JPH0973622A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH0973622A JPH0973622A JP22561795A JP22561795A JPH0973622A JP H0973622 A JPH0973622 A JP H0973622A JP 22561795 A JP22561795 A JP 22561795A JP 22561795 A JP22561795 A JP 22561795A JP H0973622 A JPH0973622 A JP H0973622A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 公害問題を引き起こすことが少ないＦｅ材料
を用いて電磁変換特性に優れた磁気記録媒体を提供する
ことである。 【解決手段】 支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が
設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性膜
はその厚さ方向における中間部分においてＯ含有割合が
高い磁気記録媒体。
を用いて電磁変換特性に優れた磁気記録媒体を提供する
ことである。 【解決手段】 支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が
設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性膜
はその厚さ方向における中間部分においてＯ含有割合が
高い磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｆｅ系金属磁性膜
を有する磁気記録媒体に関する。
を有する磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】磁性膜を蒸着やスパッ
タ等の乾式メッキ手段で構成した金属薄膜型の磁気記録
媒体が広く知られている。この磁性膜を構成する材料と
して種々のものが有る。このような磁性材料は、これま
で、主として、Ｃｏ−ＮｉやＣｏ−Ｃｒ系の磁性合金が
用いられている。
タ等の乾式メッキ手段で構成した金属薄膜型の磁気記録
媒体が広く知られている。この磁性膜を構成する材料と
して種々のものが有る。このような磁性材料は、これま
で、主として、Ｃｏ−ＮｉやＣｏ−Ｃｒ系の磁性合金が
用いられている。
【０００３】しかし、Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ等は価格が高
い。この問題点に鑑みて、Ｆｅが注目されている。この
Ｆｅは、価格が安く、かつ、公害問題を引き起こすこと
も少ない。そして、Ｆｅ系金属磁性膜としてＦｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜が提案されている。しかし、これまで提
案されて来たＦｅ系金属磁性膜は高密度記録に不可欠な
保磁力が充分ではなかった。
い。この問題点に鑑みて、Ｆｅが注目されている。この
Ｆｅは、価格が安く、かつ、公害問題を引き起こすこと
も少ない。そして、Ｆｅ系金属磁性膜としてＦｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜が提案されている。しかし、これまで提
案されて来たＦｅ系金属磁性膜は高密度記録に不可欠な
保磁力が充分ではなかった。
【０００４】この点についての研究を鋭意押し進めて行
った結果、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の構造によって保
磁力の大幅な向上を得ることが出来た。すなわち、Ｆｅ
−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜において、その深さ方向における
Ｏ含有割合を制御することによって、保磁力Ｈｃや残留
磁束密度Ｂｒ等の磁気特性の向上が得られることが判っ
た。
った結果、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の構造によって保
磁力の大幅な向上を得ることが出来た。すなわち、Ｆｅ
−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜において、その深さ方向における
Ｏ含有割合を制御することによって、保磁力Ｈｃや残留
磁束密度Ｂｒ等の磁気特性の向上が得られることが判っ
た。
【０００５】このような知見を基にして本発明が達成さ
れたものであり、公害問題を引き起こすことが少ないＦ
ｅ材料を用いて電磁変換特性に優れた磁気記録媒体を提
供することを目的とする。
れたものであり、公害問題を引き起こすことが少ないＦ
