JPH09330661A - グラファイト膜の形成方法 - Google Patents
グラファイト膜の形成方法Info
- Publication number
- JPH09330661A JPH09330661A JP8145445A JP14544596A JPH09330661A JP H09330661 A JPH09330661 A JP H09330661A JP 8145445 A JP8145445 A JP 8145445A JP 14544596 A JP14544596 A JP 14544596A JP H09330661 A JPH09330661 A JP H09330661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphite film
- glass panel
- forming
- surfactant
- graphite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラスパネルから一旦剥がれたグラファイト
膜の再付着を防止したグラファイト膜の形成方法を提供
する。 【解決手段】 最初のスプレー現像では、まず純水をノ
ズル５からガラスパネル２に12秒間だけスプレーする。
その後に、シーケンス制御によりポンプ２２を作動させ
て、界面活性剤溶液をノズル２１から５秒間、約 500cc
だけ、すすぎ液としてガラスパネル２に流しかける。さ
らに、ガラスパネル２はキャリア１によって次のスプレ
ー現像のポジションに移動され、再び同様のスプレー現
像が行われる。これにより、ガラスパネル２内面のグラ
ファイト膜と剥離されたグラファイト膜の微片とにそれ
ぞれ界面活性剤が作用して、ガラスパネル２やその表面
に形成されたグラファイト膜と、そこから剥離した微片
との間での電気的な反発力が促進され、グラファイト膜
の微片の再付着を防止できる。
膜の再付着を防止したグラファイト膜の形成方法を提供
する。 【解決手段】 最初のスプレー現像では、まず純水をノ
ズル５からガラスパネル２に12秒間だけスプレーする。
その後に、シーケンス制御によりポンプ２２を作動させ
て、界面活性剤溶液をノズル２１から５秒間、約 500cc
だけ、すすぎ液としてガラスパネル２に流しかける。さ
らに、ガラスパネル２はキャリア１によって次のスプレ
ー現像のポジションに移動され、再び同様のスプレー現
像が行われる。これにより、ガラスパネル２内面のグラ
ファイト膜と剥離されたグラファイト膜の微片とにそれ
ぞれ界面活性剤が作用して、ガラスパネル２やその表面
に形成されたグラファイト膜と、そこから剥離した微片
との間での電気的な反発力が促進され、グラファイト膜
の微片の再付着を防止できる。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、陰極線管等に使
用されるガラスパネルにモザイク状のグラファイト膜を
形成するグラファイト膜の形成方法に関する。
用されるガラスパネルにモザイク状のグラファイト膜を
形成するグラファイト膜の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】陰極線管等のガラスパネルには、画像の
コントラストを高めるためにモザイク状のグラファイト
膜によるブラックマトリックスが形成される。従来の、
グラファイト膜を形成する各工程について説明する。
コントラストを高めるためにモザイク状のグラファイト
膜によるブラックマトリックスが形成される。従来の、
グラファイト膜を形成する各工程について説明する。
【０００３】陰極線管のガラスパネル（画像面）の内面
を洗浄し、ホトレジストを塗布し、乾燥させた後に、所
定のパターンに露光して現像することによって、ホトレ
ジストのモザイクパターンを形成する。ホトレジストの
モザイクパターンが形成されたガラスパネルの内面に、
光吸収性物質であるグラファイト（黒鉛）溶液を塗布す
る。そして、グラファイト膜が乾燥した後に過酸化水素
水などの酸化剤を含むエッチング液で処理し、さらに洗
浄液をシャワー状に強力に吹き付けるスプレー現像を行
う。このスプレー現像によって、ホトレジストとともに
その上に塗布されたグラファイト膜が除去され、その後
の一連の工程を経て、ガラスパネル内面にグラファイト
膜によるモザイク状の光吸収パターンが完成する。
を洗浄し、ホトレジストを塗布し、乾燥させた後に、所
定のパターンに露光して現像することによって、ホトレ
ジストのモザイクパターンを形成する。ホトレジストの
モザイクパターンが形成されたガラスパネルの内面に、
光吸収性物質であるグラファイト（黒鉛）溶液を塗布す
る。そして、グラファイト膜が乾燥した後に過酸化水素
水などの酸化剤を含むエッチング液で処理し、さらに洗
浄液をシャワー状に強力に吹き付けるスプレー現像を行
う。このスプレー現像によって、ホトレジストとともに
その上に塗布されたグラファイト膜が除去され、その後
の一連の工程を経て、ガラスパネル内面にグラファイト
膜によるモザイク状の光吸収パターンが完成する。
【０００４】図４乃至図６は、ガラスパネルにモザイク
状のグラファイト膜（ブラックマトリックス）を形成す
るための各装置を示す断面図であり、これらの図に基づ
いて一連の工程を更に詳しく説明する。
状のグラファイト膜（ブラックマトリックス）を形成す
るための各装置を示す断面図であり、これらの図に基づ
いて一連の工程を更に詳しく説明する。
【０００５】図４に示すスプレー現像装置において、２
は、キャリア１によって回転可能に保持されたガラスパ
ネルであり、このガラスパネル２の内面に対向する位置
に、ポンプ４を介して純水タンク３と連結された複数の
ノズル５が配置されている。ガラスパネル２の内面には
レジスト膜のモザイクパターンとグラファイト膜が順次
に形成され、更にレジスト膜に作用するエッチング液で
ホトレジストを処理してから、次に説明する強力なスプ
レー現像が行われる。
は、キャリア１によって回転可能に保持されたガラスパ
ネルであり、このガラスパネル２の内面に対向する位置
に、ポンプ４を介して純水タンク３と連結された複数の
ノズル５が配置されている。ガラスパネル２の内面には
