JPH10240558A - データ処理装置の制御方法、データ処理装置、電子線描画装置 - Google Patents
データ処理装置の制御方法、データ処理装置、電子線描画装置Info
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- JPH10240558A JPH10240558A JP9038744A JP3874497A JPH10240558A JP H10240558 A JPH10240558 A JP H10240558A JP 9038744 A JP9038744 A JP 9038744A JP 3874497 A JP3874497 A JP 3874497A JP H10240558 A JPH10240558 A JP H10240558A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 スルーモード機能を設けることにより、必要
最小限のハードウェアと簡単な処理で、障害発生時の障
害解析を容易に行えるのデータ処理装置を提供する。 【解決手段】 従属接続された２個以上の演算処理ユニ
ット（２７〜３０）を具備し、パイプライン演算方式で
データを処理するデータ処理装置（１１〜１４）におい
て、前記各演算処理ユニットは、前記各演算処理ユニッ
ト内で演算処理が施される演算対象データに対して演算
処理を施すことなく、前記演算対象データをそのまま出
力データとして前記各演算処理ユニットから出力させる
スルーモード設定手段を具備する。
最小限のハードウェアと簡単な処理で、障害発生時の障
害解析を容易に行えるのデータ処理装置を提供する。 【解決手段】 従属接続された２個以上の演算処理ユニ
ット（２７〜３０）を具備し、パイプライン演算方式で
データを処理するデータ処理装置（１１〜１４）におい
て、前記各演算処理ユニットは、前記各演算処理ユニッ
ト内で演算処理が施される演算対象データに対して演算
処理を施すことなく、前記演算対象データをそのまま出
力データとして前記各演算処理ユニットから出力させる
スルーモード設定手段を具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、データ処理装置に
係わり、特に、電子線（ＥＢ）描画装置に適用して有効
な技術に関する。
係わり、特に、電子線（ＥＢ）描画装置に適用して有効
な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、電子線（ＥＢ）描画装置の図形
分解処理等のために、多段パイプライン構成を主体とし
たデータ処理装置が使用される。この多段パイプライン
構成のデータ処理装置により実行される電子線（ＥＢ）
描画装置の図形分解パイプライン処理では、パイプライ
ンで分解処理を行うため、パイプラインの段数を重ねる
度に処理するデータ量が増大する。
分解処理等のために、多段パイプライン構成を主体とし
たデータ処理装置が使用される。この多段パイプライン
構成のデータ処理装置により実行される電子線（ＥＢ）
描画装置の図形分解パイプライン処理では、パイプライ
ンで分解処理を行うため、パイプラインの段数を重ねる
度に処理するデータ量が増大する。
【０００３】一方、この多段パイプライン構成のデータ
処理装置においては、何らかの障害が発生しデータ処理
が停止する場合があった。電子線（ＥＢ）描画装置の図
形分解パイプライン処理に使用される多段パイプライン
構成のデータ処理装置では、何らかの障害が発生した場
合にその障害の発生は検出可能であるが、電子線（Ｅ
Ｂ）描画装置の図形分解パイプライン処理では、パイプ
ラインの段数を重ねる度に処理するデータ量が増大する
ため、障害データそのものを確認することは難しかっ
た。
処理装置においては、何らかの障害が発生しデータ処理
が停止する場合があった。電子線（ＥＢ）描画装置の図
形分解パイプライン処理に使用される多段パイプライン
構成のデータ処理装置では、何らかの障害が発生した場
合にその障害の発生は検出可能であるが、電子線（Ｅ
Ｂ）描画装置の図形分解パイプライン処理では、パイプ
ラインの段数を重ねる度に処理するデータ量が増大する
ため、障害データそのものを確認することは難しかっ
た。
【０００４】そのため、従来、電子線（ＥＢ）描画装置
における図形分解パイプライン処理の障害解析において
は、（イ）パイプラインの入力データや途中結果をもと
にシミュレーション等により障害の原因を推定する方
法、（ロ）障害が発生した時点から再度データ処理を実
行し、処理結果をもとに障害の原因を推定する方法が採
用されている。
における図形分解パイプライン処理の障害解析において
は、（イ）パイプラインの入力データや途中結果をもと
にシミュレーション等により障害の原因を推定する方
法、（ロ）障害が発生した時点から再度データ処理を実
行し、処理結果をもとに障害の原因を推定する方法が採
用されている。
【０００５】なお、これらの技術については、例えば、
工業調査会発行，「電子材料」，１９９２年別冊号（ｐ
１０９〜１１４）に記載されている。
工業調査会発行，「電子材料」，１９９２年別冊号（ｐ
１０９〜１１４）に記載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記
（イ）の方法では、障害発生時の入力データ、あるい
は、処理の途中結果を得るために、各パイプラインの入
力段、あるいは、出力段に処理結果を格納するメモリを
設け、このメモリに格納されたデータを読み出す必要が
ある。このため、パイプラインの段数が増えると、メモ
リ量が増大し、ハードウェアの規模が増大し現実的でな
い。
（イ）の方法では、障害発生時の入力データ、あるい
は、処理の途中結果を得るために、各パイプラインの入
力段、あるいは、出力段に処理結果を格納するメモリを
設け、このメモリに格納されたデータを読み出す必要が
ある。このため、パイプラインの段数が増えると、メモ
リ量が増大し、ハードウェアの規模が増大し現実的でな
い。
【０００７】また、電子線（ＥＢ）描画装置における図
形分解パイプライン処理では、障害が発生した時点から
再度データ処理を実行すると、その障害データが後段の
パイプライン処理に影響を及ぼし、障害も増大する。こ
のため、前記（ロ）の方法では、本来の障害データはな
かなかパイプライン内を伝送されず、メモリ内に格納さ
れない。
形分解パイプライン処理では、障害が発生した時点から
再度データ処理を実行すると、その障害データが後段の
パイプライン処理に影響を及ぼし、障害も増大する。こ
のため、前記（ロ）の方法では、本来の障害データはな
かなかパイプライン内を伝送されず、メモリ内に格納さ
れない。
【０００８】このように、電子線（ＥＢ）描画装置の図
形分解パイプライン処理等に使用される多段パイプライ
ン構成のデータ処理装置の障害解析においては、パイプ
ラインの段数が増えると、メモリ量が増大し、ハードウ
ェアの規模が増大し現実的でない、あるいは、本来の障
害データはなかなかパイプライン内を伝送されず、メモ
リ内に格納されないという問題点があった。
形分解パイプライン処理等に使用される多段パイプライ
ン構成のデータ処理装置の障害解析においては、パイプ
ラインの段数が増えると、メモリ量が増大し、ハードウ
ェアの規模が増大し現実的でない、あるいは、本来の障
害データはなかなかパイプライン内を伝送されず、メモ
リ内に格納されないという問題点があった。
【０００９】本発明は、前記従来技術の問題点を解決す
るためになされたものであり、本発明の目的は、パイプ
ライン構成のデータ処理装置において、スルーモード機
能を設けることにより、必要最小限のハードウェアと簡
単な処理で、障害発生時の障害解析を容易に行うことが
可能となる技術を提供することにある。
