JPH10508164A - 光検出器アレーを調節する方法と線走査カメラ用のビームスプリッティングおよび検出器構造体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は光検出器アレーを調節する方法と線走査カメラ用ビームスプリッティングおよび検出器構造体に関し、該構造体はケーシング（１０）により少なくとも後部から保護されかつ対物レンズの焦点面に対して調節されかつビームスプリッティングプリズム（２）の出口面に支持および調節構造体により接着された光検出器アレーを備えている。本発明によれば、支持および調節構造体は、光検出器アレー（１）を包囲する端縁（１９）とビームスプリッティングプリズムの出口面（４）との間に配置された接着剤層（６）を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】 光検出器アレーを調節する方法と線走査カメラ用のビームスプリッティング および検出器構造体 本発明は光検出器アレーを調節する方法および線走査カメラ用のビームスプリ ッティングおよび検出器構造体に関し、前記構造体はケーシングにより少なくと も後部から保護されかつ対物レンズの焦点面に対して調節されかつビームスプリ ッティングプリズムの出口面（exit surface）に支持および調節構造体により接 着された光検出器を備えている。 米国特許第４３２３９１８号および日本特許昭６３−９０９８５号明細書に基 づくと、光検出器がビームスプリッティングプリズムの出口面に光検出器アレー とビームスプリッティングプリズムとの間のスペーサを使用することにより接着 された調節構造体が知られている。米国特許第４３２３９１８号明細書において は、スペーサがビームスプリッティングプリズムと光検出器アレーとの間に配置 され、従って、スペーサは正確に測定されなければならない。日本特許昭６３− ９０９８５号による解決方法においては、光検出器アレーが保持ブロックの間に 接着され、それにより接着前に光検出器アレーを保持ブロックに関して移動する ことが可能であり、従ってプリズムに特定のスペーサを使用することは不必要で ある。また、米国特許第４９１６５２９号明細書は、ビームスプリッティングプ リズムおよび光検出器アレーの両方の表面が先ずはんだ付け可能であるように処 理され、かつこれにひき続いて、接着が例えば普通のはんだ付け用錫により行わ れる解決方法を開示している。このはんだ付け用錫は、同時に、ビームスプリッ ティングプリズムの出口面からの光検出器アレーの距離を決定する。最初に述べ た二つの解決方法に関する問題は、別個のスペーサを使用することが必要である ことであり、両方の方法とも製造を複雑化しかつ組立をさらに困難にする。最後 に述べた解決方法に関する問題は、また、はんだ付けのためにビームスプリッテ ィングプリズムと光検出器との両方を別個に調製することが必要であることであ り、かつ特に実際のはんだ付けとそれに付随した熱に関する問題の難問を含む。 米国特許第５３１５３８４号明細書は、また、一直線上に配置された三点光源 により発生した整合目標（alignment target）が使用され、かつ整合目標により 提供された像に基づいて、手動の荒い調節が光検出器のためにマイクロメータに より先ず行われ、その後、精密な調節が電気機械式マニプレータにより実施され る。しかしながら、光源の光の間の暗部（dark section）がいかなる信号をも発 生しないときに光検出器からのフィードバックを得ることが困難である。従って 、調節のために必要な信号が得られる前に、光検出器アレーを光源の光とほぼ同 じ線上に配置することが必要である。最後に、光検出器アレーがビームスプリッ ティングプリズムの出口面にそれらの間のスペーサに接着剤を塗布することによ り接着される。このスペーサを通じて紫外線を通すことができる。前記接着は、 スペーサが先ず光検出器アレーのケーシングの表面に紫外線感受性接着剤により 接着され、かつ前記スペーサの反対側もまた紫外線感受性接着剤によりビームス プリッティングプリズムの出口面に接着される。この調整方法においては、スペ ーサの表面からの不必要な反射を回避し、かつ他方、光検出器の焦点を最適な態 様で合わせるために、正確な測定および製造のために注意深く選択された材料の スペーサを使用することが必要である。そのうえ、スペーサが特に選択された光 検出器アレーであることが必要である。 