JPH0982496A - 高周波装置 - Google Patents
高周波装置Info
- Publication number
- JPH0982496A JPH0982496A JP7233776A JP23377695A JPH0982496A JP H0982496 A JPH0982496 A JP H0982496A JP 7233776 A JP7233776 A JP 7233776A JP 23377695 A JP23377695 A JP 23377695A JP H0982496 A JPH0982496 A JP H0982496A
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- Japan
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- output
- high frequency
- variable capacitor
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高周波出力をパルス的に動作させた場合で
も、オートマッチングを適正に行うことができる高周波
装置高周波装置を実現する。 【構成】 検出器２によって検出されたインピーダンス
Ｚに応じた信号は、ピークホールド回路１２に供給さ
れ、ピークホールド回路１２の出力が第１の制御回路８
に供給される。一方、検出器２によって検出された位相
差θに応じた信号は、ピークホールド回路１３に供給さ
れ、ピークホールド回路１３の出力が第２の制御回路１
０に供給される。この結果、第１と第２の制御回路８，
１０には、高周波出力信号がオフの時にも検出信号にほ
ぼ比例した信号が供給されることから、モータ９，１１
を高周波出力が０となったときでも回転させることがで
きる。
も、オートマッチングを適正に行うことができる高周波
装置高周波装置を実現する。 【構成】 検出器２によって検出されたインピーダンス
Ｚに応じた信号は、ピークホールド回路１２に供給さ
れ、ピークホールド回路１２の出力が第１の制御回路８
に供給される。一方、検出器２によって検出された位相
差θに応じた信号は、ピークホールド回路１３に供給さ
れ、ピークホールド回路１３の出力が第２の制御回路１
０に供給される。この結果、第１と第２の制御回路８，
１０には、高周波出力信号がオフの時にも検出信号にほ
ぼ比例した信号が供給されることから、モータ９，１１
を高周波出力が０となったときでも回転させることがで
きる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パルス動作をさせ
てもインピーダンスのマッチングを正確に行うことがで
きる高周波スパッタリング装置やエッチング装置などの
高周波装置に関する。
てもインピーダンスのマッチングを正確に行うことがで
きる高周波スパッタリング装置やエッチング装置などの
高周波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】高周波スパッタリング装置では、２枚の
電極間に高周波を印加し、一方の電極（試料）をスパッ
タリングし、試料表面のクリーニングなどを行ってい
る。また、別の高周波装置では、２枚の電極間に高周波
を印加し、一方の電極からスパッタされた粒子を電極に
接近して配置された基板上に付着させるようにしてい
る。図１はこのような高周波装置の概略を示しており、
１は高周波電源である。高周波電源１からの高周波は、
検出器２を介してマッチングボックス３に供給される。
マッチングボックス３はマッチング可変コンデンサ４、
チューニング可変コンデンサ５、コイル６から構成され
ている。マッチングボックス３からの高周波は、負荷７
に供給される。なお、検出器２は、マッチングボックス
３に入力する高周波の電圧，電流，電圧と電流の位相差
θを検出している。
電極間に高周波を印加し、一方の電極（試料）をスパッ
タリングし、試料表面のクリーニングなどを行ってい
る。また、別の高周波装置では、２枚の電極間に高周波
を印加し、一方の電極からスパッタされた粒子を電極に
接近して配置された基板上に付着させるようにしてい
る。図１はこのような高周波装置の概略を示しており、
１は高周波電源である。高周波電源１からの高周波は、
検出器２を介してマッチングボックス３に供給される。
マッチングボックス３はマッチング可変コンデンサ４、
チューニング可変コンデンサ５、コイル６から構成され
ている。マッチングボックス３からの高周波は、負荷７
に供給される。なお、検出器２は、マッチングボックス
３に入力する高周波の電圧，電流，電圧と電流の位相差
θを検出している。
【０００３】このような構成において、検出器２によっ
て検出された電圧，電流，位相に基づいてインピーダン
スと位相とを求め、インピーダンスの値に基づいてマッ
チングボックス３内のマッチング可変コンデンサ４の容
量を変え、位相差に基づいてチューニング可変コンデン
サ５の容量を変えている。すなわち、検出器２によって
検出されたインピーダンスＺは、第１の制御回路８に供
給され、この回路内で基準電圧と比較される。第１の制
御回路８は、基準電圧と供給されるインピーダンスＺの
値とを比較し、その差電圧を出力する。第１の制御回路
８の出力は、マッチング可変コンデンサ４を駆動するモ
ータ９に供給される。その結果、インピーダンスＺの値
が基準電圧と等しくなるようにモータ９によりマッチン
グ可変コンデンサ４が調整される。
て検出された電圧，電流，位相に基づいてインピーダン
スと位相とを求め、インピーダンスの値に基づいてマッ
