JPH0944332A - メニュー作成表示装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 使用者の種類に合わせたメニュー構成を使用
者が自由に作成することができるメニュー作成表示装置
および方法を提供する。 【解決手段】 装置を使用する複数の使用者が複数の種
類に分けられ、各種類（ユーザレベル）および当該種類
に対応するパスワードがユーザレベル記憶部５４Ａに可
変に記憶されるとともに、複数の基本機能が基本機能記
憶部５４Ｂに記憶される。そして、各ユーザレベルごと
に対応する基本機能をそれぞれ選択し、階層的に関連付
け、その対応関係が設定データとして設定データ記憶部
５４Ｃに記憶される。さらに、複数のユーザレベルを読
み出し、それらのユーザレベルにより第１メニューが第
１メニュー作成部５１Ｂ１で作成されるとともに、各ユ
ーザレベルごとに、そのユーザレベルに対応する基本機
能を設定データに基づき読み出し、それらの基本機能に
より第２メニューが第２メニュー作成部５４Ｂ２で作成
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の基本機能を
組み合わせて所定の処理を行う装置におけるメニュー作
成表示装置および方法、特にオペレータ、ホストエンジ
ニアなどの使用者と装置との間のヒューマン・インター
フェースとして種々の指令や情報などを提供する際のメ
ニューを作成し、そのメニューを表示する技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】この種の装置、例えば基板処理装置で
は、半導体ウエハや液晶表示装置用ガラス基板などの基
板に対してレジスト塗布やそれに関連する処理などが順
次行われて、所望の基板処理が実行される。この所望の
基板処理を行うためには、基板処理装置が有する複数の
基本機能を適当に組み合わせる必要があり、基板処理実
行前にオペレータがそれらの基本機能を選択しておく。
また、基板処理実行中においても、必要に応じて基板処
理装置に適当な指令などを与える必要がある。さらに、
オペレータ以外にホストエンジニア、設備エンジニア、
サービスエンジニアやスペシャルオペレータなどの使用
者も適宜、基板処理装置に指令や情報などを与えること
がある。

【０００３】そこで、使用者がこれらの情報などを与え
るために、基板処理装置には基本機能をメニュー形式で
液晶パネルやＣＲＴなどの表示部に表示し、使用者が基
本機能を選択入力することができるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置においては、装置の設計段階で基本機能を複数の種
類に分類し、階層的メニューで表示部に表示するように
なっている。すなわち、表示部に分類項目のすべてを第
１メニューとして表示し、その中の一つの分類項目が選
択されると、選択された分類項目に割り当てられた基本
機能のすべてを第２メニューとして表示部に表示する。
このように、従来では、単一のメニュー構成のみが用意
されており、複数種類の使用者（例えばオペレータ、ホ
ストエンジニア、設備エンジニア、サービスエンジニア
およびスペシャルオペレータ）はいずれも当該メニュー
を用いて基本機能を選択入力するようになっている。

【０００５】このため、ある種類の使用者、例えばオペ
レータが第１メニューから適当な分類項目を選択したと
き、その選択された分類項目に属する基本機能のすべて
が表示部に表示されるので、オペレータにとって全く関
係のない基本機能も第２メニューに表示されてしまい、
操作性の低下の原因となっている。

【０００６】また、基本機能のなかには、特定の使用者
のみが使用し、それ以外の使用者には使用されたくない
基本機能がある。例えば、サービスエンジニアが装置の
修理にのみ使用する特定の基本機能がその一例である。

【０００７】さらに、装置の使用態様は、それを使用す
る会社、工場やセクションによって多くの場合、異なっ
ているので、単一のメニュー構成でそれらのすべてを満
足させることは不可能である。このため、従来より、使
用場所ごとに必要に応じてメニュー構成を柔軟に対応す
ることができる装置が望まれている。

【０００８】本発明は、上記課題に鑑み、使用者の種類
に合わせたメニュー構成を使用者が自由に作成すること
ができるメニュー作成表示装置および方法を提供するこ
とを第１の目的とする。

【０００９】また、本発明は、上記第１の目的に加え、
各使用者にとって必要な基本機能のみにより構成された
第２メニューを表示して、操作性を向上することを第２
の目的とする。

【００１０】また、本発明は、上記第１および第２の目
的に加え、使用者の種類をも任意に設定して、使用者に
よる装置の操作性を向上することを第３の目的とする。

【００１１】さらに、本発明は、上記第１、第２および
第３の目的に加え、セキュリティーを確保することを第
４の目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、複数
の基本機能を組み合わせて所定の処理を行う装置におけ
るメニュー作成表示装置であって、上記第１の目的を達
成するため、前記装置を使用する複数の使用者を複数の
種類に分けて、各種類をユーザレベルとして記憶するユ
ーザレベル記憶手段と、前記複数の基本機能を記憶する
基本機能記憶手段と、前記複数のユーザレベルおよび前
記複数の基本機能について外部からの選択を受け付ける
選択入力手段と、前記入力手段を介して入力されたユー
ザレベルと基本機能とを階層的に関連付け、その対応関
係を示す設定データを編集する編集手段と、前記設定デ
ータを記憶する設定データ記憶手段と、前記設定データ
に基づき階層的メニューを作成するメニュー作成手段
と、前記階層的メニューを表示する表示手段と、を備え
ている。

【００１３】請求項２の発明は、第２の目的を達成する
ために、前記メニュー作成手段を、前記ユーザレベル記
憶手段から前記複数のユーザレベルを読み出し、それら
のユーザべレルにより第１メニューを作成する第１メニ
ュー作成手段と、前記第１メニューについて前記入力手
段を介して選択されたユーザレベルに対応する基本機能
を前記設定データに基づいて前記基本機能記憶手段から
読み出し、それらの基本機能により第２メニューを作成
する第２メニュー作成手段と、で構成している。

