JPH10183346A - 連続真空蒸着装置 - Google Patents
連続真空蒸着装置Info
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- JPH10183346A JPH10183346A JP34741496A JP34741496A JPH10183346A JP H10183346 A JPH10183346 A JP H10183346A JP 34741496 A JP34741496 A JP 34741496A JP 34741496 A JP34741496 A JP 34741496A JP H10183346 A JPH10183346 A JP H10183346A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 無効蒸着物を効率よく回収する。
【解決手段】 連続して走行する帯状の基板と、溶解し
た蒸発材料を収容するるつぼと、該るつぼに蒸発材料を
供給する蒸発材料供給装置と、前記基板およびるつぼを
内蔵し真空に排気された真空室とを備え、るつぼ内の蒸
発材料を加熱蒸発させて蒸発した蒸発材料を基板の表面
に蒸着させる連続真空蒸着装置において、前記蒸発材料
供給装置は、蒸発材料がシート状に形成されていて、該
シートを基板の側方からるつぼの側方に向かって懸架し
て下端からるつぼ内に送給されるように構成し、基板の
側方に放散される無効蒸着物を前記シートに付着させて
回収するようにした。
た蒸発材料を収容するるつぼと、該るつぼに蒸発材料を
供給する蒸発材料供給装置と、前記基板およびるつぼを
内蔵し真空に排気された真空室とを備え、るつぼ内の蒸
発材料を加熱蒸発させて蒸発した蒸発材料を基板の表面
に蒸着させる連続真空蒸着装置において、前記蒸発材料
供給装置は、蒸発材料がシート状に形成されていて、該
シートを基板の側方からるつぼの側方に向かって懸架し
て下端からるつぼ内に送給されるように構成し、基板の
側方に放散される無効蒸着物を前記シートに付着させて
回収するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、連続真空蒸着装置
に係るもので、特に連続して走行する鋼板などの帯状の
基板の表面に、るつぼから蒸発した蒸発材料を蒸着させ
て皮膜を形成する連続真空蒸着装置に関するものであ
る。
に係るもので、特に連続して走行する鋼板などの帯状の
基板の表面に、るつぼから蒸発した蒸発材料を蒸着させ
て皮膜を形成する連続真空蒸着装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】真空蒸着は、真空中で蒸発材料を加熱し
て蒸発させ、蒸発材料を基板の表面に蒸着させて皮膜を
作る成膜プロセスである。この成膜プロセスにおいて蒸
発材料を加熱するため電子ビームや電気抵抗加熱を用い
帯状の連続した基板の表面に蒸発材料を蒸着させる連続
真空蒸着装置がある。また、この連続真空蒸着装置に使
用される蒸発材料としては、通常、細長いワイヤ状の形
態で真空室内に供給される。
て蒸発させ、蒸発材料を基板の表面に蒸着させて皮膜を
作る成膜プロセスである。この成膜プロセスにおいて蒸
発材料を加熱するため電子ビームや電気抵抗加熱を用い
帯状の連続した基板の表面に蒸発材料を蒸着させる連続
真空蒸着装置がある。また、この連続真空蒸着装置に使
用される蒸発材料としては、通常、細長いワイヤ状の形
態で真空室内に供給される。
【０００３】このような電子ビームを用いた連続真空蒸
着装置としては、例えば特開平６ー７３５４３に開示さ
れたものがあり、図４に示すように、電子ビームｄを放
射する電子銃ｃと、溶解した皮膜用蒸着材料ｇを収容す
るるつぼｂと、図示しない排気装置により真空排気され
た真空室ｈとを備え、電子銃ｃにより電子ビームｄを放
射し、図示しない偏向電磁石による磁界により電子ビー
