JPH10239148A

JPH10239148A - 振動測定装置

Info

Publication number: JPH10239148A
Application number: JP9045950A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Suzuki; 宏美鈴木
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1997-02-28
Filing date: 1997-02-28
Publication date: 1998-09-11

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、被測定体を容易に測定エリアに合わ
せて正確な測定ができ、測定の信頼性を向上させる。【解決手段】投光光学系からレーザ光Ｑを所定の焦点位
置Ｓに集光し、被測定体４を透過した光量変化を受光光
学系により検出し、この光量変化に基づいて被測定体４
の少なくとも振動を求める場合、投光光学系及び受光光
学系を組み込んだ筐体１をレーザ光Ｑの焦点位置Ｓを中
心として回転させる回転機構４０を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を用いて
非接触で被測定体の変位量、振動量を測定する透過型レ
ーザ式の振動測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかる非接触振動測定の技術としては、
例えば被測定体にレーザ光を照射したときのレーザ光の
反射光の移動量をポジションセンサで測定するレーザ変
位計を用いる第１の方式の他、レーザ光を被測定体に照
射したときのレーザ光の出射光と反射光との周波数ずれ
から被測定体の速度を測定し、その値を積分して変位量
を測定するレーザドップラ振動計を用いる第２の方式、
レーザ光を被測定体に照射したときのレーザ光の出射光
と反射光とを干渉させその干渉縞の移動量から変位を測
定するフリンジスキャン法を用いた第３の方式がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レーザ
変位計を用いる第１の方式では、被測定体が平面の場合
は正確に測定できるが、被測定体が曲率を持っている場
合、この曲率によってレーザ光の反射方向が変化してし
まい正確に測定できない。

【０００４】又、被測定体の表面状態で反射光量と反射
光のレーザビーム形状とが異なるので、測定値の信頼性
が低下する。さらに、この方式では、三角測量で変位量
を測定するので、レーザ光の投光器と、被測定体と、受
光器との相対関係が変化した場合、測定値が変化してし
まい、再現性のある測定を行う場合、これら投光器、被
測定体及び受光器の高精度な位置合わせが必要となる。

【０００５】レーザドップラ振動計を用いる第２の方式
では、測定できる被測定体の変位は、レーザ光の出射方
向と、被測定体からの反射レーザ光と、被測定体の変位
方向とが同じ方向の場合でしか測定できず、かつ被測定
体がレーザ光の進行方向に対して垂直方向に移動する場
合では変位は測定できない。

【０００６】又、この方式では、上記第１の方式と同様
に、反射レーザ光を測定するので、曲率の大きな被測定
体に対する測定の場合、レーザ光の出射方向に対して大
きく傾いている場合、被測定体の表面の反射率が低い場
合などでは測定できない。

【０００７】さらに、この方式では、被測定体の速度を
積分し変位を測定するので、応答速度が遅く、周波数の
高い変位は測定できない。フリンジスキャン法を用いた
第３の方式では、被測定体の変位量が大きいと干渉縞の
移動量が大きくなりすぎて測定が困難となり、このため
に測定できる変位量が制限される。

【０００８】又、この方式では、被測定体の表面状態や
形状によって、干渉縞の分布やコントラストが異なるた
めに、測定値の信頼性が低下する。そこで本発明は、被
測定体を容易に測定エリアに合わせて正確な測定がで
き、測定の信頼性を向上できる振動測定装置を提供する
ことを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１によれば、測定
用光を所定の焦点位置に集光し、この焦点位置に配置さ
れた被測定体を透過した光量変化を検出し、かつ測定用
光の焦点位置に光を集光してその反射光量に基づいて測
定用光の焦点位置に被測定体が配置されていることを検
出する光学系と、被測定体を透過した光量変化に基づい
て被測定体の少なくとも振動を求める処理手段とを備え
た振動測定装置において、少なくとも光学系を収納する
筐体と、この筐体を測定用光の焦点位置を中心として回
転させる回転機構と、を具備した振動測定装置である。

