JPH10270917A - 非可逆回路素子及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 挿入損失等の特性を改善することができ、よ
り一層小型かつ高性能の非可逆回路素子を得る。 【解決手段】 マイクロ波用磁性体１６の厚み方向外側
の少なくとも一方に永久磁石１７を配置し、周囲を磁気
ヨーク１８，１９で取り囲んでなる非可逆回路素子２０
において、マイクロ波用磁性体１６の厚みをＡ、マイク
ロ波用磁性体１６の側面１６ａと、磁気ヨーク１８の側
面１６ａと対向し合っている部分１８ａとの間の距離Ｂ
とが、Ｂ＞０．５Ａとされており、それによって永久磁
石１７により発生した直流磁界をマイクロ波用磁性体１
６に効率よく添加することを可能とした非可逆回路素子
２０。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、サーキュ
レータやアイソレータなどに代表される非可逆回路素子
及びその製造方法に関し、より詳細には、マイクロ波用
磁性体内部に複数の導体線路を一体的に形成してなる小
型の非可逆回路素子及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、携帯電話機などの移動体通信機器
の小型化が進んでおり、これらの機器に使用される非可
逆回路素子についても、小型のものが要求されている。
従来、マイクロ波用磁性体、導体線路、導体線路間を絶
縁するための絶縁膜などを個別に用意し、これらを組み
立てることにより、非可逆回路素子が製造されている。
しかしながら、この方法では、部品点数が多くなり、か
つ組立が煩雑であるため、製造コストが高くなるという
問題があった。また、多数の部品を組み立てる必要があ
るため、非可逆回路素子の小型化が困難であるという問
題もあった。

【０００３】そこで、複数のマイクロ波用磁性体グリー
ンシートを導体線路を介して積層し、磁性体グリーンシ
ートと導体線路とを一体焼成してなる焼結体を用いた非
可逆回路素子が提案されている（例えば、特開平６−２
０４７２３号公報など）。

【０００４】この方法では、まず、例えば、イットリウ
ムと鉄とを含む酸化物を主成分とする磁性体粉末に、バ
インダ及び溶剤を混合し、磁性体スラリーを得る。次
に、磁性体スラリーを用い、例えばドクターブレード法
によりシート成形し、複数枚の磁性体グリーンシートを
得る。

【０００５】次に、図４に示すように、磁性体グリーン
シート３２〜３４上に、それぞれ、パラジウム粉末など
の導電性粉末を主成分とする導体ペーストを印刷し、導
体線路３５，３６，３７を形成する。導体線路３５〜３
７は、磁性体グリーンシート３１〜３４を積層して得ら
れた積層体において、厚み方向に見た場合に、互いに１
２０°の角度を成すように交差されている。磁性体グリ
ーンシート３２〜３４と、磁性体グリーンシート３１と
を積層し、積層体を得る。

【０００６】次に、図５に示すように、磁性体グリーン
シート３１〜３４を積層してなる積層体の上面及び下面
に例えばパラジウム粉末を主成分とする導体ペーストを
塗布し、導体ペースト層３８，３９を形成する。さら
に、導体ペースト層３８，３９の外側から、磁性体グリ
ーンシート４０，４１を積層し、厚み方向に加圧するこ
とにより、積層体４２を得る。

【０００７】上記のようにして得た積層体４２を焼成炉
内で一体焼結し、それによって図６に示す非可逆回路素
子４３が得られる。なお、図６に示す非可逆回路素子４
３では、周囲に軟鉄などからなる薄板により構成された
矩形枠状の磁気ヨーク４４が取り付けられている。非可
逆回路素子４３は、上記焼成により得られた焼結体であ
り、ここでは、磁性体グリーンシート３１〜３４が焼成
されて磁性体層を構成しており、永久磁石グリーンシー
ト４０，４１も焼成されて永久磁石層を構成している
が、理解を容易とするために、図６における磁性体層及
び永久磁石については、図５の焼成前の各部分の参照番
号をそのまま用いることとする。