チングボックス３内のマッチング可変コンデンサ４の容
量を変え、位相差に基づいてチューニング可変コンデン
サ５の容量を変えている。すなわち、検出器２によって
検出されたインピーダンスＺは、第１の制御回路８に供
給され、この回路内で基準電圧と比較される。第１の制
御回路８は、基準電圧と供給されるインピーダンスＺの
値とを比較し、その差電圧を出力する。第１の制御回路
８の出力は、マッチング可変コンデンサ４を駆動するモ
ータ９に供給される。その結果、インピーダンスＺの値
が基準電圧と等しくなるようにモータ９によりマッチン
グ可変コンデンサ４が調整される。
【０００４】また、検出器２によって検出された位相差
θは、第２の制御回路１０に供給され基準電圧と比較さ
れる。第２の制御回路１０は、基準電圧と供給される位
相差θの値とを比較し、その差電圧を出力する。第２の
制御回路器１０の出力は、チューニング可変コンデンサ
５を駆動するモータ１１に供給される。その結果、位相
差θの値が基準電圧（０）と等しくなるようにモータ１
１によりマッチング可変コンデンサ５が調整される。
θは、第２の制御回路１０に供給され基準電圧と比較さ
れる。第２の制御回路１０は、基準電圧と供給される位
相差θの値とを比較し、その差電圧を出力する。第２の
制御回路器１０の出力は、チューニング可変コンデンサ
５を駆動するモータ１１に供給される。その結果、位相
差θの値が基準電圧（０）と等しくなるようにモータ１
１によりマッチング可変コンデンサ５が調整される。
【０００５】なお、第１と第２の制御回路８，１０は、
それぞれ内部にＡＤ変換器とＤＡ変換器と、マイクロプ
ロセッサを備えており、供給される信号と内部の基準信
号との比較や両信号の差信号の出力を行っている。ま
た、この制御回路８，１０には、マッチング可変コンデ
ンサ４とチューニング可変コンデンサ５の位置情報が供
給されている。
それぞれ内部にＡＤ変換器とＤＡ変換器と、マイクロプ
ロセッサを備えており、供給される信号と内部の基準信
号との比較や両信号の差信号の出力を行っている。ま
た、この制御回路８，１０には、マッチング可変コンデ
ンサ４とチューニング可変コンデンサ５の位置情報が供
給されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記したような構成に
より、インピーダンスのマッチングが自動的に実行さ
れ、負荷７には効率良く高周波電力が供給される。しか
しながら、高周波電力をパルス的に発生させる場合、高
周波出力がオフの時、検出器２からの検出信号も出力さ
れないので、モータ９，１１は動作せず、コンデンサ
４，５は回転しない。
より、インピーダンスのマッチングが自動的に実行さ
れ、負荷７には効率良く高周波電力が供給される。しか
しながら、高周波電力をパルス的に発生させる場合、高
周波出力がオフの時、検出器２からの検出信号も出力さ
れないので、モータ９，１１は動作せず、コンデンサ
４，５は回転しない。
【０００７】したがって、高周波出力のオンの時間が短
いパルス動作時は、検出信号が出力されてコンデンサを
回転させようとした瞬間には、高周波出力がオフとな
り、検出信号は０となって結果的にコンデンサ４，５が
回転せず、オートマッチングができない。
いパルス動作時は、検出信号が出力されてコンデンサを
回転させようとした瞬間には、高周波出力がオフとな
り、検出信号は０となって結果的にコンデンサ４，５が
回転せず、オートマッチングができない。
【０００８】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、高周波出力をパルス的に動作させ
た場合でも、オートマッチングを適正に行うことができ
る高周波装置を実現するにある。
もので、その目的は、高周波出力をパルス的に動作させ
た場合でも、オートマッチングを適正に行うことができ
る高周波装置を実現するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく高周波装
置は、高周波電源と、高周波電源からの高周波電力が供
給される負荷と、電源と負荷との間に配置され、マッチ
ング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサとコ
イルとから成るマッチングボックスと、それぞれのコン
デンサを調整するためのモータと、マッチングボックス
に入力する高周波の入力インピーダンスと入力高周波の
電圧と電流との位相差を検出する検出器と、検出された
入力インピーダンスと位相差とに基づいてモータを駆動
し、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コン
デンサを自動的に調整するための調整手段とを備えた高
周波装置において、各検出器の検出信号をホールドする
ホールド回路を設け、ホールド回路からの信号を各調整
手段に供給するように構成したことを特徴としている。
置は、高周波電源と、高周波電源からの高周波電力が供
給される負荷と、電源と負荷との間に配置され、マッチ
ング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサとコ
イルとから成るマッチングボックスと、それぞれのコン
デンサを調整するためのモータと、マッチングボックス
に入力する高周波の入力インピーダンスと入力高周波の
電圧と電流との位相差を検出する検出器と、検出された
入力インピーダンスと位相差とに基づいてモータを駆動
し、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コン