るためになされたものであり、本発明の目的は、パイプ
ライン構成のデータ処理装置において、スルーモード機
能を設けることにより、必要最小限のハードウェアと簡
単な処理で、障害発生時の障害解析を容易に行うことが
可能となる技術を提供することにある。
【００１０】本発明の他の目的は、電子線（ＥＢ）描画
装置において、図形分解パイプライン処理の障害発生時
の障害解析を容易に行うことが可能となる技術を提供す
ることにある。
装置において、図形分解パイプライン処理の障害発生時
の障害解析を容易に行うことが可能となる技術を提供す
ることにある。
【００１１】本発明の前記目的並びにその他の目的及び
新規な特徴は、本明細書の記載及び添付図面によって明
らかにする。
新規な特徴は、本明細書の記載及び添付図面によって明
らかにする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００１３】従属接続された２個以上の演算処理ユニッ
トを具備し、パイプライン演算方式でデータを処理する
データ処理装置の制御方法において、前記データ処理装
置に障害が発生した時に、前記各演算処理ユニット内で
演算処理が施される演算対象データに対して演算処理を
施すことなく、前記演算対象データをそのまま出力デー
タとして前記各演算処理ユニットから出力させる。
トを具備し、パイプライン演算方式でデータを処理する
データ処理装置の制御方法において、前記データ処理装
置に障害が発生した時に、前記各演算処理ユニット内で
演算処理が施される演算対象データに対して演算処理を
施すことなく、前記演算対象データをそのまま出力デー
タとして前記各演算処理ユニットから出力させる。
【００１４】前記いずれかの演算処理ユニット内で演算
処理が施される演算対象データにデータ誤りが検出され
た時に、前記演算対象データに対して演算処理を施すこ
となく、前記演算対象データをそのまま出力データとし
て前記各演算処理ユニットから出力させる。
処理が施される演算対象データにデータ誤りが検出され
た時に、前記演算対象データに対して演算処理を施すこ
となく、前記演算対象データをそのまま出力データとし
て前記各演算処理ユニットから出力させる。
【００１５】前記データ誤りが検出された演算対象デー
タに、障害フラグを設定する。
タに、障害フラグを設定する。
【００１６】前記データ処理装置は上位装置と接続さ
れ、前記上位装置からの指令に基づき、前記演算対象デ
ータに対して演算処理を施すことなく、前記演算対象デ
ータをそのまま出力データとして前記各演算処理ユニッ
トから出力させる。
れ、前記上位装置からの指令に基づき、前記演算対象デ
ータに対して演算処理を施すことなく、前記演算対象デ
ータをそのまま出力データとして前記各演算処理ユニッ
トから出力させる。
【００１７】従属接続された２個以上の演算処理ユニッ
トを具備し、パイプライン演算方式でデータを処理する
データ処理装置において、前記各演算処理ユニットは、
前記各演算処理ユニット内で演算処理が施される演算対
象データに対して演算処理を施すことなく、前記演算対
象データをそのまま出力データとして前記各演算処理ユ
ニットから出力させるスルーモード設定手段を具備す
る。
トを具備し、パイプライン演算方式でデータを処理する
データ処理装置において、前記各演算処理ユニットは、
前記各演算処理ユニット内で演算処理が施される演算対
象データに対して演算処理を施すことなく、前記演算対
象データをそのまま出力データとして前記各演算処理ユ
ニットから出力させるスルーモード設定手段を具備す
る。
【００１８】前記各演算処理ユニットは、前記各演算処
理ユニットに入力される入力データあるいは前記各演算
処理ユニット内で演算処理が施された演算データをその
まま出力データとして出力させるセレクタ手段を具備
し、前記スルーモード設定手段は、前記セレクタ手段を
制御して、前記演算対象データに対して演算処理を施す
ことなく、前記演算対象データをそのまま出力データと
して前記各演算処理ユニットから出力させる。
理ユニットに入力される入力データあるいは前記各演算
処理ユニット内で演算処理が施された演算データをその
まま出力データとして出力させるセレクタ手段を具備
し、前記スルーモード設定手段は、前記セレクタ手段を
制御して、前記演算対象データに対して演算処理を施す
ことなく、前記演算対象データをそのまま出力データと
して前記各演算処理ユニットから出力させる。
【００１９】前記各演算処理ユニットは、前記演算対象
データのデータ誤りを検出するエラー検出手段を具備
し、前記いずれかの演算処理ユニットのエラー検出手段
で前記演算対象データのデータ誤りを検出した時に、前
記いずれかの演算処理ユニットのエラー検出手段から出
力されるエラー信号に基づいて、スルーモード設定手段
は、前記演算対象データに対して演算処理を施すことな
く、前記演算対象データをそのまま出力データとして前
記各演算処理ユニットから出力させる。
データのデータ誤りを検出するエラー検出手段を具備
し、前記いずれかの演算処理ユニットのエラー検出手段
で前記演算対象データのデータ誤りを検出した時に、前
記いずれかの演算処理ユニットのエラー検出手段から出
力されるエラー信号に基づいて、スルーモード設定手段
は、前記演算対象データに対して演算処理を施すことな
く、前記演算対象データをそのまま出力データとして前
記各演算処理ユニットから出力させる。
【００２０】前記各演算処理ユニットは、前記エラー検
出手段でデータ誤りが検出された演算対象データに、障
害フラグを設定するフラグ設定手段を具備する。
出手段でデータ誤りが検出された演算対象データに、障
害フラグを設定するフラグ設定手段を具備する。
【００２１】前記データ処理装置はパイプ制御部を具備
し、前記スルーモード設定手段は、前記パイプ制御部か
らのスルーモード指示に基づき、前記演算対象データに
対して演算処理を施すことなく、前記演算対象データを
そのまま出力データとして前記各演算処理ユニットから
出力させる。
し、前記スルーモード設定手段は、前記パイプ制御部か
らのスルーモード指示に基づき、前記演算対象データに
対して演算処理を施すことなく、前記演算対象データを
そのまま出力データとして前記各演算処理ユニットから
出力させる。
【００２２】前記データ処理装置は上位装置と接続さ
れ、前記パイプ制御部は、前記上位装置からのスルーモ
ード指令に基づき、前記スルーモード設定手段に対し
て、スルーモード指示を発行する。
れ、前記パイプ制御部は、前記上位装置からのスルーモ
ード指令に基づき、前記スルーモード設定手段に対し
て、スルーモード指示を発行する。
【００２３】前記上位装置は、前記いずれかの演算処理
ユニットのエラー検出手段から出力されるエラー信号を
受けて、前記パイプ制御部に対して、スルーモード指令
を発行する。
ユニットのエラー検出手段から出力されるエラー信号を
受けて、前記パイプ制御部に対して、スルーモード指令
を発行する。
【００２４】前記データ処理装置の出力段に接続される
解析用メモリを具備し、前記各演算処理ユニット内で演
算処理が施されずに、そのまま出力データとして前記各
演算処理ユニットから出力される演算対象データを、前
記解析用メモリに格納する。
解析用メモリを具備し、前記各演算処理ユニット内で演
算処理が施されずに、そのまま出力データとして前記各
演算処理ユニットから出力される演算対象データを、前
記解析用メモリに格納する。
【００２５】前記解析用メモリは、上位装置から読み出
し可能である。
し可能である。
【００２６】前記データ処理装置は、複数個従属接続さ
れる。
れる。
【００２７】電子線描画装置は、前記データ処理装置を
具備し、図形分解パイプライン処理を実行する。
具備し、図形分解パイプライン処理を実行する。
【００２８】前記手段によれば、パイプライン構成のデ
