JPH10153403A - 補正装置および補正方法 - Google Patents
補正装置および補正方法Info
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- JPH10153403A JPH10153403A JP9310319A JP31031997A JPH10153403A JP H10153403 A JPH10153403 A JP H10153403A JP 9310319 A JP9310319 A JP 9310319A JP 31031997 A JP31031997 A JP 31031997A JP H10153403 A JPH10153403 A JP H10153403A
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- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/0201—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using temporal phase variation
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Abstract
(57)【要約】
【課題】第２高調波干渉計の補正方法を改良する。
【解決手段】周波数二逓倍レーザが、基本周波数及びそ
の二倍の周波数の第１、第２の光ビームを放出し、位相
変調の後第１のビーム分割器に入力される。第１のビー
ム結合器は、基準レーザ、1/4波長板、及び、第１のビ
ーム分割器の面の間に配置されている。測定ステージ・
ミラーが、1/4波長板に隣接して配置されている。外部
二逓倍結晶が、第１のビーム分割器の反対側の面の近く
に配置されている。第２高調波周波数に同調させた光学
増幅器が、外部二逓倍段とフィルタの間に配置されてい
る。このフィルタによって、基本周波数を含む第１の光
ビームの透過が阻止される。二乗光検波器が、濾波され
た第２高調波成分を検出し補正がおこなわれる。
の二倍の周波数の第１、第２の光ビームを放出し、位相
変調の後第１のビーム分割器に入力される。第１のビー
ム結合器は、基準レーザ、1/4波長板、及び、第１のビ
ーム分割器の面の間に配置されている。測定ステージ・
ミラーが、1/4波長板に隣接して配置されている。外部
二逓倍結晶が、第１のビーム分割器の反対側の面の近く
に配置されている。第２高調波周波数に同調させた光学
増幅器が、外部二逓倍段とフィルタの間に配置されてい
る。このフィルタによって、基本周波数を含む第１の光
ビームの透過が阻止される。二乗光検波器が、濾波され
た第２高調波成分を検出し補正がおこなわれる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、第２高調波干渉計
に関し、とりわけ、第２高調波干渉計測における信号対
雑音比（以下「Ｓ／Ｎ比」と称する）の向上に関する。
に関し、とりわけ、第２高調波干渉計測における信号対
雑音比（以下「Ｓ／Ｎ比」と称する）の向上に関する。
【０００２】
【従来の技術】乱気流は、ステッパまたはステップ・ス
キャン・リソグラフィ・システムのウェーハ・ステージ
の制御に用いられるＨｅ−Ｎｅレーザ干渉計の性能に影
響を及ぼす。長さ測定エラーの典型的な大きさは、２０
ｃｍの光路において１０〜３０ｎｍ（３σ）である。こ
の測定誤差によってステージ位置決め誤差が生じ、実現
可能な重ねあわせ精度に影響を及ぼす。ところで、空気
の分散特性を利用して、複数波長で光路長の測定を行う
ことにより、測定される光路長に対する乱気流の影響除
去に必要な情報を得ることができる。２つの波長におけ
るわずかな光路長差は、測定光路における積分空気密度
に正比例するからである。
キャン・リソグラフィ・システムのウェーハ・ステージ
の制御に用いられるＨｅ−Ｎｅレーザ干渉計の性能に影
響を及ぼす。長さ測定エラーの典型的な大きさは、２０
ｃｍの光路において１０〜３０ｎｍ（３σ）である。こ
の測定誤差によってステージ位置決め誤差が生じ、実現
可能な重ねあわせ精度に影響を及ぼす。ところで、空気
の分散特性を利用して、複数波長で光路長の測定を行う
ことにより、測定される光路長に対する乱気流の影響除
去に必要な情報を得ることができる。２つの波長におけ
るわずかな光路長差は、測定光路における積分空気密度
に正比例するからである。
【０００３】図１には、１９９５年４月４日に発行され
た米国特許第５，４０４，２２２号：「乱気流補償をお
こなった干渉計測システム（Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔ
ｒｉｃ Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ ｗｉｔｈ