【００１０】請求項２によれば、請求項１記載の振動測
定装置において、光学系は、測定用光を集光する投光光
学系と、この投光光学系の焦点位置に光を集光してその
反射光の光量に基づいて投光光学系の焦点位置に被測定
体が配置されていることを検出する位置出し光学系と、
投光光学系から投光された光を受光する受光光学系とを
備え、かつ回転機構は、少なくとも投光光学系と受光光
学系とを一体的に測定用光の焦点位置を中心として回転
させる機能を有する。請求項３によれば、請求項１記載
の振動測定装置において、回転機構及び筐体を一体的に
ＸＹＺ方向に移動させるＸＹＺ移動機構を備えている。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図１乃至図４はワイヤボ
ンダ評価用の透過型レーザ式振動測定装置の構成図であ
って、図１は外観構成図、図２は上方Ａ方向から見た光
学系の構成図、図３は側面Ｂ方向から見た光学系の構成
図、図４は上方Ａ方向から見た回転機構の構成図であ
る。

【００１２】筐体１の外部には、図２に示すようにレー
ザ電源２が備えられ、半導体レーザ３から出力されるレ
ーザ光の光出力を制御するものとなっている。このレー
ザ電源２としては、半導体レーザ３に流れる電流量を制
御する電流制御型電源と、半導体レーザ３に組み込まれ
たピンフォトダイオードの出力から半導体レーザ３の光
量を制御する光出力制御型電源と、半導体レーザ３の温
度を一定以内に制御する温度制御型電源とがあり、いず
れの電源を用いることができるが、ここでは光出力制御
型電源を用いる。

【００１３】半導体レーザ３としては、波長６７０ｎｍ
の可視光のレーザ光を出力するものを用いるが、この半
導体レーザ３に代わって赤外波、可視光波長のいずれの
光源も用いることができる。

【００１４】この半導体レーザ３から出力されるレーザ
光Ｑは、被測定体４、例えばワイヤボンダのキャピラリ
の振動する方向（イ）の偏光方向を持ち、かつビーム断
面強度がガウシアン分布になっている。

【００１５】なお、ワイヤボンダは、超音波発振器１０
０に発生する電圧及び電流を超音波振動子１０１に供給
して超音波振動させ、この超音波振動をホーン１０２の
先端部のキャピラリ４に伝達して、このキャピラリ４全
体を揺動させる。このキャピラリ４には、ボンディング
ワイヤが通っているので、キャピラリ４の揺動によりボ
ンディングが行われるようになっている。

【００１６】この半導体レーザ３から出力されるレーザ
光Ｑの光路上には、レーザ光Ｑを所定の位置で、所定の
スポット形状を持つように集光して被測定体４に投光す
る投光光学系１０が設けられている。

【００１７】この投光光学系１０について詳述すると、
図２に示すようにレーザ光Ｑの光路上には、コリメータ
レンズ１１、ハーフミラー１２、ピンホール１３、集光
レンズ１４、第１のプリズム１５が配置され、この第１
のプリズム１５の反射光路上に第２のプリズム１６、さ
らに第２のプリズム１６の反射光路上に第３のプリズム
１７が配置されている。

【００１８】コリメータレンズ１１は、半導体レーザ３
から出力されたレーザ光Ｑのビームを平行光に変換する
ものであり、ハーフミラー１２は、レーザ光Ｑをピンホ
ール１３側と後述する位置出し光学系２０とに分岐する
光学作用を持っている。

【００１９】ピンホール１３は、半径Ｗ_o のピンホール
孔が形成され、レーザ光Ｑのレーザビーム径をビーム半
径Ｗ_o に変換するものである。集光レンズ１４は、焦点
距離ｆを有するもので、平行光のレーザ光Ｑを焦点位置
Ｓに集光する光学作用を持っている。

【００２０】第１乃至第３のプリズム１５〜１７は、集
光レンズ１４により集光されるレーザ光Ｑの光路を変換
するもので、レーザ光Ｑの光路を、第１のプリズム１５
によりＸ方向に変換し、次に図１に示すように第２のプ
リズム１６により負のＺ方向に変換し、次に第３のプリ
ズム１７によりＹ方向に変換して被測定体４に向けて出
射するものとなっている。

【００２１】このように集光されるレーザ光Ｑの焦点位
置Ｓにおけるスポット径Ｗは、半導体レーザ３から出力
されるレーザ光Ｑの波長をλ、ピンホール孔の半径Ｗ
_o 、集光レンズ１４の焦点距離ｆ、ピンホール１３と集
光レンズ１４との第１主平面までの距離Ｚ₁ によって次
式により決められる。