レジスト膜のモザイクパターンとグラファイト膜が順次
に形成され、更にレジスト膜に作用するエッチング液で
ホトレジストを処理してから、次に説明する強力なスプ
レー現像が行われる。
【０００６】この現像工程では、ガラスパネル２はキャ
リア１によって保持された状態で、ポンプ４によって供
給される純水６が多数のノズル５より５〜６Kg/m2 の圧
力で、その内面にスプレーされる。モザイク状に形成さ
れたレジスト膜は、過酸化水素水によるエッチング処理
によってガラス面への接着力を失っており、純水６のス
プレーによりレジスト膜とともに、その上に塗布された
グラファイト膜はガラスパネル２からたたき落とされ
る。その結果、ガラスパネル２にはグラファイト膜がモ
ザイクパターンで残ることになる。
リア１によって保持された状態で、ポンプ４によって供
給される純水６が多数のノズル５より５〜６Kg/m2 の圧
力で、その内面にスプレーされる。モザイク状に形成さ
れたレジスト膜は、過酸化水素水によるエッチング処理
によってガラス面への接着力を失っており、純水６のス
プレーによりレジスト膜とともに、その上に塗布された
グラファイト膜はガラスパネル２からたたき落とされ
る。その結果、ガラスパネル２にはグラファイト膜がモ
ザイクパターンで残ることになる。
【０００７】つぎに、ガラスパネル２内面のスカート領
域２ａの整形（トリミング）が行われる。このトリミン
グ工程では、スカート領域２ａに塗布形成されている余
分のグラファイト膜が除去される。
域２ａの整形（トリミング）が行われる。このトリミン
グ工程では、スカート領域２ａに塗布形成されている余
分のグラファイト膜が除去される。
【０００８】ここでは、図５に示すトリミング装置が使
用される。トリミング装置は、トリミングアーム７の先
端にカム８とノズル９とを一体に取付けて構成され、ノ
ズル９はガラスパネル２のスカート領域２ａのシール面
より一定の深さで、トリミングアーム７とともに移動す
る。カム８は、スカート領域２ａに形成された不要なグ
ラファイト膜の領域を特定し、さらにノズル９から吐出
される、例えば酸性フッ化アンモニウム（ＮＨ4ＨＦ2）
の水溶液１０でガラス面がエッチングされる。こうして
余分のグラファイト膜がガラスパネル２内面のスカート
領域２ａから除去される。
用される。トリミング装置は、トリミングアーム７の先
端にカム８とノズル９とを一体に取付けて構成され、ノ
ズル９はガラスパネル２のスカート領域２ａのシール面
より一定の深さで、トリミングアーム７とともに移動す
る。カム８は、スカート領域２ａに形成された不要なグ
ラファイト膜の領域を特定し、さらにノズル９から吐出
される、例えば酸性フッ化アンモニウム（ＮＨ4ＨＦ2）
の水溶液１０でガラス面がエッチングされる。こうして
余分のグラファイト膜がガラスパネル２内面のスカート
領域２ａから除去される。
【０００９】最後に、図６に示す洗浄装置を使用して、
ノズル１１からの純水１２の流しかけにより、ガラスパ
ネル２の内面、及び外面の最終洗浄が行われる。この洗
浄が終ったガラスパネル２は、高速振切りと乾燥の工程
を経て最終の検査工程に送られる。以上の一連の工程ス
ケジュールは、一般に自動製造装置の各々のシーケンス
制御によって実行される。
ノズル１１からの純水１２の流しかけにより、ガラスパ
ネル２の内面、及び外面の最終洗浄が行われる。この洗
浄が終ったガラスパネル２は、高速振切りと乾燥の工程
を経て最終の検査工程に送られる。以上の一連の工程ス
ケジュールは、一般に自動製造装置の各々のシーケンス
制御によって実行される。
【００１０】なお、図４に示すスプレー現像は30秒前後
の２ポジションで、次の図５に示すトリミングは40〜50
秒（この時間は、ガラスパネルのサイズによって異な
る。）の４ポジション、そして最終の図６に示す洗浄は
10〜15秒の１ポジションで処理されている。
の２ポジションで、次の図５に示すトリミングは40〜50
秒（この時間は、ガラスパネルのサイズによって異な
る。）の４ポジション、そして最終の図６に示す洗浄は
10〜15秒の１ポジションで処理されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従来のグラファイト膜
の形成方法においては、ガラスパネル２の内面の蛍光体
の発光領域（蛍光体モザイクの形成領域）に複数の黒点
が発生し易く、蛍光面の欠陥として製造工程の歩留りと
製品の品質の低下を招くという問題があった。図７のガ
ラスパネル２の一部拡大図に示すように、この黒点は、
ガラスパネル２の内面で、本来のブラックマトリックス
となるグラファイト膜領域１３以外の部分にも、スプレ
ー現像で剥がれたグラファイト膜の微片１６が付着し、
この微片１６がガラスパネル２の蛍光体発光領域１４に
黒点１５として残って生じる。
の形成方法においては、ガラスパネル２の内面の蛍光体
の発光領域（蛍光体モザイクの形成領域）に複数の黒点
が発生し易く、蛍光面の欠陥として製造工程の歩留りと
製品の品質の低下を招くという問題があった。図７のガ
ラスパネル２の一部拡大図に示すように、この黒点は、
ガラスパネル２の内面で、本来のブラックマトリックス
となるグラファイト膜領域１３以外の部分にも、スプレ
ー現像で剥がれたグラファイト膜の微片１６が付着し、
この微片１６がガラスパネル２の蛍光体発光領域１４に
黒点１５として残って生じる。
【００１２】上述の問題については、従来、現像工程に
おけるスプレー方法の不具合に起因する「滓飛び」と称
されており、従来は現像用のノズルの配置や角度、或い
は本数等の変更によって対処しようとしていた。しか
し、そのような処置のみによっては、「滓飛び」という
グラファイト膜の微片１６の再付着を確実に防止するこ
とができなかった。
おけるスプレー方法の不具合に起因する「滓飛び」と称
されており、従来は現像用のノズルの配置や角度、或い
は本数等の変更によって対処しようとしていた。しか
し、そのような処置のみによっては、「滓飛び」という
グラファイト膜の微片１６の再付着を確実に防止するこ
とができなかった。
【００１３】この発明は、上述のような課題を解決する
ためになされたもので、ガラスパネルから一旦剥がれた
グラファイト片の再付着を防止したグラファイト膜の形
