JPH0343742B2 - - Google Patents
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- JPH0343742B2 JPH0343742B2 JP58021244A JP2124483A JPH0343742B2 JP H0343742 B2 JPH0343742 B2 JP H0343742B2 JP 58021244 A JP58021244 A JP 58021244A JP 2124483 A JP2124483 A JP 2124483A JP H0343742 B2 JPH0343742 B2 JP H0343742B2
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- JP
- Japan
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- sample
- mark
- magnification
- signal
- bright spot
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- Expired - Lifetime
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は視野の移動を試料を移動させて行なう
ようにした走査電子顕微鏡等の試料移動装置に関
する。
ようにした走査電子顕微鏡等の試料移動装置に関
する。
［従来技術］
近時、走査電子顕微鏡を用いて集積回路素子等
の大型試料を低倍で観察することが行なわれてい
る。このような場合、電磁偏向により視野の移動
を行なうと、電子線はかなり光軸から離れた位置
で走査することになるため、収差が大きくなり良
質の像を得ることができない。そのため、この種
の装置においては、試料を移動させて視野を変化
させるようにしている。この試料の移動は従来、
例えばボタンを押している間は試料が動き続け、
ボタンを離すと試料が停止するようなボタン操作
によつて行なつていたが、熟練した操作者でない
とボタンを離すタイミングが難しく、１回のボタ
ン操作で所望の視野を得ることは困難である。従
つて、何回かのボタン操作のすえに所望とする視
野を得ているわけであるが、試料の機械的な移動
には時間がかかるため、簡単且つ短時間に所望の
視野を得ることはできなかつた。
の大型試料を低倍で観察することが行なわれてい
る。このような場合、電磁偏向により視野の移動
を行なうと、電子線はかなり光軸から離れた位置
で走査することになるため、収差が大きくなり良
質の像を得ることができない。そのため、この種
の装置においては、試料を移動させて視野を変化
させるようにしている。この試料の移動は従来、
例えばボタンを押している間は試料が動き続け、
ボタンを離すと試料が停止するようなボタン操作
によつて行なつていたが、熟練した操作者でない
とボタンを離すタイミングが難しく、１回のボタ
ン操作で所望の視野を得ることは困難である。従
つて、何回かのボタン操作のすえに所望とする視
野を得ているわけであるが、試料の機械的な移動
には時間がかかるため、簡単且つ短時間に所望の
視野を得ることはできなかつた。
このような点を考慮して、試料像の表示画面に
マークを表示できるようにし、このマークを画面
上で像中の注目する位置に移動させると、自動的
にマークで指示された像部分が画面の中央に表示
されるように試料を移動させるようにした走査電
子顕微鏡等の試料移動装置が開発された。
マークを表示できるようにし、このマークを画面
上で像中の注目する位置に移動させると、自動的
にマークで指示された像部分が画面の中央に表示
されるように試料を移動させるようにした走査電
子顕微鏡等の試料移動装置が開発された。
しかしながらこのような装置において、画像中
の注目する部分を追つてマークを画面の端部まで
移動させ、更に画面の端部を越えて画面に表示さ
れない部分まで表示させて視野選択をしようとす
ると、その都度倍率を手動で低下させる操作が必
要であつた。その為、円滑に注目する像部分をマ
ークで指示することはできなかつた。又、倍率を
低下させた際に、注目する部分を見失つてしまつ
た。
の注目する部分を追つてマークを画面の端部まで
移動させ、更に画面の端部を越えて画面に表示さ