【００２２】

【数１】

【００２３】ここで、ａ＝π^*Ｗ_o ^*Ｗ_o ／λ 又、集光レンズ１４の第２主平面と焦点位置Ｓまでの距
離Ｚ₂ は、次式により決められる。

【００２４】Ｚ₂ ＝ｆ−（Ｗ₂ ／Ｗ_o ）^*（Ｗ₂ ／Ｗ_o ）^*（ｆ＋Ｚ₁ ） …(2) 上記位置出し光学系２０は、図２に示すように投光光学
系１０の焦点位置Ｓにレーザ光Ｑ_i を集光してその反射
光の光量に基づいて投光光学系１０の焦点位置Ｓに被測
定体４が配置されていることを検出する機能を有してい
る。

【００２５】具体的に位置出し光学系２０は、ハーフミ
ラー１２で分岐されたレーザ光Ｑ_iを集光する集光レン
ズ２１と、この集光レンズ２１により集光されたレーザ
光Ｑ_i を投光光学系１０の焦点位置Ｓと同一位置、又は
図５に示すように焦点位置Ｓの軸上の位置だし光焦点Ｓ
_i に向かって光路を変換するミラー２２とから構成され
ている。

【００２６】図３にはかかるミラー２２の配置角度を示
しており、レーザ光Ｑ_i は、投光光学系１０から出射さ
れるレーザ光Ｑの光軸に対して垂直方向で、かつ焦点位
置Ｓと同一位置、又は位置だし光焦点Ｓ_i に向かって、
例えば斜め上方の角度θ、例えば斜め上方の４０度の方
向から照射するものとなっている。

【００２７】なお、被測定体４の位置出しを行うには、
位置出し光学系２０から出力されたレーザ光Ｑ_i が被測
定体に照射されたのを目視で確認すればよいが、これに
限らず、被測定体４の位置出しを行うために、被測定体
４にレーザ光Ｑ_i を照射したときの反射光を受光し、こ
の受光量を例えばオシロスコープなどの表示装置２３に
表示する位置出し演算回路２４を設けてもよい。

【００２８】一方、受光光学系３０は、図２に示すよう
に投光光学系１０から投光され、被測定体４で遮光され
なかったレーザ光Ｑ_t を受光するもので、レーザ光Ｑ_t
の光路を変換するための第４〜第６のプリズム３１〜３
３が配置されている。

【００２９】このうち第４のプリズム３１は、図１に示
すように第３のプリズム１７の対向位置に配置され、レ
ーザ光Ｑ_t の光路を正のＺ方向に変換し、次の第５のプ
リズム３２は負のＸ方向に変換し、次の第６のプリズム
３３は負のＹ方向に変換するように配置されている。

【００３０】又、第５と第６のプリズムとの間には、図
２に示すように集光レンズ３４が配置されている。この
集光レンズ３４は、レーザ光Ｑ_t を所定の焦点位置に集
光するものである。

【００３１】そして、第６のプリズム３３の反射光路上
には、カラーフィルタ３５、ピンフォトダイオード３６
が配置されている。カラーフィルタ３５は、ピンフォト
ダイオード３６にレーザＱ_t 以外の外乱光が入射しない
ように、レーザＱ_t の波長λを選択的に透過させるため
に組み込まれている。

【００３２】ピンフォトダイオード３６は、受光面を集
光レンズ３４の焦点位置に合わせて配置されるもので、
レーザＱ_t を受光してその光量に応じた光電電流に変換
出力する機能を有している。

【００３３】このピンフォトダイオード３６の出力端子
には、ピンフォトダイオード３６の光電電流を電圧に変
換する電流電圧変換アンプ３７と、この電流電圧変換ア
ンプ３７の出力電圧に所定の処理を施して電圧を増幅す
る増幅アンプ３８とを介して図１に示す演算回路３９が
接続されている。

【００３４】ここで、被測定体４の形状が複雑な場合、
被測定体４を既知な距離だけ移動させたときの例えば増
幅アンプ３８の直流出力を測定し、この増幅アンプ３８
のゲインを調整することにより、被測定体４の形状によ
るレーザ光Ｑの透過光量変化を校正することができ、被
測定体４の形状に依存しない振動測定ができるものとな
る。