ータ処理装置に障害が発生した時、例えば、いずれかの
演算処理ユニット内で演算の対象となる演算対象データ
にデータ誤りが検出された時に、演算対象データに対し
て演算処理を施すことなく、演算対象データをそのまま
出力データとして各演算処理ユニットから出力し、解析
用メモリに格納するようにしたので、上位装置からデー
タ誤りが検出された障害データを読み出し、当該障害デ
ータに基づいて、障害発生時の障害解析を容易に行うこ
とが可能となる。
ータ処理装置に障害が発生した時、例えば、いずれかの
演算処理ユニット内で演算の対象となる演算対象データ
にデータ誤りが検出された時に、演算対象データに対し
て演算処理を施すことなく、演算対象データをそのまま
出力データとして各演算処理ユニットから出力し、解析
用メモリに格納するようにしたので、上位装置からデー
タ誤りが検出された障害データを読み出し、当該障害デ
ータに基づいて、障害発生時の障害解析を容易に行うこ
とが可能となる。
【００２９】前記手段によれば、当該障害データに障害
フラグを設定するようにしたので、当該障害データを容
易に読み出すことが可能となる。
フラグを設定するようにしたので、当該障害データを容
易に読み出すことが可能となる。
【００３０】これにより、電子線描画装置において、図
形分解パイプライン処理における障害発生時の障害解析
を容易に行うことが可能となる。
形分解パイプライン処理における障害発生時の障害解析
を容易に行うことが可能となる。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の発明の実施の形態
を図面を参照して説明する。
を図面を参照して説明する。
【００３２】なお、発明の実施の形態を説明するための
全図において、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。
全図において、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。
【００３３】図１は、本発明の一実施の形態である多段
パイプライン構成のデータ処理装置を使用し、図形分解
パイプライン処理を実行する電子線（ＥＢ）描画装置の
一例を示すブロック図である。
パイプライン構成のデータ処理装置を使用し、図形分解
パイプライン処理を実行する電子線（ＥＢ）描画装置の
一例を示すブロック図である。
【００３４】同図に示す電子線（ＥＢ）描画装置は、コ
ンピュータ制御部１００、描画制御部２００、描画部本
体３００とから構成される。コンピュータ制御部１００
は、入力ＣＡＤデータをパターンデータに変換するデー
タ変換コンピュータ１１０と、パターンデータの転送
と、描画制御部２００および描画部本体３００を制御す
る描画制御コンピュータ１２０とを具備する。また、描
画部本体３００は、電子光学カラム３１０と、ステージ
・ローダ・試料室３２０と、排気系を備える架台部３３
０とを具備する。
ンピュータ制御部１００、描画制御部２００、描画部本
体３００とから構成される。コンピュータ制御部１００
は、入力ＣＡＤデータをパターンデータに変換するデー
タ変換コンピュータ１１０と、パターンデータの転送
と、描画制御部２００および描画部本体３００を制御す
る描画制御コンピュータ１２０とを具備する。また、描
画部本体３００は、電子光学カラム３１０と、ステージ
・ローダ・試料室３２０と、排気系を備える架台部３３
０とを具備する。
【００３５】図２は、図１に示す描画制御部２００の概
略構成を示すブロック図である。
略構成を示すブロック図である。
【００３６】同図に示すように、描画制御部２００は、
デジタル制御系２１０と、アナログ信号処理系２２０
と、機構制御系２３０とから構成される。デジタル制御
系２１０は、インタフェース回路２１１と、バッファメ
モリ２１２と、復元処理部２１３と、分解合わせ補正部
２１４と、追従絶対校正部２１５と、描画手順制御部２
１６とで構成される。また、アナログ信号処理系２２０
は、転写／偏向系２２１と、レンズ系２２２と、信号処
理系２２３とで構成される。さらに、機構制御系２３０
は、ステージ制御系２３１と、ローダ制御系２３２と、
排気系２３３とで構成される。
デジタル制御系２１０と、アナログ信号処理系２２０
と、機構制御系２３０とから構成される。デジタル制御
系２１０は、インタフェース回路２１１と、バッファメ
モリ２１２と、復元処理部２１３と、分解合わせ補正部
２１４と、追従絶対校正部２１５と、描画手順制御部２
１６とで構成される。また、アナログ信号処理系２２０
は、転写／偏向系２２１と、レンズ系２２２と、信号処
理系２２３とで構成される。さらに、機構制御系２３０
は、ステージ制御系２３１と、ローダ制御系２３２と、
排気系２３３とで構成される。
【００３７】描画制御コンピュータ１２０からの転送さ
れたパターンデータは、デジタル制御系２１０のインタ
フェース回路２１１を介してバッファメモリ２１２に入
力され、復元処理部２１３で図形単位に展開される。こ
の復元処理部２１３で展開された図形データは、分解合
わせ補正部２１４でショットデータに分解される。
れたパターンデータは、デジタル制御系２１０のインタ
フェース回路２１１を介してバッファメモリ２１２に入
力され、復元処理部２１３で図形単位に展開される。こ
の復元処理部２１３で展開された図形データは、分解合
わせ補正部２１４でショットデータに分解される。
【００３８】この分解合わせ補正部２１４は、多段パイ
プライン構成を主体としたデータ処理装置を具備し、パ
イプライン処理で図形データをショットデータに分解す
る。
プライン構成を主体としたデータ処理装置を具備し、パ
イプライン処理で図形データをショットデータに分解す
る。
【００３９】図３は、本発明の一実施の形態である多段
パイプライン構成のデータ処理装置の概略構成を示すブ
ロック図である。
パイプライン構成のデータ処理装置の概略構成を示すブ
ロック図である。
【００４０】本実施の形態のデータ処理装置は、全体の
パイプライン処理を、４個の処理パイプ（１１〜１４）
で実行する。各処理パイプ（１１〜１４）は、パイプ制
御部（２１〜２４）を具備し、また、各処理パイプ（１
１〜１４）の出力段には、解析用メモリ（１６〜１９）
が設けられる。
パイプライン処理を、４個の処理パイプ（１１〜１４）
で実行する。各処理パイプ（１１〜１４）は、パイプ制
御部（２１〜２４）を具備し、また、各処理パイプ（１
１〜１４）の出力段には、解析用メモリ（１６〜１９）
が設けられる。
【００４１】各処理パイプ（１１〜１４）の動作は、各
パイプ制御部（２１〜２４）が制御し、処理パイプ全体
の制御はパイプ全体動作制御部２０が制御する。
パイプ制御部（２１〜２４）が制御し、処理パイプ全体
の制御はパイプ全体動作制御部２０が制御する。
【００４２】本パイプラインへの入力データ１０は、先
ず、処理パイプ１１に入力される。処理パイプ１１で処
理されたデータは、次の処理である処理パイプ１２と解
析用メモリ１６への入力データとなる。このように順
次、処理パイプで処理されたデータは出力データ１５と
なって解析用メモリ１９およびパイプラインの外部へ出
力される。解析用メモリ（１６〜１９）に格納されたデ
ータは、上位側の描画制御コンピュータ１２０から読み
出すことができる。
ず、処理パイプ１１に入力される。処理パイプ１１で処
理されたデータは、次の処理である処理パイプ１２と解
析用メモリ１６への入力データとなる。このように順
次、処理パイプで処理されたデータは出力データ１５と
なって解析用メモリ１９およびパイプラインの外部へ出
力される。解析用メモリ（１６〜１９）に格納されたデ
ータは、上位側の描画制御コンピュータ１２０から読み
出すことができる。
【００４３】図４は、本実施の形態の多段パイプライン
構成のデータ処理装置による図形分解パイプライン処理