【０００８】磁気ヨーク４４は、永久磁石４０，４１と
共に磁気回路を構成しており、磁性体層３１〜３４間に
介在されている導体線路（図４参照）に直流磁界を効率
よく加えるために設けられている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記非可逆回路素子４
３では、磁気ヨーク４４を組み合わせることにより、導
体線路に直流磁界を効率よく加えることが可能とされて
いるが、磁気ヨーク４４は、非可逆回路素子４３の形状
に合わせて、該非可逆回路素子４３の周囲を取り囲むよ
うに、閉環状に構成されている。従って、マイクロ波用
磁性体４５の側面４５ａと、磁気ヨーク４４のマイクロ
波用磁性体の該側面４５ａと対向している部分４４ａと
の間の距離Ｂが比較的小さかった。

【００１０】そのため、図６に矢印Ｃで示すように、永
久磁石４０，４１で発生した直流磁界がマイクロ波用磁
性体４５内に効率よく加わらず、磁力線の一部が磁気ヨ
ーク４４側にずれるという問題があった。その結果、マ
イクロ波用磁性体４５に印加される磁界が小さくなると
共に、マイクロ波用磁性体４５内における直流磁界分布
が不均一となり、非可逆回路素子の特性、特に挿入損失
が悪化していた。

【００１１】本発明の目的は、上述した従来の非可逆回
路素子の欠点を解消し、挿入損失などの特性の劣化を引
き起こすことがなく、小型でかつ高性能の非可逆回路素
子及びその製造方法を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、マイクロ波用磁性体と、前記マイクロ波用磁性体内
において厚み方向に異なる位置に磁性体層を隔てて配置
されており、かつ互いに交差するように設けられた複数
の導体線路と、前記複数の導体線路の交差部分に直流磁
界を印加するためにマイクロ波用磁性体の厚み方向外側
の少なくとも一方に配置された永久磁石と、前記永久磁
石と組み合わされて磁気回路を構成するために、前記マ
イクロ波用磁性体及び永久磁石が積層されている積層体
の周囲を囲むように設けられた磁気ヨークとを備えるマ
イクロ波用非可逆回路素子において、前記マイクロ波用
磁性体の厚みをＡ、マイクロ波用磁性体の厚み方向に延
びる側面と、磁気ヨークのマイクロ波用磁性体の側面と
対向している部分との間の距離をＢとしたときに、Ｂ＞
０．５Ａとされていることを特徴とする、非可逆回路素
子である。

【００１３】本発明の係る非可逆回路素子では、マイク
ロ波用磁性体及び永久磁石が積層されている積層体の周
囲を囲むように磁気ヨークが設けられている構造におい
て、マイクロ波用磁性体の厚みＡと、上記距離Ｂとが、
Ｂ＞０．５Ａとされているので、永久磁石で発生した直
流磁界が、マイクロ波用磁性体により一層効果的に加え
られる。すなわち、永久磁石からの磁力線が、磁気ヨー
ク側にほとんどずれることなく、マイクロ波用磁性体を
通過することになり、それによって、非可逆回路素子に
おける損失の改善が果たされる。

【００１４】Ｂ≦０．５Ａでは、磁力線が磁気ヨーク側
にずれる量が多くなり、非可逆回路素子の損失が無視で
きなくなる。また、請求項２に記載の発明は、上記非可
逆回路素子の製造方法であり、導体線路が少なくとも一
面に印刷された磁性体グリーンシートを複数枚用意する
工程と、前記複数枚の磁性体グリーンシートを積層し、
厚み方向に圧着して成形体を得る工程と、前記成形体を
複数の導体線路と共に一体焼成し、複数の導体線路が内
部に配置されたマイクロ波用磁性体を得る工程と、前記
マイクロ波用磁性体の厚み方向外側の少なくとも一方に
永久磁石を配置する工程と、前記マイクロ波用磁性体及
び永久磁石を囲むように、かつマイクロ波用磁性体の厚
みをＡ、マイクロ波用磁性体の側面と磁気ヨークのマイ
クロ波用磁性体側面と対向している部分との距離をＢと
したときに、Ｂ＞０．５Ａとなるように磁気ヨークを配
置する工程とを備えることを特徴とする。