ムｄの方向を曲げてるつぼｂの蒸着材料ｇを加熱して蒸
発させ、蒸発材料ｇを、図上、紙面と直角方向に連続し
て走行する帯状の基板ａの表面に蒸着させて皮膜を作る
ようになっている。
着装置としては、例えば特開平６ー７３５４３に開示さ
れたものがあり、図４に示すように、電子ビームｄを放
射する電子銃ｃと、溶解した皮膜用蒸着材料ｇを収容す
るるつぼｂと、図示しない排気装置により真空排気され
た真空室ｈとを備え、電子銃ｃにより電子ビームｄを放
射し、図示しない偏向電磁石による磁界により電子ビー
ムｄの方向を曲げてるつぼｂの蒸着材料ｇを加熱して蒸
発させ、蒸発材料ｇを、図上、紙面と直角方向に連続し
て走行する帯状の基板ａの表面に蒸着させて皮膜を作る
ようになっている。
【０００４】るつぼｂの周りには、無効蒸着物付着防止
装置として、るつぼｂを囲むように無効蒸着物ｉが基板
ａの範囲外へ拡散するのをさえぎる遮蔽板ｅが設けられ
ている。ｆはこの遮蔽板ｅの外面に配設された電気抵抗
加熱等の加熱器である。無効蒸着物ｋは、遮蔽板ｅが高
温になっているので溶融しており、表面に沿って流下
し、るつぼｂに戻るようになっている。なお、蒸発材料
ｇとしては、例えば亜鉛（Ｚｎ）とか錫（Ｓｎ）が使用
される。
装置として、るつぼｂを囲むように無効蒸着物ｉが基板
ａの範囲外へ拡散するのをさえぎる遮蔽板ｅが設けられ
ている。ｆはこの遮蔽板ｅの外面に配設された電気抵抗
加熱等の加熱器である。無効蒸着物ｋは、遮蔽板ｅが高
温になっているので溶融しており、表面に沿って流下
し、るつぼｂに戻るようになっている。なお、蒸発材料
ｇとしては、例えば亜鉛（Ｚｎ）とか錫（Ｓｎ）が使用
される。
【０００５】また、無効蒸着物付着防止装置の他の例と
しては、真空室の壁の内面にフィルムを巻いて、真空室
の壁に無効蒸着物が付着するのを防止しているものなど
がある。
しては、真空室の壁の内面にフィルムを巻いて、真空室
の壁に無効蒸着物が付着するのを防止しているものなど
がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た連続真空蒸着装置によれば、るつぼの周りに遮蔽板が
設けられているが、蒸発材料が亜鉛や錫など低融点の材
料の場合には問題ないが、ニッケル，チタンまたは銅な
どの高融点の材料の場合には溶融滴下しないで遮蔽板に
付着し、これが進行して遮蔽板は大重量となり支持構造
物の強度上問題となる。さらには付着材料の固まりが剥
がれてるつぼに落下するなどの問題があった。また、加
熱ヒータを設けたパネルを使用する場合には、無効蒸着
物を再溶解するためのヒータの電力が必要となり、コス
ト増の原因となる。しかも、無効蒸着物が遮蔽板ｅ上で
溶融していない場合には、無効蒸着物の回収に時間がか
かり、回収効率も悪いという問題がある。真空室の壁の
内面にフィルムを巻いた場合には、真空室内の汚染防止
に効果はあるが、無効蒸着物の回収ができないため、蒸
発材料のコストがかかるという問題があった。
た連続真空蒸着装置によれば、るつぼの周りに遮蔽板が
設けられているが、蒸発材料が亜鉛や錫など低融点の材
料の場合には問題ないが、ニッケル，チタンまたは銅な
どの高融点の材料の場合には溶融滴下しないで遮蔽板に
付着し、これが進行して遮蔽板は大重量となり支持構造
物の強度上問題となる。さらには付着材料の固まりが剥
がれてるつぼに落下するなどの問題があった。また、加
熱ヒータを設けたパネルを使用する場合には、無効蒸着
物を再溶解するためのヒータの電力が必要となり、コス
ト増の原因となる。しかも、無効蒸着物が遮蔽板ｅ上で
溶融していない場合には、無効蒸着物の回収に時間がか
かり、回収効率も悪いという問題がある。真空室の壁の
内面にフィルムを巻いた場合には、真空室内の汚染防止
に効果はあるが、無効蒸着物の回収ができないため、蒸
発材料のコストがかかるという問題があった。
【０００７】本発明は、上記のような問題点を解決する