【００１４】請求項３の発明は、第３の目的を達成する
ために、前記ユーザレベルの種類を設定入力するユーザ
レベル設定入力手段をさらに備え、前記ユーザレベル記
憶手段を、前記ユーザレベル設定入力手段から入力され
た前記ユーザレベルの種類を可変に記憶する手段で構成
している。

【００１５】請求項４の発明は、第４の目的を達成する
ために、前記ユーザレベル記憶手段を、ユーザレベルに
対応したパスワードを記憶するパスワード記憶手段を有
するように構成している。また、前記メニュー作成表示
装置は、前記パスワードを設定入力するパスワード設定
手段と、使用者からのパスワードの入力を受け付けるパ
スワード入力手段と、前記パスワード記憶手段に記憶さ
れたパスワードと前記パスワード入力手段により入力さ
れたパスワードとを照合し、両者が一致したときにのみ
前記第２メニュー作成手段による前記第２メニューの作
成を許容する制御手段と、をさらに備えている。

【００１６】請求項５の発明は、複数の基本機能を組み
合わせて所定の処理を行う装置において、前記装置を使
用する使用者の種類に応じた階層的メニューを作成する
メニュー作成表示方法であって、上記第１の目的を達成
するため、前記装置を使用する複数の使用者を複数の種
類に分けて、各種類をユーザレベルとして記憶する工程
と、前記複数の基本機能を記憶する工程と、各ユーザレ
ベルごとに対応する基本機能をそれぞれ選択し、ユーザ
レベルと基本機能とを階層的に関連付け、その対応関係
を設定データとして記憶する工程と、前記複数のユーザ
レベルを読み出し、それらのユーザレベルにより第１メ
ニューを作成する工程と、各ユーザレベルごとに、その
ユーザレベルに対応する基本機能を前記設定データに基
づき読み出し、それらの基本機能により第２メニューを
作成する工程と、を備えている。

【００１７】請求項６の発明は、第２の目的を達成する
ため、前記第１メニューを前記装置の表示手段に表示す
る工程と、前記表示手段に表示された前記第１メニュー
について外部から特定のユーザレベルが選択されると、
その選択ユーザレベルに対応する第２メニューを表示す
る工程と、をさらに備えている。

【００１８】請求項７の発明は、第３の目的を達成する
ため、前記ユーザレベルの種類を設定入力する工程と、
その設定入力された前記ユーザレベルの種類を記憶する
工程と、をさらに備えている。

【００１９】請求項８の発明は、第４の目的を達成する
ため、前記ユーザレベルに対応したパスワードを設定す
る工程と、前記パスワードを記憶する工程と、使用者か
らの前記パスワードの入力を受け付ける工程と、をさら
に備え、その入力されたパスワードと前記記憶されたパ
スワードとを照合し、両者が一致したときのみ前記第２
メニューを作成する。

【００２０】

【発明の実施の形態】この明細書では、まず本発明にか
かるメニュー作成表示方法を適用可能な装置の一例であ
る基板処理装置の概要について説明した後、本発明にか
かるメニュー作成表示方法について説明する。

【００２１】Ａ．基板処理装置の概要：図１はこの発明
にかかるメニュー作成表示装置および方法を適用するこ
とができる基板処理装置１００の外観斜視図であり、後
述する各図との方向関係を明確にするために、ＸＹＺ直
角座標軸が示されている。また、図２はこの装置１００
の概念的平面配置図である。

【００２２】この装置１００においては、半導体ウエハ
１（図２）のロットが収容されたカセット１０がインデ
クサＩＤ上に搬入されると、カセット１０から順次に半
導体ウエハ１を取り出して、第１と第２の処理部群（処
理部列）１１０，１２０に含まれる各処理部に循環搬送
し、それらの処理部において一連の処理を自動的に行わ
せるように構成されている。なお、図１においてはカセ
ット１０および半導体ウエハ１は図示されていない。

【００２３】第１と第２の処理部群１１０，１２０はほ
ぼ並行な２列に配置されており、またインデクサＩＤと
反対側には循環搬送の途中で半導体ウエハ１を外部装
置、例えばステッパーと受渡しすべく一時的に載置する
ための基板載置台としてのインターフェイスＩＦＢが設
けられている。第１の処理部群１１０は加熱処理を行う
ホットプレートや冷却処理を行うクールプレートなどを
有する一方、第２の処理部群１２０は、図２に示すよう
に、スピンコータ（回転式レジスト塗布装置）ＳＣおよ
び、スピンデベロッパ（回転式現像装置）ＳＤ１，ＳＤ
２を有している。また、第１と第２の処理部群１１０，
１２０の間で半導体ウエハ１を受渡しするために受渡し
部列１４０が第１の処理部群１１０の下段に付設されて
いる。そして、半導体ウエハ１の循環搬送および出し入
れのために２台の搬送ロボットＴＨ，ＴＣが協働する。

【００２４】図３は図１の装置１００の電気的構成を示
すブロック図である。この装置には、制御部５１のほ
か、この制御部５１に装置管理者や使用者が指令や情報
などを与える入力手段の一部として機能する操作部５２
と、プロセスの進行状況や異常の発生などを使用者に伝
達するための表示部５３を備えている。これらの操作部
５２および表示部５３は図１に示すようにインデクサＩ
Ｄの正面に設けられている。また、この実施の形態で
は、表示部５３はタッチパネルであり、入力手段として
も機能し、後述するように装置管理者や使用者が表示画
面の一部をタッチすると、対応画面部分の表示内容にし
たがって装置の制御部５１に指令などが与えられる。な
お、この実施の形態では、使用者としてオペレータ、ホ
ストエンジニア、設備エンジニア、サービスエンジニア
およびスペシャルオペレータの５種類の使用者を想定し
て説明するが、使用者の種類の名称および種類の数はこ
れらに限定されるものではない。

