JPH0945514A - 厚膜抵抗ペーストの製造方法 - Google Patents
厚膜抵抗ペーストの製造方法Info
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- JPH0945514A JPH0945514A JP7211338A JP21133895A JPH0945514A JP H0945514 A JPH0945514 A JP H0945514A JP 7211338 A JP7211338 A JP 7211338A JP 21133895 A JP21133895 A JP 21133895A JP H0945514 A JPH0945514 A JP H0945514A
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Landscapes
- Glass Compositions (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 PbOおよび/またはBi2 O3 を主たる成
分とするガラスフリットとRuO2 粉末とをボールミル
を用いて乾式混合した後、300℃〜500℃で熱処理
することにより、導電成分とガラス成分とが均一混合さ
れた混合粉を作成し、この混合粉を有機ビヒクル中に混
練分散させて抵抗ペーストを得る。 【効果】 こうして作成した抵抗ペーストをセラミック
基板に印刷焼成することにより、抵抗値ばらつきの極め
て小さい抵抗体を形成する事が可能である。
分とするガラスフリットとRuO2 粉末とをボールミル
を用いて乾式混合した後、300℃〜500℃で熱処理
することにより、導電成分とガラス成分とが均一混合さ
れた混合粉を作成し、この混合粉を有機ビヒクル中に混
練分散させて抵抗ペーストを得る。 【効果】 こうして作成した抵抗ペーストをセラミック
基板に印刷焼成することにより、抵抗値ばらつきの極め
て小さい抵抗体を形成する事が可能である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はハイブリッドICやネッ
トワーク抵抗素子等の電子回路部品の印刷抵抗体の形成
に用いる厚膜抵抗ペーストの製造に関するものである。
トワーク抵抗素子等の電子回路部品の印刷抵抗体の形成
に用いる厚膜抵抗ペーストの製造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、抵抗ペーストは、所定量のRuO
2 粉、ガラス粉及び有機ビヒクルとを秤量し混合後、三
本ロールミル等を用いて混練することにより製造されて
いた。こうして製造された抵抗ペーストは、アルミナ等
の絶縁セラミック基板上に印刷・焼成されることにより
抵抗体を形成する。
2 粉、ガラス粉及び有機ビヒクルとを秤量し混合後、三
本ロールミル等を用いて混練することにより製造されて
いた。こうして製造された抵抗ペーストは、アルミナ等
の絶縁セラミック基板上に印刷・焼成されることにより
抵抗体を形成する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、焼成中
にRuO2 とガラス中のPb成分及び/又はBi成分が
反応して新たな導電物質を生成するタイプの抵抗ペース
トを上記の方法で製造した場合、RuO2 とガラスとの
分散が不充分となり、焼成過程での反応に片寄りが生じ
るとともに高熱下でRuO2 の飛散が生じる結果、抵抗
体中の導電経路が不均一になる為、該抵抗ペーストを印
刷・焼成して得られる抵抗体は抵抗値のバラツキが大き
くなるという問題点がある。
にRuO2 とガラス中のPb成分及び/又はBi成分が
反応して新たな導電物質を生成するタイプの抵抗ペース
トを上記の方法で製造した場合、RuO2 とガラスとの
分散が不充分となり、焼成過程での反応に片寄りが生じ
るとともに高熱下でRuO2 の飛散が生じる結果、抵抗
体中の導電経路が不均一になる為、該抵抗ペーストを印
刷・焼成して得られる抵抗体は抵抗値のバラツキが大き
くなるという問題点がある。
【0004】本発明の目的は、上記の問題点を解決し、
抵抗値バラツキの小さい抵抗体の形成に有用な厚膜抵抗
ペーストの製造方法を提供することにある。
抵抗値バラツキの小さい抵抗体の形成に有用な厚膜抵抗
ペーストの製造方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決ための手段】本発明は、ガラスフリットと
RuO2 粉末をボールミルで乾式混合後300℃〜50
0℃で熱処理し、その後有機ビヒクルと共に混練してペ
ースト化することを特徴とする厚膜抵抗ペーストの製造
方法である。
RuO2 粉末をボールミルで乾式混合後300℃〜50