ために創案されたものである。すなわち、本発明は、蒸
発材料をシート状にし、基板の側方に放散される無効蒸
発物を、るつぼへ送給する蒸発材料シートの内面に付着
させて回収するとともに、その無効蒸発物と一体になっ
た蒸発材料をるつぼへもどすことにより、無効蒸発物回
収コストの低減を図ることができ、生産性の向上に役立
つ連続真空蒸着装置を提供することを目的とするもので
ある。
ために創案されたものである。すなわち、本発明は、蒸
発材料をシート状にし、基板の側方に放散される無効蒸
発物を、るつぼへ送給する蒸発材料シートの内面に付着
させて回収するとともに、その無効蒸発物と一体になっ
た蒸発材料をるつぼへもどすことにより、無効蒸発物回
収コストの低減を図ることができ、生産性の向上に役立
つ連続真空蒸着装置を提供することを目的とするもので
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、連続して走行する帯状の基板と、
溶解した蒸発材料を収容するるつぼと、該るつぼに蒸発
材料を供給する蒸発材料供給装置と、前記基板およびる
つぼを内蔵し真空に排気された真空室とを備え、るつぼ
内の蒸発材料を加熱蒸発させて蒸発した蒸発材料を基板
の表面に蒸着させる連続真空蒸着装置において、前記蒸
発材料供給装置は、蒸発材料がシート状に形成されてい
て、該シートを基板の側方からるつぼの側方に向かって
懸架して下端からるつぼ内に送給されるように構成し、
基板の側方に放散される無効蒸着物を前記シートに付着
させて回収するようにしたことを特徴とする連続真空蒸
着装置が提供される。
め、本発明によれば、連続して走行する帯状の基板と、
溶解した蒸発材料を収容するるつぼと、該るつぼに蒸発
材料を供給する蒸発材料供給装置と、前記基板およびる
つぼを内蔵し真空に排気された真空室とを備え、るつぼ
内の蒸発材料を加熱蒸発させて蒸発した蒸発材料を基板
の表面に蒸着させる連続真空蒸着装置において、前記蒸
発材料供給装置は、蒸発材料がシート状に形成されてい
て、該シートを基板の側方からるつぼの側方に向かって
懸架して下端からるつぼ内に送給されるように構成し、
基板の側方に放散される無効蒸着物を前記シートに付着
させて回収するようにしたことを特徴とする連続真空蒸
着装置が提供される。
【０００９】本発明の好ましい実施形態によれば、るつ
ぼは、電子ビームによる加熱であり、電子ビームの経路
を除く３方に蒸発材料シートを懸架してなる。
ぼは、電子ビームによる加熱であり、電子ビームの経路
を除く３方に蒸発材料シートを懸架してなる。
【００１０】また、本発明の好ましい他の実施形態によ
れば、るつぼが電気抵抗による加熱であり、蒸発材料シ
ートをるつぼの周り４方に懸架してなる。
れば、るつぼが電気抵抗による加熱であり、蒸発材料シ
ートをるつぼの周り４方に懸架してなる。
【００１１】上記本発明の構成によれば、蒸発材料をシ
ート状に形成し、この蒸発材料シートを基板の側方から
るつぼの側方に向かって懸架して下端からつぼ内に送給
されるようにして、基板の側方に放散される無効蒸着物
を蒸発材料シートに付着させて回収するようにしたの
で、蒸発材料を無効蒸着物付着防止板として使用するこ
とができ、かつ、基板以外への蒸発材料の付着を防止す
ることができる。また、無効蒸着物の回収を、るつぼへ
の蒸発材料の供給と合わせて同時に連続して行うことが
できる。
ート状に形成し、この蒸発材料シートを基板の側方から
るつぼの側方に向かって懸架して下端からつぼ内に送給
されるようにして、基板の側方に放散される無効蒸着物
を蒸発材料シートに付着させて回収するようにしたの
で、蒸発材料を無効蒸着物付着防止板として使用するこ
とができ、かつ、基板以外への蒸発材料の付着を防止す
ることができる。また、無効蒸着物の回収を、るつぼへ
の蒸発材料の供給と合わせて同時に連続して行うことが
できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図面に基づいて説明する。図１および図２は本発明
の一実施形態を示すものであり、図１は本発明による連
続真空蒸着装置の正面断面図、図２は側面断面図であ
る。
態を図面に基づいて説明する。図１および図２は本発明
の一実施形態を示すものであり、図１は本発明による連
続真空蒸着装置の正面断面図、図２は側面断面図であ
る。
【００１３】図１および図２において、１は連続して走
行する帯状の基板であり、２は溶解した蒸発材料を収容
するるつぼである。３は電子ビーム４を放射する電子銃
である。５はるつぼ２内に蒸発材料供給装置９により供
給され、電子ビーム３の放射により加熱されて蒸発する
蒸発材料である。この蒸発材料５には、例えば、アルミ
ニウム（Ａｌ）やアルミマンガンが使用される。６は前
記基板１およびるつぼ２を内蔵し、図示しない排気装置
により１０-3〜１０-5Ｔｏｒｒに真空排気された真空室
である。７はシート状の蒸発材料で、溶解する以前は巻
き取られてロール７ａ状を形成しており、ロール支持部
材１１により回転可能に支持されている。蒸発材料シー
ト７は、蒸発材料供給装置９により、ロール７ａから引
き出され、基板１の側方に設けられた中間ローラ８ａを
介してるつぼ２の側方に向かって懸架され、その下端は
るつぼ２の縁上に支持されていて下端からつぼ２内に送
給されるように構成されている。蒸発材料供給装置９
は、２本のローラ８，９ａおよびローラ回転駆動装置
（図示せず）などから構成されている。この２本のロー
ラ８，９ａにより蒸発材料シート７を挟持し、ローラ９
ａを回転駆動して蒸発材料シート７を引き出す。１０は
蒸発材料７の内面に付着した無効蒸着物である。１２は
ローラ８を覆うように配設したローラ保護板である。な
お、７Ａは図１に示するつぼ２の右側に懸架した蒸発材
料シート、７Ｂは図１に示するつぼ２の左側に懸架した
蒸発材料シート、７Ｃは図２に示するつぼ２の右側（基
板１の進行方向の手前側）に懸架した蒸発材料シートで
あり、これらの蒸発材料シート７Ａ，７Ｂ，７Ｃにより
電子ビーム３を設けた側を除く３方を囲むようにしてい
る。なお、１３はるつぼ２の支持台である。
行する帯状の基板であり、２は溶解した蒸発材料を収容
するるつぼである。３は電子ビーム４を放射する電子銃
である。５はるつぼ２内に蒸発材料供給装置９により供
給され、電子ビーム３の放射により加熱されて蒸発する
蒸発材料である。この蒸発材料５には、例えば、アルミ
ニウム（Ａｌ）やアルミマンガンが使用される。６は前
記基板１およびるつぼ２を内蔵し、図示しない排気装置
により１０-3〜１０-5Ｔｏｒｒに真空排気された真空室
である。７はシート状の蒸発材料で、溶解する以前は巻
き取られてロール７ａ状を形成しており、ロール支持部
材１１により回転可能に支持されている。蒸発材料シー
ト７は、蒸発材料供給装置９により、ロール７ａから引
き出され、基板１の側方に設けられた中間ローラ８ａを
介してるつぼ２の側方に向かって懸架され、その下端は
るつぼ２の縁上に支持されていて下端からつぼ２内に送
給されるように構成されている。蒸発材料供給装置９
は、２本のローラ８，９ａおよびローラ回転駆動装置
（図示せず）などから構成されている。この２本のロー
ラ８，９ａにより蒸発材料シート７を挟持し、ローラ９
ａを回転駆動して蒸発材料シート７を引き出す。１０は
蒸発材料７の内面に付着した無効蒸着物である。１２は
ローラ８を覆うように配設したローラ保護板である。な
お、７Ａは図１に示するつぼ２の右側に懸架した蒸発材
料シート、７Ｂは図１に示するつぼ２の左側に懸架した
蒸発材料シート、７Ｃは図２に示するつぼ２の右側（基
板１の進行方向の手前側）に懸架した蒸発材料シートで
あり、これらの蒸発材料シート７Ａ，７Ｂ，７Ｃにより
電子ビーム３を設けた側を除く３方を囲むようにしてい
る。なお、１３はるつぼ２の支持台である。