【００２５】また、この装置１００では、記憶手段とし
て外部磁気記憶部５４が設けられている。この外部磁気
記憶部５４には、制御プログラムのほか、ユーザレベ
ル、パスワード、基本機能および設定データが記憶され
ている。外部磁気記憶部５４のユーザレベル記憶部５４
Ａには、図４に示すように、装置１００を使用する複数
の使用者を５つ以内の種類に分けて、各種類をユーザレ
ベルの初期設定として予め記憶するユーザレベル名記憶
部５４Ｎと、各ユーザレベルごとに登録されたパスワー
ドを各ユーザレベル名に関連付けて記憶するパスワード
記憶部５４Ｐとを有している。なお、装置１００の出荷
段階ではオペレータ、ホストエンジニア、設備エンジニ
ア、サービスエンジニアおよびスペシャルオペレータの
５種類がデフォルトとしてユーザレベル名記憶部５４Ｎ
に仮設定されているとともに、パスワードとしてはサー
ビスエンジニアのパスワードのみが登録されており、そ
の他のユーザレベルのパスワードは未登録である。ま
た、基本機能記憶部５４Ｂには、装置１００の基本機能
（ロットスタート，ロットキャンセル，ロットカウンタ
ー参照など）が予め記憶されている。また、設定データ
記憶部５４Ｃには、次に説明する制御部５１の編集部に
よる設定データが記憶されるようになっている。

【００２６】制御部５１は、図４に示すように、ソフト
ウェアプログラムの構成上、操作部５２を介して入力さ
れたユーザレベルと基本機能とを階層的に関連付け、そ
の対応関係を示す設定データを編集し、設定データ記憶
部５４Ｃに書き込む編集部５１Ａと、設定データに基づ
き階層的メニューを作成するメニュー作成部５１Ｂとを
備える。

【００２７】このメニュー作成部５１Ｂは、ユーザレベ
ル記憶部５４Ａからすべてのユーザレベルを読み出し、
それらのユーザレベルにより第１メニューを作成する第
１メニュー作成部５１Ｂ１と、第１メニューについて表
示部５３を介して選択されたユーザレベルに対応する基
本機能を設定データ記憶部５４Ｃに記憶されている設定
データに基づいて基本機能記憶部５４Ｂから読み出し、
それらの基本機能により第２メニューを作成する第２メ
ニュー作成部５１Ｂ２と、を備えている。

【００２８】図３に戻って、電気的構成についての説明
を続ける。装置各部の状況を検知して制御部５１にその
情報を与えるセンサ類５５が、制御部５１に接続されて
いる。また制御部５１からの指令に基づいて各搬送ロボ
ットＴＨ，ＴＣの駆動制御を行うための搬送制御部５６
が設けられている。処理部制御部５７は、やはり制御部
５１からの指令に基づいて各処理部における駆動制御を
行う。また薬液制御部５８は、図示を省略する薬液供給
部から第１の処理部群１１０を構成するスピンコータＳ
Ｃへの薬液への供給制御を行う。

【００２９】Ｂ．メニュー作成表示方法：図５ないし図
１０は、この発明にかかるメニュー作成表示方法の一例
を示すフローチャートである。以下、これらの図を参照
しつつユーザ登録手順、パスワード登録手順、メニュー
の作成手順および作成されたメニュー表示にしたがって
機能選択する手順とについて順次説明する。

【００３０】まず、装置１００を使用する顧客先でメニ
ューを作成する場合、ステップＳ１ａで装置管理者、こ
の実施の形態では設備エンジニアがメニュー構成を計画
する。つまり、各ユーザレベルの種類の数および名称、
各ユーザレベルのパスワード、および各ユーザレベルに
対応して、どのような基本機能をそれぞれ表示部５３の
画面のどの位置に割り当てるかを検討し、決定する。

【００３１】この決定後に表示部５３に初期画面を表示
させる（図５：ステップＳ１ｂ）。図１１は表示部５３
の画面の初期状態を示す図である。この画面は表示部５
３に表示される画面であり、上段は、装置１００のシス
テムが有している現時点での状態を示す表示領域５３Ｕ
である。また、下段は、第１メニューとしてサービスエ
ンジニアを除くすべてのユーザレベル（この実施の形態
の初期設定ではオペレータ、ホストエンジニア、設備エ
ンジニアおよびスペシャルオペレータの４種類の名称）
が表示される表示領域５３Ｌであり、選択枝としてユー
ザレベルが表示されたボタン表示６１，６２，６３，６
４が配置されており、各ボタン表示６１，６２，６３，
６４をタッチすると、ユーザレベルとしてオペレータ、
ホストエンジニア、設備エンジニアおよびスペシャルオ
ペレータがそれぞれ選択される。さらに、中段は、後述
するようにしてユーザレベルに対応して選択された基本
機能を示す第２メニューおよびメニュー作成段階での選
択枝などが表示される表示領域５３Ｍであり、第２メニ
ューが表示されたとき、この表示領域５３Ｍにおいて
は、同図に示すように１５個の表示欄７１Ｄ〜８５Ｄが
配置されるとともに、各表示欄７１Ｄ〜８５Ｄの左隣に
選択用のボタン７１Ｂ〜８５Ｂが配置されている。例え
ば、ユーザレベルとして「設備エンジニア」を選択した
とき、図１２に示すような設備エンジニアの第２メニュ
ーが表示され、ボタン７１Ｂ〜８５Ｂをタッチすると、
右側に隣接表示された基本機能が選択される。なお、同
図は初期状態を示すもので、表示欄７１Ｄ〜８５Ｄには
予め装置１００の出荷段階での推奨メニューに従った基
本機能が表示されている。