Ａｉｒ Ｔｕｒｂｕｌｅｎｃｅ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔ
ｉｏｎ）」においてリ（Ｌｉｓ）によって開示された、
第２高調波干渉計測を利用して光路長差を直接測定する
ための先行技術による装置が示されている。干渉計の入
力と出力の両方において、周波数二逓倍が適用される。
入力周波数の二逓倍によって、光路における空気の特性
を明らかにするための、２つのうまく分離され、位相ロ
ックされた波長（５３２ｎｍ及び２６６ｎｍ）が得られ
る。出力周波数を二逓倍すると、５３２ｎｍとして進行
した光と２６６ｎｍとして進行した光の光学位相差を測
定することによって、空気で誘発されたわずかな光路長
差の正確な測定が可能になる。この２波長補償システム
と距離測定に用いられる既存のＨｅ−Ｎｅレーザ干渉計
を共線上で組み合わせることによって、乱気流を実時間
で補償する極めて正確なシステムが得られる。しかし、
基本周波数の第２高調波変換は、不十分であり、補正信
号におけるＳ／Ｎ比が低い。
た米国特許第５，４０４，２２２号：「乱気流補償をお
こなった干渉計測システム（Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔ
ｒｉｃ Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ ｗｉｔｈ
Ａｉｒ Ｔｕｒｂｕｌｅｎｃｅ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔ
ｉｏｎ）」においてリ（Ｌｉｓ）によって開示された、
第２高調波干渉計測を利用して光路長差を直接測定する
ための先行技術による装置が示されている。干渉計の入
力と出力の両方において、周波数二逓倍が適用される。
入力周波数の二逓倍によって、光路における空気の特性
を明らかにするための、２つのうまく分離され、位相ロ
ックされた波長（５３２ｎｍ及び２６６ｎｍ）が得られ
る。出力周波数を二逓倍すると、５３２ｎｍとして進行
した光と２６６ｎｍとして進行した光の光学位相差を測
定することによって、空気で誘発されたわずかな光路長
差の正確な測定が可能になる。この２波長補償システム
と距離測定に用いられる既存のＨｅ−Ｎｅレーザ干渉計
を共線上で組み合わせることによって、乱気流を実時間
で補償する極めて正確なシステムが得られる。しかし、
基本周波数の第２高調波変換は、不十分であり、補正信
号におけるＳ／Ｎ比が低い。
【０００４】Ｓ／Ｎ比を向上させるため、干渉計の入力
により大きいパワーを加える試みがある。第２高調波変
換効率は、加えられる基本パワーが大きくなるにつれて
向上するが、該システムに実際に利用可能なレーザの効
率は低いままである。さらに、パワーを増すには、熱冷
却の必要が増大する。ファン及び熱源自体が、しばし
ば、ステッパやステップ・スキャン・リソグラフィ・シ
ステムのウェーハ・ステージに対する乱気流の影響を悪
化させることになる。
により大きいパワーを加える試みがある。第２高調波変
換効率は、加えられる基本パワーが大きくなるにつれて
向上するが、該システムに実際に利用可能なレーザの効
率は低いままである。さらに、パワーを増すには、熱冷
却の必要が増大する。ファン及び熱源自体が、しばし
ば、ステッパやステップ・スキャン・リソグラフィ・シ
ステムのウェーハ・ステージに対する乱気流の影響を悪
化させることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、第２
高調波干渉計の補正信号のＳ／Ｎ比を向上させ、同時
に、リソグラフィ・システムに対する乱気流の影響を軽
減することにある。本発明のもう１つの目的は、基本周
波数の第２高調波への変換を改良することにある。
高調波干渉計の補正信号のＳ／Ｎ比を向上させ、同時
に、リソグラフィ・システムに対する乱気流の影響を軽
減することにある。本発明のもう１つの目的は、基本周
波数の第２高調波への変換を改良することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の第２高調波干渉
計測法に用いられる補正信号のＳ／Ｎ比は、２つのやり
方で改善される。第１に、第２高調波周波数に同調させ
た光学増幅器が、光路内に配置される。第２に、二逓倍
段が、補正レーザ内部に配置される。
計測法に用いられる補正信号のＳ／Ｎ比は、２つのやり
方で改善される。第１に、第２高調波周波数に同調させ
た光学増幅器が、光路内に配置される。第２に、二逓倍
段が、補正レーザ内部に配置される。
【０００７】内部空洞周波数二逓倍レーザが、基本周波
数で第１の光ビームを放出し、基本周波数の第２高調波
で第２の光ビームを放出する。周波数二逓倍レーザは、
位相変調器に隣接して配置されている。第２のビーム分
割器が、位相変調器の近くに配置されている。第１のビ
