JPH0981904A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

磁気ヘッドの製造方法

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JPH0981904A
JPH0981904A JP23559595A JP23559595A JPH0981904A JP H0981904 A JPH0981904 A JP H0981904A JP 23559595 A JP23559595 A JP 23559595A JP 23559595 A JP23559595 A JP 23559595A JP H0981904 A JPH0981904 A JP H0981904A
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JP
Japan
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magnetic
recording medium
grinding
magnetic core
magnetic head
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JP23559595A
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Inventor
Masahiko Yamazaki
昌彦 山崎
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ヘッドの当り幅加工に要する加工時間を
大幅に短縮して研削加工効率を向上させるとともに、磁
気記録媒体摺動面に発生しがちなエッジ欠けをその大き
さが4μm以下に抑える。 【解決手段】 レジンボンド砥石を用い、研削加工精度
及び研削加工効率を考慮して、砥粒の粒度が#3000
或は#4000であるレジンボンド砥石を使用し、研削
加工速度を250mm/分、且つ周速度を5000〜6
000m/分内の各所定値に設定して上記磁気記録媒体
摺動面に当り幅加工を施す。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一対の磁気コア半
体ブロックがギャップ材を介して突き合わせられてなる
磁気コアブロックの磁気記録媒体摺動面に当り幅加工を
施して磁気ヘッドを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】通常、ビデオテープレコーダ(VTR)
に設けられている磁気ヘッドは、回転ドラムの周面に設
けられて回転型磁気ヘッド装置とされ、磁気記録媒体で
ある磁気テープに磁気記録媒体摺動面が摺動することに
より映像や音声等の記録・再生を行うものである。
【0003】この磁気ヘッドは、フェライト等の磁性材
料よりなる一対の磁気コア半体がSi02 等の絶縁材料
よりなるギャップ膜を介して突き合わせられて磁気ギャ
ップが形成されてなる磁気コアを備え、この磁気コアに
銅線等の線材が巻回され磁気コイルが形成されて構成さ
れている。
【0004】上記磁気ヘッドを製造するに際しては、先
ず、一対の磁気コア半体ブロックの一主面に複数の帯状
のトラック幅規制溝をギャップ幅間隔をもって切削或は
研削により後述の所定形状に形成し、さらに巻線溝を形
成する。
【0005】次いで、各磁気コア半体ブロックをこれら
の上記一主面の各磁気コア半体ブロックのギャップ幅間
隔の箇所にて突き合わせる。ここで、各磁気コア半体ブ
ロックの各トラック幅規制溝が突き合わされて形成され
た各開口部に融着用のガラス材を挿入し高温に加熱する
ことにより一対の磁気コア半体ブロックを接合して磁気
ヘッドブロックを作製する。
【0006】続いて、この磁気ヘッドブロックの磁気ギ
ャップが形成されてなる一主面に円筒研削を施して磁気
記録媒体摺動面を形成し、巻線用のガイド溝加工を施し
た後、この磁気記録媒体摺動面に磁気記録媒体に対する
当り幅を確保するための当り幅加工を施す。この場合、
通常では各砥粒がレジンにより結合されてなるレジンボ
ンド砥石を用い、砥粒の粒度が#2000であるレジン
ボンド砥石を使用し、研削加工速度を30〜100mm
/分、且つ周速度を2000〜3000m/分として上
記磁気媒体摺動面に研削加工を施す。
【0007】そして、この磁気ヘッドブロックに切断加
工を施してそれぞれ磁気ギャップをもつ各ヘッドチップ
を作製する。その後、各ヘッドチップの磁気記録媒体摺
動面に当り幅加工を施して上記磁気コアを作製した後、
巻線等の後処理を施すことにより上記磁気ヘッドが完成
する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気コアブ