れない部分まで表示させて視野選択をしようとす
ると、その都度倍率を手動で低下させる操作が必
要であつた。その為、円滑に注目する像部分をマ
ークで指示することはできなかつた。又、倍率を
低下させた際に、注目する部分を見失つてしまつ
た。
［発明の目的］
本発明はこのような従来の欠点を解決し、簡単
且つ短時間に所望の視野を得ることのできる走査
電子顕微鏡等の試料移動装置を提供することを目
的とするものである。
且つ短時間に所望の視野を得ることのできる走査
電子顕微鏡等の試料移動装置を提供することを目
的とするものである。
［発明の構成］
そのため本発明は、電子線を試料上において二
次元的に走査する手段と、該電子線の走査に伴う
検出信号の供給に基づいて試料像を表示する表示
手段と、該電子線の走査幅を切り換えることによ
り倍率を切換えるための倍率切換手段と、試料を
移動させるための試料移動手段と、前記表示手段
に試料の注目部分の目印となるマークを表示する
手段と、該マークの表示位置を任意に移動させる
ための手段と、該マークに対応した試料上の位置
が画面の中央に表示されるように自動的に試料を
移動させるための手段を具備した走査電子顕微鏡
等の試料移動装置において、該マークの位置を画
面の端部に移動させた場合に前記倍率制御手段を
制御することにより自動的に倍率を低下させる手
段と、該マークの試料像に対する相対位置が該倍
率の低下にかかわらず維持されるように制御する
ためのマーク表示位置制御手段を具備することを
特徴としている。
次元的に走査する手段と、該電子線の走査に伴う
検出信号の供給に基づいて試料像を表示する表示
手段と、該電子線の走査幅を切り換えることによ
り倍率を切換えるための倍率切換手段と、試料を
移動させるための試料移動手段と、前記表示手段
に試料の注目部分の目印となるマークを表示する
手段と、該マークの表示位置を任意に移動させる
ための手段と、該マークに対応した試料上の位置
が画面の中央に表示されるように自動的に試料を
移動させるための手段を具備した走査電子顕微鏡
等の試料移動装置において、該マークの位置を画
面の端部に移動させた場合に前記倍率制御手段を
制御することにより自動的に倍率を低下させる手
段と、該マークの試料像に対する相対位置が該倍
率の低下にかかわらず維持されるように制御する
ためのマーク表示位置制御手段を具備することを
特徴としている。
［実施例］
以下図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第１図は本発明の一実施例の概略を示すためのも
ので、図中１は電子銃であり、電子銃１よりの電
子線２は集束レンズ３により集束されて試料４に
照射される。５Ｘ，５Ｙは偏向コイルであり、こ
れら偏向コイル５Ｘ，５Ｙには走査信号発生回路
６より鋸歯状の走査信号が倍率切換回路７を介し
て供給される。８Ｘ，８Ｙは増幅器である。この
走査信号発生回路６よりの走査信号は陰極線管９
の偏向コイルＳにも供給されており、陰極線管９
は電子線２と同期走査される。１０は試料４より
発生する二次電子を検出するための二次電子検出
器であり、この検出器１０の出力信号は増幅器１
１において増幅された後、輝点加算回路１２を介
して前記陰極線管９に輝度信号として供給され
る。１３は試料４を載置する試料ステージであ
り、この試料ステージはパルスモータ１４Ｘ，１
４ＹによつてＸ（水平）方向及びＹ（垂直）方向へ
移動できるようになつている。１５はパルスモー
タ１４Ｘ，１４Ｙを回転させるための駆動パルス
を発生する駆動回路である。１６は前記輝点の表
示やモータの駆動を制御するための制御装置であ
り、この制御装置１６は輝点信号発生回路１７、
モータ駆動制御回路１８、アツプダウンカウンタ
１９、レジスタ２０、比較器２１、１／Ｃ回路２
２より成つている。輝点信号発生回路１７には前
記走査信号発生回路６よりの走査信号に同期した
信号が供給されており、同期信号を起点として所
定タイミングの輝点表示パルスを発生し、このパ
ルスを前記輝点加算回路１２に供給する。駆動制
御回路１８よりの制御信号は駆動回路１５に供給
されており、駆動制御回路１８は駆動回路１５よ
り発生する駆動パルス数を制御することによりモ
ータ１４Ｘ，１４Ｙの回転量を制御する。制御装
置１６により上述した如き制御を行わさせるため
制御装置１６には入力装置２３が接続されてい