ｅ材料を用いて電磁変換特性に優れた磁気記録媒体を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記本発明の目的は、支
持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁
気記録媒体であって、前記金属磁性膜はその厚さ方向に
おける中間部分においてＯ含有割合が高いものであるこ
とを特徴とする磁気記録媒体によって達成される。
持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁
気記録媒体であって、前記金属磁性膜はその厚さ方向に
おける中間部分においてＯ含有割合が高いものであるこ
とを特徴とする磁気記録媒体によって達成される。
【０００７】特に、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁
性膜はその厚さ方向における中間部分においてＯ含有割
合が最大値を示すものであることを特徴とする磁気記録
媒体によって達成される。尚、上記の磁気記録媒体にお
いて、金属磁性膜は、Ｏ含有割合が高い中間部分におい
てＦｅ含有割合が低いものが好ましい。特に、Ｏ含有割
合が高い中間部分においてＦｅ含有割合が低いものの、
Ｎ含有割合には大きな変動がないものが好ましい。
膜が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁
性膜はその厚さ方向における中間部分においてＯ含有割
合が最大値を示すものであることを特徴とする磁気記録
媒体によって達成される。尚、上記の磁気記録媒体にお
いて、金属磁性膜は、Ｏ含有割合が高い中間部分におい
てＦｅ含有割合が低いものが好ましい。特に、Ｏ含有割
合が高い中間部分においてＦｅ含有割合が低いものの、
Ｎ含有割合には大きな変動がないものが好ましい。
【０００８】そして、Ｏ含有割合の極大値（最大値）を
示す領域が浅すぎる位置であると、電磁変換特性がおも
わしくない傾向があり、逆に、深すぎる位置であって
も、電磁変換特性がおもわしくない傾向があり、この観
点から、Ｏ含有割合が極大値（最大値）を示す領域は、
金属磁性膜の表面から金属磁性膜の厚さの１／４〜１／
２の深さにあるものが好ましい。更に、金属磁性膜の厚
さを考慮すると、具体的には、金属磁性膜の表面から５
００〜１５００Å程度の深さにあるものが好ましい。
示す領域が浅すぎる位置であると、電磁変換特性がおも
わしくない傾向があり、逆に、深すぎる位置であって
も、電磁変換特性がおもわしくない傾向があり、この観
点から、Ｏ含有割合が極大値（最大値）を示す領域は、
金属磁性膜の表面から金属磁性膜の厚さの１／４〜１／
２の深さにあるものが好ましい。更に、金属磁性膜の厚
さを考慮すると、具体的には、金属磁性膜の表面から５
００〜１５００Å程度の深さにあるものが好ましい。
【０００９】尚、極大値は、ある領域でピーク（山）が
あることを意味し、最大値は、ある領域で最大の点があ
ることを意味する。
あることを意味し、最大値は、ある領域で最大の点があ
ることを意味する。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明は、支持体上にＦｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁気記録媒体であっ
て、前記金属磁性膜はその厚さ方向における中間部分に
おいてＯ含有割合が高いものである。特に、支持体上に
Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁気記録媒
体であって、前記金属磁性膜はその厚さ方向における中
間部分においてＯ含有割合が最大値を示すものである。
Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁気記録媒体であっ
て、前記金属磁性膜はその厚さ方向における中間部分に
おいてＯ含有割合が高いものである。特に、支持体上に
Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁気記録媒
体であって、前記金属磁性膜はその厚さ方向における中
間部分においてＯ含有割合が最大値を示すものである。
【００１１】上記の磁気記録媒体における金属磁性膜
は、Ｏ含有割合が高い中間部分においてＦｅ含有割合が
低い。特に、Ｏ含有割合が高い中間部分においてＦｅ含
有割合が低いものの、Ｎ含有割合には大きな変動がな
い。Ｏ含有割合が極大値（最大値）を示す領域は、金属
磁性膜の表面から金属磁性膜の厚さの１／４〜１／２の
深さにある。特に、金属磁性膜の表面から５００〜１５
００Åの深さにある。
は、Ｏ含有割合が高い中間部分においてＦｅ含有割合が
低い。特に、Ｏ含有割合が高い中間部分においてＦｅ含