【００１５】本発明の非可逆回路素子の製造方法では、
上記マイクロ波用磁性体が、導体線路と共に一体詳細さ
れているので、マイクロ波用磁性体部分の小型化を果た
すことができ、かつＢ＞０．５Ａとされているため、直
流磁界がマイクロ波用磁性体に効果的に印加され、それ
によって損失の小さい小型の非可逆回路素子が構成され
得る。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の非限定的な実施例につき説明する。図１は、本発明の
非可逆回路素子の製造方法の一実施例を説明するための
分解斜視図である。まず、図１に示すように、複数枚の
マイクロ波用磁性体グリーンシート１〜１２を用意す
る。磁性体グリーンシート１〜１２は、強磁性体粉末
に、バインダ及び溶剤を混練してなるスラリーを用いて
シート成形することにより得ることができ、強磁性体粉
末を構成する材料としては、特に限定されるわけではな
いが、例えばＹＩＧ（イットリウム鉄ガーネット）など
のガーネット系フェライト；リチウムフェライトもしく
はＮｉフェライトなどのスピネル系フェライト；バリウ
ムフェライトなどのマグネトプランバイト系フェライト
などを例示することができる。

【００１７】また、上記強磁性体粉末を含む磁性体スラ
リーをシート成形する方法についても特に限定されるわ
けではないが、例えばドクターブレード法などにより行
うことができる。

【００１８】図１では、各磁性体グリーンシート１〜１
２は、平面形状が矩形であるように図示されているが、
磁性体グリーンシート１〜１２の平面形状については、
円形などの他の形状であってもよい。

【００１９】磁性体グリーンシート６〜８上には、それ
ぞれ、導体線路１３ａ〜１３ｃが形成されている。導体
線路１３ａ〜１３ｃは、導体ペーストをスクリーン印刷
などの適宜の方法により付与することにより形成されて
いる。導体ペーストとしては、磁性体グリーンシート６
〜８の材料に応じて適宜選択され、特に限定されるわけ
ではないが、例えば、パラジウムペーストや銀パラジウ
ムペーストなどを用いることができる。

【００２０】導体線路１３ａ〜１３ｃは、それぞれ、中
央部分が直線状の形状を有し、該直線状の部分が、磁性
体グリーンシート６〜８を積層した段階で、厚み方向に
見たときに、互いに１２０°の角度をなすように配置さ
れている。

【００２１】また、磁性体グリーンシート４上には、静
電容量を得るために、電極１４ａ〜１４ｃが形成されて
いる。電極１４ａ〜１４ｃについては、目的とする静電
容量に応じて適宜のパターンを有するように形成され得
る。

【００２２】磁性体グリーンシート３，１０上には、そ
れぞれ、アース電極１５ａ，１５ｂが形成されている。
アース電極１５ａ，１５ｂは、それぞれ、磁性体グリー
ンシート３，１０の上面のほぼ全領域を被覆するように
形成されている。もっとも、アース電極１５ａ，１５ｂ
は、磁性体グリーンシート３，１０の外周縁に引き出さ
れている部分を除いては、外周縁には至らないように形
成されている。

【００２３】電極１４ａ〜１４ｃ及びアース電極１５
ａ，１５ｂについても、パラジウムペーストや銀パラジ
ウムペーストなどの適宜の導体ペーストをスクリーン印
刷などにより印刷することにより形成することができ
る。

【００２４】磁性体グリーンシート１〜１２を、図１に
示す向きのまま積層し、厚み方向に加圧することによ
り、マイクロ波用磁性体部分を構成するための積層体を
得ることができる。

【００２５】上記積層体を焼成炉中で焼成することによ
り、磁性体グリーンシート１〜１２の焼成と、導体ペー
ストにより構成されている導体線路１３ａ〜１３ｃ、電
極１４ａ〜１４ｃ及びアース電極１５ｄ，１５ｂを焼結
することができる。すなわち、一体焼成型の焼結体とし
て、マイクロ波用磁性体を得ることができる。

【００２６】次に、図２に正面図で示すように、上記の
ようにして得られたマイクロ波用磁性体１６に永久磁石
１７を積層し、磁気ヨーク１８，１９を取り付けること
により、本実施例のマイクロ波用非可逆回路素子２０を
得ることができる。

【００２７】なお、永久磁石１７については、マイクロ
波用磁性体１６に十分な直流磁界を印加し得るかぎり、
フェライト系、希土類系などの適宜の永久磁石材料を用
いて構成することができる。