を説明するための模式図である。
構成のデータ処理装置による図形分解パイプライン処理
を説明するための模式図である。
【００４４】復元処理部２１３から処理パイプ（短辺分
解パイプ）１１に入力される基本図形データは、図４
（ａ）に示すように、台形図形を表す台形図形データで
ある。処理パイプ１１では、この台形図形データを短辺
方向に分解する。即ち、処理パイプ１１では、図４
（ｂ）に示すように、図４（ａ）に示す台形図形を短辺
方向に分割する。なお、図４（ｂ）では、復元処理部２
１３から入力される台形図形データを、短辺方向に５分
解した例を示している。
解パイプ）１１に入力される基本図形データは、図４
（ａ）に示すように、台形図形を表す台形図形データで
ある。処理パイプ１１では、この台形図形データを短辺
方向に分解する。即ち、処理パイプ１１では、図４
（ｂ）に示すように、図４（ａ）に示す台形図形を短辺
方向に分割する。なお、図４（ｂ）では、復元処理部２
１３から入力される台形図形データを、短辺方向に５分
解した例を示している。
【００４５】次の処理パイプ（斜辺分解パイプ）１２で
は、図４（ｃ）に示すように、処理パイプ１１で処理さ
れた図形データを、斜辺部と、それ以外の部分とに分解
する。したがって、図４（ｃ）に示す例では、処理パイ
プ１２から１５個の図形データが出力されることにな
る。
は、図４（ｃ）に示すように、処理パイプ１１で処理さ
れた図形データを、斜辺部と、それ以外の部分とに分解
する。したがって、図４（ｃ）に示す例では、処理パイ
プ１２から１５個の図形データが出力されることにな
る。
【００４６】次の処理パイプ（ショット１分解パイプ）
１３では、図４（ｄ）に示すように、処理パイプ１２で
処理された斜辺部の図形データを、ショット単位に分割
する。なお、図４（ｄ）では、斜辺部の図形データを、
短辺方向のショット単位に３分割した例を示している。
したがって、処理パイプ１３からは、３５個の図形デー
タが出力されることになる。
１３では、図４（ｄ）に示すように、処理パイプ１２で
処理された斜辺部の図形データを、ショット単位に分割
する。なお、図４（ｄ）では、斜辺部の図形データを、
短辺方向のショット単位に３分割した例を示している。
したがって、処理パイプ１３からは、３５個の図形デー
タが出力されることになる。
【００４７】最後の処理パイプ（ショット２分解パイ
プ）１４では、図４（ｅ）に示すように、処理パイプ１
２で処理された斜辺部以外の図形データを、ショット単
位に分割する。なお、図４（ｅ）では、斜辺部以外の図
形データを、長辺方向に、全部で４５のショット単位に
分割した例を示している。したがって、処理パイプ１４
からは、７５個の図形データが出力されることになる。
プ）１４では、図４（ｅ）に示すように、処理パイプ１
２で処理された斜辺部以外の図形データを、ショット単
位に分割する。なお、図４（ｅ）では、斜辺部以外の図
形データを、長辺方向に、全部で４５のショット単位に
分割した例を示している。したがって、処理パイプ１４
からは、７５個の図形データが出力されることになる。
【００４８】このように、本実施の形態のデータ処理装
置により実行される電子線（ＥＢ）描画装置の図形分解
パイプライン処理では、パイプラインの段数を重ねる度
に処理するデータ量が増大する。
置により実行される電子線（ＥＢ）描画装置の図形分解
パイプライン処理では、パイプラインの段数を重ねる度
に処理するデータ量が増大する。
【００４９】図５は、図３に示す処理パイプ（１１〜１
４）の内部概略構成を示すブロック図である。
４）の内部概略構成を示すブロック図である。
【００５０】同図に示すように、各処理パイプ（１１〜
１４）の内部は、演算処理ユニット（２７〜３０）が、
多段に従属接続されたパイプライン構成となっており、
処理パイプ（１１〜１４）への入力データ２６は、各演
算処理ユニット（２７〜３０）により分解処理され、処
理パイプ出力データ３１として次の処理パイプへ出力さ
れる。なお、各演算処理ユニット（２７〜３０）のパイ
プラインの段数は、各処理パイプ（１１〜１４）の分解
処理に応じて適宜変更される。
１４）の内部は、演算処理ユニット（２７〜３０）が、
多段に従属接続されたパイプライン構成となっており、
処理パイプ（１１〜１４）への入力データ２６は、各演
算処理ユニット（２７〜３０）により分解処理され、処
理パイプ出力データ３１として次の処理パイプへ出力さ
れる。なお、各演算処理ユニット（２７〜３０）のパイ
プラインの段数は、各処理パイプ（１１〜１４）の分解
処理に応じて適宜変更される。
【００５１】また、図５に示すように、各処理パイプ
（１１〜１４）のパイプ制御部（２１〜２４）は、処理
パイプ内動作制御部３２と、処理パイプモード制御部３
３と、処理パイプ内エラー検出部３４とで構成される。
（１１〜１４）のパイプ制御部（２１〜２４）は、処理
パイプ内動作制御部３２と、処理パイプモード制御部３
３と、処理パイプ内エラー検出部３４とで構成される。
【００５２】各演算処理ユニット（２７〜３０）の動作
開始、終了等の動作は、処理パイプ内動作制御部３２が
個別に制御する。処理パイプモード制御部３３は、各演
算処理ユニット（２７〜３０）に対して、正常時の通常
モード（図形分解パイプライン処理）指示、あるいは、
障害発生時のスルーモード指示を発行し、各演算処理ユ
ニット（２７〜３０）の動作モードを設定する。通常モ
ードは、初期時（電源投入直後、リセット時）、あるい
は、正常動作時の設定であり、通常の図形分解パイプラ
イン処理を実行する。
開始、終了等の動作は、処理パイプ内動作制御部３２が
個別に制御する。処理パイプモード制御部３３は、各演
算処理ユニット（２７〜３０）に対して、正常時の通常
モード（図形分解パイプライン処理）指示、あるいは、
障害発生時のスルーモード指示を発行し、各演算処理ユ
ニット（２７〜３０）の動作モードを設定する。通常モ
ードは、初期時（電源投入直後、リセット時）、あるい
は、正常動作時の設定であり、通常の図形分解パイプラ
イン処理を実行する。
【００５３】例えば、ハードウェアの故障、あるいは、
入力データの間違い等により、パイプライン構成のデー
タ処理装置内で何らかの障害が発生した場合には、処理
パイプ内エラー検出部３４が障害データを検出するとと
もに、処理パイプ内動作制御部３２を介して各演算処理
ユニット（２７〜３０）のパイプライン処理を強制的に
停止させる。また、処理パイプ内エラー検出部３４は、
他の処理パイプのパイプ制御部内の処理パイプ内エラー
検出部３４にエラー信号を出力し、これにより、データ
処理装置のパイプライン処理が停止する。
入力データの間違い等により、パイプライン構成のデー
タ処理装置内で何らかの障害が発生した場合には、処理
パイプ内エラー検出部３４が障害データを検出するとと
もに、処理パイプ内動作制御部３２を介して各演算処理
ユニット（２７〜３０）のパイプライン処理を強制的に
停止させる。また、処理パイプ内エラー検出部３４は、
他の処理パイプのパイプ制御部内の処理パイプ内エラー
検出部３４にエラー信号を出力し、これにより、データ
処理装置のパイプライン処理が停止する。
【００５４】さらに、処理パイプ内エラー検出部３４
は、上位側の描画手順制御部２１６にもエラー信号を出
力し、これにより、描画制御部２００全体の動作も停止
させる。
は、上位側の描画手順制御部２１６にもエラー信号を出
力し、これにより、描画制御部２００全体の動作も停止
させる。
【００５５】その後、上位側の描画制御コンピュータ１
２０からの指令に基づき、処理パイプモード制御部３３
は、各演算処理ユニット（２７〜３０）に対して、スル
ーモード指示を発行することにより、各演算処理ユニッ
ト（２７〜３０）の動作モードはスルーモードに変更さ
れ、各演算処理ユニット（２７〜３０）の動作は、何も