本発明の一つの目的は、ビームスプリッティングおよび検出器装置ならびに光 検出器アレーを調節する方法を導入することにあり、この方法により、高価であ りかつ製造することが困難であるスペーサの使用をやめることができ、それにも かかわらず、容易に自動化可能でありかつ手動の荒い整合段階を必要としない方 法により調節を確実にかつ正確に実施することができる。この目的は、本発明に よるビームスプリッティングおよび検出器構造体により達成され、この構造体は 光検出器アレーの支持および調節構造体が光検出器アレーを包囲するケーシング の端縁とビームスプリッティングプリズムの出口面との間に配置された接着剤層 を備えていることを特徴とする。この接着剤層により、一方において、光検出器 アレーをビームスプリッティングプリズムの出口面に接着することが可能であり 、かつ他方において、前記プリズムが本発明に関する限り特に不可欠であり、接 着剤が依然として新鮮であるときに、光検出器を対物レンズの焦点面に対して調 節 するように接着剤層の厚さを調整することができる。 光検出器アレーを対物レンズの焦点面に対して調節するための本発明の方法の 特徴は、以下の工程、すなわち、 線形光(line-formed light)または線形部分（line-formed portions）の光が 整合目標からビームスプリッティングプリズムを通じてその出口面まで導かれ、 要素アレーが出口面上の整合目標の線形像と交差するように光検出器アレーが ビームスプリッティングプリズムの出口面に近く位置決めされ、 光検出器アレーの検出器の光レベルが相互に本質的に対応するように光検出器 アレーがビームスプリッティングプリズムの出口面上の線形像に関して調節され 、かつ 光検出器アレーがそのケーシングによりビームスプリッティングプリズムに対 して支持される諸工程を含むことにある。 従って、本発明の方法は光検出器アレー自体により発生された電気信号を利用 している。前記信号を監視することにより、最適の整合を実施することが可能で ある。また、本発明の方法は、光検出器アレーとそのケーシングとの間の潜在的 な位置の誤差を補正することが可能である。その理由は、光検出器アレーが今や ケーシング内のその位置と関係なく正しい位置（焦点面）に対して調節されるか らである。これは、中実の(solid)スペーサの代わりに、光検出器アレーがその ケーシングにより、厚さを最も有利に調節可能な接着剤の層によりビームスプリ ッティングプリズムの出口面に接着される事実に基づいている。接着剤層は距離 の距離の調節を可能にする以外に、ビームスプリッティングプリズムの出口面に 関してケーシングの種々の種類の傾斜を可能にする。 従って、本発明の方法が光検出器が焦点面に調節された後にビームスプリッテ ィングプリズムの焦点面に関して所望の角度に傾斜される付加的な工程を含むこ とが可能である。さて、この方法により、線カメラが目標に関して傾斜するよう に位置決めされるためにひき起こされる誤差を光検出器アレーを所望の角度に傾 斜することにより補正することができる。 本発明の方法において重要なことは、中実のスペーサが接着剤層と置き換えら れていることである。 接着が以下の工程、すなわち、 光検出器アレーおよびビームスプリッティングプリズムが相互にひき離され、 接着剤が光検出器アレーケーシングの端縁上に塗布され、 光検出器アレーがビームスプリッテイングプリズムから調節された距離だけ戻 るように移動せしめられ、 接着剤が硬化することが可能になり／接着剤が硬化され、かつ 光検出器アレーのケーシングとビームスプリッティングプリズムとの間の接合 部が接着剤によりシールされる諸工程を含んでいると有利である。 従って、調節は接着剤の塗布前に実施される。これにより、調節が続いて行わ れることが確認される。代替的にかつ特に調節がしばしば繰り返される決まりき った手順になった場合には、手順は次の工程、すなわち、光検出器アレーをビー ムスプリッティングプリズムの出口面に近く位置決めする前に接着に使用される 接着剤が光検出器アレーケーシングの端縁上に塗布され、 接着剤が調節後に硬化され、かつ光検出器アレーのケーシングとビームスプリ ッティングプリズムとの間の接合部が接着剤でシールされる諸工程を含むことが できる。 接着剤を接着剤のスポットとしてまたは接着剤の線として最も有利にケーシン グの端縁上に塗布することができる。 