0℃で熱処理し、その後有機ビヒクルと共に混練してペ
ースト化することを特徴とする厚膜抵抗ペーストの製造
方法である。
【0006】本発明において、ガラスとしてはRuO2
と反応して新たな導電成分、例えばPb2 Ru2 O7 を
生成するものであればよく、成分としてPbO及び/又
はBi2O3 を合計75重量%以上含有し、残部はSi
O 2 、Al2 O3 、B2 O3等のガラス形成成分よりな
るものが好ましく用いられる。必要に応じて上記ガラス
との反応性が低い高軟化点ガラスもしくはAl2 O3 や
SiO2 等のフィラーを加えてもよい。
と反応して新たな導電成分、例えばPb2 Ru2 O7 を
生成するものであればよく、成分としてPbO及び/又
はBi2O3 を合計75重量%以上含有し、残部はSi
O 2 、Al2 O3 、B2 O3等のガラス形成成分よりな
るものが好ましく用いられる。必要に応じて上記ガラス
との反応性が低い高軟化点ガラスもしくはAl2 O3 や
SiO2 等のフィラーを加えてもよい。
【0007】又、有機ビヒクルとしては、エチルセルロ
ースをカルビトールアセテート、ターピネオール等の有
機溶剤に溶解したものが好ましく用いられる。
ースをカルビトールアセテート、ターピネオール等の有
機溶剤に溶解したものが好ましく用いられる。
【0008】本発明において、RuO2 とガラスフリッ
トとの混合物を加熱する温度として300℃未満ではガ
ラスの軟化が起こらずガラスによるRuO2 の被覆が行
われない。又、500℃を越えた温度で加熱すると粒子
の焼結が進んで凝集状態になるため、ペースト化時粒子
の分散がうまくなされなくなるので不適当である。よっ
て、300〜500℃での加熱が本発明の目的に適合し
た温度範囲である。
トとの混合物を加熱する温度として300℃未満ではガ
ラスの軟化が起こらずガラスによるRuO2 の被覆が行
われない。又、500℃を越えた温度で加熱すると粒子
の焼結が進んで凝集状態になるため、ペースト化時粒子
の分散がうまくなされなくなるので不適当である。よっ
て、300〜500℃での加熱が本発明の目的に適合し
た温度範囲である。
【0009】
【作用】上記の製造方法によれば、まずRuO2 とガラ
スフリットを乾式混合することにより、両成分が均一に
分散すると共にメカノケミカルに反応する為、RuO2
とガラスフリットとが強固に結合した混合物が得られ
る。しかる後、該混合物を300〜500℃で加熱する
ことにより、この結合は一層強固になると同時にガラス
の軟化によりRuO2 がガラス中にとり込まれた状態に
なると考えられる。
スフリットを乾式混合することにより、両成分が均一に
分散すると共にメカノケミカルに反応する為、RuO2
とガラスフリットとが強固に結合した混合物が得られ
る。しかる後、該混合物を300〜500℃で加熱する
ことにより、この結合は一層強固になると同時にガラス
の軟化によりRuO2 がガラス中にとり込まれた状態に
なると考えられる。
【0010】こうして、RuO2 とガラス成分との均一
分散状態が実現し露出したRuO2成分が減少する為、
抵抗ペーストの焼成過程でRuO2 が周囲に飛散する確
率が大幅に削減されると考えられる。その為、焼成後の
抵抗体膜中のRuO2 含有率が変化しづらく、焼成過程
での成分不均一による抵抗値のバラツキが削減された抵
抗体が形成される所となるのである。
分散状態が実現し露出したRuO2成分が減少する為、
抵抗ペーストの焼成過程でRuO2 が周囲に飛散する確
率が大幅に削減されると考えられる。その為、焼成後の
抵抗体膜中のRuO2 含有率が変化しづらく、焼成過程
での成分不均一による抵抗値のバラツキが削減された抵
抗体が形成される所となるのである。
【0011】
【実施例】表1に記載した組成のガラスフリットAまた
はBを、表2に示した配合比でRuO2 粉末と共にボー
ルミルを用い24時間乾式混合し、その混合粉を300
℃又は400℃、500℃のいずれかの温度で1時間熱
処理した。この混合熱処理粉100重量部と有機ビヒク
ル25重量部を三本ロールミルで混練しペースト化し
た。こうして得られたペーストを、あらかじめAgPd
電極を形成した96%アルミナ基板上に印刷し、850
℃10分ピークで焼成して抵抗体を形成し、768素子
について抵抗値を測定した。その結果を表2に示す。抵
抗値のバラツキ度合いはCV値、即ち標準偏差を平均値
で割った値で評価した。表2のように実施例によって得
られた抵抗体の抵抗値のCV値は5.3〜8.3%と非
常に小さくなった。
はBを、表2に示した配合比でRuO2 粉末と共にボー
ルミルを用い24時間乾式混合し、その混合粉を300
℃又は400℃、500℃のいずれかの温度で1時間熱
処理した。この混合熱処理粉100重量部と有機ビヒク