成方法を提供することを目的にしている。
ためになされたもので、ガラスパネルから一旦剥がれた
グラファイト片の再付着を防止したグラファイト膜の形
成方法を提供することを目的にしている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るグラファイト膜の形成方法は、ガラスパネル内面にホ
トレジストのモザイクパターンを形成し、その後、光吸
収性のグラファイト膜をガラスパネル全面に形成してか
ら酸化剤を含むエッチング液で前記ホトレジストのモザ
イクパターンをエッチングし、前記ホトレジストととも
にその上のグラファイト膜をスプレー現像によって除去
することにより、前記ガラスパネル内面にモザイク状の
グラファイト膜を形成するグラファイト膜の形成方法に
おいて、前記グラファイト膜に界面活性剤を作用させる
ものである。
るグラファイト膜の形成方法は、ガラスパネル内面にホ
トレジストのモザイクパターンを形成し、その後、光吸
収性のグラファイト膜をガラスパネル全面に形成してか
ら酸化剤を含むエッチング液で前記ホトレジストのモザ
イクパターンをエッチングし、前記ホトレジストととも
にその上のグラファイト膜をスプレー現像によって除去
することにより、前記ガラスパネル内面にモザイク状の
グラファイト膜を形成するグラファイト膜の形成方法に
おいて、前記グラファイト膜に界面活性剤を作用させる
ものである。
【００１５】この発明の請求項２に係るグラファイト膜
の形成方法は、界面活性剤を、前記グラファイト膜をス
プレー現像によって除去する工程でグラファイト膜に作
用させるものである。
の形成方法は、界面活性剤を、前記グラファイト膜をス
プレー現像によって除去する工程でグラファイト膜に作
用させるものである。
【００１６】この発明の請求項３に係るグラファイト膜
の形成方法は、界面活性剤を、前記グラファイト膜をス
プレー現像によって除去する工程ですすぎ液として流し
かけて作用させるものである。
の形成方法は、界面活性剤を、前記グラファイト膜をス
プレー現像によって除去する工程ですすぎ液として流し
かけて作用させるものである。
【００１７】この発明の請求項４に係るグラファイト膜
の形成方法は、界面活性剤が、ポリプロピレングリコー
ルポリエチレングリコールエーテル系の非イオン界面活
性剤の０．１％以下の濃度の水溶液であることを特徴と
するものである。
の形成方法は、界面活性剤が、ポリプロピレングリコー
ルポリエチレングリコールエーテル系の非イオン界面活
性剤の０．１％以下の濃度の水溶液であることを特徴と
するものである。
【００１８】この発明の請求項５に係るグラファイト膜
の形成方法は、ポリプロピレングリコールポリエチレン
グリコールエーテル系の非イオン界面活性剤の０．０１
％以下の濃度の水溶液でスプレー現像することを特徴と
するものである。
の形成方法は、ポリプロピレングリコールポリエチレン
グリコールエーテル系の非イオン界面活性剤の０．０１
％以下の濃度の水溶液でスプレー現像することを特徴と
するものである。
【００１９】この発明の請求項６に係るグラファイト膜
の形成方法は、ガラスパネル内面にホトレジストのモザ
イクパターンを形成し、その後、光吸収性のグラファイ
ト膜をガラスパネル全面に形成してから酸化剤を含むエ
ッチング液で前記ホトレジストのモザイクパターンをエ
ッチングし、前記ホトレジストとともにその上のグラフ
ァイト膜をスプレー現像によって除去することにより、
前記ガラスパネル内面にモザイク状のグラファイト膜を
形成するグラファイト膜の形成方法において、ガラスパ
ネル内面のスカート領域に形成されたグラファイト膜を
除去する整形工程で、無機凝集剤をグラファイト膜に作
用させるものである。
の形成方法は、ガラスパネル内面にホトレジストのモザ
イクパターンを形成し、その後、光吸収性のグラファイ
ト膜をガラスパネル全面に形成してから酸化剤を含むエ
ッチング液で前記ホトレジストのモザイクパターンをエ
ッチングし、前記ホトレジストとともにその上のグラフ
ァイト膜をスプレー現像によって除去することにより、
前記ガラスパネル内面にモザイク状のグラファイト膜を
形成するグラファイト膜の形成方法において、ガラスパ
ネル内面のスカート領域に形成されたグラファイト膜を
除去する整形工程で、無機凝集剤をグラファイト膜に作
用させるものである。
【００２０】この発明の請求項７に係るグラファイト膜
の形成方法は、無機凝集剤が、硫酸アルミニウム水溶液
であって、該水溶液を前記ガラスパネル内面に流しかけ
て作用させるものである。
の形成方法は、無機凝集剤が、硫酸アルミニウム水溶液
であって、該水溶液を前記ガラスパネル内面に流しかけ
て作用させるものである。
【００２１】この発明の請求項８に係るグラファイト膜
の形成方法は、ガラスパネル内面のスカート領域からグ
ラファイト膜を除去した後に、ガラスパネルを水洗する
洗浄工程で、ガラスパネルに残留し、付着したグラファ
イト片に界面活性剤を作用させてから水洗するものであ
る。
の形成方法は、ガラスパネル内面のスカート領域からグ
ラファイト膜を除去した後に、ガラスパネルを水洗する
洗浄工程で、ガラスパネルに残留し、付着したグラファ
イト片に界面活性剤を作用させてから水洗するものであ
る。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面を参照して、
この発明の実施の形態を説明する。
この発明の実施の形態を説明する。
【００２３】実施の形態１．図１は、第１の発明方法を
実施するグラファイト膜のスプレー現像装置を示す図で
ある。この発明方法は、グラファイト膜をスプレー法に
よって除去するスプレー現像の際に、ガラスパネル内面
に形成されたグラファイト膜と剥離されたグラファイト
膜の微片とにそれぞれ界面活性剤を作用させ、ガラスパ
ネル内面に形成されたグラファイト膜とそこから剥離し
た微片との間での電気的な反発力を促進させることによ
り、ガラスパネルの蛍光体発光領域にグラファイト膜の
微片が再付着することを防止したものである。
実施するグラファイト膜のスプレー現像装置を示す図で
ある。この発明方法は、グラファイト膜をスプレー法に
よって除去するスプレー現像の際に、ガラスパネル内面