【００３５】なお、被測定体４が不透明体であれば、レ
ーザ光Ｑの透過光量は、被測定体４の表面状態に依存し
ない。この演算回路３９は、ピンフォトダイオード３６
から出力され、電流電圧変換アンプ３７及び増幅アンプ
３８により処理の施された信号を入力し、この信号を直
流成分と交流成分とに分離し、このうち直流成分から被
測定体４の変位を求め、かつ交流成分から被測定体４の
振動振幅を求める機能を有している。

【００３６】このように筐体１には、投光光学系１０、
位置出し光学系２０及び受光光学系３０が組み込まれて
いる。この筐体１は、回転機構４０の作動によってレー
ザ光Ｑの焦点位置Ｓを中心として矢印（ロ）方向に回転
するものとなっている。

【００３７】この回転機構４０は、図４に示すように半
円形状の固定板４１を備え、この固定板４１に対して筐
体１がレーザ光Ｑの焦点位置Ｓを中心として矢印（ロ）
方向に回転自在に設けられている。

【００３８】この固定板４１には、調整ねじ４２が設け
られ、この調整ねじ４２の先端部にラックが形成されて
いる。この調整ねじ４２のラックは、筐体１に設けられ
たピニオン４３に対して螺合している。なお、この調整
ねじ４２は、ラックピニオン方式の機構に限らず、他の
方式の機構にしてもよい。

【００３９】従って、この調整ねじ４２を操作すること
により、筐体１がレーザ光Ｑの焦点位置Ｓを中心として
矢印（ロ）方向に回転する。又、固定板４１の２箇所に
は、ロックねじ４４、４５が設けられている。そして、
筐体１側には、固定板４１の湾曲面に対して接触する各
ローラ４６、４７が回転自在に設けられている。

【００４０】この固定板４１には、支持板４８を介して
ＸＹＺステージ４９が設けられている。このＸＹＺステ
ージ４９は、支持板４８を介して回転機構４０及び筐体
１を一体的にＸＹＺ方向に移動する機能を有している。

【００４１】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。被測定体４として例えばワイヤボンダの
キャピラリの振動を測定するには、この被測定体４が投
光光学系１０の焦点位置Ｓの位置に合うように、測定装
置全体の位置合わせが行われる。

【００４２】位置出し光学系２０は、図２に示すように
半導体レーザ３から出力され、コリメータレンズ１１で
平行光に変換され、ハーフミラー１２で分岐されたレー
ザ光Ｑ_i を入射し、このレーザ光Ｑ_i を集光レンズ２１
により投光光学系１０の焦点位置Ｓと同一位置、又は図
５に示す焦点位置Ｓの軸上の位置だし光焦点Ｓ_i に集光
する。

【００４３】このとき、集光レンズ２１により集光され
たレーザ光Ｑ_i は、ミラー２２によって投光光学系１０
の焦点位置Ｓと同一位置、又は位置だし光焦点Ｓ_i に光
路が変換され、これら焦点位置Ｓと同一位置又は位置だ
し光焦点Ｓ_i に向かって、例えば斜め上方の角度θ、例
えば図３に示すように斜め上方の４０度の方向から照射
される。

【００４４】被測定体４を、振動の測定点となる投光光
学系１０の焦点位置Ｓと同一位置、又は位置だし光焦点
Ｓ_i に位置合わせするには、位置出し光学系２０から出
射されたレーザ光Ｑ_i が被測定体４に照射するように、
回転機構４０及びＸＹＺステージ４９を作動させればよ
い。

【００４５】すなわち、ＸＹＺステージ４９を作動させ
て筐体１に組み込まれている投光光学系１０と受光光学
系３０とを一体的にＸＹＺ方向に移動し、かつ図４に示
すように回転機構４０を回転動作させて投光光学系１０
と受光光学系３０とを一体的に投光光学系１０の焦点位
置Ｓを中心として矢印（ロ）方向に回転させ、被測定体
４を投光光学系１０の焦点位置Ｓと同一位置に位置合わ
せする。

【００４６】なお、被測定体４の位置合わせの確認は、
位置出し光学系２０から出力されたレーザ光Ｑ_i が被測
定体４に照射されたのを確認すればよい。又は被測定体
４にレーザ光Ｑ_i を照射したときの反射光を受光し、こ
の受光量を例えばオシロスコープなどの表示装置２３に
表示することによって確認するようにしてもよい。

