JPH10139153A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成でステージ上に載置するキャリア
を正確な所定位置に嵌め込んで配置して、搬送エラーを
確実に防止する。 【解決手段】 ステージ１０が駆動機構によってＯリン
グ搬送部１２ａより低い位置に下方移動し、この後、搬
送ロボットによってＯリング搬送部１２ａを搬送された
キャリア１３がステージ１０上に載せ置かれる。この場
合、ステージ１０上の四隅に設けられたキャリアストッ
パ部材１４〜１７内の所定位置に嵌め込んで載せ置かれ
る。この際、押圧ロック部２０の金属ボール２０ｂがキ
ャリア１３の外周囲面に当接し、かつ、コイルスプリン
グ２０ａの弾性で押圧されて、所定位置に位置決めして
固定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体のウェハー
などを収納して工程処理を行うキャリアを載置するステ
ージとキャリアを搬送するためのＯリング搬送機構とを
備える搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図６は従来の搬送装置の構成を示す上面
図である。図７は図６中のＡ−Ａ線にかかる搬送装置の
側面構成を示す断面図である。この例の搬送装置は、半
導体のウェハーを収納して工程処理を行うキャリアを載
置するステージと、このステージ間でキャリアを搬送す
るためのＯリング搬送機構を備えたＯリング搬送機構キ
ャリアステージである。図６及び図７において、この搬
送装置は、図６に示すように上面がＨ字状、かつ、図７
に示すように側面がＴ字状のステージ１ａ，１ｂが連続
して配置されている。このステージ１ａ，１ｂの上面に
は半導体のウェハーなどを収納するキャリア２ａ，２ｂ
を搬送ロボットなどでキャリアストッパ部材３ａ，３
ｂ，３ｃ，３ｄ内に搬送され、かつ、嵌め込んで載置す
る。そして、キャリア２ａ，２ｂ内に、例えば、ウェハ
ーを収容して工程処理を行う。

【０００３】このステージ１ａ，１ｂは図示しない駆動
機構で上下移動する。さらに、ステージ１ａ，１ｂの間
及びステージ１ａ，１ｂと図示しない他装置との間にキ
ャリア２ａ，２ｂを搬送するためのＯリング搬送部４
ａ，４ｂ，４ｃが配置されている。

【０００４】次に、この従来例の動作及び機能について
説明する。図８はステージ１ａ，１ｂが下方に移動し、
かつ、キャリア２ａ，２ｂを搬送する状態を示す側面図
である。図６から図８において、ステージ１ａは工程処
理前に、図示しない駆動機構によって下方向に移動して
おり、この状態でステージ１ａ上にＯリング搬送部４ａ
を通じて搬送ロボットなどが搬送したキャリア２ａが載
せ置かれる。

【０００５】この場合、図６に示すようにステージ１ａ
上の４カ所のキャリアストッパ部材３ａ〜３ｄにキャリ
ア２ａが嵌め込まれて固定され、この後、ステージ１ａ
が図示しない駆動機構によって上方向に移動する。ここ
でウェハーをキャリア２ａに搬入し、加工装置を用いて
工程を処理し、その終了とともにステージ１ａが図示し
ない駆動機構で下方向に移動する。そして、キャリア２
ａが図示しない搬送ロボットなどでＯリング搬送部４ｂ
を移動してステージ１ｂへ搬送されて載せ置かれる。な
お、次工程を処理するステージ１ｂもステージ１ａと同
様に動作する。