有割合が低いものの、Ｎ含有割合には大きな変動がな
い。Ｏ含有割合が極大値（最大値）を示す領域は、金属
磁性膜の表面から金属磁性膜の厚さの１／４〜１／２の
深さにある。特に、金属磁性膜の表面から５００〜１５
００Åの深さにある。
【００１２】本発明において、Ｏ含有割合が高い中間部
分を有するものであるか否か、又、Ｏ含有割合が高い中
間部分においてＦｅ含有割合が低いものであるか否か、
又、その領域においてＮ含有割合には大きな変動がない
ものであるか否か等は、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜をオ
ージェ電子分光分析により調べることで簡単に知ること
が出来る。そのオージェ電子分光分析によるスペクトラ
ムの代表的な一例を図２に示す。又、本発明の特徴を示
さないスペクトラムの一例を図５に示す。これによれ
ば、Ｏ含有割合が高い中間部分を有するものであるか否
か、又、Ｏ含有割合が高い中間部分においてＦｅ含有割
合が低いものであるか否か、又、その領域においてＮ含
有割合には大きな変動がないものであるか否かが簡単に
判る。尚、Ｆｅ，Ｏ，Ｎ量の分布曲線には感度の違いに
よって微小な変動が認められる。しかし、本発明におい
ては、このような微小な変動は変動と見做さず、滑らか
なものと考える。
分を有するものであるか否か、又、Ｏ含有割合が高い中
間部分においてＦｅ含有割合が低いものであるか否か、
又、その領域においてＮ含有割合には大きな変動がない
ものであるか否か等は、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜をオ
ージェ電子分光分析により調べることで簡単に知ること
が出来る。そのオージェ電子分光分析によるスペクトラ
ムの代表的な一例を図２に示す。又、本発明の特徴を示
さないスペクトラムの一例を図５に示す。これによれ
ば、Ｏ含有割合が高い中間部分を有するものであるか否
か、又、Ｏ含有割合が高い中間部分においてＦｅ含有割
合が低いものであるか否か、又、その領域においてＮ含
有割合には大きな変動がないものであるか否かが簡単に
判る。尚、Ｆｅ，Ｏ，Ｎ量の分布曲線には感度の違いに
よって微小な変動が認められる。しかし、本発明におい
ては、このような微小な変動は変動と見做さず、滑らか
なものと考える。
【００１３】図２などのオージェ電子分光分析によるス
ペクトラムからは、最表面には保護膜としてのカーボン
膜が、このカーボン膜の下にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
があることが判る。そして、このＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁
性膜の起点はカーボン膜に起因するＣの分布曲線とＦｅ
−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜に起因するＦｅの分布曲線とが交
差する位置と見做す。又、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の
終点は支持体に起因するＣの分布曲線とＦｅ−Ｎ−Ｏ系
金属磁性膜に起因するＦｅの分布曲線とが交差する位置
と見做す。
ペクトラムからは、最表面には保護膜としてのカーボン
膜が、このカーボン膜の下にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
があることが判る。そして、このＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁
性膜の起点はカーボン膜に起因するＣの分布曲線とＦｅ
−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜に起因するＦｅの分布曲線とが交
差する位置と見做す。又、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の
終点は支持体に起因するＣの分布曲線とＦｅ−Ｎ−Ｏ系
金属磁性膜に起因するＦｅの分布曲線とが交差する位置
と見做す。
【００１４】上記特徴の本発明の磁気記録媒体は、次の
ようにすれば得られる。先ず、図１の斜め蒸着装置を用
意する。図１中、１は支持体であり、磁性あるいは非磁
性いずれのものでも良いが、一般的には非磁性のもので
ある。このような支持体はＰＥＴ等のポリエステル、ポ
リアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネ
ート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロ
ース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった有機材料が