ル25重量部を三本ロールミルで混練しペースト化し
た。こうして得られたペーストを、あらかじめAgPd
電極を形成した96%アルミナ基板上に印刷し、850
℃10分ピークで焼成して抵抗体を形成し、768素子
について抵抗値を測定した。その結果を表2に示す。抵
抗値のバラツキ度合いはCV値、即ち標準偏差を平均値
で割った値で評価した。表2のように実施例によって得
られた抵抗体の抵抗値のCV値は5.3〜8.3%と非
常に小さくなった。
【0012】
【表1】
【0013】
【表2】
【0014】
【従来例】RuO2 粉末,ガラスフリットを表2の配合
比で混合しそのまま有機ビヒクルと三本ロールで混練し
て作成したペーストを実施例と同様にして印刷焼成し、
抵抗値を測定したところCV値は13.7〜15.0%
とずいぶん劣っていた。
比で混合しそのまま有機ビヒクルと三本ロールで混練し
て作成したペーストを実施例と同様にして印刷焼成し、
抵抗値を測定したところCV値は13.7〜15.0%
とずいぶん劣っていた。
【0015】以上従来技術に比べ本発明の方法では焼成
中のRuO2 の飛散や反応のムラが少なくなり、抵抗値
のバラツキが小さくなることがわかる。
中のRuO2 の飛散や反応のムラが少なくなり、抵抗値
のバラツキが小さくなることがわかる。
【0016】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の製造方法に
よって作成された抵抗ペーストは、ガラス成分と導電成
分とが均一に混合され、且つガラスによって導電成分が
覆われた形態になっているため、焼成時点での導電成分
とガラスとの反応が均一に起こると共に、導電成分の飛
散が抑制される結果、得られる抵抗体の抵抗値バラツキ
が小さく抑えられることとなり、本発明は実用上有用な
抵抗体を提供できる厚膜抵抗ペーストの製造方法であ
る。
よって作成された抵抗ペーストは、ガラス成分と導電成
分とが均一に混合され、且つガラスによって導電成分が
覆われた形態になっているため、焼成時点での導電成分
とガラスとの反応が均一に起こると共に、導電成分の飛
散が抑制される結果、得られる抵抗体の抵抗値バラツキ
が小さく抑えられることとなり、本発明は実用上有用な
抵抗体を提供できる厚膜抵抗ペーストの製造方法であ
る。
Claims (1)
- 【請求項1】 ガラスフリットとRuO2 粉末とをボー
ルミルで乾式混合後300℃〜500℃で熱処理し、そ
の後有機ビヒクルと共に混練しペースト化することを特
徴とする厚膜抵抗ペーストの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7211338A JPH0945514A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 厚膜抵抗ペーストの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7211338A JPH0945514A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 厚膜抵抗ペーストの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0945514A true JPH0945514A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16604312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7211338A Pending JPH0945514A (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 厚膜抵抗ペーストの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0945514A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101529230B1 (ko) * | 2013-12-31 | 2015-06-16 | 한국표준과학연구원 | 면저항 인증표준물질 및 그 제조방법 |
-
1995
- 1995-07-28 JP JP7211338A patent/JPH0945514A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101529230B1 (ko) * | 2013-12-31 | 2015-06-16 | 한국표준과학연구원 | 면저항 인증표준물질 및 그 제조방법 |
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