ーム分割器は、基準レーザ、1/4波長板、及び、第１の
ビーム分割器の面と向き合い配置されている。ステージ
・ミラーが、1/4波長板に隣接して配置されている。該
システムは、ステージ・ミラ一を測定するように設計さ
れている。外部二逓倍結晶が、第１のビーム分割器の反
対側の面の近くに配置されている。第２高調波周波数に
同調させた光学増幅器が、外部二逓倍段とダイクロイッ
ク・ビーム分割器のようなフィルタの間に配置されてい
る。このフィルタによって、基本周波数を含む第１の光
ビームの透過が阻止される。二乗光検波器が、フィルタ
の近くに配置されている。
数で第１の光ビームを放出し、基本周波数の第２高調波
で第２の光ビームを放出する。周波数二逓倍レーザは、
位相変調器に隣接して配置されている。第２のビーム分
割器が、位相変調器の近くに配置されている。第１のビ
ーム分割器は、基準レーザ、1/4波長板、及び、第１の
ビーム分割器の面と向き合い配置されている。ステージ
・ミラーが、1/4波長板に隣接して配置されている。該
システムは、ステージ・ミラ一を測定するように設計さ
れている。外部二逓倍結晶が、第１のビーム分割器の反
対側の面の近くに配置されている。第２高調波周波数に
同調させた光学増幅器が、外部二逓倍段とダイクロイッ
ク・ビーム分割器のようなフィルタの間に配置されてい
る。このフィルタによって、基本周波数を含む第１の光
ビームの透過が阻止される。二乗光検波器が、フィルタ
の近くに配置されている。
【０００８】
【発明の実施の形態】図２には、本発明の干渉計１０が
示されている。測定用基準レーザ２０の出力光は第２の
ビーム分割器を介して基準ミラー方向とステージ・ミラ
ー方向へ導かれ、両ミラーからの反射光が再び第２のビ
ーム分割器を介して測距検出器に入力されて距離測定が
おこなわれる。 内部空洞周波数二逓倍レーザ１２は、
基本周波数ωcで第１の光ビームを放出し、基本周波数
の第２高調波周波数２ωcで第２の光ビームを放出す
る。周波数二逓倍レーザ１２の出力は、位相変調器１４
に入力される。位相変調器１４は、第１と第２の光ビー
ムに位相変調を施し第１のビーム分割器に出力する。第
１のビーム分割器１６は、位相変調器１４の近くに配置
されており、位相変調された第１、第２の光ビームを第
１の光ビーム結合器１８に向ける。第１のビーム結合器
１８が、基準レーザ２０（と第２のビーム分割器）、1/
4波長板２２、及び、第１のビーム分割器１６の向き合
う面間に配置されており、基準レーザ２０からの測定用
光ビームと周波数二逓倍レーザ１２からの補正用光ビー
ムとを結合して1/4波長板２２へ入力する。ステージ・
ミラー２４が、1/4波長板２２に近接して配置されてお
り入射光ビームを反射して逆行させ第１のビーム分割器
に入力するようにする。外部二逓倍結晶段２６が、第１
のビーム分割器１６の反対側の面の近くに配置されてお
りステージ・ミラー２４からの反射補正ビームを受信す
る。外部二逓倍結晶段２６を通過した補正ビームとその
高調波は一部が第２高調波周波数２ωcに同調させた光
学増幅器２８をとおり、出力ミラーなどのフィルタ３０
に入力される。フィルタ３０を通過した光ビームは第２
高調波検波器がフィルタ３０の近くに配置されている。
示されている。測定用基準レーザ２０の出力光は第２の
ビーム分割器を介して基準ミラー方向とステージ・ミラ
ー方向へ導かれ、両ミラーからの反射光が再び第２のビ
ーム分割器を介して測距検出器に入力されて距離測定が
おこなわれる。 内部空洞周波数二逓倍レーザ１２は、
基本周波数ωcで第１の光ビームを放出し、基本周波数
の第２高調波周波数２ωcで第２の光ビームを放出す
る。周波数二逓倍レーザ１２の出力は、位相変調器１４
に入力される。位相変調器１４は、第１と第２の光ビー
ムに位相変調を施し第１のビーム分割器に出力する。第
１のビーム分割器１６は、位相変調器１４の近くに配置
されており、位相変調された第１、第２の光ビームを第
１の光ビーム結合器１８に向ける。第１のビーム結合器
１８が、基準レーザ２０（と第２のビーム分割器）、1/
4波長板２２、及び、第１のビーム分割器１６の向き合
う面間に配置されており、基準レーザ２０からの測定用
光ビームと周波数二逓倍レーザ１２からの補正用光ビー
ムとを結合して1/4波長板２２へ入力する。ステージ・
ミラー２４が、1/4波長板２２に近接して配置されてお
り入射光ビームを反射して逆行させ第１のビーム分割器
に入力するようにする。外部二逓倍結晶段２６が、第１
のビーム分割器１６の反対側の面の近くに配置されてお
りステージ・ミラー２４からの反射補正ビームを受信す
る。外部二逓倍結晶段２６を通過した補正ビームとその
高調波は一部が第２高調波周波数２ωcに同調させた光
学増幅器２８をとおり、出力ミラーなどのフィルタ３０
に入力される。フィルタ３０を通過した光ビームは第２
高調波検波器がフィルタ３０の近くに配置されている。
【０００９】飽和を回避するため、光学増幅器２８を通