に形成されたグラファイト膜と剥離されたグラファイト
膜の微片とにそれぞれ界面活性剤を作用させ、ガラスパ
ネル内面に形成されたグラファイト膜とそこから剥離し
た微片との間での電気的な反発力を促進させることによ
り、ガラスパネルの蛍光体発光領域にグラファイト膜の
微片が再付着することを防止したものである。
【００２４】図１において、キャリア１に固定されたガ
ラスパネル２は、複数のノズル５から噴射される純水に
よってスプレー現像される。ここでは、図４に示す従来
の装置と対応する部分には同一の参照番号を付けてい
る。図４のものとは異なり、ノズル５と別に界面活性剤
用のノズル２１が併設される。このノズル２１は、シー
ケンス制御されるポンプ２２を介してタンク２３と接続
され、ここから界面活性剤溶液がガラスパネル２に噴出
される。
ラスパネル２は、複数のノズル５から噴射される純水に
よってスプレー現像される。ここでは、図４に示す従来
の装置と対応する部分には同一の参照番号を付けてい
る。図４のものとは異なり、ノズル５と別に界面活性剤
用のノズル２１が併設される。このノズル２１は、シー
ケンス制御されるポンプ２２を介してタンク２３と接続
され、ここから界面活性剤溶液がガラスパネル２に噴出
される。
【００２５】界面活性剤溶液には、非イオン界面活性剤
として、例えばエパン４５０（第一工業製薬株式会社
製）のような、ポリプロピレングリコールポリエチレン
グリコールエーテルの 0.1％水溶液が使用できる。
として、例えばエパン４５０（第一工業製薬株式会社
製）のような、ポリプロピレングリコールポリエチレン
グリコールエーテルの 0.1％水溶液が使用できる。
【００２６】スプレー現像は２ポジションで処理される
が、最初のスプレー現像では、まず従来と同様に、複数
のノズル５からガラスパネル２に12秒間だけ純水をスプ
レーする。その後に、シーケンス制御によりポンプ２２
を５秒間作動させて、界面活性剤溶液をノズル２１から
約 500ccだけ、すすぎ液としてガラスパネル２に流しか
ける。さらに、ガラスパネル２をキャリア１によって次
のスプレー現像のポジションに移行させて、再び同様の
スプレー現像が行われる。これにより、ガラスパネル２
の内面と剥離されたグラファイト膜の微片とにそれぞれ
界面活性剤が作用して、ガラスパネル２やその表面に形
成されたグラファイト膜と、そこから剥離した微片との
間での電気的な反発力が促進される。
が、最初のスプレー現像では、まず従来と同様に、複数
のノズル５からガラスパネル２に12秒間だけ純水をスプ
レーする。その後に、シーケンス制御によりポンプ２２
を５秒間作動させて、界面活性剤溶液をノズル２１から
約 500ccだけ、すすぎ液としてガラスパネル２に流しか
ける。さらに、ガラスパネル２をキャリア１によって次
のスプレー現像のポジションに移行させて、再び同様の
スプレー現像が行われる。これにより、ガラスパネル２
の内面と剥離されたグラファイト膜の微片とにそれぞれ
界面活性剤が作用して、ガラスパネル２やその表面に形
成されたグラファイト膜と、そこから剥離した微片との
間での電気的な反発力が促進される。
【００２７】なお、界面活性剤溶液の流しかけを、最初
のポジションでのスプレー完了直後に行っているのは、
キャリア１によるポジション間の移動に約５秒を必要と
し、この５秒間の移行期間によってグラファイト片への
界面活性剤の作用を確実なものとするためである。
のポジションでのスプレー完了直後に行っているのは、
キャリア１によるポジション間の移動に約５秒を必要と
し、この５秒間の移行期間によってグラファイト片への
界面活性剤の作用を確実なものとするためである。
【００２８】このようにグラファイト膜の除去工程で界
面活性剤をグラファイト膜に作用させることによって、
グラファイト片の残留に起因する従来の不良率が、平均
して0.1％〜0.3％、多発時には１％以上であったところ
から、大幅に低減できる。例えば、25インチのカラーブ
ラウン管のガラスパネルにグラファイト膜を形成するた
めのライン（インデックス時間22秒のもの）に本発明方
法を採用したところ、不良率を0.02％以下に抑えること
ができた。また、突発的な不良の発生もなくなり、安定
したグラファイト膜の形成が可能になった。
面活性剤をグラファイト膜に作用させることによって、
グラファイト片の残留に起因する従来の不良率が、平均
して0.1％〜0.3％、多発時には１％以上であったところ
から、大幅に低減できる。例えば、25インチのカラーブ
ラウン管のガラスパネルにグラファイト膜を形成するた
めのライン（インデックス時間22秒のもの）に本発明方
法を採用したところ、不良率を0.02％以下に抑えること
ができた。また、突発的な不良の発生もなくなり、安定
したグラファイト膜の形成が可能になった。
【００２９】上述した実施の形態１の方法は、必ずしも
最初のスプレー現像のポジションで界面活性剤を作用さ
せる必要はない。通常のスプレー現像は、２ポジション
で実行されるから、単にシーケンス制御のスケジュール
を変更するだけで、２番目のポジションでのスプレー現
像の直後に界面活性剤溶液の流しかけを行うことがで
き、少なくともいずれかのポジションで実施すれば、同
様の効果を奏することができる。また、ガラスパネルか
ら剥離したグラファイト片に電気的な反発力を促進させ
る界面活性剤には、上記エパン４５０以外にも多くの種
類のものがあって、それらをグラファイト膜の製造の条
件に合せて選択すればよい。
最初のスプレー現像のポジションで界面活性剤を作用さ
せる必要はない。通常のスプレー現像は、２ポジション
で実行されるから、単にシーケンス制御のスケジュール
を変更するだけで、２番目のポジションでのスプレー現
像の直後に界面活性剤溶液の流しかけを行うことがで
き、少なくともいずれかのポジションで実施すれば、同
様の効果を奏することができる。また、ガラスパネルか
ら剥離したグラファイト片に電気的な反発力を促進させ
る界面活性剤には、上記エパン４５０以外にも多くの種
類のものがあって、それらをグラファイト膜の製造の条
件に合せて選択すればよい。
【００３０】実施の形態２．第２の実施形態の発明方法
は、従来のスプレー現像装置をそのまま転用し、純水に