る。この入力装置２３には前記輝点を陰極線管９
の画面において上下左右に移動させるための押し
ボタンスイツチ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ
が備えられている。又、この入力装置には観察倍
率を指示するための摘子２３ｅと輝点に対応する
試料上の点を光軸２４上に移動させるための指令
を与えるセツトスイツチ２３ｆが備えられてい
る。
第１図は本発明の一実施例の概略を示すためのも
ので、図中１は電子銃であり、電子銃１よりの電
子線２は集束レンズ３により集束されて試料４に
照射される。５Ｘ，５Ｙは偏向コイルであり、こ
れら偏向コイル５Ｘ，５Ｙには走査信号発生回路
６より鋸歯状の走査信号が倍率切換回路７を介し
て供給される。８Ｘ，８Ｙは増幅器である。この
走査信号発生回路６よりの走査信号は陰極線管９
の偏向コイルＳにも供給されており、陰極線管９
は電子線２と同期走査される。１０は試料４より
発生する二次電子を検出するための二次電子検出
器であり、この検出器１０の出力信号は増幅器１
１において増幅された後、輝点加算回路１２を介
して前記陰極線管９に輝度信号として供給され
る。１３は試料４を載置する試料ステージであ
り、この試料ステージはパルスモータ１４Ｘ，１
４ＹによつてＸ（水平）方向及びＹ（垂直）方向へ
移動できるようになつている。１５はパルスモー
タ１４Ｘ，１４Ｙを回転させるための駆動パルス
を発生する駆動回路である。１６は前記輝点の表
示やモータの駆動を制御するための制御装置であ
り、この制御装置１６は輝点信号発生回路１７、
モータ駆動制御回路１８、アツプダウンカウンタ
１９、レジスタ２０、比較器２１、１／Ｃ回路２
２より成つている。輝点信号発生回路１７には前
記走査信号発生回路６よりの走査信号に同期した
信号が供給されており、同期信号を起点として所
定タイミングの輝点表示パルスを発生し、このパ
ルスを前記輝点加算回路１２に供給する。駆動制
御回路１８よりの制御信号は駆動回路１５に供給
されており、駆動制御回路１８は駆動回路１５よ
り発生する駆動パルス数を制御することによりモ
ータ１４Ｘ，１４Ｙの回転量を制御する。制御装
置１６により上述した如き制御を行わさせるため
制御装置１６には入力装置２３が接続されてい
る。この入力装置２３には前記輝点を陰極線管９
の画面において上下左右に移動させるための押し
ボタンスイツチ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ
が備えられている。又、この入力装置には観察倍
率を指示するための摘子２３ｅと輝点に対応する
試料上の点を光軸２４上に移動させるための指令
を与えるセツトスイツチ２３ｆが備えられてい
る。
このような構成において、まず入力装置２３の
摘子２３ｅを操作して観察倍率をＭに設定する。
その結果、レジスタ２０には観察倍率値Ｍを表わ
すデジタル値が格納される。このレジスタ２０よ
りの値Ｍに対応する信号は倍率切換回路７に供給
されるため、この回路７において走査信号発生回
路６よりの走査信号の波高値は観察倍率Ｍに対応
した値に切り換えられる。このような波高値の走
査信号が偏向コイルに供給される結果、電子線２
は試料４上を二次元的に走査する。この時、陰極
線管９には走査信号発生回路６よりこの走査に同
期した第２図ａに示す如き周期ＴのＸ（水平）方
向走査信号と図示してはいないが周期kT（但しｋ
は１画面を構成する水平走査線の本数である）の
Ｙ（垂直）方向走査信号が供給されるため、二次
電子検出器１０よりの信号に基づいて倍率Ｍの試
料像が表示される。輝点を移動させるための押し
ボタンスイツチ２３ａ，２３ｂ等が押されていな
い状態においては、アツプダウンカウンタ１９の
カウント値は０であるため、輝点信号発生回路１
７にはアツプダウンカウンタ１９より０を表わす
信号が供給され、輝点信号発生回路１７は垂直同
期信号が供給されてからｋ／２番目の水平同期信
号を基準としてＴ／２だけ遅延したタイミングに
おいて第２図ｂに示す輝点表示パルスを発生す
る。このパルスは輝点加算回路１２にて画像信号
と加算されるため、第３図ａに示すように陰極線
管９の画面の中央に輝点P0が表示される。そこ
で操作者が例えば押しボタンスイツチ２３ｄを単
位時間τだけ押したとすると、アツプダウンカウ
ンタ１９が10だけカウントアツプし、このカウン