【００２８】また、本実施例では、マイクロ波用磁性体
１６の上方に永久磁石１７が積層されているが、永久磁
石は、マイクロ波用磁性体１６の下面側に位置されてい
てもよく、あるいはマイクロ波用磁性体１６の上面及び
下面の双方に永久磁石を配置してもよい。

【００２９】磁気ヨーク１８，１９は、両者が組み合わ
されて、マイクロ波用磁性体１６及び永久磁石１７から
なる積層体を閉環状に取り囲むように構成されている。
磁気ヨーク１８，１９は、永久磁石１７と共に磁気回路
を構成しており、永久磁石１７で発生した直流磁界をマ
イクロ波用磁性体１６に効率的に印加するために設けら
れている。磁気ヨーク１８，１９を構成する材料につい
ては、このような作用を果たす限り、適宜の磁性材料で
構成することができ、例えば軟鉄などにより構成するこ
とができる。

【００３０】なお、磁気ヨーク１８，１９は異なる材料
で構成されていてもよく、同じ材料で構成されていても
よい。さらに、磁気ヨーク１８，１９は、同じ材料によ
り一体の部材として構成されていてもよい。

【００３１】本実施例の特徴は、非可逆回路素子２０に
おいて、上記マイクロ波用磁性体１６の側面１６ａと、
磁気ヨーク１８のマイクロ波用磁性体１６の側面１６ａ
と対向している部分１８ａとの間の距離をＢ、マイクロ
波用磁性体１６の厚みをＡとしたときに、Ｂ＞０．５Ａ
とされていることにある。すなわち、Ｂ＞０．５Ａとな
るように、マイクロ波用磁性体１６の側面１６ａと磁気
ヨーク１８の部分１８ａとの間の距離が相対的に広げら
れている。

【００３２】従って、永久磁石１７で発生した直流磁界
は、図２に矢印Ｄで示すように、マイクロ波用磁性体１
６に効果的に印加される。すなわち、磁力線は、磁気ヨ
ーク１８側にほとんどずれることなく、マイクロ波用磁
性体１６内を通過する。

【００３３】従って、磁気ヨーク１８，１９を永久磁石
１７と組み合わせることにより、直流磁界をマイクロ波
用磁性体１６に効率的に印加し得るため、永久磁石１７
の小型化、ひいてはマイクロ波用非可逆回路素子２０の
小型化を果たすことができるだけでなく、上記Ｂ＞０．
５Ａとすることにより、より一層マイクロ波用磁性体に
直流磁界を効率よく印加することができる。その結果、
マイクロ波用非可逆回路素子２０における損失の低減、
並びにさらなる小型化を果たすことができる。

【００３４】なお、マイクロ波用磁性体１６において
は、側面に、適宜の外部電極が形成され、それによって
図３に示す回路の３ポート型の集中定数型非可逆回路素
子が構成される。言い換えれば、図３に示す回路を実現
し得るように、マイクロ波用磁性体１６の側面に適宜の
外部電極が形成される。この外部電極の形成について
は、従来より周知の方法、例えば導体ペーストの塗布・
焼付けなどにより形成することができる。

【００３５】外部電極の形成は、上記マイクロ波用磁性
体１６を得る焼成工程の前に、積層体側面に導体ペース
トを塗布し、マイクロ波用磁性体１６を焼成する際に焼
き付けることにより完成させてもよい。あるいは、磁性
体グリーンシート１〜１２を積層してなる積層体を焼成
して焼結体を得た後に、焼結体側面に外部電極を形成し
てもよい。この場合には、導電ペーストの塗布・焼付け
のほか、蒸着、めっき、もくしはスパッタリングなどの
適宜の方法により外部電極を形成することができる。

【００３６】さらに、上記実施例では、導体線路１３ａ
〜１３ｃ、電極１４ａ〜１４ｃ、アース電極１５ａ，１
５ｂ間の電気的接続は、上記のように、焼結体側面に外
部電極を形成することにより行われるが、焼結体内にお
いてこれらを電気的に接続するように構成してもよい。
すなわち、焼結体内に、ビアホール電極などを形成し、
それによって導体線路１３ａ〜１３ｃ、電極１４ａ〜１
４ｃ及びアース電極１５ａ，１５ｂ間の電気的接続を果
たしてもよい。もっとも、ビアホール電極等により焼結
体内において上記各電極間の電気的接続を果たす場合で
あっても、アース端子及び各ポートを構成するための電
極については、焼結体表面に形成する必要がある。