主として用いられる。尚、支持体の表面には、磁性膜と
の密着性を向上させる為のアンダーコート層が適宜設け
られる。２ａは支持体１の供給側ロール、２ｂは支持体
１の巻取側ロールであり、支持体１は供給側ロール２ａ
からガイドローラ３を経て冷却キャンロール４ａに導か
れ、そしてガイドローラ３を経て冷却キャンロール４ｂ
に導かれ、最終的に巻取側ロール２ｂに導かれる。この
走行経路において、すなわち冷却キャンロール４ａ，４
ｂに沿って走行する際、ルツボ５ａ，５ｂからのＦｅ系
材料の粒子が飛来し、付着・堆積する。冷却キャンロー
ル４ａに沿って走行する際には、イオンガン６ａから窒
素イオンが照射される。又、下流側から酸素ガスがノズ
ル７より供給される。このようにして表面側にＯがリッ
チなＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜（下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金
属磁性膜）が５００〜４５００Å厚さ設けられる。そし
て、この後、冷却キャンロール４ｂに沿って走行する
際、堆積金属膜に向けてイオンガン６ｂから窒素イオン
が照射される。これによってＦｅ−Ｎ系金属磁性膜ある
いはＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金
属磁性膜上に５００〜１５００Å厚さ設けられる。すな
わち、厚さ方向における中間部分においてＯ含有割合が
高いＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が支持体上に１０００〜
６０００Å厚さ設けられる。
ようにすれば得られる。先ず、図１の斜め蒸着装置を用
意する。図１中、１は支持体であり、磁性あるいは非磁
性いずれのものでも良いが、一般的には非磁性のもので
ある。このような支持体はＰＥＴ等のポリエステル、ポ
リアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネ
ート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロ
ース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった有機材料が
主として用いられる。尚、支持体の表面には、磁性膜と
の密着性を向上させる為のアンダーコート層が適宜設け
られる。２ａは支持体１の供給側ロール、２ｂは支持体
１の巻取側ロールであり、支持体１は供給側ロール２ａ
からガイドローラ３を経て冷却キャンロール４ａに導か
れ、そしてガイドローラ３を経て冷却キャンロール４ｂ
に導かれ、最終的に巻取側ロール２ｂに導かれる。この
走行経路において、すなわち冷却キャンロール４ａ，４
ｂに沿って走行する際、ルツボ５ａ，５ｂからのＦｅ系
材料の粒子が飛来し、付着・堆積する。冷却キャンロー
ル４ａに沿って走行する際には、イオンガン６ａから窒
素イオンが照射される。又、下流側から酸素ガスがノズ
ル７より供給される。このようにして表面側にＯがリッ
チなＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜（下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金
属磁性膜）が５００〜４５００Å厚さ設けられる。そし
て、この後、冷却キャンロール４ｂに沿って走行する
際、堆積金属膜に向けてイオンガン６ｂから窒素イオン
が照射される。これによってＦｅ−Ｎ系金属磁性膜ある
いはＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金
属磁性膜上に５００〜１５００Å厚さ設けられる。すな
わち、厚さ方向における中間部分においてＯ含有割合が
高いＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が支持体上に１０００〜
６０００Å厚さ設けられる。
【００１５】Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられる
と、必要に応じて、ダイヤモンドライクカーボン、炭化
ホウ素、二酸化ケイ素、窒化珪素などからなる５０〜２
００Å程度の厚さの保護膜がＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
上に設けられる。又、パーフルオロポリエーテル等のフ
ッ素系、炭化水素系、あるいはこれら複合系の潤滑剤が
１０〜７０Å程度の厚さ設けられる。
と、必要に応じて、ダイヤモンドライクカーボン、炭化
ホウ素、二酸化ケイ素、窒化珪素などからなる５０〜２