本発明の方法が使用されるときに、この方法は光検出器アレーをビームスプリ ッティングプリズムの出口面に近く位置決めする前に、またはケーシングの端縁 上に接着剤の実施可能な塗布前に、光検出器アレーケーシングの保護ガラスが除 去される工程を付加的に含むことができる。保護ガラスの除去により、１つのガ ラス層が光の伝達を阻止し、かつ前記ガラスの表面上の反射がそれにより除去さ れるので、光検出器アレーの感度がより良好になる。 本発明を添付図面を参照して以下にさらに詳細に説明する。 第１図は本発明の調整方法の基本原理を例示し、 第２図は調整に使用される装置のブロック線図を例示し、 第３図は後側から見たときの調整の初期における光検出器アレーの位置を例示 し、かつ 第４図は光検出器アレーケーシング上の接着剤スポットの塗布を例示している 。 本発明の方法はカメラの操作原理の利用に基づいている。この操作原理は第２ 図のブロック線図に例示してある。この線図においては、光が整合光源からカメ ラ光学的構成部分(camera optics)７およびビームスプリッティングプリズム（ 第２図には示さず）を通じて光検出器アレーに導かれる。光検出器アレーは、以 下の説明において、最も典型的な実行に基づいて、しばしばＣＣＤ検出器と呼ば れている。ＣＣＤ検出器はケーシング１０内に配置されている。ＣＣＤ検出器要 素により検出された光のレベルは、アナログ／ディジタル変換器１５に送られる 。Ａ／Ｄ変換器１５は信号をディジタルの形態に変換する。これに引き続いて、 信号は、好適なインタフェース回路１６を通じて画像処理回路１７に送られ、そ して画像処理回路１７から、さらにコンピュータ１８に送られる。コンピュータ １８は、画像処理回路１７から受けた信号を解読し、かつその解読に基づいて、 電動化調節機構８を制御する。調節機構８によりＣＣＤ検出器が所望の焦点面(f ocus plane)に対して調節される。 本発明の実施例においては、ＣＣＤ検出器１と光を２つまたはそれ以上の分光 帯域またはビームに分離するビームスプリッティングプリズム２が組立のために 別体であるカメラが使用される。それに加えて、この方法は、線形ビームまたは 線形部分のビームを発生する光源３と、画像処理装置（第２図におけるブロック １５，１６，１７および１８）とを備えている。整合の原理は第１図に示してあ る。整合のために必要なビームは、そのカバリングプレートの非常に精密な線形 光アパーチャ（line-formed light aperture）１１を含む光源により発生せしめ られる。カバリングプレート９は、光源の最も精密な部分である。プリズムの水 平な組立位置を使用可能にするために、光源は垂直位置にある。光源はビームス プリッティングプリズムを通じてビームを発生することが可能でなければならな い。ビームの幅は、光検出器アレーの１つの検出器要素の長さに最適に対応して いる。このような場合には、本発明の調節方法を可能な最も精密な態様で実施す ることができる。 この方法においては、対物レンズ７が光源３の線形ビームに向けられ、それに より該ビームを光学構成部分を通じて光軸に沿ったプリズム２の出口面（exit surfaces）４に偏向させる。調節機構８に装着されたＣＣＤ検出器１は、電子装 置により画像処理装置と結合され、そして整合がＣＣＤ検出器１により指示され た像信号により実施される。ＣＣＤ検出器がビームスプリットプリズムの出口面 に偏向されたビームの付近に配置されたときに、ＣＣＤ検出器の要素がビームを 検出し、かつ得られた像信号がフィードバックを行う。典型的な色線走査カメラ (colour line scan camera)においては３基が設けられているＣＣＤ検出器が整 合されかつビームの方向と対応するように検出器から得られた像信号により一度 に１つづつ取り付けられる。従って、整合は、検出器のすべてに関しては、ビー ムスプリッティングプリズムの対応した出口面上の整合光源の像のみに基づくこ とができるが、代替的には、第２光検出器および第３光検出器が整合されるとき には、唯一の目的は、光検出器のすべてが整合光源の類似の像を形成し、すなわ ち、相互に対応した光検出器アレー要素の光レベルが可能な限り類似しているこ とである。 本発明の方法においては、整合が光検出器からの像信号に基づいて実施される ので、ＣＣＤ検出器を所定位置に正確に取り付けることができる。その結果、フ ィードバックが調節されるべき対象物から直接に得られるので、調節シーケンス 全体の誤差がなくされる。