JPH10278780A - カセット搬送台車のレール構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レール部で発生する粉塵を確実にクリーンル
ーム外に排出することができるようにしたカセット搬送
台車のレール構造を提供すること。 【解決手段】 カセット搬送台車２を支持するレール構
造において、断面Ｃ字状に形成したレール１に、小孔１
４を多数穿設した隔壁１１を介して、吸塵室１２をレー
ル１の長手方向に沿って形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶の製
造工場等のクリーンルーム内において、半導体や液晶の
基板を収納するカセット等の搬送物（本明細書におい
て、「カセット」という。）を搬送するために使用され
るカセット搬送台車のレール構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体や液晶の製造工場等のクリ
ーンルーム内においてカセットを搬送するために、図３
に示すような搬送設備が使用されている。この搬送設備
は、クリーンルーム内の壁面にステー６を介して設けた
断面Ｃ字状に形成したレール１上を走行する搬送台車２
の上部に支持部材２９を介して配設した荷台２８にカセ
ット４を載置するようにしたもので、搬送台車２の台車
本体２０に配設した、走行用のモータ２１にて駆動され
る走行用車輪２２をレール１の下レール片１６の上端面
により支持するとともに、下部ガイドローラ２３ａ，２
３ｂにより下レール片１６の側面を挟持し、さらに、上
部ガイドローラ２４を上レール片１７の側面に当設する
ことにより、レール１上を搬送台車２が安定して走行す
ることができるように構成している。そして、断面Ｃ字
状に形成したレール１のウェブ部１８に形成した排気口
１８ａを介して排気ファン５を接続し、レールカバー１
０によって囲まれたレール内室１３の空気をクリーンル
ーム外に排出することにより、レール１と搬送台車２の
走行用車輪２２、下部ガイドローラ２３ａ，２３ｂ及び
上部ガイドローラ２４が接触することにより発生する粉
塵がクリーンルーム内に放出されないようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
搬送設備においては、レールカバー１０によって囲まれ
たレール内室１３の空気を、レール１のウェブ部１８に
形成した排気口１８ａを介して排気ファン５により直接
排出するようにしているため、排気口１８ａ近傍で発生
した粉塵は、空気と共にクリーンルーム外に排出するこ
とができるものの、排気口１８ａから離れた位置で発生
した粉塵は、排出されにくく、このため、粉塵がクリー
ンルーム内に放出されるおそれを完全に排除できないと
いう問題があった。

【０００４】また、従来の搬送設備においては、搬送台
車２の上部に支持部材２９を介して配設した荷台２８に
カセット４を載置するようにしているため、レール１の
上方に荷台２８及びカセット４が通過する空間を形成す
るためにレール１の下面から天井面３までの距離Ｈを大
きく取る必要があり、このため、クリーンルーム内の周
囲にレール１を設けた場合、クリーンルームの有効高さ
がレール１の下面によって制約を受け、例えば、クリー
ンルーム内に製造設備を搬入する際等においてレール１
が障害になるという問題があった。

【０００５】本発明は、上記従来の搬送設備の有する問
題点に鑑み、レール部で発生する粉塵を確実にクリーン
ルーム外に排出することができるようにしたカセット搬
送台車のレール構造を提供することを第１の目的とす
る。

【０００６】また、本発明は、レールの下面から天井面
までの距離Ｈを小さく設定して、十分なクリーンルーム
の有効高さを確保することができるようにしたカセット
搬送台車のレール構造を提供することを第２の目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記第１目的を達成する
ため、本第１発明は、カセット搬送台車を支持するレー
ル構造において、断面Ｃ字状に形成したレールに、小孔
を多数穿設した隔壁を介して、吸塵室をレールの長手方
向に沿って形成したことを特徴とする。

【０００８】このカセット搬送台車のレール構造は、断
面Ｃ字状に形成したレールに、小孔を多数穿設した隔壁
を介して、吸塵室をレールの長手方向に沿って形成する
ことにより、レール部で発生する粉塵をレール内室の空
気と共に、レールの長手方向の位置に関係なく均一に吸
塵室に吸引することにより、確実にクリーンルーム外に
排出することができる。

【０００９】また、上記第２目的を達成するため、本第
２発明は、本第１発明のカセット搬送台車のレール構造
において、カセット搬送台車の荷台を吊り下げ状態に支
持するようにしたことを特徴とする。

【００１０】このカセット搬送台車のレール構造は、レ
ールにカセット搬送台車の荷台を吊り下げ状態に支持す
ることにより、レールの上方に荷台及びカセットが通過
する空間を形成する必要がないことから、レールの下面
から天井面までの距離を小さく設定して、十分なクリー
ンルームの有効高さを確保することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明のカセット搬送台車
のレール構造の実施の形態を図面に基づいて説明する。

【００１２】図１〜図２に、本発明のカセット搬送台車
のレール構造を適用した搬送設備の一例を示す。この搬
送設備においては、クリーンルーム内の天井面３又は壁
面にステー６を介して断面Ｃ字状に形成したレール１
を、レール１の開口部をクリーンルーム内側に向けて設
けるようにする。

【００１３】このレール１に沿って走行する搬送台車２
には、搬送台車２の台車本体２０に逆Ｌ字状に形成した
支持部材２６を介して、荷台２８を吊り下げるように配
設し、この荷台２８上にカセット４を載置するようにす
る。

【００１４】また、搬送台車２は、搬送台車２の台車本
体２０に配設した、走行用のモータ２１にて駆動される
走行用車輪２２をレール１の下レール片１６の上端面に
より支持するとともに、下部ガイドローラ２３ａ，２３
ｂにより下レール片１６の側面を挟持し、さらに、上部
ガイドローラ２４を上レール片１７の側面に当設するこ
とにより、レール１に沿って搬送台車２が安定して走行
することができるように構成する。