００Å程度の厚さの保護膜がＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
上に設けられる。又、パーフルオロポリエーテル等のフ
ッ素系、炭化水素系、あるいはこれら複合系の潤滑剤が
１０〜７０Å程度の厚さ設けられる。
【００１６】そして、上記のように構成させた磁気記録
媒体は、高い保磁力、かつ、高い飽和磁束密度を有する
ものであり、高密度記録に対応できる。しかも、耐蝕性
にも優れていた。かつ、磁性材料のＦｅは安価で、公害
問題を起こし難い。
媒体は、高い保磁力、かつ、高い飽和磁束密度を有する
ものであり、高密度記録に対応できる。しかも、耐蝕性
にも優れていた。かつ、磁性材料のＦｅは安価で、公害
問題を起こし難い。
【００１７】
【実施例１】本実施例の磁気記録媒体は、図１に示した
斜め蒸着装置により得られる。すなわち、非磁性の支持
体（６μｍ厚さのＰＥＴフィルム）１を供給側ロール２
ａから冷却キャンロール４ａ、冷却キャンロール４ｂを
経て巻取側ロール２ｂに導かれるように掛け渡し、真空
槽内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空度に排気す
る。そして、２．５ｍ／ｍｉｎの速度で走行するＰＥＴ
フィルム１に対して電子銃からの電子ビーム照射により
ＰＥＴフィルム１上にＦｅ系金属粒子を付着・堆積させ
る。この時、堆積膜に向けてイオンガン６ａから窒素イ
オンが照射されると共に、下流側から酸素ガスがノズル
７より供給される。この結果、表面側にＯがリッチなＦ
ｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜（下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜）が１０００Å厚さ設けられる。下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系
金属磁性膜が設けられたＰＥＴフィルム１に対して、冷
却キャンロール４ｂの位置において、ルツボ５ｂからの
Ｆｅ系材料の粒子が飛来し、下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁
性膜上に付着・堆積し、合計厚さが２０００Å厚さのＦ
ｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が支持体上に設けられる。尚、
冷却キャンロール４ｂの位置においても、堆積膜に向け
てイオンガン６ｂから窒素イオンが照射されている。但
し、酸素ガスは供給されていない。
斜め蒸着装置により得られる。すなわち、非磁性の支持
体（６μｍ厚さのＰＥＴフィルム）１を供給側ロール２
ａから冷却キャンロール４ａ、冷却キャンロール４ｂを
経て巻取側ロール２ｂに導かれるように掛け渡し、真空
槽内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空度に排気す
る。そして、２．５ｍ／ｍｉｎの速度で走行するＰＥＴ
フィルム１に対して電子銃からの電子ビーム照射により
ＰＥＴフィルム１上にＦｅ系金属粒子を付着・堆積させ
る。この時、堆積膜に向けてイオンガン６ａから窒素イ
オンが照射されると共に、下流側から酸素ガスがノズル
７より供給される。この結果、表面側にＯがリッチなＦ
ｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜（下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜）が１０００Å厚さ設けられる。下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系
金属磁性膜が設けられたＰＥＴフィルム１に対して、冷
却キャンロール４ｂの位置において、ルツボ５ｂからの
Ｆｅ系材料の粒子が飛来し、下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁
性膜上に付着・堆積し、合計厚さが２０００Å厚さのＦ
ｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が支持体上に設けられる。尚、
冷却キャンロール４ｂの位置においても、堆積膜に向け
てイオンガン６ｂから窒素イオンが照射されている。但
し、酸素ガスは供給されていない。
【００１８】この後、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜上にＥ
ＣＲプラズマＣＶＤ法によりダイヤモンドライクカーボ
ン膜を５０Å厚さ形成し、この後パーフルオロポリエー
テル等のフッ素系の潤滑剤（商品名ＦＯＭＢＬＩＮ Ａ
Ｍ２００１）を２０Å厚さ形成した。又、ＰＥＴフィル
ム１の磁性膜形成面側とは反対側の面にＡｌ蒸着膜（バ
