熱伝
導物質粉とゲル状物を混合した媒体を介在させることを
特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12950496A JP3365207B2 (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12950496A JP3365207B2 (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09316641A true JPH09316641A (ja) | 1997-12-09 |
| JP3365207B2 JP3365207B2 (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=15011129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12950496A Expired - Fee Related JP3365207B2 (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3365207B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009072242A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Panasonic Corporation | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102378826A (zh) * | 2009-04-22 | 2012-03-14 | 松下电器产业株式会社 | 薄膜形成装置及薄膜形成方法 |
-
1996
- 1996-05-24 JP JP12950496A patent/JP3365207B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009072242A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Panasonic Corporation | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
| JPWO2009072242A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2011-04-21 | パナソニック株式会社 | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3365207B2 (ja) | 2003-01-08 |
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