【００３２】図５に戻って、ステップＳ１ｂでの初期画
面が表示されると、装置管理者（この実施の形態では設
備エンジニア）が図１１の初期画面でボタン６３にタッ
チして図１２に示す設備エンジニアの第２メニューを表
示した後（ステップＳ１ｃ，Ｓ１ｄ）、「ユーザー登
録」と表示された表示欄８３Ｄの左隣の選択用ボタン８
３Ｂをタッチすることにより、ユーザー登録が選択さ
れ、ユーザー登録が行われる（ステップＳ１ｅ，Ｓ２
ａ）。図７はユーザー登録の手順を示すフローチャート
である。ステップＳ２１では、図１３に示すようなユー
ザー登録画面が表示される。ユーザー登録画面は中段の
表示領域５３Ｍに「ユーザー登録」と表示された表示ボ
ックス９１が全面に表示され、さらにこの表示ボックス
９１には(1)「ユーザー登録数」と表示された表示欄９
１Ａ、(2)「ユーザー１」〜「ユーザー４」とそれぞれ
表示された４個のユーザー表示欄９１Ｂ〜９１Ｅ、(3)
「終了」と表示された表示ボタン９１Ｆ、(4)「設定保
存」と表示された表示ボタン９１Ｇ、(5)「編集」と表
示された表示ボタン９１Ｈ、(6)「ヘルプ」と表示され
た表示ボタン９１Ｉ、が配置されている。

【００３３】装置管理者が表示ボタン９１Ｈをタッチす
ることによりステップＳ２２、Ｓ２３が実行されてユー
ザレベルの種類の数と名称が入力される。この実施の形
態では、ユーザレベル数はサービスエンジニアを含めて
１〜５まで登録できるようになっており、ユーザの登録
が１種類で足りる場合には１レベルのみで良いし、複数
のレベル必要なユーザは必要分登録することができる。
なお、以下の例ではユーザレベルとして「オペレー
タ」、「ホストエンジニア」および「設備エンジニア」
の３レベルを登録するとともに「ホストエンジニア」を
「メインエンジニア」に変更する場合を考える。

【００３４】ステップＳ２２では、操作部５２を介して
ユーザレベルの種類数が入力され、その入力されたユー
ザレベル数は表示欄９１Ａに表示される。次に、ステッ
プＳ２３では、操作部５２を介して入力されたユーザレ
ベルの種類の数に応じた名称入力欄が、ユーザレベル数
に応じて表示欄９１Ｂ〜９１Ｅに表示される。この表示
欄９１Ｂ〜９１Ｅに初期に表示されるのはデフォルトと
してあらかじめ設定されている名称であり、装置管理者
がそのデフォルト名称の修正または上書きを行うことに
よって、各ユーザレベルの名称を任意に設定することが
できる。例えば、ここで考えている例では、ユーザレベ
ルの種類数として「３」が入力され、その数が表示欄９
１Ａに表示されるとともに、３種類のユーザレベル、す
なわち「オペレータ」「ホストエンジニア」および「設
備エンジニア」の名称が表示欄９１Ｂ〜９１Ｄに初期表
示されている。たとえば設備管理者が「ホストエンジニ
ア」の名称を「メインエンジニア」に変更したいとき
は、表示欄９１Ｃにカーソルを移動させてから、図４の
操作部５２に含まれるキーボードから「Main Enginee
r」と入力すれば、この表示欄９１Ｃの表示が「Host En
gineer」から「Main Engineer」へと変更される。そし
て、ステップＳ２４において装置管理者が「設定保存」
と表示されたボタン９１Ｇにタッチしたか、あるいは
「終了」と表示されたボタン９１Ｆにタッチしたかを判
断する。

【００３５】もし、ステップＳ２４において装置管理者
が「設定保存」と表示されたボタン９１Ｇにタッチした
ときは、ステップＳ２５に進み、上記のようにして入力
されたユーザレベル数に応じた名称が図４の外部磁気記
憶部５４のユーザレベル記憶部５４Ａ内に確保されてい
るユーザレベル名記憶部５４Ｎに登録される。ここで考
えている例では「ホストエンジニア」の名称を「メイン
エンジニア」に変更したため、ユーザレベル記憶部５４
Ａに記憶されている「ホストエンジニア」の名称が「メ
インエンジニア」に変更になる。また、この例では「ス
ペシャルオペレータ」の登録を行わないため、ユーザレ
ベル名記憶部５４Ｎに記憶されている「スペシャルオペ
レータ」の名称は抹消される。

【００３６】一方、ステップＳ２４において装置管理者
が「終了」と表示されたボタン９１Ｆにタッチすると
「ユーザー登録」は終了する。図７に示したように、こ
の実施の形態では、ボタン９１にタッチして「終了」を
選択しない限り、何度でも繰り返し入力ないしは修正が
可能となっている。

【００３７】なお、図１３の画面が表示され、ステップ
Ｓ２１ないしＳ２５が実行されている最中に、装置管理
者が「ヘルプ」と表示された表示ボタン９１Ｉをタッチ
すると、実行途中の処理を中断し、その処理に関する説
明が表示されるようになっている。また、図示を省略す
るが、説明表示とともに「キャンセル」の表示ボタンが
画面に表示されるが、装置管理者が説明を読んだ後、こ
の「キャンセル」の表示ボタンをタッチすると、「ヘル
プ」の表示ボタン９１Ｉをタッチする前の状態に戻る。

【００３８】以上のようにしてユーザー登録が終了する
と、再度設備エンジニアの第２メニュー画面が表示され
る（図５：ステップＳ２ｂ）。図１４はこの段階でのメ
ニュー画面を示しており、ここでは図１２の表示でのデ
フォルトである「Host Engineer」から「Main Enginee
r」へと改訂されており、また、登録しなかった「Speci
al Operator」の表示は消されている。