よるスプレー現像に代えて、界面活性剤の水溶液をスプ
レーすることによってグラファイト膜を除去するように
したものである。
は、従来のスプレー現像装置をそのまま転用し、純水に
よるスプレー現像に代えて、界面活性剤の水溶液をスプ
レーすることによってグラファイト膜を除去するように
したものである。
【００３１】すなわち、図４に示す従来方法を実施する
ためのスプレー現像装置において、タンク３には純水に
界面活性剤溶液を添加しておき、ノズル５からこの界面
活性剤水溶液を所定の圧力でガラスパネル内面にスプレ
ーする。すると、ガラスパネル２からホトレジストとと
もにその上のグラファイト膜が叩き落とされ、同時に剥
離したグラファイト片には界面活性剤が作用する。した
がって、グラファイトの微片の電気的な反発力が促進さ
れるため、ガラスパネル２の発光領域に再付着すること
なく、グラファイト膜の微片を確実に除去することが可
能になる。そして、この方法では既存する設備をそのま
ま転用できるから、コスト的にも有利である。
ためのスプレー現像装置において、タンク３には純水に
界面活性剤溶液を添加しておき、ノズル５からこの界面
活性剤水溶液を所定の圧力でガラスパネル内面にスプレ
ーする。すると、ガラスパネル２からホトレジストとと
もにその上のグラファイト膜が叩き落とされ、同時に剥
離したグラファイト片には界面活性剤が作用する。した
がって、グラファイトの微片の電気的な反発力が促進さ
れるため、ガラスパネル２の発光領域に再付着すること
なく、グラファイト膜の微片を確実に除去することが可
能になる。そして、この方法では既存する設備をそのま
ま転用できるから、コスト的にも有利である。
【００３２】界面活性剤水溶液には、実施の形態１と同
様に非イオン界面活性剤であるエパン４５０を使用する
ことができる。その場合に、0.01％程度まで希釈した水
溶液として使用する。なお、タンク３内での界面活性剤
溶液の調合に際しては、自動界面活性剤原液添加装置を
タンク３に付加すれば、その濃度を容易に制御できる。
様に非イオン界面活性剤であるエパン４５０を使用する
ことができる。その場合に、0.01％程度まで希釈した水
溶液として使用する。なお、タンク３内での界面活性剤
溶液の調合に際しては、自動界面活性剤原液添加装置を
タンク３に付加すれば、その濃度を容易に制御できる。
【００３３】実施の形態３．図２は、第３の発明方法を
実施するグラファイト膜のトリミング装置を示す図であ
る。この発明方法は、グラファイト膜のトリミング工程
において、グラファイト膜の微片に界面化学的な作用を
付与して、微片相互の凝集を促進することによって、グ
ラファイトの微片がガラスパネルの発光領域に再付着す
ることを防止したものである。
実施するグラファイト膜のトリミング装置を示す図であ
る。この発明方法は、グラファイト膜のトリミング工程
において、グラファイト膜の微片に界面化学的な作用を
付与して、微片相互の凝集を促進することによって、グ
ラファイトの微片がガラスパネルの発光領域に再付着す
ることを防止したものである。
【００３４】図２のトリミング装置において、ガラスパ
ネル２はキャリア１に固定され、そのスカート領域２ａ
に形成されたグラファイト膜が、トリミングアーム７の
先端のカム８とノズル９によって整形される。ここで
は、図５に示す従来の装置と対応する部分には同一の参
照番号を付けている。図５のものとは異なり、ノズル２
４がトリミングアーム７より高い位置に併設されてい
て、このノズル２４には図示しないタンクから無機凝集
剤溶液が供給されている。このノズル２４からガラスパ
ネル２に無機凝集剤溶液２５を流しかけて、グラファイ
ト片相互の凝集作用を促進させている。
ネル２はキャリア１に固定され、そのスカート領域２ａ
に形成されたグラファイト膜が、トリミングアーム７の
先端のカム８とノズル９によって整形される。ここで
は、図５に示す従来の装置と対応する部分には同一の参
照番号を付けている。図５のものとは異なり、ノズル２
４がトリミングアーム７より高い位置に併設されてい
て、このノズル２４には図示しないタンクから無機凝集
剤溶液が供給されている。このノズル２４からガラスパ
ネル２に無機凝集剤溶液２５を流しかけて、グラファイ
ト片相互の凝集作用を促進させている。
【００３５】ここで、トリミングアーム７のノズル９と
は別にノズル２４を設けて、ここから界面活性剤溶液で
はなくて、無機凝集剤溶液を流しかけているのは、スカ
ート領域２ａでの整形を阻害しないためである。すなわ
ち、カム８の近傍のグラファイト膜をエッチングするた
めに、エッチング液として例えば酸性フッ化アンモニウ
ム（ＮＨ4ＨＦ2）の水溶液を使用した場合、界面活性剤
溶液を使用するとそれがエッチング液に作用して、ガラ
スパネル２の有効画像面までエッチングが進み、スカー
ト領域２ａでの所望する整形が不可能になる。そこで、
この実施の形態３においては、界面活性剤溶液に代えて
無機凝集剤溶液、例えば硫酸アルミニウム（Ａl2(Ｓ
Ｏ4)3）の８％水溶液が使用される。
は別にノズル２４を設けて、ここから界面活性剤溶液で
はなくて、無機凝集剤溶液を流しかけているのは、スカ
ート領域２ａでの整形を阻害しないためである。すなわ
ち、カム８の近傍のグラファイト膜をエッチングするた
めに、エッチング液として例えば酸性フッ化アンモニウ
ム（ＮＨ4ＨＦ2）の水溶液を使用した場合、界面活性剤
溶液を使用するとそれがエッチング液に作用して、ガラ
スパネル２の有効画像面までエッチングが進み、スカー
ト領域２ａでの所望する整形が不可能になる。そこで、
この実施の形態３においては、界面活性剤溶液に代えて
無機凝集剤溶液、例えば硫酸アルミニウム（Ａl2(Ｓ
Ｏ4)3）の８％水溶液が使用される。
【００３６】トリミングは４ポジションで処理される
が、トリミング工程の最初のポジションでは、従来と同
様に、エッチング液をノズル９からガラスパネル２のス
カート領域２ａに吐出し、同時に、ノズル２４から約10
cc程度の凝集剤溶液をすすぎ液としてガラスパネル２に
流しかける。その後、キャリア１によってガラスパネル
２を次のトリミングのポジションに移行させる。
が、トリミング工程の最初のポジションでは、従来と同
様に、エッチング液をノズル９からガラスパネル２のス