【０００６】すなわち、ステージ１ｂが図示しない駆動
機構によって下方向に移動し、ステージ１ｂ上のキャリ
アストッパ部材３ａ〜３ｄにキャリア２ａが搬送され、
かつ、嵌め込まれて固定される。この後、ステージ１ｂ
が図示しない駆動機構によって上方向に移動する。ここ
で次の工程装置を用いて処理し、その終了とともにステ
ージ１ｂが図示しない駆動機構によって下方向に移動す
る。そして、キャリア２ａが図示しない搬送ロボットな
どでＯリング搬送部４ｃを移動して図示しない次工程に
搬送される。なお、ステージ１ａ，１ｂが同一工程を処
理する場合もある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このように、上記従来
例の搬送装置では、ステージ１ａ，１ｂ上の４ヵ所に設
けたキャリアストッパ部材３ａ〜３ｄにキャリア２ａ，
２ｂが搬送され、かつ、嵌め込まれて固定される。この
場合、キャリア２ａ，２ｂに収納する半導体ウェハーな
どをステージ１ａ，１ｂ上に微細加工を施すため、より
正確に所定位置に配置する必要がある。例えば、Ｐ，Ｐ
キャリアなどのように自重の軽いキャリア２ａ，２ｂで
は、ウェハーを搬入して収容する際に、キャリア２ａ，
２ｂが浮き上がり、正確な位置に配置できず、搬送エラ
ーになり易い欠点がある。

【０００８】本発明は、このような従来の技術における
課題を解決するものであり、簡単な構成によってステー
ジ上に着脱されるキャリアが正確に所定位置に配置さ
れ、搬送エラーを確実に防止できる搬送装置の提供を目
的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、加工対象物を収納するキャリアと、この
キャリアを載置するステージを有する搬送装置におい
て、ステージ上に、キャリアの外周部材が着脱可能に嵌
まり込む複数のキャリアストッパ部材を有するととも
に、このキャリアストッパ部材の少なくとも一つにキャ
リアの外周部材を、先端部が弾性をもって押圧する弾性
押圧部を設けたものである。

【００１０】また、本発明の搬送装置は、弾性押圧部と
して、キャリアストッパ部材に、先端部が弾性でキャリ
アの外周部材に当接して押圧する板バネ部材が設けら
れ、又は、キャリアストッパ部材内に形成された袋筒孔
内に配置されるスプリングと、袋筒孔の開口部に配置さ
れ、スプリングと当接し、かつ、弾性でキャリアの外周
部材に、先端部が当接して押圧する押圧部材とを備える
ものである。また、弾性押圧部の先端部が弾性をもって
当接して押圧するキャリアの外周部材の位置に、弾性押
圧部の先端部が嵌まり込む溝又は円状の穴の窪みが形成
されるものである。

【００１１】さらに、本発明は、加工対象物を収納する
キャリアと、このキャリアを載置するステージを有する
搬送装置において、ステージ上に、キャリアの外周部材
が着脱可能に嵌まり込む複数のキャリアストッパ部材を
有するとともに、キャリアの外周部材の少なくとも一か
所に、キャリアストッパ部材を先端部が弾性をもって押
圧する弾性押圧部を設けたものである。

【００１２】また、本発明の搬送装置は、弾性押圧部と
して、キャリアの外周部材に、先端部が弾性でキャリア
ストッパ部材に当接して押圧する板バネ部材が設けら
れ、又は、キャリアの外周部材に形成された袋筒孔内に
配置されるスプリングと、袋筒孔の開口部に配置され、
スプリングと当接し、かつ、弾性でキャリアの外周部材
に、先端部が当接して押圧する押圧部材とを備えるもの
である。かつ、弾性押圧部の先端部が弾性をもって当接
して押圧するキャリアストッパ部材の位置に、弾性押圧
部の先端部が嵌まり込む溝又は円状の穴の窪みが形成さ
れるものである。

【００１３】また、本発明の搬送装置は、ステージ上の
４分割した位置にキャリアストッパ部材が設けられると
ともに、この４つのキャリアストッパ部材のいずれか又
は全部に対応して弾性押圧部が設けられるものである。
さらに、本発明の搬送装置は、キャリアに半導体ウェハ
ーが収納されて、加工工程を処理するものである。

【００１４】このような構成の本発明の搬送装置は、キ
ャリアストッパ部材に設けた板バネ部材、スプリング及
び押圧部材からなる弾性押圧部の先端部（板バネ部材又
は押圧部材）がキャリアの外周部材を弾性をもって当接
して押圧する。この際、キャリアの外周部材に形成され
た溝又は円状の穴の窪みに弾性押圧部の先端部が嵌まり
込む。この結果、ステージ上の、例えば、４ヵ所に設け
たキャリアストッパ部材の所定位置にキャリアが正確に
配置される。特に、Ｐ，Ｐキャリアなどのように自重の
軽いキャリアを用いる際に、ウェハーの収容時のキャリ
アの浮き上がりが確実に防止され、軽いキャリアがステ
ージ上の所定位置に正確かつ確実に配置できるようにな
る。すなわち、搬送エラーが確実に防止される。