処理しない（通常の図形分解パイプライン処理を行わな
い）スルーモードとなり、それ以降、障害データはその
ままパイプライン内を伝送可能となる。
２０からの指令に基づき、処理パイプモード制御部３３
は、各演算処理ユニット（２７〜３０）に対して、スル
ーモード指示を発行することにより、各演算処理ユニッ
ト（２７〜３０）の動作モードはスルーモードに変更さ
れ、各演算処理ユニット（２７〜３０）の動作は、何も
処理しない（通常の図形分解パイプライン処理を行わな
い）スルーモードとなり、それ以降、障害データはその
ままパイプライン内を伝送可能となる。
【００５６】図６は、図５に示す各演算処理ユニット
（２７〜３０）の内部概略構成を示すブロック図であ
る。
（２７〜３０）の内部概略構成を示すブロック図であ
る。
【００５７】通常の動作では、各演算処理ユニット（２
７〜３０）への入力データ２６は入力ラッチ回路３７に
ラッチされ、セレクタ３９を介して演算器４１に入力さ
れる。同様に、セレクタ４０によって選択された演算用
パラメータ３８も演算器４１に入力され分解演算が実行
される。演算結果はラッチ回路３６へフィードバックさ
れ、次の演算対象データとなる。
７〜３０）への入力データ２６は入力ラッチ回路３７に
ラッチされ、セレクタ３９を介して演算器４１に入力さ
れる。同様に、セレクタ４０によって選択された演算用
パラメータ３８も演算器４１に入力され分解演算が実行
される。演算結果はラッチ回路３６へフィードバックさ
れ、次の演算対象データとなる。
【００５８】また、セレクタ５３により、演算器４１に
入力される演算対象データの一部を、演算器４１に入力
される演算用パラメータ３８で置き換えることにより、
各演算処理ユニット（２７〜３０）からの出力データ４
３が生成され、次の演算処理ユニットに送出される。
入力される演算対象データの一部を、演算器４１に入力
される演算用パラメータ３８で置き換えることにより、
各演算処理ユニット（２７〜３０）からの出力データ４
３が生成され、次の演算処理ユニットに送出される。
【００５９】ここで、演算用パラメータ３８はレジスタ
に格納されており、この演算用パラメータ３８は、上位
側の描画制御コンピュータ１２０から変更可能である。
に格納されており、この演算用パラメータ３８は、上位
側の描画制御コンピュータ１２０から変更可能である。
【００６０】図７は、図６に示す演算器４１の分解演算
方法及び出力データ４３の生成方法の一例を説明するた
めの模式図である。
方法及び出力データ４３の生成方法の一例を説明するた
めの模式図である。
【００６１】同図において、台形図形６０は、復元処理
部２１３から入力される基本図形（台形図形）データに
より表現される台形図形を示す。この台形図形データに
は、少なくとも台形図形の原点（Ａ）の座標（Ｘ０，Ｙ
０）、底辺の幅（Ｗ）および高さ（Ｈ）が含まれてい
る。この台形図形データを、高さ（ｈ０）の演算用パラ
メータ３８で短辺方向に分解する場合には、この台形図
形データの高さ（Ｈ）を、セレクタ５３により、高さ
（ｈ０）の演算用パラメータ３８に置き換えることによ
り、出力データ４３が生成される。ここで、台形図形６
１は、出力データ４３により表現される台形図形を示
す。
部２１３から入力される基本図形（台形図形）データに
より表現される台形図形を示す。この台形図形データに
は、少なくとも台形図形の原点（Ａ）の座標（Ｘ０，Ｙ
０）、底辺の幅（Ｗ）および高さ（Ｈ）が含まれてい
る。この台形図形データを、高さ（ｈ０）の演算用パラ
メータ３８で短辺方向に分解する場合には、この台形図
形データの高さ（Ｈ）を、セレクタ５３により、高さ
（ｈ０）の演算用パラメータ３８に置き換えることによ
り、出力データ４３が生成される。ここで、台形図形６
１は、出力データ４３により表現される台形図形を示
す。
【００６２】また、演算器４１で、この台形図形データ
から出力データ４３部分を取り除いた後の台形図形の原
点（Ｂ）の座標（Ｘ１，Ｙ１）、底辺の幅（Ｗ１）およ
び高さ（ｈ１）を計算する。これが、演算器４１で演算
処理が施されたデータ（分解後の残りのデータ）とな
る。ここで、台形図形６２は、演算器４１で演算処理が
施されたデータにより表現される台形図形を示す。
から出力データ４３部分を取り除いた後の台形図形の原
点（Ｂ）の座標（Ｘ１，Ｙ１）、底辺の幅（Ｗ１）およ
び高さ（ｈ１）を計算する。これが、演算器４１で演算
処理が施されたデータ（分解後の残りのデータ）とな
る。ここで、台形図形６２は、演算器４１で演算処理が
施されたデータにより表現される台形図形を示す。
【００６３】このような繰り返しにより、入力データ２
６は演算処理ユニット内で順次演算処理が実行され、出
力データ４３として次の演算処理ユニットに伝送され
る。
６は演算処理ユニット内で順次演算処理が実行され、出
力データ４３として次の演算処理ユニットに伝送され
る。
【００６４】ここで、分解演算の方式や分解の有無は分
解方式制御／分解判定部４２によって、セレクタ（３
９，４０，５３）の選択論理を制御することにより行わ
れる。
解方式制御／分解判定部４２によって、セレクタ（３
９，４０，５３）の選択論理を制御することにより行わ
れる。
【００６５】障害発生時のスルーモードの設定も、この
分解方式制御／分解判定部４２のセレクタ選択論理を入
力データに関わらず、無条件に分解しないように制御す
ることで実現する。
分解方式制御／分解判定部４２のセレクタ選択論理を入
力データに関わらず、無条件に分解しないように制御す
ることで実現する。
【００６６】図８は、図６に示す分解方式制御／分解判
定部４２の内部概略構成を示すブロック図である。な
お、図８においては、分解判定部およびモード制御部の
構成のみを示している。
定部４２の内部概略構成を示すブロック図である。な
お、図８においては、分解判定部およびモード制御部の
構成のみを示している。
【００６７】分解判定部７１には、演算処理が施される
演算対象データ、即ち、入力データ２６あるいは演算処
理が施されたデータが入力され、分解判定部７１は分解
の有無を判定する。この分解判定部７１からの指示に基
づき、分解方式制御部７２は分解演算の方式を決定し、
セレクタ制御信号をセレクタ（３９，４０，５３）に送
出し、セレクタ（３９，４０，５３）の選択論理を制御
する。
演算対象データ、即ち、入力データ２６あるいは演算処
理が施されたデータが入力され、分解判定部７１は分解
の有無を判定する。この分解判定部７１からの指示に基
づき、分解方式制御部７２は分解演算の方式を決定し、
セレクタ制御信号をセレクタ（３９，４０，５３）に送
出し、セレクタ（３９，４０，５３）の選択論理を制御
する。
【００６８】分解判定部７１あるいは演算器４１でデー
タ誤り（エラー）が検出されると、エラー判定部７３
は、処理パイプ（１１〜１４）のパイプ制御部（２１〜
２４）内の処理パイプ内エラー検出部３４にエラー出力
信号を送出し、これにより、パイプライン処理が停止す
る。
タ誤り（エラー）が検出されると、エラー判定部７３
は、処理パイプ（１１〜１４）のパイプ制御部（２１〜
２４）内の処理パイプ内エラー検出部３４にエラー出力
信号を送出し、これにより、パイプライン処理が停止す
る。
【００６９】例えば、入力ラッチ回路３７にラッチされ
たデータが障害データ（データ誤りのあるデータ）の場
合、分解方式制御／分解判定部４２または演算器４１で
データ誤りが検出され、これによりパイプライン動作は
停止する。この時点で、障害データはまだ入力ラッチ回
路３７にラッチされたままになっている。上位側の描画
制御コンピュータ１２０は、パイプライン処理がエラー
で停止していることを確認後、処理パイプモード制御部
３３に対して、各演算処理ユニット（２７〜３０）の動
作モードをスルーモードに変更する指令を発行し、パイ