カート領域２ａに吐出し、同時に、ノズル２４から約10
cc程度の凝集剤溶液をすすぎ液としてガラスパネル２に
流しかける。その後、キャリア１によってガラスパネル
２を次のトリミングのポジションに移行させる。
【００３７】この実施の形態３では、ノズル２４から無
機凝集剤溶液２５をガラスパネル２内面全体に均一に流
しかけるために、その先端部分が極めて細いものが使用
される。そして、例えば17秒のインデックス時間一杯を
かけて、ガラスパネル２に所定量の凝集剤溶液２５を流
しかけることによって、グラファイト片相互が凝集して
剥離され、実施の形態１、２と同程度にまで不良率を低
減できた。
機凝集剤溶液２５をガラスパネル２内面全体に均一に流
しかけるために、その先端部分が極めて細いものが使用
される。そして、例えば17秒のインデックス時間一杯を
かけて、ガラスパネル２に所定量の凝集剤溶液２５を流
しかけることによって、グラファイト片相互が凝集して
剥離され、実施の形態１、２と同程度にまで不良率を低
減できた。
【００３８】上述した実施の形態３の方法は、無機凝集
剤溶液として凝集作用の強い硫酸アルミニウムの水溶液
を少量だけ、最初のトリミングポジションで使用してい
る。しかし通常のトリミング工程が４ポジションで実行
されることから、シーケンス制御のスケジュール変更を
行うことにより、いずれかのポジションで同様に凝集剤
溶液の流しかけを行っても、同様の効果を奏することが
できる。また、ガラスパネルから剥離したグラファイト
片に界面化学的な凝集作用を与える無機凝集剤には、硫
酸アルミニウム以外にも多くの種類のものがあって、そ
れらをグラファイト膜の製造の条件に合せて選択すれ
ば、同様の効果を奏することができる。
剤溶液として凝集作用の強い硫酸アルミニウムの水溶液
を少量だけ、最初のトリミングポジションで使用してい
る。しかし通常のトリミング工程が４ポジションで実行
されることから、シーケンス制御のスケジュール変更を
行うことにより、いずれかのポジションで同様に凝集剤
溶液の流しかけを行っても、同様の効果を奏することが
できる。また、ガラスパネルから剥離したグラファイト
片に界面化学的な凝集作用を与える無機凝集剤には、硫
酸アルミニウム以外にも多くの種類のものがあって、そ
れらをグラファイト膜の製造の条件に合せて選択すれ
ば、同様の効果を奏することができる。
【００３９】実施の形態４．図３は、第４の発明方法を
実施するグラファイト膜の洗浄装置を示す図である。こ
の発明方法は、グラファイト膜のトリミング工程の後
に、ガラスパネルを純水によって洗浄する工程におい
て、予め界面活性剤溶液を流しかけて剥離した微片の電
気的な反発力を促進させることにより、ガラスパネルに
残留するグラファイトの微片を確実に除去するようにし
たものである。
実施するグラファイト膜の洗浄装置を示す図である。こ
の発明方法は、グラファイト膜のトリミング工程の後
に、ガラスパネルを純水によって洗浄する工程におい
て、予め界面活性剤溶液を流しかけて剥離した微片の電
気的な反発力を促進させることにより、ガラスパネルに
残留するグラファイトの微片を確実に除去するようにし
たものである。
【００４０】図に示す洗浄装置において、通常、キャリ
ア１に固定されたガラスパネル２は、その内面がノズル
１１からの純水によって洗浄される。ここで、図６に示
す従来の装置と対応する部分には同一の参照番号を付け
ている。図６のものとは異なり、ノズル１１と別に界面
活性剤用のノズル２１が併設され、このノズル２１がシ
ーケンス制御されるポンプ２２を介してタンク２３と接
続され、ここから界面活性剤溶液がガラスパネル２に供
給されるように構成している。
ア１に固定されたガラスパネル２は、その内面がノズル
１１からの純水によって洗浄される。ここで、図６に示
す従来の装置と対応する部分には同一の参照番号を付け
ている。図６のものとは異なり、ノズル１１と別に界面
活性剤用のノズル２１が併設され、このノズル２１がシ
ーケンス制御されるポンプ２２を介してタンク２３と接
続され、ここから界面活性剤溶液がガラスパネル２に供
給されるように構成している。
【００４１】界面活性剤溶液には、実施の形態１で使用
した非イオン界面活性剤と同じエパン４５０の 0.1％水
溶液が使用できる。その場合に、純水による洗浄に先立
って、シーケンス制御によりポンプ２２を約５秒間だけ
作動させて、界面活性剤溶液をノズル２１からガラスパ
ネル２に流しかける。その後、ガラスパネル２は10〜15
秒の洗浄工程を経て、乾燥工程から最終の検査工程へと
送られる。
した非イオン界面活性剤と同じエパン４５０の 0.1％水
溶液が使用できる。その場合に、純水による洗浄に先立
って、シーケンス制御によりポンプ２２を約５秒間だけ
作動させて、界面活性剤溶液をノズル２１からガラスパ
ネル２に流しかける。その後、ガラスパネル２は10〜15
秒の洗浄工程を経て、乾燥工程から最終の検査工程へと
送られる。
【００４２】なお、ガラスパネル２のグラファイト膜の
微片を確実に洗浄除去するためには、純水用のノズル１
１を噴霧状あるいはシャワー状のスプレーとすることが
好ましい。
微片を確実に洗浄除去するためには、純水用のノズル１
１を噴霧状あるいはシャワー状のスプレーとすることが
好ましい。
【００４３】
【発明の効果】以上のように、この発明の請求項１〜４
のグラファイト膜の形成方法によれば、グラファイト膜
に界面活性剤を作用させるようにしたから、グラファイ
ト膜の現像工程でのグラファイト片の再付着を確実に防
止して、蛍光面の欠陥をなくし、製造工程の歩留りと製
品の品質を高めることができる。
のグラファイト膜の形成方法によれば、グラファイト膜
に界面活性剤を作用させるようにしたから、グラファイ
ト膜の現像工程でのグラファイト片の再付着を確実に防
止して、蛍光面の欠陥をなくし、製造工程の歩留りと製
品の品質を高めることができる。
【００４４】また、この発明の請求項５のグラファイト
膜の形成方法によれば、スプレー現像によるグラファイ
ト膜の除去に使用する純水に代えて、界面活性剤として
ポリプロピレングリコールポリエチレングリコールエー
テル系の非イオン界面活性剤の０．０１％以下の濃度の