ロックの磁気記録媒体摺動面に当り幅加工を施すに際し
て、上述の諸条件の下でレジンボンド砥石を用いて研削
加工を施すと、当該磁気記録媒体摺動面のエッジ近傍が
破損して大きさが最大で10μm程度の欠け(エッジ欠
け)が発生する場合がある。
【0009】上記エッジ欠けの発生頻度を少なくし、或
はその大きさを小さくするには、砥粒の粒度が小さい砥
石を用いればよいが、それだけでは砥石に生じる摩耗が
大きくなり、砥石の修正回数の増加や研削加工精度の劣
化が問題となる。また、研削加工効率の控除を図るには
研削加工速度を増大させる必要があるが、当該研削加工
速度が大きくなるほどエッジ欠けの発生頻度及びその大
きさが増加することになる。
【0010】近時においては、磁気ヘッドの高精度化及
び高効率化に対する要求が益々高まっており、高い研削
加工精度を保持しつつ比較的大きな研削加工速度にて当
り幅加工を施すことが必要である。
【0011】そこで本発明は、上述の課題に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、磁気ヘッド
の当り幅加工に要する加工時間を大幅に短縮して研削加
工効率を向上させるとともに、磁気記録媒体摺動面に発
生しがちなエッジ欠けをその大きさが4μm以下に抑え
ることにより、このエッジ欠けが原因で生じる磁気記録
媒体の損傷を防止し、磁気記録媒体の粉落ちにより発生
するクロックを低減させて、製品の歩留り及び信頼性の
大幅な向上を図ることを可能とする磁気ヘッドの製造方
法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の対象とするもの
は、一対の磁気コア半体ブロックがギャップ膜を介して
突き合わせられてなる磁気コアブロックの磁気記録媒体
摺動面に磁気記録媒体に対する当り幅を確保するための
当り幅加工を施すことにより磁気ヘッドを製造する方法
である。
【0013】本発明においては、砥粒の粒度が#300
0〜#4000とされてなる砥石を用いて、研削加工速
度を略々250mm/分、且つ周速度を5000m/分
〜6000m/分として上記当り幅加工を行う。
【0014】この場合、具体的には、上記砥石としては
レジンにより各砥粒が結合されてなるレジンボンド砥石
を用いる。
【0015】また、本発明は、磁気コアブロックを構成
する一対の磁気コア半体ブロックの各突合せ面に軟磁性
金属材料からなる金属磁性膜が成膜されてなる磁気ヘッ
ドに適用して好適である。
【0016】ここで、砥粒の粒度は小さいほど研削加工
精度を向上させることができるが、砥粒の粒度が#30
00より小、例えば#2500とした場合では磁気記録
媒体摺動面に発生するエッジ欠けの大きさが4μmを越
えてしまい、砥粒の粒度が#4000より大、例えば#
5000として場合では磁気コア及び融着ガラスにヒビ
割れが生じる。
【0017】また、上記砥石の周速度を5000m/分
未満とした場合では上記エッジ欠けの大きさが4μmを
越えてしまい、6000m/分を越えると当該砥石に破
損が生じる可能性が高くなる。
【0018】上述のように、本発明においては、磁気コ
アブロックの磁気記録媒体摺動面に当り幅加工を施すに
際して、研削加工速度を略々250mm/分と高い値に
設定して研削加工効率を向上させるとともに、砥粒の粒
度を上記の適正値とし且つ周速度をそれぞれ上記の適正
範囲内の値とすることにより、磁気記録媒体摺動面にエ
ッジ欠けが発生してもその大きさが4μm以下の値に抑
えられる。したがって、高い研削加工効率を保持しつつ
も高い研削加工精度をもって上記当り幅加工が行われる
こととなる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気ヘッドの
製造方法の具体的な実施の形態について図面を参照しな
がら詳細に説明する。
【0020】本実施の形態においては、製造する磁気ヘ
ッドとして、一主面に複数の帯状のトラック幅規制溝が
ギャップ幅間隔をもって形成されるとともに、軟磁性金
属材料からなる金属磁性膜が成膜されギャップ面が形成
されて磁気コア半体ブロックとされ、一対の前記磁気コ
ア半体ブロックのギャップ面同士がギャップ材を介して
突き合わされ複数の磁気ギャップが形成されて磁気ヘッ
ドブロックとされて、この磁気ヘッドブロックから所要
のチップ幅のヘッドチップに切り出されてなる、いわゆ
るメタル・イン・ギャップ型の磁気ヘッド(MIGヘッ
ド)をその対象とする。
【0021】この磁気ヘッドの磁気コア11は、図1に
示すように、一対の磁気コア半体1,2のトラック幅規
制溝3が形成された各主面に軟磁性金属材料からなる金
属磁性膜4が成膜され、これら各磁気コア半体1,2が
上記各主面にてギャップ材を介して突き合わされ磁気ギ
ャップgが形成されて構成されている。これら磁気コア