るのは、測定光路を通った第１の光ビームから発生する
弱い２ωcビーム成分だけにしなければならない。これ
には、わずかで良いが第１、第２の光ビームの横方向分
離が必要になる。増幅器の利得ストライプの幅（一般
に、５０μｍ）だけ入力ビームをずらせばよい。乱気流
光路を通る補正ビームの離隔距離が数ｍｍ以下であれ
ば、それぞれの光路に沿った乱気流は、良く相関してお
り、分離によって生じる補正誤差はほとんどない。
るのは、測定光路を通った第１の光ビームから発生する
弱い２ωcビーム成分だけにしなければならない。これ
には、わずかで良いが第１、第２の光ビームの横方向分
離が必要になる。増幅器の利得ストライプの幅（一般
に、５０μｍ）だけ入力ビームをずらせばよい。乱気流
光路を通る補正ビームの離隔距離が数ｍｍ以下であれ
ば、それぞれの光路に沿った乱気流は、良く相関してお
り、分離によって生じる補正誤差はほとんどない。
【００１０】図３には、図２に示す内部空洞周波数二逓
倍レーザ１２の一例が示されている。出力に反射防止コ
ーティングが施されたＩｎＧａＡｓＰレーザ・ダイオー
ドなどの半導体レーザ３４が、エタロン３６を介して、
外部界形成空洞の近くに配置されている。界形成空洞に
は、２つのミラー４０、４２とその間に配置されたＫＮ
ＢＯ3のような二逓倍結晶３８が含まれている。
倍レーザ１２の一例が示されている。出力に反射防止コ
ーティングが施されたＩｎＧａＡｓＰレーザ・ダイオー
ドなどの半導体レーザ３４が、エタロン３６を介して、
外部界形成空洞の近くに配置されている。界形成空洞に
は、２つのミラー４０、４２とその間に配置されたＫＮ
ＢＯ3のような二逓倍結晶３８が含まれている。
【００１１】図４Ａ及び図４Ｂには、図２に示す光学増
幅器２８の例が示されている。図４Ａの場合、半導体光
学増幅器２８は、入力に反射防止コーティングが施さ
れ、出力が２つのコリメータ４６、４８の間に配置され
た、光学増幅レーザ４４とから成り立っている。２つの
コリメータ４６、４８の一方は、回折格子５０の近くに
配置されている。動作時、第２高調波変換の効率は、光
学増幅レーザを用いて、振幅をしっかりと増幅すること
によって改善される。回折格子５０は、増幅された自然
放出を濾波して排除する、すなわち、第２高調波以外の
全てを最小限に抑える。代替案として、干渉フィルタを
用いて、増幅された自然放出を濾波することも可能であ
る。
幅器２８の例が示されている。図４Ａの場合、半導体光
学増幅器２８は、入力に反射防止コーティングが施さ
れ、出力が２つのコリメータ４６、４８の間に配置され
た、光学増幅レーザ４４とから成り立っている。２つの
コリメータ４６、４８の一方は、回折格子５０の近くに
配置されている。動作時、第２高調波変換の効率は、光
学増幅レーザを用いて、振幅をしっかりと増幅すること
によって改善される。回折格子５０は、増幅された自然
放出を濾波して排除する、すなわち、第２高調波以外の
全てを最小限に抑える。代替案として、干渉フィルタを
用いて、増幅された自然放出を濾波することも可能であ
る。
【００１２】図４Ｂには光学増幅器２８の代替実施例で
用いる、オプションの反射コーティング５４Ａ、５４Ｂ
を施した、傾斜ストライプ増幅器５２が示されている。
用いる、オプションの反射コーティング５４Ａ、５４Ｂ
を施した、傾斜ストライプ増幅器５２が示されている。
【００１３】図５に本発明によるプロセスのフローチャ
ートが示されている。ステップ１００において、第１の
光ビームを基本周波数ωcで発生する。ステップ１１０
において、第２の光ビームを基本周波数の第２高調波周
波数２ωcで発生する。ステップ１２０において、第１
と第２の光ビームが測定光路の一方の端部から放出され
る。ステップ１３０において、第３の光ビームが、第２
高調波周波数２ωcで、測定光路のもう一方の端部から
発生する。ステップ１４０において、第３の光ビームが
増幅される。ステップ１５０において、第２、第３の光
ビームが干渉される。ステップ１６０において、光学干
渉は、方形レンズ光検出器によって電気信号に変換され
る。ステップ１７０において、電気信号を用いて、干渉
計距離測定における乱気流の補正がされる。
ートが示されている。ステップ１００において、第１の
光ビームを基本周波数ωcで発生する。ステップ１１０
において、第２の光ビームを基本周波数の第２高調波周
波数２ωcで発生する。ステップ１２０において、第１
と第２の光ビームが測定光路の一方の端部から放出され
る。ステップ１３０において、第３の光ビームが、第２
高調波周波数２ωcで、測定光路のもう一方の端部から
発生する。ステップ１４０において、第３の光ビームが
増幅される。ステップ１５０において、第２、第３の光
ビームが干渉される。ステップ１６０において、光学干
渉は、方形レンズ光検出器によって電気信号に変換され
る。ステップ１７０において、電気信号を用いて、干渉