【００３９】次に装置管理者が「パスワード設定」と表
示された表示欄８０Ｄの左隣の選択用ボタン８０Ｂをタ
ッチすることにより、パスワード設定が選択され（図
５：ステップＳ２ｃ）、ステップＳ３ａに移行してパス
ワード設定が行われる。図８はパスワード設定の手順を
示すフローチャートである。ステップＳ３１では、図１
５に示すようなパスワード設定画面が表示される。パス
ワード設定画面は中段の表示領域５３Ｍに「パスワード
設定」と表示された表示ボックス９２が設備エンジニア
のメニュー画面の上に部分的に重ねて表示される。この
表示ボックス９２には(1)「パスワード設定」時に行う
手順をまとめたメッセージ９２Ａ、(2)ステップＳ２ａ
で登録されたユーザレベルがそれぞれ表示されたーザレ
ベル表示ボックス９２Ｂ〜９２Ｄ、(3)「終了」と表示
された表示ボタン９２Ｅ、(4)「設定保存」と表示され
た表示ボタン９２Ｆ、(5)「編集」と表示された表示ボ
タン９２Ｇ、(6)「ヘルプ」と表示された表示ボタン９
２Ｈ、が配置されている。

【００４０】ここで、装置管理者が表示ボタン９２Ｇに
タッチすることにより編集状態に入り、ステップＳ３２
が実行されてユーザレベル名が選択される。ユーザレベ
ル名の選択は操作部５２を介して行われ、続くステップ
Ｓ３３で操作部５２中の図示を省略するキーボードを介
してユーザレベルごとに入力されたパスワードが表示欄
９２Ｂ〜９２Ｄに表示される。

【００４１】そして、ステップＳ３４において装置管理
者が「設定保存」と表示されたボタン９２Ｆにタッチし
たか、あるいは「終了」と表示されたボタン９２Ｅにタ
ッチしたかを判断する。もし、ステップＳ３４において
装置管理者が「設定保存」と表示されたボタン９２Ｆに
タッチしたときは、ステップＳ３５に進み、上記のよう
にして入力されたユーザレベル名に対応するパスワード
が外部磁気記憶部５４のユーザレベル記憶部５４Ａ内に
確保されているパスワード記憶部５４Ｐのうち、対応す
るユーザレベルの欄に登録される。

【００４２】一方、ステップＳ３４において装置管理者
が「終了」と表示されたボタン９２Ｅにタッチすると
「パスワード設定」は終了する。図８に示したように、
この実施の形態では、ボタン９２Ｅにタッチして「終
了」を選択しない限り、何度でも繰り返し入力ないしは
修正が可能となっている。なお、「ヘルプ」と表示され
た表示ボタン９２Ｈにタッチしたときは、図１３のユー
ザー登録画面における表示ボタン９１Ｉと同様に、各処
理に関する説明が表示されるようになっている。

【００４３】以上のようにしてパスワード設定が終了す
ると、再度図１４の設備エンジニアの第２メニュー画面
が表示され（図６：ステップＳ３ｂ）、装置管理者がボ
タン７１Ｂをタッチしてユーザーファンクションを選択
すると（図６：ステップＳ３ｃ）、図１６に示すよう
に、中段の表示領域５３Ｍに「ユーザーファンクション
選択」と表示された表示ボックス９３が第２メニューの
上に部分的に重ねて表示される。そして、ステップＳ４
ａが実行されて基本機能の割り当てが行われる。

【００４４】図９はメニュー登録の手順を示すフローチ
ャートである。ステップＳ４１で、表示ボックス９３に
表示された３つの表示ボタン、つまり、(1)「メニュー
使用可設定」と表示された表示ボタン９３Ａ、(2)「メ
ニュー表示位置設定」と表示された表示ボタン９３Ｂ、
(3)「閉じる」と表示された表示ボタン９３Ｃ、のう
ち、装置管理者が表示ボタン９３Ａを選択し、タッチす
ると、ステップＳ４２〜Ｓ４５が実行されてユーザレベ
ルと基本機能との関連付けが行われ、また表示ボタン９
３Ｂを選択し、タッチすると、ステップＳ４６〜Ｓ４９
が実行されてメニューにおける基本機能の表示位置が決
定される一方、表示ボタン９３Ｃを選択し、タッチする
と、メニュー登録処理を終了して、図１４の設備エンジ
ニア第２メニュー画面表示状態に戻る。

【００４５】ステップＳ４１で表示ボタン９３Ａが選択
されると、図１７に示すように、中段の表示領域５３Ｍ
に「メニュー使用可設定」と表示された表示ボックス９
４が全面に表示される。この表示ボックス９４には、
(1)「メニュー使用可設定」時に行う手順をまとめたメ
ッセージ９４Ａ、(2)ユーザレベルを選択し、設定する
ための３つのセレクトボタンからなるセレクトボタン群
９４Ｂ、(3)すべての基本機能の中からセレクトボタン
により選択されているユーザレベルに割り当てる基本機
能を選択設定するためのチェックボックスからなるチェ
ックボックス群９４Ｃ、(4)「設定保存」と表示された
表示ボタン９４Ｄ、(5)「終了」と表示された表示ボタ
ン９４Ｅ、(6)「ヘルプ」と表示された表示ボタン９４
Ｆ、が配置されている。

【００４６】そして、ステップＳ４２で装置管理者がセ
レクトボタン群９４Ｂにおいて黒丸印が選択したユーザ
レベルに位置するように調整する。例えば、同図に示さ
れているように、黒丸印がついているのが「オペレー
タ」であり、しかも選択したいユーザレベルが「オペレ
ータ」であるときには、特に黒丸印を移動させることな
く、次のステップＳ４３に進む。一方、選択したいユー
ザレベルが「オペレータ」以外であるときには、黒丸印
を「メインエンジニア」あるいは「設備エンジニア」に
移動させる。このように、このメニュー設定例では、セ
レクトボタン群９４Ｂ中の黒丸印の位置を調整すること
でユーザレベルを選択入力している。

【００４７】ステップＳ４３では、装置管理者がチェッ
クボックス群９４ＣにおいてステップＳ４２で選択され
ているユーザレベルに対して割り当てる基本機能に対応
するチェックボックスをチェックする。同図において、
×印が付されているボックスの基本機能が有効である。
なお、チェックボックスに×印が付されていない場合、
その基本機能は無効である。このようにして、選択した
ユーザレベルに対する基本機能を選択し、入力する。

