JPH1010431A5 - - Google Patents
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- JPH1010431A5 JPH1010431A5 JP1996180013A JP18001396A JPH1010431A5 JP H1010431 A5 JPH1010431 A5 JP H1010431A5 JP 1996180013 A JP1996180013 A JP 1996180013A JP 18001396 A JP18001396 A JP 18001396A JP H1010431 A5 JPH1010431 A5 JP H1010431A5
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- 物体面からの光に基づいて前記物体面の中間像を形成するための第１結像光学系Ｓ１と、前記中間像からの光に基づいて前記物体面の縮小像を形成するための第２結像光学系Ｓ２と、前記中間像が形成される位置の近傍に配置され前記第１結像光学系Ｓ１を介した光を前記第２結像光学系Ｓ２に向かって偏向するための第１光路偏向部材Ｍ１とを備え、
前記第１結像光学系Ｓ１は凹面反射鏡ＣＭを有し、前記物体面からの光は前記凹面反射鏡ＣＭで反射された後に、前記第１結像光学系Ｓ１の光路中に前記中間像を形成し、
前記第１光路偏向部材Ｍ１は、前記第１結像光学系Ｓ１の光路中に配置された平面反射鏡を有し、
前記第１結像光学系Ｓ１の結像倍率をβ１とし、前記第１結像光学系Ｓ１の光軸と前記第２結像光学系Ｓ２の光軸との交点と前記物体面との間の軸上距離をＬ１とし、前記物体面と前記凹面反射鏡ＣＭとの間の軸上距離をＬＭとしたとき、
０．７５＜｜β１｜＜０．９５
０．１３＜Ｌ１／ＬＭ＜０．３５
の条件を満足することを特徴とする反射屈折光学系。 - 前記第１結像光学系Ｓ１は、物体側から順に、第１レンズ群Ｇ１と、第２レンズ群Ｇ２と、前記凹面反射鏡ＣＭとを有し、
前記物体面からの光は、前記第１レンズ群Ｇ１および前記第２レンズ群Ｇ２を介して前記凹面反射鏡ＣＭで反射された後に、前記第１レンズ群Ｇ１と前記第２レンズ群Ｇ２との間の光路中に前記中間像を形成することを特徴とする請求項１に記載の反射屈折光学系。 - 前記第２レンズ群Ｇ２は、少なくとも２つの互いに異なる負屈折力を有する屈折素子と、少なくとも２つの互いに異なる正屈折力を有する屈折素子とを有することを特徴とする請求項２に記載の反射屈折光学系。
- 前記第１レンズ群Ｇ１は、少なくとも３つの互いに異なる屈折力を有する屈折素子を有することを特徴とする請求項２または３に記載の反射屈折光学系。
- 前記第２結像光学系Ｓ２は、物体側から順に、全体として正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、該第３レンズ群Ｇ３を介した光を偏向するための第２光路偏向部材Ｍ２と、全体として正の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４とを有し、
前記中間像からの光は、前記第３レンズ群Ｇ３、前記第２光路偏向部材Ｍ２、および前記第４レンズ群Ｇ４を介して、前記物体面の縮小像を形成することを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。 - 前記反射屈折光学系を構成する屈折素子は、石英および蛍石の少なくともいずれか一方の光学材料から形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
- 前記第２レンズ群Ｇ２は少なくとも１つの蛍石からなる正レンズを有し、
前記第２レンズ群Ｇ２中の蛍石からなる正レンズの屈折力の総和をφｃとし、前記凹面反射鏡ＣＭの屈折力をφｍとしたとき、
０．５＜｜φｃ／φｍ｜＜１．６
の条件を満足することを特徴とする請求項２乃至６のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。 - 第１面に配置される第１物体上のパターンを第２面に配置される第２物体上に投影する投影露光装置において、
前記第１物体上の前記パターンの像を前記第２物体上に投影するために、請求項１乃至７の何れか一項に記載の反射屈折光学系を備えることを特徴とする投影露光装置。 - 第１面に配置される第１物体上のパターンを第２面に配置される第２物体上に投影する投影露光方法において、
請求項１乃至７の何れか一項に記載の反射屈折光学系を用いて、前記第１物体上の前記パターンの像を前記第２物体上に投影することを特徴とする投影露光方法。
Priority Applications (3)
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP8180013A JPH1010431A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 反射屈折光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1010431A JPH1010431A (ja) | 1998-01-16 |
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Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8180013A Pending JPH1010431A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 反射屈折光学系 |
Country Status (3)
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-
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- 1997-06-19 DE DE19726058A patent/DE19726058A1/de not_active Withdrawn
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