タ１９よりの数値信号は輝点信号発生回路１７に
供給されるため、輝点信号発生回路１７は第２図
ｃに示すように前記ｋ／２番目の水平同期信号を
基準としてＴ／２＋10T／240（但し画面の水平方
向の長さの半分を120に対応づけているものとす
る）だけ遅延したタイミングの輝点表示パルスを
発生し、輝点は画面の右方向へ１ステツプ（即ち
１／２４）だけ移動して第３図ａにおけるP1となる。
次に例えば押しボタンスイツチ２３ｃを時間3τだ
け押したとすると、アツプダウンカウンタ１９が
30だけダウンカウントするため、カウンタ１９よ
り−20に対応する信号が輝点信号発生回路１７に
供給される。その結果、輝点信号発生回路１７よ
り第２図ｄに示すような前記ｋ／２番目の水平同
期信号を起点としてＴ／２−20T／240だけ遅延
したタイミングで輝点表示パルスが発生するた
め、輝点は左方に３ステツプ移動して第３図ａに
おけるP2の位置に表示される３。同様に押しボ
タンスイツチ２３ａ又は２３ｂを押すと、図示し
てはいないがもう一方のアツプダウンカウンタの
計数値が変化し、この計数値信号に基づいて輝点
信号発生回路１７より発生する輝点表示パルスの
起点となる水平同期信号が変化し、輝点の表示位
置を上下方向に移動させることができる。そこ
で、このように押しボタンスイツチ２３ａ，２３
ｂ，２３ｃ，２３ｄを操作することにより、輝点
を試料の移動によつて画面中央に視野移動させた
い部分、例えばP3まで移動させる。そこで、セ
ツトスイツチ２３ｆを押すと、このスイツチ２３
ｆから駆動制御回路１８に駆動制御信号の供給を
命じる信号が供給される。この時駆動制御回路１
８にはアツプダウンカウンタ１９よりの信号Ux
と輝点の上下方向位置を表わすもう一方のアツプ
ダウンカウンタ（図示せず）の信号Uy及びレジ
スタ２０よりの観察倍率Ｍを表わす信号が供給さ
れているため、これら信号に基づいてモータ１４
Ｘ，１４Ｙを各々角度AUx／Ｍ、AUy／Ｍ（但し
Ａは比例定数である）だけ回転させるための駆動
パルスを発生させるよう駆動回路１５に制御信号
を供給する。その結果、試料４は画面中央（P0
の位置）から輝点P3までの実際のＸ方向距離及
びＹ方向距離だけ移動して光軸２４上に配置さ
れ、輝点P3で示された画像の部分が自動的に画
面中央に表示される。一方、駆動制御回路１８よ
りの制御信号の供給が行われると、わずかな遅延
時間をおいてスイツチ２３ｆよりの信号がアツプ
ダウンカウンタ１９等に供給され、アツプダウン
カウンタはクリアーされる。そのため、アツプダ
ウンカウンタ１９より輝点信号発生回路１７に供
給される信号は０となるため、画面上に表示され
る輝点の位置も上述した視野の移動に伴なつて中
央のP0の位置に移動する。
摘子２３ｅを操作して観察倍率をＭに設定する。
その結果、レジスタ２０には観察倍率値Ｍを表わ
すデジタル値が格納される。このレジスタ２０よ
りの値Ｍに対応する信号は倍率切換回路７に供給
されるため、この回路７において走査信号発生回
路６よりの走査信号の波高値は観察倍率Ｍに対応
した値に切り換えられる。このような波高値の走
査信号が偏向コイルに供給される結果、電子線２
は試料４上を二次元的に走査する。この時、陰極
線管９には走査信号発生回路６よりこの走査に同
期した第２図ａに示す如き周期ＴのＸ（水平）方
向走査信号と図示してはいないが周期kT（但しｋ
は１画面を構成する水平走査線の本数である）の
Ｙ（垂直）方向走査信号が供給されるため、二次
電子検出器１０よりの信号に基づいて倍率Ｍの試
料像が表示される。輝点を移動させるための押し
ボタンスイツチ２３ａ，２３ｂ等が押されていな
い状態においては、アツプダウンカウンタ１９の
カウント値は０であるため、輝点信号発生回路１
７にはアツプダウンカウンタ１９より０を表わす
信号が供給され、輝点信号発生回路１７は垂直同
期信号が供給されてからｋ／２番目の水平同期信
号を基準としてＴ／２だけ遅延したタイミングに
おいて第２図ｂに示す輝点表示パルスを発生す
る。このパルスは輝点加算回路１２にて画像信号
と加算されるため、第３図ａに示すように陰極線
管９の画面の中央に輝点P0が表示される。そこ
で操作者が例えば押しボタンスイツチ２３ｄを単
位時間τだけ押したとすると、アツプダウンカウ
ンタ１９が10だけカウントアツプし、このカウン
タ１９よりの数値信号は輝点信号発生回路１７に