【００４８】そして、ステップＳ４４で装置管理者が
「設定保存」と表示した表示ボタン９４Ｄをタッチした
か、あるいは「終了」と表示した表示ボタン９４Ｅをタ
ッチしたかを判断する。

【００４９】もしステップＳ４４で「設定保存」の表示
ボタン９４Ｄが選択されると、ステップＳ４５に進み、
上記のようにして選択入力されたユーザレベルと基本機
能とを関連付け、その対応関係を示す設定データを外部
磁気記憶部５４の設定データ記憶部５４Ｃに登録保存す
る。そして、ステップＳ４２、Ｓ４３、Ｓ４４に戻る。
つまり、この実施の形態では、ステップＳ４２によるユ
ーザレベルの選択入力と、ステップＳ４３による基本機
能の設定とは、その順番に関係なく、ステップＳ４４で
「終了」の表示ボタン９４Ｅが選択されるまで連続的に
行われ、ステップＳ４４で「設定保存」の表示ボタン９
４Ｄが選択されるごとに外部磁気記憶部５４の設定デー
タ記憶部５４Ｃに保存される。したがって、ステップＳ
４２で「オペレータ」、「メインエンジニア」、「設備
エンジニア」をそれぞれ選択し、各ユーザレベルごとに
ステップＳ４３で対応する基本機能を選択することがで
き、それらの関連つけを設定データとして外部磁気記憶
部５４の設定データ記憶部５４Ｃに保存することができ
る。

【００５０】一方、ステップＳ４４で「終了」の表示ボ
タン９４Ｅが選択されると、「メニュー使用可設定」が
終了し、ステップＳ４１に進み、表示部５３は図１６の
表示状態に戻る。

【００５１】なお、ユーザー登録およびパスワード登録
と同様に、図１７の画面が表示され、ステップＳ４２な
いしＳ４５が実行されている最中に、装置管理者が「ヘ
ルプ」と表示された表示ボタン９４Ｆをタッチすると、
実行途中の処理を中断し、その処理に関する説明が表示
されるようになっている。

【００５２】また、ステップＳ４１で表示ボタン９３Ｂ
が選択されると、図１８に示すように、中段の表示領域
５３Ｍに「メニュー表示位置設定」と表示された表示ボ
ックス９５が全面に表示される。この表示ボックス９５
には、(1)「メニュー表示位置設定」時に行う手順をま
とめたメッセージ９５Ａ、(2)ユーザレベルを選択し、
設定するための３つのセレクトボタンからなるセレクト
ボタン群９５Ｂ、(3)選択されたユーザレベルに割り当
てられた基本機能を上下方向に順番にリストアップした
リストボックス９５Ｃ、(4)メニュー表示位置を縮小表
示した位置ボックス９５Ｄ、(5)「設定保存」と表示さ
れた表示ボタン９５Ｅ、(6)「終了」と表示された表示
ボタン９５Ｆ、(7)「ヘルプ」と表示された表示ボタン
９５Ｇ、が配置されている。

【００５３】そして、ステップＳ４６で、ステップＳ４
２と同様に、装置管理者がセレクトボタン群９５Ｂにお
いて黒丸印の位置を調整して、ユーザレベルを選択入力
する。

【００５４】ステップＳ４７で装置管理者が位置ボック
ス９５Ｄにおけるメニューの表示位置を設定する。この
設定により割り当てられた基本機能が図１４の第２メニ
ューのどの表示欄に表示されるかが決定される。

【００５５】そして、ステップＳ４８で装置管理者が
「設定保存」と表示した表示ボタン９５Ｅをタッチした
か、あるいは「終了」と表示した表示ボタン９５Ｆをタ
ッチしたかを判断する。

【００５６】もしステップＳ４８で「設定保存」の表示
ボタン９５Ｅが選択されると、ステップＳ４９に進み、
上記のようにして選択入力された表示位置に関する情報
が外部磁気記憶部５４の設定データ記憶部５４Ｃに登録
保存される。そして、ステップＳ４６、Ｓ４７、Ｓ４８
に戻る。つまり、この実施の形態では、ステップＳ４６
によるユーザレベルの選択入力と、ステップＳ４７によ
る表示位置の設定とは、その順番に関係なく、ステップ
Ｓ４８で「終了」の表示ボタン９５Ｆが選択されるまで
連続的に行われ、ステップＳ４８で「設定保存」の表示
ボタン９５Ｅが選択されるごとに外部磁気記憶部５４の
設定データ記憶部５４Ｃに保存される。したがって、ス
テップＳ４２で「オペレータ」、「メインエンジニ
ア」、「設備エンジニア」をそれぞれ選択し、各ユーザ
レベルごとに表示位置に関する情報を外部磁気記憶部５
４の設定データ記憶部５４Ｃに保存することができる。

【００５７】一方、ステップＳ４８で「終了」の表示ボ
タン９５Ｆが選択されると、「メニュー表示位置設定」
が終了し、ステップＳ４１に進み、表示部５３は図１６
の表示状態に戻る。

【００５８】そして、ステップＳ４１で装置管理者が
「閉じる」の表示ボタン９３Ｃをタッチすると、「メニ
ュー使用可設定」、「メニュー表示位置設定」を完了
し、図１４の設備エンジニア第２メニュー画面表示状態
に戻る。

【００５９】このように、この実施の形態では、装置管
理者によりユーザレベル数およびその名称が任意に設定
でき、当該ユーザレベルと各ユーザレベルに対応したパ
スワードが外部磁気記憶部５４のユーザレベル記憶部５
４Ａに記憶されるとともに、各ユーザレベルごとに対応
する基本機能がそれぞれ選択され、ユーザレベルと基本
機能とが階層的に関連付けられ、その対応関係が設定デ
ータとして外部磁気記憶部５４の設定データ記憶部５４
Ｃに記憶される。また、各基本機能の表示位置について
も、装置管理者により設定入力され、外部磁気記憶部５
４の設定データ記憶部５４Ｃに記憶される。したがっ
て、顧客側で使用者の種類に合わせたメニュー構成を使
用者が自由に作成することができる。