【００３７】また、上記実施例では、マイクロ波用磁性
体１６のみを、一体焼成、すなわちセラミック積層・一
体焼成技術により得ていたが、永久磁石１７や磁気ヨー
ク１８，１９についても、マイクロ波用磁性体１６と共
に一体焼成により形成してもよい。すなわち、磁性体グ
リーンシート１〜１２の積層に際し、さらに上面及び／
または下面に永久磁石グリーンシートを積層し、加圧
し、得られた積層体を焼成することにより、マイクロ波
用磁性体１６と永久磁石１７とが一体焼成された焼結体
としてもよい。

【００３８】また、本実施例では、複数の導体線路１３
ａ〜１３ｃは、３ポート型のアイソレータやサーキュレ
ータを構成するために、１２０°の角度をなすようにし
て交差されていたが、導体線路の数についても３本に限
定されるものではなく、かつ交差角度についても１２０
°に限定されるものではない。例えば、略９０°の角度
で交差する２本の導体線路を配置することによっても、
非可逆回路素子を構成することができる。

【００３９】さらに、３ポート型のアイソレータやサー
キュレータの場合においても、導体線路の数は３本とす
る必要は必ずしもなく、例えば、導体線路１３ａ〜１３
ｃのそれぞれを、複数本の互いに平行な導体線路により
構成してもよい。

【００４０】次に、Ｂ＞０．５Ａとしたことにより、損
失の低減を果たし得ることを、具体的な実験例に基づき
説明する。この実験例では、上述したマイクロ波用非可
逆回路素子２０を作製した。

【００４１】仕様は以下の通りである。磁性体グリーン
シート１〜１２については、ＹＩＧスラリーを用い、ド
クターブレード法によりシート成形したものを用いた。
導体線路１３ａ〜１３ｃ、電極１４ａ〜１４ｃ、アース
電極１５ａ，１５ｂについては、それぞれ、パラジウム
ペーストをスクリーン印刷することにより形成した。

【００４２】磁性体グリーンシート１〜１２を積層し、
加圧することにより得られた積層体を、焼成し、３．２
×２．７ｍｍのマイクロ波用磁性体１６を得た。さら
に、上記マイクロ波用磁性体１６の外表面に、銀ペース
トを用い、導体線路１３ａ〜１３ｃ、電極１４ａ〜１４
ｃ、アース電極１５ａ，１５ｂ間の電気的接続を果た
し、かつ図３に示すポートＰ１〜Ｐ３を構成するための
外部電極を同じく銀ペーストを用いて形成した。なお、
１個のポートＰ３については、終端抵抗器Ｒ１を接続し
た。この終端抵抗器Ｒ１については、銀ペーストを細く
印刷することにより形成した。

【００４３】上記のようにして得たマイクロ波用磁性体
１６の厚みＡは１．０ｍｍであった。次に、上記マイク
ロ波用磁性体１６に、ストロンチウムフェライトよりな
る永久磁石１７、マンガン亜鉛フェライトよりなる磁気
ヨーク１８及び軟鉄よりなる磁区ヨーク１９を組み合わ
せ、非可逆回路素子２０を得た。この場合、上記距離Ｂ
が、０．３Ａ、０．４Ａ、０．５Ａ、０．６Ａ、０．７
Ａとなるようにマイクロ波用磁性体１６の寸法を適宜調
整して、複数種のマイクロ波用非可逆回路素子を作製し
た。

【００４４】上記のようにして得た複数のマイクロ波用
非可逆回路素子について、１０キロエルステッドの磁界
中で着磁し、アイソレータとして動作し得るか否かを確
かめた。全ての非可逆回路素子が、アイソレータとした
動作した。また、上記複数のマイクロ波用非可逆回路素
子について、挿入損失を周波数２．０ＧＨ₂ においてベ
クトルネットワークアナライザを用いて測定した。結果
を下記の表１に示す。