デンサを自動的に調整するための調整手段とを備えた高
周波装置において、各検出器の検出信号をホールドする
ホールド回路を設け、ホールド回路からの信号を各調整
手段に供給するように構成したことを特徴としている。
【００１０】本発明に基づく高周波装置は、マッチング
ボックスに入力する高周波の入力インピーダンスと入力
高周波の電圧と電流との位相差を検出する検出器の検出
信号をホールドし、ホールドした信号に基づいて可変コ
ンデンサを回転させる。
ボックスに入力する高周波の入力インピーダンスと入力
高周波の電圧と電流との位相差を検出する検出器の検出
信号をホールドし、ホールドした信号に基づいて可変コ
ンデンサを回転させる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図２は本発明の一例の要部
を示しており、図１の従来装置と同一番号は同一構成要
素を示す。この例で、検出器２によって検出されたイン
ピーダンスＺに応じた信号は、ピークホールド回路１２
に供給され、ピークホールド回路１２の出力が第１の制
御回路８に供給される。一方、検出器２によって検出さ
れた位相差θに応じた信号は、ピークホールド回路１３
に供給され、ピークホールド回路１３の出力が第２の制
御回路１０に供給される。
施の形態を詳細に説明する。図２は本発明の一例の要部
を示しており、図１の従来装置と同一番号は同一構成要
素を示す。この例で、検出器２によって検出されたイン
ピーダンスＺに応じた信号は、ピークホールド回路１２
に供給され、ピークホールド回路１２の出力が第１の制
御回路８に供給される。一方、検出器２によって検出さ
れた位相差θに応じた信号は、ピークホールド回路１３
に供給され、ピークホールド回路１３の出力が第２の制
御回路１０に供給される。
【００１２】図３はピークホールド回路１２，１３の一
例を示しており、検出器２からの信号はコンデンサＣに
蓄えられる。図４の（ａ）は高周波発振器１からのパル
ス高周波出力を示しており、（ｂ）は検出器２からのイ
ンピーダンスＺあるいは位相差θの信号である。高周波
発振器１からのパルス高周波出力がオフになると、ピー
クホールド回路１３からはコンデンサＣと抵抗Ｒの時定
数に応じて図４（ｃ）の信号が得られる。
例を示しており、検出器２からの信号はコンデンサＣに
蓄えられる。図４の（ａ）は高周波発振器１からのパル
ス高周波出力を示しており、（ｂ）は検出器２からのイ
ンピーダンスＺあるいは位相差θの信号である。高周波
発振器１からのパルス高周波出力がオフになると、ピー
クホールド回路１３からはコンデンサＣと抵抗Ｒの時定
数に応じて図４（ｃ）の信号が得られる。
【００１３】この結果、第１と第２の制御回路８，１０
には、高周波出力信号がオフの時にも検出信号にほぼ比
例した信号が供給されることから、モータ９，１１を高
周波出力が０となったときでも回転させることができ
る。なお、第１の制御回路では、基準電圧と供給される
インピーダンスＺの値とを比較し、その差電圧を出力す
る。第１の制御回路８の出力は、マッチング可変コンデ
ンサ４を駆動するモータ９に供給される。その結果、イ
ンピーダンスＺの値が基準電圧と等しくなるようにモー
タ９によりマッチング可変コンデンサ４が調整される。
には、高周波出力信号がオフの時にも検出信号にほぼ比
例した信号が供給されることから、モータ９，１１を高
周波出力が０となったときでも回転させることができ
る。なお、第１の制御回路では、基準電圧と供給される
インピーダンスＺの値とを比較し、その差電圧を出力す
る。第１の制御回路８の出力は、マッチング可変コンデ
ンサ４を駆動するモータ９に供給される。その結果、イ
ンピーダンスＺの値が基準電圧と等しくなるようにモー
タ９によりマッチング可変コンデンサ４が調整される。
【００１４】また、検出器２によって検出され、ピーク
ホールド回路１３でホールドされた位相差θに応じた信
号は、第２の制御回路１０に供給され基準電圧と比較さ
れる。第２の制御回路１０は、基準電圧と供給される位
相差θの値とを比較し、その差電圧を出力する。第２の
制御回路器１０の出力は、チューニング可変コンデンサ
５を駆動するモータ１１に供給される。その結果、位相
差θの値が基準電圧（０）と等しくなるようにモータ１
１によりマッチング可変コンデンサ５が調整される。
ホールド回路１３でホールドされた位相差θに応じた信
号は、第２の制御回路１０に供給され基準電圧と比較さ
れる。第２の制御回路１０は、基準電圧と供給される位
相差θの値とを比較し、その差電圧を出力する。第２の
制御回路器１０の出力は、チューニング可変コンデンサ
５を駆動するモータ１１に供給される。その結果、位相
差θの値が基準電圧（０）と等しくなるようにモータ１
１によりマッチング可変コンデンサ５が調整される。
【００１５】以上本発明の実施の形態を説明したが、本
発明はこの形態に限定されない。例えば、ピークホール
ド回路は、図３に示した回路に限定されるものではな
い。
発明はこの形態に限定されない。例えば、ピークホール
ド回路は、図３に示した回路に限定されるものではな
い。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく高
周波装置は、マッチングボックスに入力する高周波の入
力インピーダンスと入力高周波の電圧と電流との位相差
を検出する検出器の検出信号をホールドし、ホールドし
た信号に基づいて可変コンデンサを回転させるように構
成したので、高周波出力をパルス的に動作させた際、高
周波出力がオフの期間にもモータの回転が停止すること
はなく、マッチング動作を適正に行うことができる。
周波装置は、マッチングボックスに入力する高周波の入