水溶液を使用することによって、既存の設備を有効に利
用して、グラファイト片が再付着しないようにしてグラ
ファイト膜を形成できる。
膜の形成方法によれば、スプレー現像によるグラファイ
ト膜の除去に使用する純水に代えて、界面活性剤として
ポリプロピレングリコールポリエチレングリコールエー
テル系の非イオン界面活性剤の０．０１％以下の濃度の
水溶液を使用することによって、既存の設備を有効に利
用して、グラファイト片が再付着しないようにしてグラ
ファイト膜を形成できる。
【００４５】また、この発明の請求項６、７のグラファ
イト膜の形成方法によれば、ガラスパネル内面のスカー
ト領域に形成されたグラファイト膜を除去する整形工程
で、無機凝集剤をグラファイト膜に作用させることによ
って、グラファイト膜の整形工程でのグラファイト片の
再付着を確実に防止できる。
イト膜の形成方法によれば、ガラスパネル内面のスカー
ト領域に形成されたグラファイト膜を除去する整形工程
で、無機凝集剤をグラファイト膜に作用させることによ
って、グラファイト膜の整形工程でのグラファイト片の
再付着を確実に防止できる。
【００４６】さらに、この発明の請求項８のグラファイ
ト膜の形成方法によれば、ガラスパネル内面のスカート
領域からグラファイト膜を除去した後に、ガラスパネル
を水洗する洗浄工程で、ガラスパネルに残留し、付着し
たグラファイト片に界面活性剤を作用させてから水洗す
ることによって、グラファイト片の再付着を確実に防止
できる。
ト膜の形成方法によれば、ガラスパネル内面のスカート
領域からグラファイト膜を除去した後に、ガラスパネル
を水洗する洗浄工程で、ガラスパネルに残留し、付着し
たグラファイト片に界面活性剤を作用させてから水洗す
ることによって、グラファイト片の再付着を確実に防止
できる。
【図１】 実施の形態１の発明方法を実施するグラファ
イト膜のスプレー現像装置を示す図である。
イト膜のスプレー現像装置を示す図である。
【図２】 実施の形態３の発明方法を実施するグラファ
イト膜のトリミング装置を示す図である。
イト膜のトリミング装置を示す図である。
【図３】 実施の形態４の発明方法を実施するグラファ
イト膜の洗浄装置を示す図である。
イト膜の洗浄装置を示す図である。
【図４】 従来方法におけるモザイク状のグラファイト
膜を形成するためのスプレー現像装置を示す断面図であ
る。
膜を形成するためのスプレー現像装置を示す断面図であ
る。
【図５】 従来方法におけるモザイク状のグラファイト
膜を形成するためのトリミング装置を示す断面図であ
る。
膜を形成するためのトリミング装置を示す断面図であ
る。
【図６】 従来方法におけるモザイク状のグラファイト
膜を形成するための洗浄装置を示す断面図である。
膜を形成するための洗浄装置を示す断面図である。
【図７】 従来方法においてガラスパネルに生じる蛍光
面の欠陥を示す図である。
面の欠陥を示す図である。
１ キャリア、 ２ ガラスパネル、 ３ 純水タン
ク、 ４ ポンプ、 ５ノズル（純水）、 ７ トリミ
ングアーム、 ８ カム、 ９ ノズル（トリミン
グ）、 １１ ノズル（最終洗浄）、 １３ グラファ
イト膜領域、 １４蛍光体発光領域、 １５ 黒点、
１６ グラファイト膜の微片、 ２１ 界面活性剤用の
ノズル、 ２２ ポンプ、 ２３ タンク、 ２４ ノ
ズル（凝集剤）、 ２５ 無機凝集剤溶液。
ク、 ４ ポンプ、 ５ノズル（純水）、 ７ トリミ
ングアーム、 ８ カム、 ９ ノズル（トリミン
グ）、 １１ ノズル（最終洗浄）、 １３ グラファ
イト膜領域、 １４蛍光体発光領域、 １５ 黒点、
１６ グラファイト膜の微片、 ２１ 界面活性剤用の
ノズル、 ２２ ポンプ、 ２３ タンク、 ２４ ノ
ズル（凝集剤）、 ２５ 無機凝集剤溶液。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/32 Ｇ０３Ｆ 7/32 ５０１ ５０１ 7/40 ５２１ 7/40 ５２１ Ｇ０２Ｂ 1/10 Ｚ
Claims (8)
- 【請求項１】 ガラスパネル内面にホトレジストのモザ
イクパターンを形成し、その後、光吸収性のグラファイ
ト膜をガラスパネル全面に形成してから酸化剤を含むエ
ッチング液で前記ホトレジストのモザイクパターンをエ
ッチングし、前記ホトレジストとともにその上のグラフ
ァイト膜をスプレー現像によって除去することにより、
前記ガラスパネル内面にモザイク状のグラファイト膜を
形成するグラファイト膜の形成方法において、 前記グラファイト膜に界面活性剤を作用させることを特
徴とするグラファイト膜の形成方法。 - 【請求項２】 前記界面活性剤を、前記グラファイト膜
をスプレー現像によって除去する工程でグラファイト膜
に作用させることを特徴とする請求項１記載のグラファ
イト膜の形成方法。 - 【請求項３】 前記界面活性剤を、前記グラファイト膜
をスプレー現像によって除去する工程ですすぎ液として
流しかけて作用させることを特徴とする請求項２記載の
グラファイト膜の形成方法。 - 【請求項４】 前記界面活性剤が、ポリプロピレングリ
コールポリエチレングリコールエーテル系の非イオン界
面活性剤の０．１％以下の濃度の水溶液であることを特
徴とする請求項３に記載のグラファイト膜の形成方法。 - 【請求項５】 ポリプロピレングリコールポリエチレン
グリコールエーテル系の非イオン界面活性剤の０．０１
％以下の濃度の水溶液でスプレー現像することを特徴と
する請求項２に記載のグラファイト膜の形成方法。 - 【請求項６】 ガラスパネル内面にホトレジストのモザ
イクパターンを形成し、その後、光吸収性のグラファイ
ト膜をガラスパネル全面に形成してから酸化剤を含むエ
ッチング液で前記ホトレジストのモザイクパターンをエ
ッチングし、前記ホトレジストとともにその上のグラフ
ァイト膜をスプレー現像によって除去することにより、
前記ガラスパネル内面にモザイク状のグラファイト膜を
形成するグラファイト膜の形成方法において、 前記ガラスパネル内面のスカート領域に形成されたグラ
ファイト膜を除去する整形工程で、無機凝集剤をグラフ
ァイト膜に作用させることを特徴とするグラファイト膜
の形成方法。 - 【請求項７】 前記無機凝集剤が、硫酸アルミニウム水