ックコート膜）を０．２μｍ厚さ設け、この後８ｍｍ幅
に裁断し、カセットに装填して８ｍｍＶＴＲ用磁気テー
プを作製した。
ＣＲプラズマＣＶＤ法によりダイヤモンドライクカーボ
ン膜を５０Å厚さ形成し、この後パーフルオロポリエー
テル等のフッ素系の潤滑剤（商品名ＦＯＭＢＬＩＮ Ａ
Ｍ２００１）を２０Å厚さ形成した。又、ＰＥＴフィル
ム１の磁性膜形成面側とは反対側の面にＡｌ蒸着膜（バ
ックコート膜）を０．２μｍ厚さ設け、この後８ｍｍ幅
に裁断し、カセットに装填して８ｍｍＶＴＲ用磁気テー
プを作製した。
【００１９】尚、このようにして得たものについてのオ
ージェ電子分光分析によるスペクトラムを図２に示す。
この図２から判る通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の厚
さの１／４〜１／２の深さで、金属磁性膜の表面から５
００〜１５００Åの深さの領域内においてＯ含有割合が
最大値を示しており、しかもこのポイントにおいてＦｅ
含有割合が低いものの、Ｎ含有割合には大きな変動がな
い。
ージェ電子分光分析によるスペクトラムを図２に示す。
この図２から判る通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の厚
さの１／４〜１／２の深さで、金属磁性膜の表面から５
００〜１５００Åの深さの領域内においてＯ含有割合が
最大値を示しており、しかもこのポイントにおいてＦｅ
含有割合が低いものの、Ｎ含有割合には大きな変動がな
い。
【００２０】
【実施例２】実施例１において、イオンガン６ａ，６ｂ
からの窒素イオン照射量、及びノズル７よりの酸素ガス
供給量を変え、又、下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜を１
０００Å厚さ、合計厚さを１５００Å厚さとし、図３の
オージェ電子分光分析によるスペクトラムのＦｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜を作製した以外は実施例１に準じて行
い、８ｍｍＶＴＲ用磁気テープを作製した。
からの窒素イオン照射量、及びノズル７よりの酸素ガス
供給量を変え、又、下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜を１
０００Å厚さ、合計厚さを１５００Å厚さとし、図３の
オージェ電子分光分析によるスペクトラムのＦｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜を作製した以外は実施例１に準じて行
い、８ｍｍＶＴＲ用磁気テープを作製した。
【００２１】この図３から判る通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金
属磁性膜の厚さの１／４〜１／２の深さで、金属磁性膜
の表面から５００〜１５００Åの深さの領域内において
Ｏ含有割合が最大値を示しており、しかもこのポイント
においてＦｅ含有割合が低いものの、Ｎ含有割合には大
きな変動がない。
属磁性膜の厚さの１／４〜１／２の深さで、金属磁性膜
の表面から５００〜１５００Åの深さの領域内において
Ｏ含有割合が最大値を示しており、しかもこのポイント
においてＦｅ含有割合が低いものの、Ｎ含有割合には大
きな変動がない。
【００２２】
【実施例３】実施例１において、イオンガン６ａ，６ｂ
からの窒素イオン照射量、及びノズル７よりの酸素ガス
供給量を変え、又、下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜を４
５００Å厚さ、合計厚さを６０００Å厚さとし、図４の
オージェ電子分光分析によるスペクトラムのＦｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜を作製した以外は実施例１に準じて行
い、８ｍｍＶＴＲ用磁気テープを作製した。
からの窒素イオン照射量、及びノズル７よりの酸素ガス
供給量を変え、又、下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜を４
５００Å厚さ、合計厚さを６０００Å厚さとし、図４の
オージェ電子分光分析によるスペクトラムのＦｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜を作製した以外は実施例１に準じて行
い、８ｍｍＶＴＲ用磁気テープを作製した。
【００２３】この図４から判る通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金
属磁性膜の厚さの１／４〜１／２の深さで、金属磁性膜
の表面から５００〜１５００Åの深さの領域内において
Ｏ含有割合が最大値を示しており、しかもこのポイント