プライン処理の再起動を実行する。
たデータが障害データ（データ誤りのあるデータ）の場
合、分解方式制御／分解判定部４２または演算器４１で
データ誤りが検出され、これによりパイプライン動作は
停止する。この時点で、障害データはまだ入力ラッチ回
路３７にラッチされたままになっている。上位側の描画
制御コンピュータ１２０は、パイプライン処理がエラー
で停止していることを確認後、処理パイプモード制御部
３３に対して、各演算処理ユニット（２７〜３０）の動
作モードをスルーモードに変更する指令を発行し、パイ
プライン処理の再起動を実行する。
【００７０】また、処理パイプモード制御部３３は、分
解方式制御／分解判定部４２に対してスルーモード指示
を発行し、これにより、分解方式制御／分解判定部４２
は、モード制御部７４により各演算処理ユニット（２７
〜３０）の動作モードをスルーモードに設定する。例え
ば、図８に示す例では、モード制御部７４のスイッチ７
５を切り替え、モード制御部７４からの出力を”０”か
ら”１”に変更し、通常モードからスルーモードに変更
する。
解方式制御／分解判定部４２に対してスルーモード指示
を発行し、これにより、分解方式制御／分解判定部４２
は、モード制御部７４により各演算処理ユニット（２７
〜３０）の動作モードをスルーモードに設定する。例え
ば、図８に示す例では、モード制御部７４のスイッチ７
５を切り替え、モード制御部７４からの出力を”０”か
ら”１”に変更し、通常モードからスルーモードに変更
する。
【００７１】これにより、分解方式制御部７２が、セレ
クタ（３９，４０，５３）の選択論理を制御し、セレク
タ３９の選択論理を入力ラッチ回路３７からのデータ選
択状態のまま保持する。パイプライン処理の再起動で障
害データはセレクタ（３９，５３）を通り出力データ４
３となって次の演算処理ユニットへ伝送される。次の演
算処理ユニットでも同様にスルーモードとなっているた
め、障害データはそのままパイプライン内を伝送され、
最終的には解析用メモリ（１６〜１９）へ出力される。
上位側の描画制御コンピュータ１２０はパイプラインの
再起動の終了を確認後、解析用メモリ（１６〜１９）を
読み出すことによって障害データを認識することができ
る。
クタ（３９，４０，５３）の選択論理を制御し、セレク
タ３９の選択論理を入力ラッチ回路３７からのデータ選
択状態のまま保持する。パイプライン処理の再起動で障
害データはセレクタ（３９，５３）を通り出力データ４
３となって次の演算処理ユニットへ伝送される。次の演
算処理ユニットでも同様にスルーモードとなっているた
め、障害データはそのままパイプライン内を伝送され、
最終的には解析用メモリ（１６〜１９）へ出力される。
上位側の描画制御コンピュータ１２０はパイプラインの
再起動の終了を確認後、解析用メモリ（１６〜１９）を
読み出すことによって障害データを認識することができ
る。
【００７２】なお、図８では、スイッチ７５を用いて、
モード制御部７４からの出力を、”０”あるいは”１”
に変更するようにしたが、これに限定されるものではな
く、レジスタを使用するようにしてもよい。
モード制御部７４からの出力を、”０”あるいは”１”
に変更するようにしたが、これに限定されるものではな
く、レジスタを使用するようにしてもよい。
【００７３】図９は、本実施の形態におけるデータ構成
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
【００７４】図９に示すデータ構成は、パイプライン内
を伝送するデータの最上位ビットに障害フラグ４４を付
加したものである。この障害フラグは、初期時および正
常動作時は”０”とし、障害発生時のみ該当する障害フ
ラグを”１”にセットする。
を伝送するデータの最上位ビットに障害フラグ４４を付
加したものである。この障害フラグは、初期時および正
常動作時は”０”とし、障害発生時のみ該当する障害フ
ラグを”１”にセットする。
【００７５】ここで、図６に示す演算器４１あるいは分
解方式制御／分解判定部４２でデータ誤りを検出した時
に、分解方式制御／分解判定部４２が、入力ラッチ回路
３７あるいはラッチ回路３６の最上位ビット（障害フラ
グ４４）を”１”にセットする。
解方式制御／分解判定部４２でデータ誤りを検出した時
に、分解方式制御／分解判定部４２が、入力ラッチ回路
３７あるいはラッチ回路３６の最上位ビット（障害フラ
グ４４）を”１”にセットする。
【００７６】このように、パイプライン内を伝送する全
データに障害フラグ４４を付加するとともに解析用メモ
リ（１６〜１９）のデータ構成も同様にすることによ
り、障害解析時に解析用メモリ（１６〜１９）内に格納
されたデータの中から障害データ４５を容易に見つけ出
すことが可能になる。
データに障害フラグ４４を付加するとともに解析用メモ
リ（１６〜１９）のデータ構成も同様にすることによ
り、障害解析時に解析用メモリ（１６〜１９）内に格納
されたデータの中から障害データ４５を容易に見つけ出
すことが可能になる。
【００７７】図１０は、本実施の形態の各演算処理ユニ
ット（２７〜３０）の動作フローチャートを示す図であ
る。
ット（２７〜３０）の動作フローチャートを示す図であ
る。
【００７８】図１０に示すように、パイプライン処理が
起動されると（ステップ８０）、動作モードが通常モー
ドかスルーモードかを判定する（ステップ８１）。動作
モードが通常モードの場合には、入力データの到着を待
って（ステップ８２）、分解判定・分解処理を実行し
（ステップ８３、８５）、次の演算処理ユニットあるい
は処理パイプにデータを転送する（ステップ８７）。
起動されると（ステップ８０）、動作モードが通常モー
ドかスルーモードかを判定する（ステップ８１）。動作
モードが通常モードの場合には、入力データの到着を待
って（ステップ８２）、分解判定・分解処理を実行し
（ステップ８３、８５）、次の演算処理ユニットあるい
は処理パイプにデータを転送する（ステップ８７）。
【００７９】通常モードにおいて、分解判定あるいは分
解処理においてデータエラーが検出されると（ステップ
８４、８６）、当該障害データに障害フラグをセットし
（ステップ８８）、パイプライン処理を停止する（ステ
ップ８９）。
解処理においてデータエラーが検出されると（ステップ
８４、８６）、当該障害データに障害フラグをセットし
（ステップ８８）、パイプライン処理を停止する（ステ
ップ８９）。
【００８０】動作モードがスルーモードの場合には、演
算処理ユニット内の入力ラッチ回路３７あるいはラッチ
回路３６に格納されているデータを、次の演算処理ユニ
ットあるいは処理パイプに転送する（ステップ８７）。
算処理ユニット内の入力ラッチ回路３７あるいはラッチ
回路３６に格納されているデータを、次の演算処理ユニ
ットあるいは処理パイプに転送する（ステップ８７）。
【００８１】なお、前記実施の形態では、パイプライン
構成のデータ処理装置に本発明を適用した場合について
説明したが、本発明はこれに限定されず、パイプライン
構成のデータ処理装置以外のデータ処理装置にも適用可
能であることは言うまでもない。
構成のデータ処理装置に本発明を適用した場合について
説明したが、本発明はこれに限定されず、パイプライン
構成のデータ処理装置以外のデータ処理装置にも適用可
能であることは言うまでもない。
【００８２】以上、本発明を発明の実施の形態に基づき
具体的に説明したが、本発明は、前記発明の実施の形態
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更し得ることは言うまでもない。
具体的に説明したが、本発明は、前記発明の実施の形態
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更し得ることは言うまでもない。
