JPH10312585A5 - - Google Patents

Description

【０００２】
【従来の技術】
光学記録媒体、例えばＲＯＭ（Read Only Memory) 型の光ディスク、あるいは相変化記録層を有する書き換え可能型の光ディスク等においては、所要のフォーマットによるピットもしくは（および）グルーブ、すなわち微細凹凸パターンが形成される。
この微細凹凸パターンの形成は、この微細凹凸パターンの反転パターンによる凹凸パターンが形成されたスタンパを用いて射出成形することによって光ディスクの成型と同時に微細凹凸パターンを形成するとか、あるいは２Ｐ法（フォトポリマリゼーション：Photopolymerization 法) によって、すなわち基板上に紫外線硬化樹脂を塗布し、これに上述のスタンパを押圧して微細凹凸パターンを転写形成し紫外線照射するという方法が採られる。

【０００９】
本発明においては、前述した記録波長３５１ｎｍにおける記録スポット径の８５％以下程度の長さの、０．４０μｍ未満のきわめて短いピットを含む微細凹凸パターンを有する光学記録媒体においても、ピット幅のばらつきの改善をはかることができるようにし、またＲＦ信号の劣化を改善することができるようにする。

【００１０】
また、本発明においては、微細凹凸パターンが、上述した８５％以下程度の長さの、０．４０μｍ未満のきわめて短いピットを含むことのない、例えばグルーブのみによる微細凹凸パターンである場合においても、そのグルーブ幅を、上述の記録露光のスポット径に比して充分小さくする場合において有益な光学記録媒体作製用スタンパ、スタンパ用原盤、および光学記録媒体の製造方法を提供するものである。

【００１４】
また、本発明による光学記録媒体の製造方法においては、上述した各本発明による、すなわち凹凸パターンの凹凸表面に沿って薄膜を堆積して縮小凹凸パターンを形成する工程を経て得たスタンパによってフォトポリマー法もしくは射出成形法によって光学記録媒体を得る。

【００１５】
上述の本発明方法によれば、光学記録媒体を得るためのスタンパを形成する原盤もしくはマザー盤における凹凸パターンに薄膜の成膜を行うことによって縮小凹凸パターンを形成するようにしたことから、原盤形成の露光記録においては、その幅を大に形成することができる。つまり、例えばピット長が、記録波長３５１ｎｍにおける露光スポット径の８５％未満に相当する０．４０μｍ未満のピット長を含むフォーマットによる光学記録媒体を得る場合においても、その原盤形成の露光記録における凹凸パターンの幅を大に形成することができることから、その露光強度を充分大きくすることができ、図２３で説明したように、凹凸パターンの幅のばらつきを改善できる。また、露光強度を充分大きくすることができることから、いわゆる“きれ”のよいパターンとして形成することがでる。したがって、最終的に得る光学記録媒体における微細凹凸パターンは、その幅のばらつきが改善され、さらにパターンのいわゆる“きれ”がよい微細凹凸パターンとして形成されることからＲＦ特性の改善が図られる。

【００２０】
また、本発明による光学記録媒体の製造方法においては、上述した各本発明による、すなわち凹凸パターンの凹凸表面に沿って薄膜を堆積して縮小凹凸パターンを形成する工程を経て得たスタンパによってフォトポリマー法もしくは射出成形法によって光学記録媒体を得る。

【００２９】
このようにして得たスタンパ９を、図示しないが、射出成形用金型内に配置して、ポリカーボネート等の樹脂の注入を行って、スタンパ９の凹凸パターン２４が転写された微細凹凸パターン３４が形成された目的とする光学記録媒体１０例えば光ディスクを得る。

【００３９】
このようにして得たスタンパ７０を、図示しないが、射出成形用金型内に配置して、ポリカーボネート等の樹脂の注入を行って、スタンパ７０の凹凸パターン７４が転写された目的とする微細凹凸パターン３４が形成された光学記録媒体１０例えば光ディスクを得る。