【００１５】また、本発明の搬送装置では、キャリアに
設けた板バネ部材、スプリング及び押圧部材からなる弾
性押圧部の先端部（板バネ部材又は押圧部材）がキャリ
アストッパ部材を弾性をもって当接して押圧する。ま
た、キャリアストッパ部材に形成された溝又は円状の穴
の窪みに弾性押圧部の先端部が嵌まり込む。この場合
も、自重の軽いキャリアの浮き上がりが確実に防止さ
れ、ステージ上の所定位置に正確かつ確実に配置できる
ようになり、その搬送エラーが確実に防止される。

【００１６】さらに、本発明の搬送装置は、キャリアに
半導体ウェハーが収納されて、加工工程を処理してい
る。この場合、キャリアがステージ上のキャリアストッ
パ部材の所定位置に正確に配置されるので、その微細加
工が確実かつ正確に可能になる。

【００１７】

【発明の実施の形態】次に、本発明の搬送装置の実施形
態を図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の搬
送装置の第１実施形態におけるステージの構成を示す上
面図であり、図２は図１に示すステージにキャリアを載
せ置いて固定した状態を示す斜視図である。このステー
ジ１０は、従来例の図６及び図７に示した搬送装置にお
けるステージ１ａ，１ｂに対応する。図１及び図２にお
いて、この第１実施形態は、ステージ１０の上面が、Ｈ
字状であり、ステージ１０の図における左右にＯリング
搬送部１２ａ，１２ｂが設けられている。ステージ１０
上の四隅には、キャリア１３を図示しない搬送ロボット
で搬送し、かつ、載せ置いた際に、嵌まり込むキャリア
ストッパ部材１４，１５，１６，１７がネジで固定され
ている。

【００１８】キャリアストッパ部材１４は、以降の図３
から図５に示すように、キャリア１３が嵌まり込み、か
つ、弾性を持って押圧して所定位置に正確かつ確実に配
置するための押圧ロック部２０が設けられている。キャ
リアストッパ部材１５には、内側に向かって凹状溝１５
ａが形成されており、この凹状溝１５ａに対向するキャ
リア１３の外周部に位置決め用の突起１３ａが設けられ
ている。

【００１９】図３はステージ１０におけるキャリアスト
ッパ部材１４の押圧ロック部２０の構成を示す正面図及
び断面図である。図３（ａ）（ｂ）において、この例の
押圧ロック部２０は、キャリア１３の外周囲面と対向す
るキャリアストッパ部材１４の正面から袋筒孔を形成
し、この中にコイルスプリング２０ａを配置している。
さらに、コイルスプリング２０ａの先端に金属ボール２
０ｂが設けられている。この金属ボール２０ｂが袋筒孔
から飛び出さないように袋筒孔の開口部を狭めている。

【００２０】なお、ここでは、図１及び図２に示す四角
形状のキャリア１３を用い、かつ、四角形状のキャリア
１３が嵌め込まれる四つのキャリアストッパ部材１４〜
１７を用いたが、他の形状でも良い。例えば、円形形状
のキャリアを用い、この外周囲に四つのキャリアストッ
パ部材１４〜１７に当接する切り欠き平面部を形成して
も良い。また、長方形状のキャリアを用い、この四隅が
嵌め込まれるキャリアストッパ部材とともに、長手方向
の中間にも、ここでの変位を防止するためにキャリアス
トッパ部材を追加しても良い。換言すれば、六個のキャ
リアストッパ部材を設ける構成でも良い。