【００８３】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。
【００８４】（１）本発明によれば、パイプライン構成
のデータ処理装置に障害が発生した時、例えば、いずれ
かの演算処理ユニット内で演算処理が施される演算対象
データにデータ誤り（エラー）が検出された時に、演算
対象データに対して演算処理を施すことなく、演算対象
データをそのまま出力データとして各演算処理ユニット
から出力させることができるので、データ誤りが検出さ
れた障害データが新たな障害を引き起こすことを防止す
ることが可能となる。
のデータ処理装置に障害が発生した時、例えば、いずれ
かの演算処理ユニット内で演算処理が施される演算対象
データにデータ誤り（エラー）が検出された時に、演算
対象データに対して演算処理を施すことなく、演算対象
データをそのまま出力データとして各演算処理ユニット
から出力させることができるので、データ誤りが検出さ
れた障害データが新たな障害を引き起こすことを防止す
ることが可能となる。
【００８５】（２）本発明によれば、障害データを解析
用メモリに格納することができるので、上位側の描画制
御コンピュータで、当該解析用メモリに格納された障害
データを読み出し、当該障害データに基づいて、障害発
生時の障害解析を容易に行うことが可能となる。
用メモリに格納することができるので、上位側の描画制
御コンピュータで、当該解析用メモリに格納された障害
データを読み出し、当該障害データに基づいて、障害発
生時の障害解析を容易に行うことが可能となる。
【００８６】（３）本発明によれば、必要最小限のハー
ドウェアと簡単な処理で、障害発生時の障害解析を容易
に行うことが可能となる。
ドウェアと簡単な処理で、障害発生時の障害解析を容易
に行うことが可能となる。
【００８７】（４）本発明によれば、障害データに障害
フラグを設定するようにしたので、障害データを容易に
読み出すことが可能となる。
フラグを設定するようにしたので、障害データを容易に
読み出すことが可能となる。
【００８８】（５）本発明によれば、電子線描画装置に
おいて、図形分解パイプライン処理における障害発生時
の障害解析を容易に行うことが可能となる。
おいて、図形分解パイプライン処理における障害発生時
の障害解析を容易に行うことが可能となる。
【図１】本発明の一実施の形態である多段パイプライン
構成のデータ処理装置を使用し、図形分解パイプライン
処理を実行する電子線（ＥＢ）描画装置の一例を示すブ
ロック図である。
構成のデータ処理装置を使用し、図形分解パイプライン
処理を実行する電子線（ＥＢ）描画装置の一例を示すブ
ロック図である。
【図２】図１に示す描画制御部２００の概略構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図３】本発明の一実施の形態である多段パイプライン
構成のデータ処理装置の概略構成を示すブロック図であ
る。
構成のデータ処理装置の概略構成を示すブロック図であ
る。
【図４】本実施の形態の多段パイプライン構成のデータ
処理装置による図形分解パイプライン処理を説明するた
めの模式図である。
処理装置による図形分解パイプライン処理を説明するた
めの模式図である。
【図５】図３に示す処理パイプ（１１〜１４）の内部概
略構成を示すブロック図である。
略構成を示すブロック図である。
【図６】図５に示す各演算処理ユニット（２７〜３０）
の内部概略構成を示すブロック図である。
の内部概略構成を示すブロック図である。
【図７】図６に示す演算器４１の分解演算方法及び出力
データ４３の生成方法を説明するための模式図である。
データ４３の生成方法を説明するための模式図である。
【図８】図６に示す分解方式制御／分解判定部４２の内
部概略構成を示すブロック図である。
部概略構成を示すブロック図である。
【図９】本実施の形態におけるデータ構成の一例を示す
図である。
図である。
【図１０】本実施の形態の各演算処理ユニット（２７〜
３０）の動作フローチャートを示す図である。
３０）の動作フローチャートを示す図である。
１１〜１４…処理パイプ、１６〜１９…解析用メモリ、
２０…パイプ全体動作制御部、２１〜２４…パイプ制御
部、２７〜３０…演算処理ユニット、３２…処理パイプ
内動作制御部、３３…処理パイプモード制御部、３４…
処理パイプ内エラー検出部、３６，３７，５１，５２…
ラッチ回路、３８…演算用パラメータ、３９，４０，５
３…セレクタ、４１…演算器、４２…分解方式制御／分
解判定部、７１…分解判定部、７２…分解方式制御部、
７３…エラー判定部、７４…モード制御部、７５…スイ
ッチ、１００…コンピュータ制御部、１１０…データ変
換コンピュータ、１２０…描画制御コンピュータ、２０
０…描画制御部、２１０…デジタル制御系、２１１…イ
ンタフェース回路、２１２…バッファメモリ、２１３…
復元処理部、２１４…分解合わせ補正部、２１５…追従
絶対校正部、２１６…描画手順制御部、２２０…アナロ
グ信号処理系、２２１…転写／偏向系、２２２…レンズ
系、２２３…信号処理系、２３０…機構制御系、２３１
…ステージ制御系、２３２…ローダ制御系、２３３…排
気系、３００…描画部本体、３１０…電子光学カラム、
３２０…ステージ・ローダ・試料室、３３０…架台部。
２０…パイプ全体動作制御部、２１〜２４…パイプ制御
部、２７〜３０…演算処理ユニット、３２…処理パイプ
内動作制御部、３３…処理パイプモード制御部、３４…
処理パイプ内エラー検出部、３６，３７，５１，５２…
ラッチ回路、３８…演算用パラメータ、３９，４０，５
３…セレクタ、４１…演算器、４２…分解方式制御／分
解判定部、７１…分解判定部、７２…分解方式制御部、
７３…エラー判定部、７４…モード制御部、７５…スイ
ッチ、１００…コンピュータ制御部、１１０…データ変
換コンピュータ、１２０…描画制御コンピュータ、２０
０…描画制御部、２１０…デジタル制御系、２１１…イ
ンタフェース回路、２１２…バッファメモリ、２１３…
復元処理部、２１４…分解合わせ補正部、２１５…追従
絶対校正部、２１６…描画手順制御部、２２０…アナロ
グ信号処理系、２２１…転写／偏向系、２２２…レンズ
系、２２３…信号処理系、２３０…機構制御系、２３１
…ステージ制御系、２３２…ローダ制御系、２３３…排
気系、３００…描画部本体、３１０…電子光学カラム、
３２０…ステージ・ローダ・試料室、３３０…架台部。
Claims (18)
- 【請求項１】 従属接続された２個以上の演算処理ユニ
ットを具備し、パイプライン演算方式でデータを処理す
るデータ処理装置の制御方法において、 前記データ処理装置に障害が発生した時に、前記各演算
処理ユニット内で演算処理が施される演算対象データに
対して演算処理を施すことなく、前記演算対象データを
そのまま出力データとして前記各演算処理ユニットから
出力させることを特徴とするデータ処理装置の制御方
法。 - 【請求項２】 前記いずれかの演算処理ユニット内で演
算処理が施される演算対象データにデータ誤りが検出さ
れた時に、前記演算対象データに対して演算処理を施す
ことなく、前記演算対象データをそのまま出力データと
して前記各演算処理ユニットから出力させることを特徴
とする請求項１に記載されたデータ処理装置の制御方
法。 - 【請求項３】 前記データ誤りが検出された演算対象デ
ータに、障害フラグを設定することを特徴とする請求項
２に記載されたデータ処理装置の制御方法。 - 【請求項４】 前記データ処理装置は上位装置と接続さ
れ、前記上位装置からの指令に基づき、前記演算対象デ
ータに対して演算処理を施すことなく、前記演算対象デ
ータをそのまま出力データとして前記各演算処理ユニッ
トから出力させることを特徴とする請求項１ないし請求
項３のいずれか１項に記載されたデータ処理装置の制御