【００１４】次に本実施形態の作用について説明する。
蒸発材料供給装置９により蒸発材料シート７をるつぼ２
内に送給し、電子ビーム３の放射により加熱して蒸発さ
せ、帯状の基板１を連続走行させて蒸発材料５を基板１
の表面に蒸着させて皮膜を作る。連続真空蒸着作業中に
発生する無効蒸着物１０を、電子ビーム３の経路を除く
３方からるつぼ２の周りを囲むように配設した蒸発材料
シート７に無効蒸着物１０を付着させ、るつぼ２への蒸
発材料シート７と一体にして送給することにより回収す
る。無効蒸着物１０が付着した蒸発材料シート７をるつ
ぼ２へ送給すると、るつぼ２の周りは新しく引き出され
た蒸発材料シート７によって囲まれる。このようにし
て、無効蒸着物１０が付着した蒸発材料シート７を、連
続的または間欠的につぼ２へ送給しながら連続真空蒸着
作業が行われる。このように、無効蒸着物１０は、蒸発
材料シート７に付着して一体となってるつぼ２へ送給さ
れるので、無効蒸着物１０の効率的な回収を行うことが
でき、蒸発材料５のコストの低減が図れる。また、真空
室６内の無効蒸着物１０による汚染を最小限に抑えるこ
とができ、メンテナンスコストの低減も図れる。
蒸発材料供給装置９により蒸発材料シート７をるつぼ２
内に送給し、電子ビーム３の放射により加熱して蒸発さ
せ、帯状の基板１を連続走行させて蒸発材料５を基板１
の表面に蒸着させて皮膜を作る。連続真空蒸着作業中に
発生する無効蒸着物１０を、電子ビーム３の経路を除く
３方からるつぼ２の周りを囲むように配設した蒸発材料
シート７に無効蒸着物１０を付着させ、るつぼ２への蒸
発材料シート７と一体にして送給することにより回収す
る。無効蒸着物１０が付着した蒸発材料シート７をるつ
ぼ２へ送給すると、るつぼ２の周りは新しく引き出され
た蒸発材料シート７によって囲まれる。このようにし
て、無効蒸着物１０が付着した蒸発材料シート７を、連
続的または間欠的につぼ２へ送給しながら連続真空蒸着
作業が行われる。このように、無効蒸着物１０は、蒸発
材料シート７に付着して一体となってるつぼ２へ送給さ
れるので、無効蒸着物１０の効率的な回収を行うことが
でき、蒸発材料５のコストの低減が図れる。また、真空
室６内の無効蒸着物１０による汚染を最小限に抑えるこ
とができ、メンテナンスコストの低減も図れる。
【００１５】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のではなく、例えば、蒸発材料供給装置を真空室内に設
けず、真空室の外に設けてもよい。また、るつぼの加熱
を電気抵抗により行う場合には、ビームの経路を空けて
おく必要がないので、るつぼの周りを４方向から囲むよ
うに蒸発材料シートを懸架してもよい。このように、本
発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であ
る。
のではなく、例えば、蒸発材料供給装置を真空室内に設
けず、真空室の外に設けてもよい。また、るつぼの加熱
を電気抵抗により行う場合には、ビームの経路を空けて
おく必要がないので、るつぼの周りを４方向から囲むよ
うに蒸発材料シートを懸架してもよい。このように、本
発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であ
る。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、蒸
発材料をシート状に形成し、蒸発材料シートを基板の側
方からるつぼの側方に向かって懸架して蒸発材料シート
に無効蒸着物を付着させ、無効蒸着物と一体になった蒸
発材料シートを下端からるつぼ内に送給するので、無効
蒸着物の効率的な回収を行うことができ、蒸発材料のコ
ストの低減が図れる。また、真空室内の無効蒸着物によ
る汚染を最小限に抑えることができるとともに、メンテ
ナンスコストの低減も図ることができ、生産性の向上に