【００２１】さらに、多角形状のキャリアを用い、全部
の外周直線部に当接するキャリアストッパ部材を設ける
ようにしても良い。この場合、ステージ１０の上面は、
Ｈ字状にかかわらず、多角形状に対応したキャリアスト
ッパ部材を配置できる形状に形成する。また、キャリア
ストッパ部材１４，１５は、キャリアストッパ部材１
６，１７と同様にＬ字状に形成しても良い。

【００２２】次に、この第１実施形態の動作及び機能に
ついて説明する。図１から図３に示すように、まず、ス
テージ１０が図示しない駆動機構によってＯリング搬送
部１２ａより低い位置に下方移動する。この後、図示し
ない搬送ロボットがキャリア１３をＯリング搬送部１２
ａを搬送する。そして、キャリア１３がキャリア１３が
ステージ１０上に搬送して載せ置かれる。

【００２３】この場合、キャリアストッパ部材１５に形
成された凹状溝１５ａにキャリア１３の突起１３ａが嵌
まり込みながら、キャリア１３がステージ１０上の四隅
に設けられたキャリアストッパ部材１４〜１７内の所定
位置に載せ置かれる。この際、押圧ロック部２０の金属
ボール２０ｂがキャリア１３の外周囲面に当接し、か
つ、コイルスプリング２０ａの弾性で押圧され、キャリ
ア１３がキャリアストッパ部材１４〜１７内に嵌め込ま
れ、所定位置に位置決めして固定される。

【００２４】このように、この第１実施形態では、簡単
な構成によってキャリア１３がステージ１０上のキャリ
アストッパ部材１４〜１７内の所定位置に正確かつ確実
に配置できるようになる。この場合、キャリア１３の構
成を変更する必要がなく、そのまま既存のものが使用で
きる利点がある。

【００２５】図４は第２実施形態の押圧ロック部２０の
構成を示す正面図及び断面図である。図４において、こ
の押圧ロック部２０は、キャリア１３の外周囲面と対向
するキャリアストッパ部材１４の正面から開口面が四角
形状の袋筒孔を形成し、この中にＬ字状の板バネ２０ｄ
を配置している。板バネ２０ｄはキャリア１３の外周囲
面に最初に当接する部分である中央部が突出した形状に
形成されている。

【００２６】この第２実施形態も、第１実施形態と同様
に機能する。すなわち、キャリア１３がステージ１０上
の四隅に設けられたキャリアストッパ部材１４〜１７内
の所定位置に載せ置かれる際に、板バネ２０ｄの先端が
キャリア１３の外周囲面に当接し、かつ、内側に変位
し、その弾性でキャリア１３が押圧される。さらに、キ
ャリア１３がキャリアストッパ部材１４〜１７内に押下
されると、板バネ２０ｄの前面の平坦部でキャリア１３
の外周囲面が押圧され、キャリアストッパ部材１４〜１
７内にキャリア１３を正確かつ確実に所定位置に位置決
めして固定できるようになる。この場合、第１実施形態
の構成に対して、一つの板バネ２０ｄのみで構成される
ため、その構成が簡素化される利点がある。

【００２７】図５は第３実施形態の押圧ロック部２０の
構成を示す正面図及び断面図である。図５において、こ
の押圧ロック部２０は、キャリア１３の外周囲面と対向
するキャリアストッパ部材１４の正面から開口面が四角
形状の袋筒孔を形成し、この中にコイルスプリング２０
ｅが配置され、その先端に四角部材２０ｆが設けられて
いる。この四角部材２０ｆは中央部が突出した形状に形
成する。

【００２８】この第３実施形態も、第２実施形態と同様
に機能する。すなわち、キャリア１３がステージ１０上
の四隅に設けられたキャリアストッパ部材１４〜１７内
の所定位置に載せ置かれる際に、四角部材２０ｆの先端
が当接し、かつ、内側に変位し、その弾性でキャリア１
３が押圧され、キャリアストッパ部材１４〜１７内にキ
ャリア１３を正確かつ確実に所定位置に位置決めして固
定できるようになる。この場合、キャリア１３の外周部
面に当接する押圧ロック部２０の接触面が広くなる利点
がある。なお、第１実施形態の押圧ロック部２０におけ
る金属ボール２０ｂに対向するキャリア１３の外周囲面
に、円形の窪みを設ける。この結果、金属ボール２０ｂ
が、キャリア１３をキャリアストッパ部材１４〜１７内
へ押下した際に、円形の窪みに嵌まり込み、より正確か
つ確実にキャリア１３をキャリアストッパ部材１４〜１
７内の所定位置に配置できるようになる。