計距離測定における乱気流の補正がされる。
【００１４】本発明は、独立した測定レーザに関連して
説明してきたが、内部空洞二逓倍レーザの周波数安定性
が十分なものであれば、独立した測定レーザを排除する
ことができるし、距離測定と乱気流補正の両方に単一レ
ーザの二重波長出力を利用することが可能である。以下
に本発明の範囲を示すための実施態様を例示する。
説明してきたが、内部空洞二逓倍レーザの周波数安定性
が十分なものであれば、独立した測定レーザを排除する
ことができるし、距離測定と乱気流補正の両方に単一レ
ーザの二重波長出力を利用することが可能である。以下
に本発明の範囲を示すための実施態様を例示する。
【００１５】（実施態様１）基本周波数を有する第１の
光ビームと該基本周波数の第２高調波周波数を有する第
２の光ビームとを発生するための二逓倍レーザ手段（１
２）と、第１と第２の光ビームを受信して、第１と第２
の光ビームに位相変調を施すための位相変調器（１４）
と、前記変調された第１と第２の光ビームを受信して、
第２高調波周波数の第３の光ビームを発生するビーム分
割器（１６）と、ビーム分割器の近くに配置されて、第
３の光ビームの周波数を二倍にするための二逓倍結晶段
（２６）と、二逓倍結晶段の近くに配置されて、第３の
光ビームの振幅を増幅するための光学増幅器（２８）
と、光学増幅器の近くに配置されて、第１、第２、及
び、第３の光ビームを受けて、少なくとも第２と第３の
光ビームの前記第２高調波の成分を送り出すためのフィ
ルタ（３０）と、前記第２高調波の成分を検出するため
の第２高調波検出器（３２）を備えた補正装置。
光ビームと該基本周波数の第２高調波周波数を有する第
２の光ビームとを発生するための二逓倍レーザ手段（１
２）と、第１と第２の光ビームを受信して、第１と第２
の光ビームに位相変調を施すための位相変調器（１４）
と、前記変調された第１と第２の光ビームを受信して、
第２高調波周波数の第３の光ビームを発生するビーム分
割器（１６）と、ビーム分割器の近くに配置されて、第
３の光ビームの周波数を二倍にするための二逓倍結晶段
（２６）と、二逓倍結晶段の近くに配置されて、第３の
光ビームの振幅を増幅するための光学増幅器（２８）
と、光学増幅器の近くに配置されて、第１、第２、及
び、第３の光ビームを受けて、少なくとも第２と第３の
光ビームの前記第２高調波の成分を送り出すためのフィ
ルタ（３０）と、前記第２高調波の成分を検出するため
の第２高調波検出器（３２）を備えた補正装置。
【００１６】（実施態様２）前記二逓倍レーザ手段に、
反射防止コーティングを施した出力を備える半導体レー
ザ（３４）と、反射防止コーティングを施した出力の近
くに配置されたエタロン（３６）と、２つのミラー（４
０、４２）、及び、２つのミラーの間に配置された二逓
倍結晶（３８）を具備する、界形成部が含まれているこ
とを特徴とする、実施態様１に記載の補正装置。
反射防止コーティングを施した出力を備える半導体レー
ザ（３４）と、反射防止コーティングを施した出力の近
くに配置されたエタロン（３６）と、２つのミラー（４
０、４２）、及び、２つのミラーの間に配置された二逓
倍結晶（３８）を具備する、界形成部が含まれているこ
とを特徴とする、実施態様１に記載の補正装置。
【００１７】（実施態様３）光学増幅器（２８）に、２
つのコリメータ（４６、４８）と、２つのコリメータの
間に配置された半導体レーザ（４４）と、２つのコリメ
ータの一方の近くに配置された光学フィルタ（５０）が
含まれていることを特徴とする、実施態様２に記載の補
正装置。 （実施態様４）光学フィルタが、第２高調波周波数信号
において最適化される回折格子であることを特徴とす
る、実施態様３に記載の補正装置。 （実施態様５）光学フィルタが、第２高調波周波数信号
において最適化される干渉フィルタであることを特徴と
する、実施態様３に記載の補正装置。 （実施態様６）レーザ二逓倍手段の半導体レーザが、１
３００ｎｍのＩｎＧａＡｓＰダイオード・レーザである
ことと、光学増幅器の半導体レーザが、６５０ｎｍのＩ
ｎＧａＡｌＰダイオード・レーザであることを特徴とす
る、実施態様３に記載の補正装置。
つのコリメータ（４６、４８）と、２つのコリメータの
間に配置された半導体レーザ（４４）と、２つのコリメ
ータの一方の近くに配置された光学フィルタ（５０）が
含まれていることを特徴とする、実施態様２に記載の補
正装置。 （実施態様４）光学フィルタが、第２高調波周波数信号
において最適化される回折格子であることを特徴とす
る、実施態様３に記載の補正装置。 （実施態様５）光学フィルタが、第２高調波周波数信号
において最適化される干渉フィルタであることを特徴と
する、実施態様３に記載の補正装置。 （実施態様６）レーザ二逓倍手段の半導体レーザが、１
３００ｎｍのＩｎＧａＡｓＰダイオード・レーザである
ことと、光学増幅器の半導体レーザが、６５０ｎｍのＩ