【００６０】なお、サービスエンジニアについては、顧
客側で設定する必要がないため、サービスエンジニアに
関しては名称の変更、パスワードの変更およびメニュー
登録ができないようになっている。

【００６１】以上のようにしてメニュー作成および登録
が完了すると、初期画面は図１９に示すように、表示部
５３の下段５３Ｌの表示内容にユーザ登録の内容を反映
したものとなっている。メニュー作成が完了し、装置１
００の運用が開始されると、図６のステップＳ５で使用
者（オペレータ、メインエンジニアおよび設備エンジニ
アのいずれかの者）が上記のようにして作成されたメニ
ューにしたがってメニュー選択し、装置１００に指令や
情報などを与える。

【００６２】すなわち、図１０に示すように、ステップ
Ｓ５１で使用者が表示部５３の下段５３Ｌに表示された
第１メニュー（ボタン表示６１，６２，６３）の中から
自己に対応するユーザレベルの表示ボタンをタッチする
と、選択されたユーザレベルに応じた設定データを設定
データ記憶部５４Ｃから読み出される（ステップＳ５
２）。もし、パスワードが登録保存されていれば、図示
しないパスワード入力要求画面が表示されて、操作部５
２を介してユーザがパスワードを入力し（ステップ５
４）、ユーザレベル記憶部５４Ａに記憶されたパスワー
ドと照合される（ステップ５５）。そして、入力された
パスワードがユーザレベル記憶部５４Ａに記憶されたパ
スワードと一致しない場合は第２メニューの表示はなさ
れない（ステップ５８）。一方、パスワードが一致する
かまたはパスワードが登録保存されていなければ、先に
読み出された設定データに基づき、当該ユーザレベルに
対応してステップＳ４３で選択された基本機能を読み出
すとともに、それらの基本機能をステップＳ４７で選択
された表示位置設定にしたがって表示部５３の中段５３
Ｍに表示することで第２メニューを表示する（ステップ
Ｓ５６）。

【００６３】そして、使用者がその第２メニューに表示
された基本機能の中から目的の基本機能を選択したと
き、つまりステップＳ５７で「ＹＥＳ」が選択される
と、選択された基本機能に対応して装置１００が作動す
る。

【００６４】このように、使用者が第１メニューの中か
ら自己を表す表示ボタン６１〜６３を選択することによ
り、各使用者にとって必要な基本機能のみにより構成さ
れた第２メニューが表示されるようになっているので、
操作性を向上することができる。

【００６５】また、装置１００を使用する会社、工場や
セクションに応じて、登録するユーザレベルの数および
名称が任意に設定できるので、柔軟なメニュー構成が可
能となり、操作性を向上することができる。

【００６６】さらに、上述のように特定の使用者には自
己以外の使用者に使用されたくない基本機能が存在する
ことがあるが、この実施の形態によれば予めパスワード
設定のときに（ステップＳ３ａ）、当該特定使用者の属
するユーザレベルに対応するパスワードを設定しておく
ことで、その特定使用者のみが第２メニューを選択で
き、当該基本機能を使用することができる。これにより
セキュリティーの確保がなされる。

【００６７】なお、(1)ユーザレベルの数や名称、(2)パ
スワード、(3)基本機能の設定、(4)基本機能の表示位置
などは、設備管理者が最初に設定したものに固定される
ものではなく、必要に応じて以後の適宜の時期に変更が
可能である。

【００６８】また、この発明にかかるメニュー作成表示
装置および方法の適用対象は、上述した基板処理装置１
００に限定されるものではなく、複数の基本機能を組み
合わせて所定の処理を行う装置全般にも適用することが
できる。

【００６９】

【発明の効果】請求項１および請求項５の発明によれ
ば、装置を使用する複数の使用者を複数の種類に分け
て、各種類をユーザレベルとして記憶するとともに、複
数の基本機能を記憶しておき、入力されたユーザレベル
と基本機能とを階層的に関連付け、その対応関係を示す
設定データを編集し、その設定データに基づき階層的メ
ニューを作成しているので、使用者の種類に合わせたメ
ニュー構成を使用者が自由に作成することができる。

【００７０】請求項２および請求項６の発明によれば、
複数のユーザレベルにより第１メニューを作成するとと
もに、当該第１メニューについて入力手段を介して選択
されたユーザレベルに対応する基本機能を前記設定デー
タに基づいて読み出し、それらの基本機能により第２メ
ニューを作成しているので、第２メニューには各使用者
にとって必要な基本機能のみが表示され、操作性を向上
することができる。

【００７１】請求項３および請求項７の発明によれば、
ユーザレベルの種類を任意に設定できるため、ユーザー
による装置の操作性が向上する。

【００７２】請求項４および請求項８の発明によれば、
各ユーザレベルに対応したパスワードを設定してそれを
記憶するとともに、使用者からのパスワードの入力を受
け付けた後に、パスワード記憶手段に記憶されたパスワ
ードとパスワード入力手段により入力されたパスワード
とを照合し、両者が一致したときにのみ第２のメニュー
作成を許容するように制御されているため、ユーザーに
よって他者にさわられたくない設定等がある場合に、セ
キュリティを保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明にかかるメニュー作成表示技術を適用
することができる基板処理装置の外観斜視図である。