【００２９】また、第２実施形態における板バネ２０
ｄ、第３実施形態における四角部材２０ｆに対向するキ
ャリア１３の外周囲面に、細長い窪みを設けると板バネ
２０ｄ、四角部材２０ｆの先端部が、キャリア１３をキ
ャリアストッパ部材１４〜１７内へ押下した際に、細長
い窪みに嵌まり込み、より正確かつ確実にキャリア１３
をキャリアストッパ部材１４〜１７内の所定位置に配置
できるようになる。

【００３０】さらに、第１から第３実施形態の押圧ロッ
ク部２０をキャリア１３の外周部材に設けても良い。す
なわち、キャリアストッパ部材１４に対向するキャリア
１３の外周部材の位置に押圧ロック部２０を設ける。こ
の場合、キャリアストッパ部材１４側に第１実施形態に
おける金属ボール２０ｂが嵌まり込む円形の窪みを設け
る。また、キャリアストッパ部材１４側に第１及び第２
実施形態における板バネ、四角部材が嵌まり込む細長い
窪みを設ける。

【００３１】さらに、第１から第３実施形態では、一つ
の押圧ロック部２０を設けている。すなわち、キャリア
ストッパ部材１４にのみ押圧ロック部２０を設けている
が、キャリアストッパ部材１４以外のキャリアストッパ
部材１５〜１７の全部に押圧ロック部２０を設けても良
い。また、対角線上の二つのキャリアストッパ部材１
４，１６に押圧ロック部２０を設けても良い。この押圧
ロック部２０の配置数については、キャリア１３の形状
及びキャリア１３を載置するステージ１０の上面の形状
で決定する。例えば、キャリア１３が円形形状、細長い
四角形状又は多角形状の場合に対応して、その押圧ロッ
ク部２０の配置数を決定する。また、キャリア１３内に
収容する加工対象物の重さなどを考慮して決定すれば良
い。

【００３２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の搬送装置によれば、キャリアストッパ部材に設けた弾
性押圧部の先端部がキャリアの外周部材を弾性をもって
当接して押圧する。また、キャリアの外周部材に形成さ
れた溝又は円状の穴の窪みに弾性押圧部の先端部が嵌ま
り込むため、キャリアストッパ部材内の所定位置にキャ
リアが正確に嵌まり込んで配置される。特に、自重の軽
いキャリアを用いる際の浮き上がりが確実に阻止され、
搬送エラーが確実に防止できるようになる。

【００３３】また、本発明の搬送装置によれば、キャリ
アに設けた弾性押圧部の先端部がキャリアストッパ部材
を弾性をもって当接して押圧する。また、キャリアスト
ッパ部材に形成された溝又は円状の穴の窪みに弾性押圧
部の先端部が嵌まり込むため、この場合も、自重の軽い
キャリアの浮き上がりが確実に防止され、軽いキャリア
がステージ上の所定位置に正確かつ確実に配置できるよ
うになり、その搬送エラーを確実に防止できるようにな
る。

【００３４】さらに、本発明の搬送装置によれば、キャ
リアに半導体ウェハーが収納されて、加工工程を処理し
ており、この際、キャリアがステージ上のキャリアスト
ッパ部材の所定位置に正確に嵌まり込んで配置されるた
め、その微細加工が確実かつ正確に出来るようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送装置の実施形態におけるステージ
の構成を示す上面図である。