ｎＧａＡｌＰダイオード・レーザであることを特徴とす
る、実施態様３に記載の補正装置。
【００１８】（実施態様７）光学増幅器に、２つのコリ
メータ（４６、４８）と、２つのコリメータの間に配置
された半導体レーザ（４４）と、２つのコリメータの一
方の近くに配置された光学フィルタ（５０）が含まれて
いることを特徴とする、実施態様１に記載の補正装置。 （実施態様８）光学フィルタが、第２高調波周波数信号
において最適化される回折格子であることを特徴とす
る、実施態様７に記載の補正装置。 （実施態様９）光学フィルタが、第２高調波周波数信号
において最適化される干渉フィルタであることを特徴と
する、実施態様７に記載の補正装置。
メータ（４６、４８）と、２つのコリメータの間に配置
された半導体レーザ（４４）と、２つのコリメータの一
方の近くに配置された光学フィルタ（５０）が含まれて
いることを特徴とする、実施態様１に記載の補正装置。 （実施態様８）光学フィルタが、第２高調波周波数信号
において最適化される回折格子であることを特徴とす
る、実施態様７に記載の補正装置。 （実施態様９）光学フィルタが、第２高調波周波数信号
において最適化される干渉フィルタであることを特徴と
する、実施態様７に記載の補正装置。
【００１９】（実施態様１０）基本周波数で第１の光ビ
ームを発生するステップ（１００）と、基本周波数の第
２高調波で第２の光ビームを発生するステップ（１１
０）と、測定光路の第１の端部において第１と第２の光
ビームを送り出すステップ（１２０）と、測定光路の第
２の端部において基本周波数の第２高調波で第３の光ビ
ームを発生するステップ（１３０）と、第３の光ビーム
を増幅するステップ（１４０）と、第２と第３の光ビー
ムに干渉し、光信号を発生するステップ（１５０）と、
光信号を電気信号に変換するステップ（１６０）と、電
気信号を加えて、測定光路に沿った乱気流を補正するス
テップ（１７０）が含まれている、乱気流の測定を補正
するための方法。
ームを発生するステップ（１００）と、基本周波数の第
２高調波で第２の光ビームを発生するステップ（１１
０）と、測定光路の第１の端部において第１と第２の光
ビームを送り出すステップ（１２０）と、測定光路の第
２の端部において基本周波数の第２高調波で第３の光ビ
ームを発生するステップ（１３０）と、第３の光ビーム
を増幅するステップ（１４０）と、第２と第３の光ビー
ムに干渉し、光信号を発生するステップ（１５０）と、
光信号を電気信号に変換するステップ（１６０）と、電
気信号を加えて、測定光路に沿った乱気流を補正するス
テップ（１７０）が含まれている、乱気流の測定を補正
するための方法。
【図１】先行技術の干渉計を示す図である。
【図２】本発明の干渉計を示す図である。
【図３】図２に示す補正レーザの例を示す図である。
【図４Ａ】図２に示す光学増幅器の例を示す図である。
【図４Ｂ】図２に示す光学増幅器２８の代替実施例で用
いる、反射コーティング５４Ａ、５４Ｂを施した、傾斜
ストライプ増幅器５２を示す図である。
いる、反射コーティング５４Ａ、５４Ｂを施した、傾斜
ストライプ増幅器５２を示す図である。
【図５】本発明によるプロセス・フローチャートを示す
図である。
図である。
１０ 干渉計 １２ 内部空洞周波数二逓倍レーザ １４ 位相変調器 １６ ビーム分割器 １８ ビーム結合器 ２０ 基準レーザ ２２ 1/4波長板 ２４ ステージ・ミラー ２６ 外部二逓倍結晶段 ２８ 光学増幅器 ３０ フィルタ ３４ 半導体レーザ ３６ エタロン ３８ 二逓倍結晶 ４０ ミラー ４２ ミラー ４４ 光学増幅レーザ ４６ コリメータ ４８ コリメータ ５０ 回折格子 ５２ 傾斜ストライプ増幅器 ５４Ａ 反射コーティング ５４Ｂ 反射コーティング
Claims (1)
- 【請求項１】基本周波数を有する第１の光ビームと該基
本周波数の第２高調波周波数を有する第２の光ビームと
を発生するための二逓倍レーザ手段と、 第１と第２の光ビームを受信して、第１と第２の光ビー
ムに位相変調を施すための位相変調器と、 前記変調された第１と第２の光ビームを受信して、第２
高調波周波数の第３の光ビームを発生するビーム分割器
と、 ビーム分割器の近くに配置されて、第３の光ビームの周
波数を二倍にするための二逓倍結晶段と、 二逓倍結晶段の近くに配置されて、第３の光ビームの振
幅を増幅するための光学増幅器と、 光学増幅器の近くに配置されて、第１、第２、及び、第
３の光ビームを受けて、少なくとも第２と第３の光ビー
ムの前記第２高調波の成分を送り出すためのフィルタ
と、 前記第２高調波の成分を検出するための第２高調波検出
器と、を備えた補正装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/746,683 US5748313A (en) | 1996-11-14 | 1996-11-14 | Signal-to-noise ratio of second harmonic interferometers |