溶液であって、該水溶液を前記ガラスパネル内面に流し
かけて作用させることを特徴とする請求項６記載のグラ
ファイト膜の形成方法。 - 【請求項８】 請求項１に記載の方法において、 前記ガラスパネル内面のスカート領域からグラファイト
膜を除去した後に、ガラスパネルを水洗する洗浄工程
で、ガラスパネルに残留し、付着したグラファイト片に
界面活性剤を作用させてから水洗することを特徴とする
グラファイト膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8145445A JPH09330661A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | グラファイト膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8145445A JPH09330661A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | グラファイト膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09330661A true JPH09330661A (ja) | 1997-12-22 |
Family
ID=15385399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8145445A Withdrawn JPH09330661A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | グラファイト膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09330661A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100361260C (zh) * | 2004-06-29 | 2008-01-09 | 彩虹集团电股份有限公司 | 显像管管锥内涂石墨的喷涂方法 |
| CN102674701A (zh) * | 2008-01-09 | 2012-09-19 | 伊可尼股份有限公司 | 玻璃基板蚀刻方法、玻璃板材及玻璃基板蚀刻装置 |
| CN112844059A (zh) * | 2021-03-11 | 2021-05-28 | 常州富烯科技股份有限公司 | 一种氧化石墨烯膜还湿箱 |
-
1996
- 1996-06-07 JP JP8145445A patent/JPH09330661A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100361260C (zh) * | 2004-06-29 | 2008-01-09 | 彩虹集团电股份有限公司 | 显像管管锥内涂石墨的喷涂方法 |
| CN102674701A (zh) * | 2008-01-09 | 2012-09-19 | 伊可尼股份有限公司 | 玻璃基板蚀刻方法、玻璃板材及玻璃基板蚀刻装置 |
| CN112844059A (zh) * | 2021-03-11 | 2021-05-28 | 常州富烯科技股份有限公司 | 一种氧化石墨烯膜还湿箱 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR940003742B1 (ko) | 금속박판에 미소한 관통구멍을 형성하기 위한 방법 | |
| CN1065360C (zh) | 显示面及其制造方法和阴极射线管 | |
| JPH09330661A (ja) | グラファイト膜の形成方法 | |
| US4612268A (en) | Method of forming phosphor pattern on fluorescent screen for color picture tubes with polymer coagulent | |
| JP2003007595A (ja) | 現像方法 | |
| JP2008249854A (ja) | フォトマスクの洗浄方法 | |
| US4517224A (en) | Method for removing a phosphor layer from a support surface | |
| KR100299957B1 (ko) | 음극선관의제조방법 | |
| JPH0869961A (ja) | フォトレジストの現像方法 | |
| JPH11160524A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JP3328998B2 (ja) | 蛍光面作製方法 | |
| JPH06150822A (ja) | 陰極線管の蛍光面形成方法 | |
| JP4130265B2 (ja) | カラー陰極線管およびその製造方法 | |
| KR950005625B1 (ko) | 컬러음극선관용 블랙매트릭스의 제조방법 | |
| JP2001124916A (ja) | カラーフィルター用ガラス基板の再生方法 | |
| KR100598257B1 (ko) | 반도체 제조 공정에서의 감광막 현상 방법 | |
| JPS60253129A (ja) | カラ−ブラウン管の螢光面形成方法 | |
| JPS63278057A (ja) | レジスト除去方法 | |
| JPH03179634A (ja) | ブラウン管パネルの超音波洗浄方法およびその装置 | |
| JPS59105239A (ja) | 光吸収膜のトリミング方法 | |
| KR970007572B1 (ko) | 음극선관용 패널세척 용액 | |
| JPS61104537A (ja) | ブラウン管の洗浄方法 | |
| JPH0646540B2 (ja) | カラ−陰極線管の光吸収膜の形成方法 | |
| JP2007094311A (ja) | 露光・現像・洗浄方法および露光・現像・洗浄装置 | |
| JPH0822768A (ja) | カラー陰極線管パネルの洗浄方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030902 |