半体1,2が突き合わされた際に図示しないガラス溝に
融着用のガラス材が挿入され高温にて溶融され、これら
磁気コア半体1,2が接合されている。
【0022】ここで、上記磁気コア半体1,2には、記
録電流を流すための磁気コイルを巻回するための巻線溝
5及びガイド溝6が形成されている。そして、これら巻
線溝5及びガイド溝6に図示しない巻線が施されて上記
MIGヘッドが構成されている。
【0023】上記磁気ヘッドを製造するに際しては、先
ず、一対の磁気コア半体ブロックの一主面に複数の帯状
のトラック幅規制溝3をギャップ幅間隔をもって切削或
は研削により後述の所定形状に形成し、さらに巻線溝
(後に上記巻線溝5となる。)を形成する。
【0024】次いで、各磁気コア半体ブロックの上記ト
ラック幅規制溝3が形成された一主面上にセンダスト等
の軟磁性金属材料からなる金属磁性膜4を膜厚数μmに
当該一主面全体に均一にスパッタ成膜する。その後、各
磁気コア半体ブロックをこれらの上記一主面の各磁気コ
ア半体ブロックのギャップ幅間隔の箇所にて突き合わせ
る。ここで、各磁気コア半体ブロックの各トラック幅規
制溝3が突き合わされて形成された各開口部に融着用の
ガラス材を挿入し高温に加熱することにより一対の磁気
コア半体ブロックを接合して磁気ヘッドブロックを作製
する。
【0025】続いて、この磁気ヘッドブロックの磁気ギ
ャップが形成されてなる一主面に円筒研削を施して磁気
記録媒体摺動面(後に各磁気ヘッドの磁気記録媒体aと
なる。)を形成し、巻線用のガイド溝加工を施した後、
この磁気記録媒体摺動面に対する当り幅を確保するため
の当り幅加工を施す。この場合、各砥粒がレジンにより
結合されてなるレジンボンド砥石を用い、研削加工精度
及び研削加工効率を考慮して、砥粒の粒度が#3000
〜#4000であるレジンボンド砥石を使用し、研削加
工速度を250mm/分、且つ周速度を5000〜60
00m/分内の各所定値に設定して上記磁気記録媒体摺
動面に研削加工を施す。
【0026】ここで、砥粒の粒度は小さいほど研削加工
精度を向上させることができるが、砥粒の粒度が#30
00より小、例えば#2500とした場合では、図2に
示すように、作製された磁気コア11の磁気記録媒体摺
動面aに発生するエッジ欠けの大きさが4μmを越えて
しまい、砥粒の粒度が#4000より大、例えば#50
00として場合では磁気コア及び融着ガラスにヒビ割れ
が生じる。
【0027】また、上記砥石の周速度を5000m/分
未満とした場合では上記エッジ欠けの大きさが4μmを
越えてしまい、6000m/分を越えると当該砥石に破
損が生じる可能性が高くなる。
【0028】そして、この磁気ヘッドブロックに切断加
工を施してそれぞれ磁気ギャップをもつ各ヘッドチップ
を作製する。その後、各ヘッドチップの磁気媒体記録摺
動面に当り幅加工を施して磁気コア11を作製した後、
巻線等の後処理を施すことにより上記磁気ヘッドが完成
する。
【0029】上述のように、本実施の形態においては、
磁気コアブロックの磁気記録媒体摺動面に当り幅加工を
施すに際して、研削加工速度を250mm/分と高い値
に設定して研削加工効率を向上させるとともに、砥粒の
粒度を上記の適正値とし且つ周速度をそれぞれ上記の適
正範囲内の値とすることにより、磁気記録媒体摺動面に
エッジ欠けが発生してもその大きさが4μm以下の値に
抑えられる。したがって、高い研削加工効率を保持しつ
つも高い研削加工精度をもって上記当り幅加工が行われ
ることとなる。
【0030】
【実施例】ここで、上記MIGヘッドを製造するに際し
て、磁気コアブロックの磁気記録媒体摺動面に当り幅加
工を施す場合に、レジンボンド砥石の砥粒の粒度或は研
削加工速度を変えて研削加工を行った場合にそれぞれ磁
気記録媒体摺動面に発生するエッジ欠けの大きさを調べ
た実施例について説明する。
【0031】実施例1 先ず、実施例1として、同様のレジンボンド砥石A〜E
をサンプルとして使用し、研削加工速度を250mm/
分、レジンボンド砥石の周速度を5000m/分にそれ
ぞれ設定し、研削加工深さを0.1mmとするととも
に、レジンボンド砥石の砥粒の粒度を#2500,#3
000,#4000,及び#5000とした場合に磁気
コアブロックの磁気記録媒体摺動面に発生したエッジ欠
けの最大値を測定した。この測定結果を以下の表1に示
す。
【0032】
【表1】
【0033】この表1に示すように、粒度#2500の
場合では全てのレジンボンド砥石A〜Eについて発生し
たエッジ欠けの大きさが4μmを越えた。それに対し
て、粒度#3000及び#4000の場合では全てのレ
ジンボンド砥石A〜Eについてエッジ欠けの大きさが4
μm以下であった。また、同じレジンボンド砥石につい
て粒度#3000と#4000とのエッジ欠けの大きさ
を比較すると粒度#4000の方が小さい。ところが、