【図２】図１の装置の概念的平面配置図である。

【図３】図１の装置の電気的構成を示すブロック図であ
る。

【図４】図３の制御部および外部磁気記憶部の構成を示
すブロック図である。

【図５】この発明にかかるメニュー作成表示方法の例を
示すフローチャートである。

【図６】この発明にかかるメニュー作成表示方法の例を
示すフローチャートである。

【図７】ユーザー登録のルーチン例を示すフローチャー
トである。

【図８】パスワード設定のルーチン例を示すフローチャ
ートである。

【図９】ユーザーファンクション設定ルーチンの例を示
すフローチャートである。

【図１０】ユーザーによるメニュー選択ルーチンの例を
示すフローチャートである。

【図１１】表示部での表示状態の一例を示す図である。

【図１２】設備エンジニアが選択された状態での表示部
での表示状態の一例を示す図である。

【図１３】ユーザー登録画面の一例を示す図である。

【図１４】ユーザーの種類の改訂が行われた後の設備エ
ンジニアのメニュー表示の一例を示す図である。

【図１５】パスワード設定画面の一例を示す図である。

【図１６】ユーザーファンクション選択画面の一例を示
す図である。

【図１７】基本機能選択画面の一例を示す図である。

【図１８】基本機能の表示位置選択のための表示状態の
一例を示す図である。

【図１９】改訂後の初期表示画面の一例を示す図であ
る。

【符号の説明】

５１ 制御部 ５１Ａ 編集部 ５１Ｂ メニュー作成部 ５１Ｂ１ 第１メニュー作成部 ５１Ｂ２ 第２メニュー作成部 ５２ 操作部 ５３ 表示部 ５４ 外部磁気記憶部 ５４Ａ ユーザレベル記憶部 ５４Ｂ 基本機能記憶部 ５４Ｃ 設定データ記憶部 ５４Ｎ ユーザレベル名記憶部 ５４Ｐ パスワード記憶部 １００ 基板処理装置

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基本機能を組み合わせて所定の処
   理を行う装置におけるメニュー作成表示装置において、 前記装置を使用する複数の使用者を複数の種類に分け
   て、各種類をユーザレベルとして記憶するユーザレベル
   記憶手段と、 前記複数の基本機能を記憶する基本機能記憶手段と、 前記複数のユーザレベルおよび前記複数の基本機能につ
   いて外部からの選択を受け付ける選択入力手段と、 前記入力手段を介して入力されたユーザレベルと基本機
   能とを階層的に関連付け、その対応関係を示す設定デー
   タを編集する編集手段と、 前記設定データを記憶する設定データ記憶手段と、 前記設定データに基づき階層的メニューを作成するメニ
   ュー作成手段と、 前記階層的メニューを表示する表示手段と、を備えたこ
   とを特徴とするメニュー作成表示装置。
2. 【請求項２】 前記メニュー作成手段は、 前記ユーザレベル記憶手段から前記複数のユーザレベル
   を読み出し、それらのユーザレベルにより第１メニュー
   を作成する第１メニュー作成手段と、 前記第１メニューについて前記入力手段を介して選択さ
   れたユーザレベルに対応する基本機能を前記設定データ
   に基づいて前記基本機能記憶手段から読み出し、それら
   の基本機能により第２メニューを作成する第２メニュー
   作成手段と、を備えた請求項１記載のメニュー作成表示
   装置。
3. 【請求項３】 前記ユーザレベルの種類を設定入力する
   ユーザレベル設定入力手段をさらに備え、 前記ユーザレベル記憶手段は、前記ユーザレベル設定入
   力手段から入力された前記ユーザレベルの種類を可変に
   記憶する手段とされていることを特徴とする、請求項１
   または請求項２記載のメニュー作成表示装置。
4. 【請求項４】 前記ユーザレベル記憶手段は、ユーザレ
   ベルに対応したパスワードを記憶するパスワード記憶手
   段を有しており、 前記メニュー作成表示装置は、 前記パスワードを設定入力するパスワード設定手段と、 使用者からのパスワードの入力を受け付けるパスワード
   入力手段と、 前記パスワード記憶手段に記憶されたパスワードと前記
   パスワード入力手段により入力されたパスワードとを照
   合し、両者が一致したときにのみ前記第２メニュー作成
   手段による前記第２メニューの作成を許容する制御手段
   と、をさらに備えたことを特徴とする請求項２または請
   求項３記載のメニュー作成表示装置。
5. 【請求項５】 複数の基本機能を組み合わせて所定の処
   理を行う装置において、前記装置を使用する使用者の種
   類に応じた階層的メニューを作成するメニュー作成表示
   方法であって、 前記装置を使用する複数の使用者を複数の種類に分け
   て、各種類をユーザレベルとして記憶する工程と、 前記複数の基本機能を記憶する工程と、 各ユーザレベルごとに対応する基本機能をそれぞれ選択
   し、ユーザレベルと基本機能とを階層的に関連付け、そ
   の対応関係を設定データとして記憶する工程と、 前記複数のユーザレベルを読み出し、それらのユーザレ
   ベルにより第１メニューを作成する工程と、 各ユーザレベルごとに、そのユーザレベルに対応する基
   本機能を前記設定データに基づき読み出し、それらの基
   本機能により第２メニューを作成する工程と、を備えた
   メニュー作成表示方法。
6. 【請求項６】 前記第１メニューを前記装置の表示手段
   に表示する工程と、 前記表示手段に表示された前記第１メニューについて外
   部から特定のユーザレベルが選択されると、その選択ユ
   ーザレベルに対応する第２メニューを表示する工程と、
   をさらに備えた請求項５記載のメニュー作成表示方法。
7. 【請求項７】 前記ユーザレベルの種類を設定入力する
   工程と、 その設定入力された前記ユーザレベルの種類を記憶する
   工程と、をさらに備えた請求項５または請求項６記載の
   メニュー作成表示方法。
8. 【請求項８】 前記ユーザレベルに対応したパスワード
   を設定する工程と、 前記パスワードを記憶する工程と、 使用者からの前記パスワードの入力を受け付ける工程
   と、をさらに備え、 その入力されたパスワードと前記記憶されたパスワード
   とを照合し、両者が一致したときのみ前記第２メニュー
   が作成されることを特徴とする請求項６または請求項７
   記載のメニュー作成表示方法。