【００４７】ところで、被測定体４が移動しながら振動
している場合、透過式振動計の場合、被測定体４の移動
方向は、投光光学系１０から出射されるレーザ光Ｑの光
軸と平行でなければならない。もし、これら被測定体４
の移動方向と投光光学系１０の光軸とが傾いていると、
被測定体４がレーザ光Ｑから外れてしまい、振動測定が
できなくなる。

【００４８】ここで、通常の回転ステージにおいて、そ
の回転軸がステージ中心にある場合は、振動の測定点が
この回転軸上にない。このため、投光光学系１０の光軸
と被測定体４の移動方向の傾きを調整するために回転ス
テージを調整すると、投光光学系１０の光軸が平行移動
してしまい、被測定体４が光軸から外れてしまう。この
ような通常の回転ステージの機構では、傾きを調整する
とき、回転ステージとＸＹＺステージとの両方を調整し
なければならない。

【００４９】これに対して本発明装置では、回転機構４
０の回転中心を測定点である焦点位置Ｓに一致させてい
るので、一度、被測定体４を焦点位置Ｓに一致させれ
ば、回転機構４０を動作させて筐体１を回転させても、
被測定体４は焦点位置Ｓから外れることはない。

【００５０】従って、投光光学系１０の光軸と被測定体
４の移動方向の傾き調整は、回転機構４０の調整だけで
行える。すなわち、投光光学系１０と受光光学系３０と
は、被測定体４を挟む位置で、互いに対向して設置され
ているので、１台の回転機構４０でこれら投光光学系１
０と受光光学系３０との調整ができる。

【００５１】このように被測定体４の位置合わせが行わ
れた後、被測定体４の振動測定が行われる。半導体レー
ザ３からレーザ光Ｑが出力されると、このレーザ光Ｑ
は、コリメータレンズ１１によりビームが平行光に変換
され、次のハーフミラー１２を透過してピンホール１３
に入射する。

【００５２】このピンホール１３でレーザ光Ｑは、ビー
ム半径Ｗ_o のレーザビーム径に変換され、次の集光レン
ズ１４により焦点位置Ｓに集光される。そして、このレ
ーザ光Ｑは、第１乃至第３のプリズム１５〜１７により
それぞれ光路が変換され、被測定体４に照射される。

【００５３】この被測定体４にレーザ光Ｑが照射された
とき、この被測定体４で遮光されずに透過したレーザ光
Ｑ_t は、受光光学系３０の第４乃至第６のプリズム３１
〜３３でそれぞれ光路が変換され、カラーフィルタ３５
を透過してピンフォトダイオード３６に入射する。

【００５４】このピンフォトダイオード３６は、レーザ
Ｑ_t を受光してその光量に応じた光電電流に変換出力す
る。そして、このピンフォトダイオード３６の光電電流
は、電流電圧変換アンプ３７により電圧に変換され、次
の増幅アンプ３８により電圧増幅され、演算回路３９に
送られる。

【００５５】ここで、被測定体４の形状が複雑な場合
は、被測定体４を既知な距離だけ移動させたときの例え
ば増幅アンプ３８の直流出力を測定し、この増幅アンプ
３８のゲインを調整して、被測定体４の形状によるレー
ザ光Ｑの透過光量変化を校正する。

【００５６】演算回路３９は、増幅アンプ３８の増幅信
号を入力し、この信号を直流成分と交流成分とに分離
し、このうち直流成分から被測定体４の変位を求め、か
つ交流成分から被測定体４の振動振幅を求める。

【００５７】このように上記一実施の形態においては、
投光光学系１０からレーザ光Ｑを所定の焦点位置Ｓに集
光し、被測定体４を透過した光量変化を受光光学系３０
により検出し、この光量変化に基づいて被測定体４の少
なくとも振動を求める場合、投光光学系１０及び受光光
学系３０を組み込んだ筐体１をレーザ光Ｑの焦点位置Ｓ
を中心として回転させる回転機構４０を設けたので、被
測定体４を容易に測定エリアであるレーザ光Ｑの焦点位
置Ｓに合わせて正確な測定ができ、振動測定の信頼性を
向上できる。