供給されるため、輝点信号発生回路１７は第２図
ｃに示すように前記ｋ／２番目の水平同期信号を
基準としてＴ／２＋10T／240（但し画面の水平方
向の長さの半分を120に対応づけているものとす
る）だけ遅延したタイミングの輝点表示パルスを
発生し、輝点は画面の右方向へ１ステツプ（即ち
１／２４）だけ移動して第３図ａにおけるP1となる。
次に例えば押しボタンスイツチ２３ｃを時間3τだ
け押したとすると、アツプダウンカウンタ１９が
30だけダウンカウントするため、カウンタ１９よ
り−20に対応する信号が輝点信号発生回路１７に
供給される。その結果、輝点信号発生回路１７よ
り第２図ｄに示すような前記ｋ／２番目の水平同
期信号を起点としてＴ／２−20T／240だけ遅延
したタイミングで輝点表示パルスが発生するた
め、輝点は左方に３ステツプ移動して第３図ａに
おけるP2の位置に表示される３。同様に押しボ
タンスイツチ２３ａ又は２３ｂを押すと、図示し
てはいないがもう一方のアツプダウンカウンタの
計数値が変化し、この計数値信号に基づいて輝点
信号発生回路１７より発生する輝点表示パルスの
起点となる水平同期信号が変化し、輝点の表示位
置を上下方向に移動させることができる。そこ
で、このように押しボタンスイツチ２３ａ，２３
ｂ，２３ｃ，２３ｄを操作することにより、輝点
を試料の移動によつて画面中央に視野移動させた
い部分、例えばP3まで移動させる。そこで、セ
ツトスイツチ２３ｆを押すと、このスイツチ２３
ｆから駆動制御回路１８に駆動制御信号の供給を
命じる信号が供給される。この時駆動制御回路１
８にはアツプダウンカウンタ１９よりの信号Ux
と輝点の上下方向位置を表わすもう一方のアツプ
ダウンカウンタ（図示せず）の信号Uy及びレジ
スタ２０よりの観察倍率Ｍを表わす信号が供給さ
れているため、これら信号に基づいてモータ１４
Ｘ，１４Ｙを各々角度AUx／Ｍ、AUy／Ｍ（但し
Ａは比例定数である）だけ回転させるための駆動
パルスを発生させるよう駆動回路１５に制御信号
を供給する。その結果、試料４は画面中央（P0
の位置）から輝点P3までの実際のＸ方向距離及
びＹ方向距離だけ移動して光軸２４上に配置さ
れ、輝点P3で示された画像の部分が自動的に画
面中央に表示される。一方、駆動制御回路１８よ
りの制御信号の供給が行われると、わずかな遅延
時間をおいてスイツチ２３ｆよりの信号がアツプ
ダウンカウンタ１９等に供給され、アツプダウン
カウンタはクリアーされる。そのため、アツプダ
ウンカウンタ１９より輝点信号発生回路１７に供
給される信号は０となるため、画面上に表示され
る輝点の位置も上述した視野の移動に伴なつて中
央のP0の位置に移動する。
更に、この画像を観察していて興味のある画像
の領域Ｈが画面の端部にあつたとする。このよう
な場合、操作者が押しボタンスイツチ２３ｄを操
作して輝点を画面の右方へ移動させて行くと、ア
ツプダウンカウンタ１９の計数値が増大して行く
が、輝点が第３図ａにおいて点線Ｑ（画面には表
示されていない）で示された位置P4まで移動し
て計数値が100になつたとすると、アツプダウン
カウンタ１９の出力値と点線Ｑの位置に対応する
基準値100との比較をしている比較器２１が応答
信号を１／Ｃ回路２２に供給して該回路２２にお
いて演算を実行させる。１／Ｃ回路２２にはレジ
スタ２０よりの倍率値Ｍに対応した信号が供給さ
れているため、この演算によつて倍率値Ｍに１／
Ｃ（Ｃは例えば２）が掛けられた数値Ｍ／Ｃに対
応する信号が発生し、この倍率値信号が新たにレ
ジスタ２０に格納される。この信号値の変化によ
つて倍率切換回路７は観察倍率をＭ／Ｃにするよ
う走査信号の増幅率を増大させる。その結果、陰
極線管９の画面には第３図ｂに示すように興味の
ある領域Ｈが画面のより中央に表示される。一
方、１／Ｃ回路２２（実際には別個に設けられた
もう一方の１／Ｃ回路）には前記アツプダウンカ
ウンタ１９の出力信号も供給されているため、
１／Ｃ回路２２による演算の結果、回路２２より
アツプダウンカウンタ１９のカウント値100に
１／Ｃが掛けられた数値100／Ｃが出力され、こ
の数値が新たにアツプダウンカウンタ１９にセツ
トされる。そのため、輝点P4は第３図ｂの点P5
に移動し、より低倍像の画面において領域Ｈとの
相対位置は同じ点に表示される。そこで、更にス
イツチ２３ｄを例えば時間2τ押せば、アツプダウ