役立つなど優れた効果を奏する。
発材料をシート状に形成し、蒸発材料シートを基板の側
方からるつぼの側方に向かって懸架して蒸発材料シート
に無効蒸着物を付着させ、無効蒸着物と一体になった蒸
発材料シートを下端からるつぼ内に送給するので、無効
蒸着物の効率的な回収を行うことができ、蒸発材料のコ
ストの低減が図れる。また、真空室内の無効蒸着物によ
る汚染を最小限に抑えることができるとともに、メンテ
ナンスコストの低減も図ることができ、生産性の向上に
役立つなど優れた効果を奏する。
【図１】本発明の連続真空蒸着装置の一実施形態を示し
た正面断面図である。
た正面断面図である。
【図２】図１の側面断面図である。
【図３】従来の連続真空蒸着装置を示した全体構成図で
ある。
ある。
１ 基板 ２ るつぼ ３ 電子銃 ４ 電子ビーム ５ 蒸発材料 ６ 真空室 ７ 蒸発材料シート ７ａ ロール ８，８ａ，９ａ ローラ ９ 蒸発材料供給装置 １０ 無効蒸着物 １１ 蒸発材料支持部材 １２ ローラ保護部材 １３ るつぼ支持台 ａ 基板 ｂ るつぼ ｃ 電子銃 ｄ 電子ビーム ｅ 遮蔽板 ｆ 加熱器 ｇ 蒸発材料 ｈ 真空室 ｉ 無効蒸着物の拡散範囲 ｋ 無効蒸着物
Claims (3)
- 【請求項１】 連続して走行する帯状の基板と、溶解し
た蒸発材料を収容するるつぼと、該るつぼに蒸発材料を
供給する蒸発材料供給装置と、前記基板およびるつぼを
内蔵し真空に排気された真空室とを備え、るつぼ内の蒸
発材料を加熱蒸発させて蒸発した蒸発材料を基板の表面
に蒸着させる連続真空蒸着装置において、前記蒸発材料
供給装置は、蒸発材料がシート状に形成されていて、該
シートを基板の側方からるつぼの側方に向かって懸架し
て下端からるつぼ内に送給されるように構成し、基板の
側方に放散される無効蒸着物を前記シートに付着させて
回収するようにしたことを特徴とする連続真空蒸着装
置。 - 【請求項２】 るつぼは、電子ビームによる加熱であ
り、電子ビームの経路を除く３方に蒸発材料シートを懸
架してなる請求項１記載の連続真空蒸着装置。 - 【請求項３】 るつぼが電気抵抗による加熱であり、蒸
発材料シートをるつぼの周り４方に懸架してなる請求項
１記載の連続真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34741496A JPH10183346A (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 連続真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34741496A JPH10183346A (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 連続真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10183346A true JPH10183346A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18390068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34741496A Pending JPH10183346A (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 連続真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10183346A (ja) |
-
1996
- 1996-12-26 JP JP34741496A patent/JPH10183346A/ja active Pending
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