【図２】図１に示すステージにキャリアを載せ置いて固
定した状態を示す斜視図である。

【図３】第１実施形態の押圧ロック部の構成を示す正面
図及び断面図である。

【図４】第２実施形態の押圧ロック部の構成を示す正面
図及び断面図である。

【図５】第３実施形態の押圧ロック部の構成を示す正面
図及び断面図である。

【図６】従来の搬送装置の構成を示す上面図である。

【図７】図６中のＡーＡ線にかかる搬送装置の構成を示
す断面図である。

【図８】従来例にあってキャリアの搬送状態を示す側面
図である。

【符号の説明】

１０……ステージ、１２ａ，１２ｂ……Ｏリング搬送
部、１３……キャリア、１３ａ……突起、１４〜１７…
…キャリアストッパ部材、１５ａ……凹状溝、２０……
押圧ロック部、２０ａ……コイルスプリング、２０ｂ…
…金属ボール、２０ｄ……板バネ、２０ｅ……コイルス
プリング、２０ｆ……四角部材。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工対象物を収納するキャリアと、この
   キャリアを載置するステージを有する搬送装置におい
   て、 前記ステージ上に、前記キャリアの外周部材が着脱可能
   に嵌まり込む複数のキャリアストッパ部材を有するとと
   もに、このキャリアストッパ部材の少なくとも一つに、
   前記キャリアの外周部材を、先端部が弾性をもって押圧
   する弾性押圧部が設けられることを特徴とする搬送装
   置。
2. 【請求項２】 前記請求項１記載の搬送装置において、 弾性押圧部として、キャリアストッパ部材に、先端部が
   弾性で前記キャリアの外周部材に当接して押圧する板バ
   ネ部材を用いることを特徴とする搬送装置。
3. 【請求項３】 前記請求項１記載の搬送装置において、 弾性押圧部として、 キャリアストッパ部材内に形成された袋筒孔内に配置さ
   れるスプリングと、 前記袋筒孔の開口部に配置され、前記スプリングと当接
   し、かつ、弾性で前記キャリアの外周部材に、先端部が
   当接して押圧する押圧部材と、 を備えることを特徴とする搬送装置。
4. 【請求項４】 前記請求項１記載の搬送装置において、 弾性押圧部の先端部が弾性をもって当接して押圧する前
   記キャリアの外周部材の位置に、弾性押圧部の先端部が
   弾性をもって嵌まり込む窪みが形成されることを特徴と
   する搬送装置。
5. 【請求項５】 加工対象物を収納するキャリアと、この
   キャリアを載置するステージを有する搬送装置におい
   て、 前記ステージ上に、前記キャリアの外周部材が着脱可能
   に嵌まり込む複数のキャリアストッパ部材を有するとと
   もに、 前記キャリアの外周部材の少なくとも一か所に、前記キ
   ャリアストッパ部材面を先端部が弾性をもって押圧する
   弾性押圧部が設けられることを特徴とする搬送装置。
6. 【請求項６】 前記請求項５記載の搬送装置において、 弾性押圧部として、前記キャリアの外周部材に、先端部
   が弾性で前記キャリアストッパ部材に当接して押圧する
   板バネ部材が設けられることを特徴とする搬送装置。
7. 【請求項７】 前記請求項５記載の搬送装置において、 弾性押圧部として、 前記キャリアの外周部材に形成された袋筒孔内に配置さ
   れるスプリングと、 前記袋筒孔の開口部に配置され、前記スプリングと当接
   し、かつ、弾性で前記キャリアの外周部材に、先端部が
   当接して押圧する押圧部材と、 を備えることを特徴とする搬送装置。
8. 【請求項８】 前記請求項５記載の搬送装置において、 弾性押圧部の先端部が弾性をもって当接して押圧する前
   記キャリアストッパ部材の位置に、弾性押圧部の先端部
   が弾性をもって嵌まり込む窪みが形成されることを特徴
   とする搬送装置。
9. 【請求項９】 前記請求項１又は５記載の搬送装置にお
   いて、 ステージ上の４分割した位置にキャリアストッパ部材が
   設けられるとともに、 この４つのキャリアストッパ部材のいずれか又は全部に
   対応してキャリア又は前記キャリアストッパ部材に弾性
   押圧部が設けられることを特徴とする搬送装置。
10. 【請求項１０】 前記請求項１又は５記載の搬送装置に
    おいて、キャリアに半導体ウェハーが収納されて、半導
    体加工の工程を処理することを特徴とする搬送装置。