| US746,683 | 1996-11-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10153403A true JPH10153403A (ja) | 1998-06-09 |
| JPH10153403A5 JPH10153403A5 (ja) | 2005-05-19 |
Family
ID=25001886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9310319A Pending JPH10153403A (ja) | 1996-11-14 | 1997-11-12 | 補正装置および補正方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5748313A (ja) |
| EP (1) | EP0843152B1 (ja) |
| JP (1) | JPH10153403A (ja) |
| DE (1) | DE69735148T2 (ja) |
| SG (1) | SG54508A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007258749A (ja) * | 2002-11-27 | 2007-10-04 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
| JP2010507804A (ja) * | 2006-10-25 | 2010-03-11 | ザイゴ コーポレーション | 光学測定における大気摂動の影響の補正 |
| CN101413783B (zh) | 2008-07-23 | 2012-06-27 | 中国航空工业第一集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 双频激光干涉测量装置 |
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|---|---|---|---|---|
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| US6014216A (en) * | 1999-01-08 | 2000-01-11 | Hewlett-Packard Company | Architecture for air-turbulence-compensated dual-wavelength heterodyne interferometer |
| US6256102B1 (en) | 1999-04-27 | 2001-07-03 | University Of Central Florida | Dual-beam low-coherence interferometer with improved signal-to-noise ratio |
| US6724486B1 (en) | 1999-04-28 | 2004-04-20 | Zygo Corporation | Helium- Neon laser light source generating two harmonically related, single- frequency wavelengths for use in displacement and dispersion measuring interferometry |
| US6417927B2 (en) * | 1999-04-28 | 2002-07-09 | Zygo Corporation | Method and apparatus for accurately compensating both long and short term fluctuations in the refractive index of air in an interferometer |
| EP1160627A3 (en) * | 2000-06-01 | 2004-08-18 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
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| US20070077071A1 (en) * | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Mikhail Belenkiy | System for measuring atmospheric turbulence |