【００５８】そして、回転機構４０及びその調整ねじ４
２の操作による調整時に、投光光学系１０と受光光学系
３０とを互いに位置関係を崩すことなく一体的に動くこ
とにより、測定装置本体と被測定体４との位置の調整が
容易にできる。

【００５９】又、回転機構４０の回転中心とレーザ光Ｑ
の焦点位置Ｓとを一致させているので、レーザ光Ｑの光
軸を回転機構４０により回転させるとき、被測定体４と
レーザ光Ｑの焦点位置Ｓとが移動しないので、レーザ光
Ｑの光軸と被測定体４の移動方向との位置合わせが容易
にできる。

【００６０】被測定体４の形状が複雑な場合は、被測定
体４を既知な距離だけ移動させたときの例えば増幅アン
プ３８の直流出力を測定し、この増幅アンプ３８のゲイ
ンを調整することにより、被測定体４の形状によるレー
ザ光Ｑの透過光量変化を校正できる。

【００６１】そのうえ、被測定体４で遮光されなかった
レーザ光Ｑ_i の光量を測定すること、又被測定体４の形
状に合わせて例えば増幅アンプ３８のゲインを調整する
ことにより、被測定体４の表面状態、色、形状に依存し
ない振動測定ができる。

【００６２】さらに、受光光学系３０においてピンホー
ル径を変えるようにすれば、被測定体４の移動量に合わ
せた焦点深度を持たせることで、被測定体４が静止した
状態ではなく、レーザ光Ｑの光軸方向に移動している状
態でも、正確に振動量を測定できるものである。

【００６３】又、被測定体４で測定スポット径を遮光し
ていく場合、被測定体４の変位量と光量変化は非線形で
ある。光量変化の直流信号を測定し、このデータを元に
交流信号のデータを補正することで、変位量と光量変化
の非線型性を補正し、直線性を向上できる。

【００６４】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく次の通り変形してもよい。例えば、ワ
イヤボンダのキャピラリの振動測定に適用した場合につ
いて説明したが、これに限らず、振動する被測定体の全
てについて適用できる。

【００６５】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、被
測定体を容易に測定エリアに合わせて正確な測定がで
き、測定の信頼性を向上できる振動測定装置を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる透過型レーザ式振動測定装置の
一実施の形態を示す外観図。

【図２】同装置を上方Ａ方向から見た光学系の構成図。

【図３】同装置を側面Ｂ方向から見た光学系の構成図。

【図４】同装置を上方Ａ方向から見た回転機構の構成
図。

【図５】位置出し光学系の位置だし光焦点を示す模式
図。

【符号の説明】

１…筐体、３…半導体レーザ、４…被測定体（キャピラリ）、１０…投光光学系、２０…位置出し光学系、３０…受光光学系、３６…ピンフォトダイオード、３９…演算回路、４０…回転機構、４１…固定板、４２…調整ねじ、４８…支持板、４９…ＸＹＺステージ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定用光を所定の焦点位置に集光し、こ
の焦点位置に配置された被測定体を透過した光量変化を
検出し、かつ前記測定用光の焦点位置に光を集光してそ
の反射光量に基づいて前記測定用光の焦点位置に被測定
体が配置されていることを検出する光学系と、前記被測
定体を透過した光量変化に基づいて前記被測定体の少な
くとも振動を求める処理手段とを備えた振動測定装置に
おいて、少なくとも前記光学系を収納する筐体と、この筐体を前記測定用光の焦点位置を中心として回転さ
せる回転機構と、を具備したことを特徴とする振動測定
装置。
【請求項２】前記光学系は、測定用光を集光する投光
光学系と、この投光光学系の焦点位置に光を集光してそ
の反射光の光量に基づいて前記投光光学系の焦点位置に
被測定体が配置されていることを検出する位置出し光学
系と、前記投光光学系から投光された光を受光する受光
光学系とを備え、かつ前記回転機構は、少なくとも前記投光光学系と前記
受光光学系とを一体的に前記測定用光の焦点位置を中心
として回転させる機能を有することを特徴とする請求項
１記載の振動測定装置。
【請求項３】前記回転機構及び前記筐体を一体的にＸ
ＹＺ方向に移動させるＸＹＺ移動機構を備えたことを特
徴とする請求項１記載の振動測定装置。