【００４５】

【表１】

【００４６】表１から明らかなように、距離Ｂ＞０．５
Ａとすることにより、挿入損失の低減を図り得ることが
わかる。

【００４７】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、マイク
ロ波用磁性体の側面と、磁気ヨークのマイクロ波用磁性
体の該側面と対向している部分との間の距離Ｂが、マイ
クロ波用磁性体の厚みをＡとしたときに、Ｂ＞０．５Ａ
とされているため、永久磁石で発生した直流磁界が磁力
側にほとんどずれることなく、マイクロ波用磁性体に効
率よくかつ均一に直流磁界が印加される。従って、非可
逆回路素子の特性の改善、特に挿入損失の低減を図るこ
とができる。よって、永久磁石と磁気ヨークを組み合わ
せることにより、小型化が図られたマイクロ波用非可逆
回路素子において、距離Ｂ＞０．５Ａとすることによ
り、直流磁界をマイクロ波用磁性体に一層効果的に印加
することができるため、特性が優れているだけでなく、
より一層小型の非可逆回路素子を提供することが可能と
なる。

【００４８】請求項２に記載の発明に係る非可逆回路素
子の製造方法では、磁性体グリーンシートを導体線路と
共に積層し、一体焼成して得られた焼結体により、上記
マイクロ波用磁性体が得られるため、マイクロ波用磁性
体部分の小型化が図られ、しかも、請求項１に記載の発
明のように、Ｂ＞０．５Ａとされているため、特性に優
れており、かつより一層小型の非可逆回路素子を提供す
ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例において用意される複数枚の
磁性体グリーンシート及び導体線路等の電極を説明する
ための分解斜視図。

【図２】本発明の一実施例に係る非可逆回路素子の正面
図。

【図３】本発明の一実施例の非可逆回路素子の回路構成
を示す図。

【図４】従来の非可逆回路素子の製造方法を説明するた
めの分解斜視図。

【図５】従来の非可逆回路素子の製造に際して用意され
る積層体を示す斜視図。

【図６】従来の非可逆回路素子の正面図。

【符号の説明】

１〜１２…磁性体グリーンシート １３ａ〜１３ｃ…導体線路 １６…マイクロ波用磁性体 １６ａ…側面 １７…永久磁石 １８，１９…磁気ヨーク １８ａ…磁気ヨークのマイクロ波用磁性体側面と対向し
合っている部分 ２０…非可逆回路素子

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マイクロ波用磁性体と、 前記マイクロ波用磁性体内において厚み方向に異なる位
   置に磁性体層を隔てて配置されており、かつ互いに交差
   するように設けられた複数の導体線路と、 前記複数の導体線路の交差部分に直流磁界を印加するた
   めにマイクロ波用磁性体の厚み方向外側の少なくとも一
   方に配置された永久磁石と、 前記永久磁石と組み合わされて磁気回路を構成するため
   に、前記マイクロ波用磁性体及び永久磁石が積層されて
   いる積層体の周囲を囲むように設けられた磁気ヨークと
   を備えるマイクロ波用非可逆回路素子において、 前記マイクロ波用磁性体の厚みをＡ、マイクロ波用磁性
   体の厚み方向に延びる側面と、磁気ヨークのマイクロ波
   用磁性体の側面と対向している部分との間の距離をＢと
   したときに、Ｂ＞０．５Ａとされていることを特徴とす
   る、非可逆回路素子。
2. 【請求項２】 導体線路が少なくとも一面に印刷された
   磁性体グリーンシートを複数枚用意する工程と、 前記複数枚の磁性体グリーンシートを積層し、厚み方向
   に圧着して成形体を得る工程と、 前記成形体を複数の導体線路と共に一体焼成し、複数の
   導体線路が内部に配置されたマイクロ波用磁性体を得る
   工程と、 前記マイクロ波用磁性体の厚み方向外側の少なくとも一
   方に永久磁石を配置する工程と、 前記マイクロ波用磁性体及び永久磁石を囲むように、か
   つマイクロ波用磁性体の厚みをＡ、マイクロ波用磁性体
   の側面と磁気ヨークのマイクロ波用磁性体側面と対向し
   ている部分との距離をＢとしたときに、Ｂ＞０．５Ａと
   なるように磁気ヨークを配置する工程とを備える、非可
   逆回路素子の製造方法。