ンカウンタ１９のカウント値は100／Ｃ＋20とな
り、このとき輝点信号発生回路１７よりの出力パ
ルスは第２図ｅに示すようになるため輝点P5は
２ステツプ右方に移動して第３図ｂにおける輝点
P6になる。この輝点P6の位置が、画面中心に移
動したい像の部分である場合には、ここでセツト
スイツチ２３ｆを押す。その結果、前述した場合
と同様に駆動制御回路１８はアツプダウンカウン
タ１９よりの100／Ｃ＋20に対応する信号とレジ
スタ２０よりのＭ／Ｃに対応する信号に基づい
て、輝点P6と画面中央の点（P0）との実際のＸ
方向距離だけ試料ステージ１３を移動させるよう
駆動回路１５に駆動制御信号を送る。その結果、
駆動回路１５はモータ１４Ｘに駆動パルスを供給
してモータ１４Ｘを角度Ａ（100／Ｃ＋20）／
（Ｍ／Ｃ）だけ回転させ、輝点P6の位置にある試
料上の点が光軸２４上に配置される。このような
試料４の移動が行われる一方、セツトスイツチ２
３ｆよりの信号がレジスタ２０に供給され、レジ
スタ２０の格納値が摘子２３ｅで与えられた倍率
Ｍを表わす信号に戻される。そのため、倍率切換
回路７が観察倍率をＭにするように切換えられ
る。更に駆動制御回路１８が動作した後は、セツ
トスイツチ２３ｆよりの信号がアツプダウンカウ
ンタ１９に供給されてカウンタ１９をクリアし、
カウンタ１９の出力を０とする。そのため、輝点
P6が画面中央に移動すると共に、輝点P6に対応
した部分が画面中央に視野移動し第３図ｃに示す
如き像が得られる。
の領域Ｈが画面の端部にあつたとする。このよう
な場合、操作者が押しボタンスイツチ２３ｄを操
作して輝点を画面の右方へ移動させて行くと、ア
ツプダウンカウンタ１９の計数値が増大して行く
が、輝点が第３図ａにおいて点線Ｑ（画面には表
示されていない）で示された位置P4まで移動し
て計数値が100になつたとすると、アツプダウン
カウンタ１９の出力値と点線Ｑの位置に対応する
基準値100との比較をしている比較器２１が応答
信号を１／Ｃ回路２２に供給して該回路２２にお
いて演算を実行させる。１／Ｃ回路２２にはレジ
スタ２０よりの倍率値Ｍに対応した信号が供給さ
れているため、この演算によつて倍率値Ｍに１／
Ｃ（Ｃは例えば２）が掛けられた数値Ｍ／Ｃに対
応する信号が発生し、この倍率値信号が新たにレ
ジスタ２０に格納される。この信号値の変化によ
つて倍率切換回路７は観察倍率をＭ／Ｃにするよ
う走査信号の増幅率を増大させる。その結果、陰
極線管９の画面には第３図ｂに示すように興味の
ある領域Ｈが画面のより中央に表示される。一
方、１／Ｃ回路２２（実際には別個に設けられた
もう一方の１／Ｃ回路）には前記アツプダウンカ
ウンタ１９の出力信号も供給されているため、
１／Ｃ回路２２による演算の結果、回路２２より
アツプダウンカウンタ１９のカウント値100に
１／Ｃが掛けられた数値100／Ｃが出力され、こ
の数値が新たにアツプダウンカウンタ１９にセツ
トされる。そのため、輝点P4は第３図ｂの点P5
に移動し、より低倍像の画面において領域Ｈとの
相対位置は同じ点に表示される。そこで、更にス
イツチ２３ｄを例えば時間2τ押せば、アツプダウ
ンカウンタ１９のカウント値は100／Ｃ＋20とな
り、このとき輝点信号発生回路１７よりの出力パ
ルスは第２図ｅに示すようになるため輝点P5は
２ステツプ右方に移動して第３図ｂにおける輝点
P6になる。この輝点P6の位置が、画面中心に移
動したい像の部分である場合には、ここでセツト
スイツチ２３ｆを押す。その結果、前述した場合
と同様に駆動制御回路１８はアツプダウンカウン
タ１９よりの100／Ｃ＋20に対応する信号とレジ
スタ２０よりのＭ／Ｃに対応する信号に基づい
て、輝点P6と画面中央の点（P0）との実際のＸ
方向距離だけ試料ステージ１３を移動させるよう
駆動回路１５に駆動制御信号を送る。その結果、
駆動回路１５はモータ１４Ｘに駆動パルスを供給
してモータ１４Ｘを角度Ａ（100／Ｃ＋20）／
（Ｍ／Ｃ）だけ回転させ、輝点P6の位置にある試
料上の点が光軸２４上に配置される。このような
試料４の移動が行われる一方、セツトスイツチ２
３ｆよりの信号がレジスタ２０に供給され、レジ
スタ２０の格納値が摘子２３ｅで与えられた倍率
Ｍを表わす信号に戻される。そのため、倍率切換
回路７が観察倍率をＭにするように切換えられ
る。更に駆動制御回路１８が動作した後は、セツ