各レジンボンド砥石の摩耗度については粒度#4000
の場合は粒度#3000の場合より大きく、研磨加工精
度の点で劣る。例えば、レジンボンド砥石Aを用いて粒
度#3000及び#4000の場合において単結晶フェ
ライト板に2000mmの溝入れを行い、溝入れ前後の
深さ摩耗度を測定すると、粒度#3000の場合では2
μm、粒度#4000の場合では28μmとなった。な
お、粒度#5000の場合では全てのレジンボンド砥石
A〜Eにおいて磁気コアブロックにヒビ割れが生じた。
【0034】実施例2 続いて、実施例2として、上記レジンボンド砥石A〜E
をサンプルとして使用し、研削加工速度を250mm/
分、レジンボンド砥石の砥粒の粒度を#4000にそれ
ぞれ設定し、研削加工深さを0.1mmとするととも
に、レジンボンド砥石の周速度を4000m/分,50
00m/分,6000m/分,及び7000m/分とし
た場合に磁気コアブロックの磁気記録媒体摺動面に発生
したエッジ欠けの最大値を測定した。この測定結果を以
下の表2に示す。
【0035】
【表2】
【0036】この表2に示すように、周速度4000m
/分の場合では最大値が4μmを越えるエッジ欠けを発
生させたレジンボンド砥石があった。また、周速度70
00m/分の場合では研削加工中に全てのレジンボンド
砥石が破損したことから、砥石の強度を考えて周速度の
限界値は6000〜7000m/分の間にあることが分
かる。したがって、安全性を考慮に入れると周速度の限
界値を6000m/分に設定することが現実的である。
周速度5000m/分及び6000m/分の場合ではエ
ッジ欠けの最大値が4μ以下であり、6000m/分に
近くなるほどエッジ欠けの大きさは小さくなると思われ
る。
【0037】以上の結果から、砥粒の粒度が#3000
或は#4000とされてなるレジンボンド砥石を用い
て、研削加工速度を250mm/分、且つ周速度を50
00m/分〜6000m/分として上記当り幅加工を行
うことにより、研削加工効率を向上させるとともに磁気
記録媒体摺動面に発生しがちなエッジ欠けを4μm以下
の大きさに抑えることができる。
【0038】
【発明の効果】本発明の磁気ヘッドの製造方法によれ
ば、磁気ヘッドの当り幅加工に要する加工時間を大幅に
短縮して研削加工効率を向上させるとともに、磁気記録
媒体摺動面に発生しがちなエッジ欠けをその大きさが4
μm以下に抑えることにより、このエッジ欠けが原因で
生じる磁気記録媒体の損傷が防止され、磁気記録媒体の
粉落ちにより発生するクロックが低減して、製品の歩留
り及び信頼性の大幅な向上を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態における磁気ヘッドを模式的に示
す斜視図である。
【図2】エッジ欠けが発生した上記磁気ヘッドの磁気記
録媒体摺動面を模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
1,2 磁気コア半体 3 ガイド溝 4 巻線溝 5 金属磁性膜 6 ガラス材 7 当り幅溝 11 磁気コア a 磁気記録媒体摺動面 g 磁気ギャップ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一対の磁気コア半体ブロックがギャップ
    膜を介して突き合わせられてなる磁気コアブロックの磁
    気記録媒体摺動面に磁気記録媒体に対する当り幅を確保
    するための当り幅加工を施すに際して、 砥粒の粒度が#3000〜#4000とされてなる砥石
    を用いて、研削加工速度を略々250mm/分、且つ周
    速度を5000m/分〜6000m/分として上記当り
    幅加工を行うことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
  2. 【請求項2】 砥石がレジンボンド砥石であることを特
    徴とする請求項1記載の磁気ヘッドの製造方法。
  3. 【請求項3】 磁気コアブロックを構成する一対の磁気
    コア半体ブロックの各突合せ面に軟磁性金属材料からな
    る金属磁性膜が成膜されてなることを特徴とする請求項
    1記載の磁気ヘッドの製造方法。
JP23559595A 1995-09-13 1995-09-13 磁気ヘッドの製造方法 Withdrawn JPH0981904A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2020012986A1 (ja) * 2018-07-12 2021-07-15 東京エレクトロン株式会社 基板処理システム及び基板処理方法

Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Effective date: 20021203