| WO2008061186A2 (en) | 2006-11-15 | 2008-05-22 | Zygo Corporation | Distance measuring interferometer and encoder metrology systems for use in lithography tools |
| WO2008073454A2 (en) | 2006-12-11 | 2008-06-19 | Zygo Corporation | Multiple-degree of freedom interferometer with compensation for gas effects |
| US7894075B2 (en) | 2006-12-11 | 2011-02-22 | Zygo Corporation | Multiple-degree of freedom interferometer with compensation for gas effects |
| CN101614523B (zh) * | 2009-08-10 | 2010-10-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪 |
| GB201411206D0 (en) * | 2014-06-24 | 2014-08-06 | Sec Dep For Business Innovation & Skills The And Usw Commercial Services Ltd | Dual laser frequency sweep interferometry system and method |
| DE102022120607B4 (de) | 2022-08-16 | 2024-08-01 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Optische Vorrichtung, System und Verfahren zur Dispersionsinterferometrie |
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|---|---|---|---|---|
| US5404222A (en) * | 1994-01-14 | 1995-04-04 | Sparta, Inc. | Interferametric measuring system with air turbulence compensation |
-
1996
- 1996-11-14 US US08/746,683 patent/US5748313A/en not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-06-04 SG SG1997001918A patent/SG54508A1/en unknown
- 1997-06-19 DE DE69735148T patent/DE69735148T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-06-19 EP EP97110052A patent/EP0843152B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-12 JP JP9310319A patent/JPH10153403A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007258749A (ja) * | 2002-11-27 | 2007-10-04 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
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| CN101413783B (zh) | 2008-07-23 | 2012-06-27 | 中国航空工业第一集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 双频激光干涉测量装置 |
Also Published As
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|---|---|
| US5748313A (en) | 1998-05-05 |
| EP0843152A3 (en) | 2000-02-23 |
| DE69735148D1 (de) | 2006-04-13 |
| EP0843152B1 (en) | 2006-01-25 |
| SG54508A1 (en) | 1998-11-16 |
| DE69735148T2 (de) | 2006-07-20 |
| EP0843152A2 (en) | 1998-05-20 |
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