トスイツチ２３ｆよりの信号がアツプダウンカウ
ンタ１９に供給されてカウンタ１９をクリアし、
カウンタ１９の出力を０とする。そのため、輝点
P6が画面中央に移動すると共に、輝点P6に対応
した部分が画面中央に視野移動し第３図ｃに示す
如き像が得られる。
尚、上述した説明では簡単のため、輝点がＸ方
向にのみ移動する場合について説明したが、Ｘ方
向に限らず輝点がＹ方向に点線Ｑの位置まで移動
した場合でも、同様な一連の制御により所望の画
像が表示される。
向にのみ移動する場合について説明したが、Ｘ方
向に限らず輝点がＹ方向に点線Ｑの位置まで移動
した場合でも、同様な一連の制御により所望の画
像が表示される。
尚、本発明は上述した実施例に限定されること
なく幾多の変形が可能である。例えば、上述した
実施例においては、目印となるマークとして輝点
を表示するようにしたが、水平方向と垂直方向に
移動可能に輝線を表示し、この２本の輝線の交点
をマークとして使用しても良い。又、マークとし
てある大きさを有する囲み線を表示しても良い
し、一定の大きさの領域だけ他の部分より高輝度
または高コントラストに表示することによつて他
と区別するようにしても良い。
なく幾多の変形が可能である。例えば、上述した
実施例においては、目印となるマークとして輝点
を表示するようにしたが、水平方向と垂直方向に
移動可能に輝線を表示し、この２本の輝線の交点
をマークとして使用しても良い。又、マークとし
てある大きさを有する囲み線を表示しても良い
し、一定の大きさの領域だけ他の部分より高輝度
または高コントラストに表示することによつて他
と区別するようにしても良い。
［効果］
上述したように本発明に基づく装置において
は、試料像を観察していて、視野中心に移動させ
て観察したい部分を追つてマークを画面の端部に
移動させると、自動的に倍率が低下して、容易に
観察したい部分を更に追つて行くことが可能にな
る。
は、試料像を観察していて、視野中心に移動させ
て観察したい部分を追つてマークを画面の端部に
移動させると、自動的に倍率が低下して、容易に
観察したい部分を更に追つて行くことが可能にな
る。
更にこの際、倍率低下後の画面においてもマー
クと試料像との相対位置が維持されるため、コン
トラストが小さい試料でもそれまで注目していた
試料部分を見失うことがなく、視野選択操作を簡
単且つ円滑に行うことができる。
クと試料像との相対位置が維持されるため、コン
トラストが小さい試料でもそれまで注目していた
試料部分を見失うことがなく、視野選択操作を簡
単且つ円滑に行うことができる。
第１図は本発明の一実施例を示すための図、第
２図は第１図に示した各回路よりの出力信号を示
すための図、第３図は陰極線管画面の表示の変化
を説明するための図である。 １：電子銃、２：電子線、３：収束レンズ、
４：試料、５Ｘ，５Ｙ：偏向コイル、６：走査信
号発生回路、７：倍率切換回路、８Ｘ，８Ｙ，１
１：増幅器、９：陰極線管、１０：二次電子検出
器、１２：輝点加算回路、１３：試料ステージ、
１４Ｘ，１４Ｙ：パルスモータ、１５：駆動回
路、１６：制御装置、１７：輝点信号発生回路、
１８：駆動制御回路、１９：アツプダウンカウン
タ、２０：レジスタ、２１：比較器、２２：１／
Ｃ回路、２３：入力装置、２３ａ，２３ｂ，２３
ｃ，２４ｄ：押しボタンスイツチ、２３ｅ：指示
摘子、２３ｆ：セツトスイツチ、２４：光軸。
２図は第１図に示した各回路よりの出力信号を示
すための図、第３図は陰極線管画面の表示の変化
を説明するための図である。 １：電子銃、２：電子線、３：収束レンズ、
４：試料、５Ｘ，５Ｙ：偏向コイル、６：走査信
号発生回路、７：倍率切換回路、８Ｘ，８Ｙ，１
１：増幅器、９：陰極線管、１０：二次電子検出
器、１２：輝点加算回路、１３：試料ステージ、
１４Ｘ，１４Ｙ：パルスモータ、１５：駆動回
路、１６：制御装置、１７：輝点信号発生回路、
１８：駆動制御回路、１９：アツプダウンカウン
タ、２０：レジスタ、２１：比較器、２２：１／
Ｃ回路、２３：入力装置、２３ａ，２３ｂ，２３
ｃ，２４ｄ：押しボタンスイツチ、２３ｅ：指示
摘子、２３ｆ：セツトスイツチ、２４：光軸。
Claims (1)
- １ 電子線を試料上において二次元的に走査する
手段と、該電子線の走査に伴う検出信号の供給に
基づいて試料像を表示する表示手段と、該電子線
の走査幅を切り換えることにより倍率を切換える