【００１５】この場合において、下端に荷台２８を配設
した逆Ｌ字状に形成した支持部材２６を、搬送台車２の
台車本体２０にボギーピン２５を介して取り付けるよう
にして、台車本体２０を、荷台２８に対して水平面内に
おいて自由に揺動できるように構成する。これにより、
走行用車輪２２等が、レール１の形状に沿って自由に進
行方向を変更できるようにする。

【００１６】また、レール１に搬送台車２の荷台２８を
吊り下げ状態に支持するように構成する。これにより、
レール１の上方に荷台及びカセットが通過する空間を形
成する必要がないことから、レール１の下面から天井面
３までの距離Ｈを小さく設定して、十分なクリーンルー
ムの有効高さを確保することができるものとなる。

【００１７】また、逆Ｌ字状に形成した支持部材２６、
荷台２８及びカセット４の重量は、搬送台車２の台車本
体２０に掛かるが、この重量の掛かる位置を、台車本体
２０に配設した走行用車輪２２の鉛直面内に位置するよ
うに構成することにより、搬送台車２の走行安定性を向
上することができる。

【００１８】レール１には、レール１と搬送台車２の走
行用車輪２２、下部ガイドローラ２３ａ，２３ｂ及び上
部ガイドローラ２４が接触することにより発生する粉塵
がクリーンルーム内に放出されないようにするため、レ
ール１の開口部を覆うレールカバー１０を配設し、これ
により、逆Ｌ字状に形成した支持部材２６及び荷台２８
を除く搬送台車２の台車本体２０を、レール１及びレー
ルカバー１０によって区画され、支持部材２６が挿通さ
れる隙間を除いて略閉鎖された空間に閉じ込めるように
する。

【００１９】また、レール１のレール内室１３の奥に
は、小孔１４を多数穿設した隔壁１１を介して、吸塵室
１２をレール１の長手方向に沿って形成するとともに、
レール１のウェブ部１８に形成した排気口１８ａを介し
て排気ファン５を接続し、レールカバー１０によって囲
まれたレール内室１３の空気を、隔壁１１に穿設した小
孔１４を介して吸塵室１２に吸引した後、排気口１８ａ
を介してクリーンルーム外に排出するように構成する。
これにより、レール部で発生する粉塵をレール内室１３
の空気と共に、レール１の長手方向の位置、すなわち、
レール１のウェブ部１８に形成した排気口１８ａを介し
て排気ファン５を接続した位置に関係なく均一に吸塵室
１２に吸引することにより、確実にクリーンルーム外に
排出することができる。

【００２０】この場合、小孔１４は、下レール片１６と
走行用車輪２２及びガイドローラ２３ａ，２３ｂが接触
する位置及び上レール片１７と上部ガイドローラ２４が
接触する位置と略対向する位置に、レール１の長手方向
に沿って略等間隔に形成するようにする。また、排気フ
ァン５は、レール１に１個又は所定の間隔をあけて複数
個配設する。

【００２１】次に、この搬送設備の作用について説明す
る。排気ファン５を駆動することにより吸塵室１２の内
圧を負圧状態に維持しながら、搬送台車２をレール１に
沿って走行させると、レール１と搬送台車２の走行用車
輪２２、下部ガイドローラ２３ａ，２３ｂ及び上部ガイ
ドローラ２４が接触することにより発生した粉塵が、レ
ール内室１３の空気と共に、レール１の長手方向の位
置、すなわち、レール１のウェブ部１８に形成した排気
口１８ａを介して排気ファン５を接続した位置に関係な
く、隔壁１１に穿設した小孔１４を介して、均一に吸塵
室１２に吸引され、これにより、粉塵は確実にクリーン
ルーム外に排出される。

【００２２】

【発明の効果】本第１発明のカセット搬送台車のレール
構造によれば、簡易な構造でありながら、レール部で発
生する粉塵をレール内室の空気と共に、レールの長手方
向の位置に関係なく均一に吸塵室に吸引することがで
き、これにより、粉塵を確実にクリーンルーム外に排出
することができる。

【００２３】本第２発明のカセット搬送台車のレール構
造によれば、レールの上方に荷台及びカセットが通過す
る空間を形成する必要がないことから、レールの下面か
ら天井面までの距離を小さく設定して、十分なクリーン
ルームの有効高さを確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカセット搬送台車のレール構造を適用
した搬送設備の一例を示す断面図である。

【図２】同正面図である。

【図３】従来の搬送設備の一例を示す断面図である。

【符号の説明】

１ レール １０ カバー １１ 隔壁 １２ 吸塵室 １３ レール内室 １４ 小孔 ２ 搬送台車 ２０ 台車本体 ２１ モータ ２２ 走行用車輪 ２３ 下部ガイドローラ ２４ 上部ガイドローラ ２５ ボギーピン ２６ 支持部材 ２８ 荷台 ３ 天井 ４ カセット ５ 排気ファン ６ ステー

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセット搬送台車（２）を支持するレー
   ル構造において、断面Ｃ字状に形成したレール（１）
   に、小孔（１４）を多数穿設した隔壁（１１）を介し
   て、吸塵室（１２）をレール（１）の長手方向に沿って
   形成したことを特徴とするカセット搬送台車のレール構
   造。
2. 【請求項２】 カセット搬送台車（２）の荷台（２８）
   を吊り下げ状態に支持するようにしたことを特徴とする
   請求項１記載のカセット搬送台車のレール構造。