方法。 - 【請求項５】 前記データ処理装置の出力段に接続され
る解析用メモリを具備し、前記各演算処理ユニット内で
演算処理が施されずに、そのまま出力データとして前記
演算処理ユニットから出力される演算対象データを、前
記解析用メモリに格納することを特徴とする請求項１な
いし請求項４のいずれか１項に記載されたデータ処理装
置の制御方法。 - 【請求項６】 前記解析用メモリは、上位装置から読み
出し可能であることを特徴とする請求項５に記載された
データ処理装置の制御方法。 - 【請求項７】 前記データ処理装置は、複数個従属接続
されてなることを特徴とする請求項１ないし請求項６の
いずれか１項に記載されたデータ処理装置の制御方法。 - 【請求項８】 従属接続された２個以上の演算処理ユニ
ットを具備し、パイプライン演算方式でデータを処理す
るデータ処理装置において、 前記各演算処理ユニットは、前記各演算処理ユニット内
で演算処理が施される演算対象データに対して演算処理
を施すことなく、前記演算対象データをそのまま出力デ
ータとして前記各演算処理ユニットから出力させるスル
ーモード設定手段を具備することを特徴とするデータ処
理装置。 - 【請求項９】 前記各演算処理ユニットは、前記各演算
処理ユニットに入力される入力データあるいは前記各演
算処理ユニット内で演算処理が施された演算データをそ
のまま出力データとして出力させるセレクタ手段を具備
し、前記スルーモード設定手段は、前記セレクタ手段を
制御して、前記演算対象データに対して演算処理を施す
ことなく、前記演算対象データをそのまま出力データと
して前記各演算処理ユニットから出力させることを特徴
とする請求項８に記載されたデータ処理装置。 - 【請求項１０】 前記各演算処理ユニットは、前記演算
対象データのデータ誤りを検出するエラー検出手段を具
備し、前記いずれかの演算処理ユニットのエラー検出手
段で前記演算対象データのデータ誤りを検出した時に、
前記いずれかの演算処理ユニットのエラー検出手段から
出力されるエラー信号に基づいて、スルーモード設定手
段は、前記演算対象データに対して演算処理を施すこと
なく、前記演算対象データをそのまま出力データとして
前記各演算処理ユニットから出力させることを特徴とす
る請求項８または請求項９に記載されたデータ処理装
置。 - 【請求項１１】 前記各演算処理ユニットは、前記エラ
ー検出手段でデータ誤りが検出された演算対象データ
に、障害フラグを設定するフラグ設定手段を具備するこ
とを特徴とする請求項１０に記載されたデータ処理装
置。 - 【請求項１２】 前記データ処理装置はパイプ制御部を
具備し、前記スルーモード設定手段は、前記パイプ制御
部からのスルーモード指示に基づき、前記演算対象デー
タに対して演算処理を施すことなく、前記演算対象デー
タをそのまま出力データとして前記各演算処理ユニット
から出力させることを特徴とする請求項８ないし請求項
１１のいずれか１項に記載されたデータ処理装置。 - 【請求項１３】 前記データ処理装置は上位装置と接続
され、前記パイプ制御部は、前記上位装置からのスルー
モード指令に基づき、前記スルーモード設定手段に対し
て、スルーモード指示を発行することを特徴とする請求
項１２に記載されたデータ処理装置。 - 【請求項１４】 前記上位装置は、前記いずれかの演算
処理ユニットのエラー検出手段から出力されるエラー信
号を受けて、前記パイプ制御部に対して、スルーモード
指令を発行することを特徴とする請求項１３に記載され
たデータ処理装置。 - 【請求項１５】 前記データ処理装置の出力段に接続さ
れる解析用メモリを具備し、前記各演算処理ユニット内
で演算処理が施されずに、そのまま出力データとして前
記各演算処理ユニットから出力される演算対象データ
を、前記解析用メモリに格納することを特徴とする請求
項８ないし請求項１４のいずれか１項に記載されたデー
タ処理装置。 - 【請求項１６】 前記解析用メモリは、上位装置から読
み出し可能であることを特徴とする請求項１５に記載さ
れたデータ処理装置。 - 【請求項１７】 前記データ処理装置は、複数個従属接
続されてなることを特徴とする請求項８ないし請求項１
６のいずれか１項に記載されたデータ処理装置。 - 【請求項１８】 前記請求項８ないし請求項１７のデー
タ処理装置を具備することを特徴とする電子線描画装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9038744A JPH10240558A (ja) | 1997-02-24 | 1997-02-24 | データ処理装置の制御方法、データ処理装置、電子線描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9038744A JPH10240558A (ja) | 1997-02-24 | 1997-02-24 | データ処理装置の制御方法、データ処理装置、電子線描画装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10240558A true JPH10240558A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12533834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9038744A Withdrawn JPH10240558A (ja) | 1997-02-24 | 1997-02-24 | データ処理装置の制御方法、データ処理装置、電子線描画装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10240558A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006259970A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | データ処理装置、データ処理プログラムおよびデータ処理方法 |
| EP1351134A3 (en) * | 2002-04-01 | 2007-11-07 | Sony Computer Entertainment Inc. | Superpipelined arithmetic-logic unit with feedback |
| WO2022113736A1 (ja) * | 2020-11-24 | 2022-06-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 信号処理装置 |
-
1997
- 1997-02-24 JP JP9038744A patent/JPH10240558A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1351134A3 (en) * | 2002-04-01 | 2007-11-07 | Sony Computer Entertainment Inc. | Superpipelined arithmetic-logic unit with feedback |
| JP2006259970A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | データ処理装置、データ処理プログラムおよびデータ処理方法 |
| WO2022113736A1 (ja) * | 2020-11-24 | 2022-06-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 信号処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040511 |