においてＦｅ含有割合が低いものの、Ｎ含有割合には大
きな変動がない。
属磁性膜の厚さの１／４〜１／２の深さで、金属磁性膜
の表面から５００〜１５００Åの深さの領域内において
Ｏ含有割合が最大値を示しており、しかもこのポイント
においてＦｅ含有割合が低いものの、Ｎ含有割合には大
きな変動がない。
【００２４】
【実施例４】実施例１において、イオンガン６ａ，６ｂ
からの窒素イオン照射量、及びノズル７よりの酸素ガス
供給量を変え、又、下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜を５
００Å厚さ、合計厚さを２５００Å厚さとし、図５のオ
ージェ電子分光分析によるスペクトラムのＦｅ−Ｎ−Ｏ
系金属磁性膜を作製した以外は実施例１に準じて行い、
８ｍｍＶＴＲ用磁気テープを作製した。
からの窒素イオン照射量、及びノズル７よりの酸素ガス
供給量を変え、又、下層Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜を５
００Å厚さ、合計厚さを２５００Å厚さとし、図５のオ
ージェ電子分光分析によるスペクトラムのＦｅ−Ｎ−Ｏ
系金属磁性膜を作製した以外は実施例１に準じて行い、
８ｍｍＶＴＲ用磁気テープを作製した。
【００２５】
【比較例１】実施例１において、冷却キャンロール４ａ
の位置における成膜厚さが１５００Åとなるように行
い、しかし冷却キャンロール４ｂの位置における成膜を
行わないようにした以外は実施例１に準じて行い、８ｍ
ｍＶＴＲ用磁気テープを作製した。
の位置における成膜厚さが１５００Åとなるように行
い、しかし冷却キャンロール４ｂの位置における成膜を
行わないようにした以外は実施例１に準じて行い、８ｍ
ｍＶＴＲ用磁気テープを作製した。
【００２６】尚、このＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜のオー
ジェ電子分光分析によるスペクトラムを図６に示す。こ
の図６から判る通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の厚さ
方向における中間部分においてはＯ含有割合が高くな
く、金属磁性膜の最上層及び最下層においてＯ含有割合
が高い。例えば、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の厚さの１
／４〜１／２の深さにおいてはＯ含有割合が極小値を示
している。
ジェ電子分光分析によるスペクトラムを図６に示す。こ
の図６から判る通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の厚さ
方向における中間部分においてはＯ含有割合が高くな
く、金属磁性膜の最上層及び最下層においてＯ含有割合
が高い。例えば、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の厚さの１
／４〜１／２の深さにおいてはＯ含有割合が極小値を示
している。
【００２７】
【特性】上記各例で得た磁気テープについて、その磁気
特性や電磁変換特性を調べたので、その結果を表−１に
示す。 表−１ Ｈｃ(Oe) Ｂｒ(G) 輝度S/N(dB) カラーS/N(dB) 耐蝕性 ＡＭ ＰＭ ΔBs(%) 実施例１ １６８０ ５４００ ＋１．２ +1.0 +1.1 −６ 実施例２ １７１０ ５０００ ＋２．１ +0.6 +0.4 −８ 実施例３ １５４０ ５７００ ＋０．５ +1.4 +1.7 −６ 実施例４ １７００ ４８００ ＋０．８ +0.2 +0.3 −９ 比較例１ １５８０ ５１００ ０ ０ ０ −６ ＊磁気特性はＶＳＭにより測定 ＊Ｓ／Ｎは市販のＨｉ８ｍｍＶＴＲを改造し、スペクトルアナライザと 信号発振器を用いて測定 ＊耐蝕性は６０℃、９０％ＲＨ下に１週間放置後のＢｓの劣化率で表示 これによれば、本発明で規定される特徴のＦｅ−Ｎ−Ｏ
系金属磁性膜は、磁気特性に優れ、電磁変換特性が高
く、更には耐蝕性にも優れていることが判る。
特性や電磁変換特性を調べたので、その結果を表−１に
示す。 表−１ Ｈｃ(Oe) Ｂｒ(G) 輝度S/N(dB) カラーS/N(dB) 耐蝕性 ＡＭ ＰＭ ΔBs(%) 実施例１ １６８０ ５４００ ＋１．２ +1.0 +1.1 −６ 実施例２ １７１０ ５０００ ＋２．１ +0.6 +0.4 −８ 実施例３ １５４０ ５７００ ＋０．５ +1.4 +1.7 −６ 実施例４ １７００ ４８００ ＋０．８ +0.2 +0.3 −９ 比較例１ １５８０ ５１００ ０ ０ ０ −６ ＊磁気特性はＶＳＭにより測定 ＊Ｓ／Ｎは市販のＨｉ８ｍｍＶＴＲを改造し、スペクトルアナライザと 信号発振器を用いて測定 ＊耐蝕性は６０℃、９０％ＲＨ下に１週間放置後のＢｓの劣化率で表示 これによれば、本発明で規定される特徴のＦｅ−Ｎ−Ｏ