力インピーダンスと入力高周波の電圧と電流との位相差
を検出する検出器の検出信号をホールドし、ホールドし
た信号に基づいて可変コンデンサを回転させるように構
成したので、高周波出力をパルス的に動作させた際、高
周波出力がオフの期間にもモータの回転が停止すること
はなく、マッチング動作を適正に行うことができる。
【図１】従来の高周波装置の概略を示す図である。
【図２】本発明に基づく高周波装置の一例を示す図であ
る。
る。
【図３】図２の装置に用いられるホールド回路の一例を
示す図である。
示す図である。
【図４】図２の装置の動作波形を示す図である。
１ 高周波電源 ２ 検出器 ３ マッチングボックス ４ マッチング可変コンデンサ ５ チューニング可変コンデンサ ７ 負荷 ８，１０ 制御回路 ９，１１ モータ １２，１３ ピークホールド回路
Claims (1)
- 【請求項１】 高周波電源と、高周波電源からの高周波
電力が供給される負荷と、電源と負荷との間に配置さ
れ、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コン
デンサとコイルとから成るマッチングボックスと、それ
ぞれのコンデンサを調整するためのモータと、マッチン
グボックスに入力する高周波の入力インピーダンスと入
力高周波の電圧と電流との位相差を検出する検出器と、
検出された入力インピーダンスと位相差とに基づいてモ
ータを駆動し、マッチング可変コンデンサとチューニン
グ可変コンデンサを自動的に調整するための調整手段と
を備えた高周波装置において、各検出器の検出信号をホ
ールドするホールド回路を設け、ホールド回路からの信
号を各調整手段に供給するように構成した高周波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7233776A JPH0982496A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 高周波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7233776A JPH0982496A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 高周波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0982496A true JPH0982496A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=16960398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7233776A Withdrawn JPH0982496A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 高周波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0982496A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10321598A (ja) * | 1997-05-15 | 1998-12-04 | Nec Kyushu Ltd | 半導体装置の製造装置 |
| JP2001053572A (ja) * | 1999-08-06 | 2001-02-23 | Pearl Kogyo Kk | パルス状高周波電源用自動整合器 |
| JP2013524471A (ja) * | 2010-04-15 | 2013-06-17 | オリバ ジョビン イボン エス． アー． エス． | パルス・モードにおけるグロー放電分光分析測定のための方法および装置 |
| JP2019516273A (ja) * | 2016-03-23 | 2019-06-13 | 北京北方華創微電子装備有限公司Ｂｅｉｊｉｎｇ Ｎａｕｒａ Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． | インピーダンス整合システム、インピーダンス整合方法および半導体処理装置 |
-
1995
- 1995-09-12 JP JP7233776A patent/JPH0982496A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10321598A (ja) * | 1997-05-15 | 1998-12-04 | Nec Kyushu Ltd | 半導体装置の製造装置 |
| JP2001053572A (ja) * | 1999-08-06 | 2001-02-23 | Pearl Kogyo Kk | パルス状高周波電源用自動整合器 |
| JP2013524471A (ja) * | 2010-04-15 | 2013-06-17 | オリバ ジョビン イボン エス． アー． エス． | パルス・モードにおけるグロー放電分光分析測定のための方法および装置 |
| JP2019516273A (ja) * | 2016-03-23 | 2019-06-13 | 北京北方華創微電子装備有限公司Ｂｅｉｊｉｎｇ Ｎａｕｒａ Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． | インピーダンス整合システム、インピーダンス整合方法および半導体処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021203 |