ための倍率切換手段と、試料を移動させるための
試料移動手段と、前記表示手段に試料の注目部分
の目印となるマークを表示する手段と、該マーク
の表示位置を任意に移動させるための手段と、該
マークに対応した試料上の位置が画面の中央に表
示されるように自動的に試料を移動させるための
手段を具備した走査電子顕微鏡等の試料移動装置
において、該マークの位置を画面の端部に移動さ
せた場合に前記倍率制御手段を制御することによ
り自動的に倍率を低下させる手段と、該マークの
試料像に対する相対位置が該倍率の低下にかかわ
らず維持されるように制御するためのマーク表示
位置制御手段を具備することを特徴とする走査電
子顕微鏡等の試料移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58021244A JPS59148254A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | 走査電子顕微鏡等の試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58021244A JPS59148254A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | 走査電子顕微鏡等の試料移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59148254A JPS59148254A (ja) | 1984-08-24 |
| JPH0343742B2 true JPH0343742B2 (ja) | 1991-07-03 |
Family
ID=12049638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58021244A Granted JPS59148254A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | 走査電子顕微鏡等の試料移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59148254A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6151658U (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-07 | ||
| JPS6177334A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-19 | Fujitsu Ltd | 電子ビ−ム装置 |
| JPS6258852U (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-11 | ||
| JPS6410559A (en) * | 1987-07-02 | 1989-01-13 | Nikon Corp | Sample image pattern measuring device |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5243355A (en) * | 1975-10-01 | 1977-04-05 | Jeol Ltd | Test data transfer device for electric particle line eqipment |
| JPS5478075A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Hitachi Ltd | Sample image display device |
| JPS5824901B2 (ja) * | 1978-02-20 | 1983-05-24 | 日本電子株式会社 | 走査電子顕微鏡 |
-
1983
- 1983-02-10 JP JP58021244A patent/JPS59148254A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59148254A (ja) | 1984-08-24 |
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