系金属磁性膜は、磁気特性に優れ、電磁変換特性が高
く、更には耐蝕性にも優れていることが判る。
【００２８】これに対して、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
であっても、本発明で規定される特徴を持たないＦｅ−
Ｎ−Ｏ系金属磁性膜は、磁気特性に劣り、電磁変換特性
が低く、更には耐蝕性にも劣っていることが判る。
であっても、本発明で規定される特徴を持たないＦｅ−
Ｎ−Ｏ系金属磁性膜は、磁気特性に劣り、電磁変換特性
が低く、更には耐蝕性にも劣っていることが判る。
【００２９】
【効果】安価な材料を用いて高密度記録に適した磁気記
録媒体が得られる。
録媒体が得られる。
【図１】本発明の磁気記録媒体の製造装置の概略図
【図２】本発明のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜のオージェ
電子分光分析スペクトラム
電子分光分析スペクトラム
【図３】本発明のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜のオージェ
電子分光分析スペクトラム
電子分光分析スペクトラム
【図４】本発明のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜のオージェ
電子分光分析スペクトラム
電子分光分析スペクトラム
【図５】本発明のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜のオージェ
電子分光分析スペクトラム
電子分光分析スペクトラム
【図６】本発明外のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜のオージ
ェ電子分光分析スペクトラム
ェ電子分光分析スペクトラム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石川 准子 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】 支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が
設けられてなる磁気記録媒体であって、 前記金属磁性膜はその厚さ方向における中間部分におい
てＯ含有割合が高いものであることを特徴とする磁気記
録媒体。 - 【請求項２】 支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が
設けられてなる磁気記録媒体であって、 前記金属磁性膜はその厚さ方向における中間部分におい
てＯ含有割合が最大値を示すものであることを特徴とす
る磁気記録媒体。 - 【請求項３】 金属磁性膜は、Ｏ含有割合が高い中間部
分においてＦｅ含有割合が低いものであることを特徴と
する請求項１又は請求項２の磁気記録媒体。 - 【請求項４】 金属磁性膜は、Ｏ含有割合が高い中間部
分においてＦｅ含有割合が低いものの、Ｎ含有割合には
大きな変動がないものであることを特徴とする請求項１
又は請求項２の磁気記録媒体。 - 【請求項５】 Ｏ含有割合が極大値を示す領域は、金属
磁性膜の表面から金属磁性膜の厚さの１／４〜１／２の
深さにあることを特徴とする請求項１〜請求項４いずれ
かの磁気記録媒体。 - 【請求項６】 Ｏ含有割合が極大値を示す領域は、金属
磁性膜の表面から５００〜１５００Åの深さにあること
を特徴とする請求項１〜請求項５いずれかの磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22561795A JPH0973622A (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22561795A JPH0973622A (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0973622A true JPH0973622A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=16832130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22561795A Pending JPH0973622A (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0973622A (ja) |
-
1995
- 1995-09-01 JP JP22561795A patent/JPH0973622A/ja active Pending
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