整合の進行状態を常に監視することができる。調達さ れた構成部分の操作、組立の間の構成部品の操作がカメラにおけるその操作と同 じであるので、チェックすることができる。この方法の自動化は、画像処理装置 から得られた光電子工学的なフィードバックにより容易に達成することができる 。 この組立は、光ビームによる正しい位置へのＣＣＤ光検出器１の整合およびプ リズム２の表面４への調節された検出器の接着である二つの主な段階からなって いる。 整合はコンピュータで補助される方法で実施される。フィードバック制御アル ゴリズムが検出器を整合に関する要求条件を満たす位置に調節する。 色線走査カメラの像および色分離の品質は、ビームスプリッティングプリズム の表面上に対するおよび相互に対するＣＣＤ検出器の位置により大いに左右され る。光軸に関しかつ相互に関する光検出器の位置の僅かな偏差すらも像の品質を 劣化させる。像の色分離および鋭さに関する限り、３つの光検出器アレーの要素 の光学的なオーバレイ(optical overlay)がこの調節における最も本質的な要求 条件である。 正しい位置に加えて、ＣＣＤ検出器要素の正しい焦点距離を考慮しなければな らない。焦点を正しく合わせるべきあらゆる要素と要素アレーの露光量とを釣り 合わせるために、光学的距離は光検出器アレーの各々の要素に対して可能な限り 厳密に同じでなければならない。像の焦点を検出器の要素アレーの表面上に合わ せるときに、露光量が焦点面上で最も効率的である。もしもＣＣＤ検出器の要素 アレーがプリズムの表面に関して軸線方向に傾斜していれば、要素の焦点距離が 変化しかつ検出器の端部における露光量が劣化する。色成分(colour components )の露光量がこのような場合に釣り合っておらず、かつその結果、色合い(shades )が現実と調和しないので、傾斜の差異は特に色分離に影響をおよぼす。像の焦 点もまたずれており、その結果、分離能力に影響をおよぼす。 光検出器アレーの個々の光検出器のサイズは、典型的には、１３×１３マイク ロメータまたはそれ以下である。容認できる像を得るために、ＣＣＤ検出器要素 の光学的なオーバレイは少なくとも９０％であるべきである。 慣用の方法によれば、上記の精度に達することができないが、整合機構(align ment mechanics)の実施においては特殊の技術を使用することが必要である。 整合機構は光学的構成部分の調整に使用される作動要素(motion elements)に より、かつ非常に精密な作動のために設計されたモータにより実施することがで きる。このような場合には、この機構は既成の組立要素を使用することにより組 み立てることができ、かつ手動のマイクロねじを置換するために要素にマイクロ モータを取り付けることができる。従って、整合機構は、線形移動を発生する３ つの作動要素を備えることができ、該作動要素の作動の方向は相互に垂直（ｘ方 向、ｙ方向およびｚ方向）であり、かつ回転レベルが相互に垂直（もしも光検出 器アレーがｙ軸に平行であり、かつそのケーシングレベルがｘ−ｙレベルと同じ であれば、ｘ−ｙレベルにおけるｚ軸のまわりの回転およびｙ−ｚレベルにおけ るｘ軸のまわりの回転）である２つの回転要素を備えることができる。これは特 に精密な充分な調節を行う場合に問題をひき起こしかつ組立工程中に触れること から生ずる機構の震動および震動に関する問題をひき起こす手動のマイクロメー タねじを備えた作動要素をやめる方法である。 相互に関して調節されるべき部品の表面は、設定の成功にかなりの影響をおよ ぼす。通常、ＣＣＤの表面上には保護ガラスが設けられ、かつもしも前記ガラス がガラスプリズムの表面と接触すれば、これらの二つの表面の間に乾燥接着（dr u adhesion）が発生する。この事実のために、設定がさらに困難になる。 設定において摩擦によりひき起こされる問題は、もしもガラス整合面が整合に おいて互いに距離を隔てて配置されればば回避することができる。しかしながら 、ＣＣＤ検出器の表面上の保護ガラス、それらの間のプリスムおよび空気層は、 有害な反射をひき起こす。これらは光のある部分を反射するガラス−空気界面お よび空気−ガラス界面によりひき起こされる。 反射の問題に対する解決方法は、保護ガラスを使用しないでＣＣＤ検出器を使 用することである。検出器が環境条件、例えば、湿気のために汚れまたは損傷す るおそれは、このような場合にはより大きくなるが、しかしこのおそれは不純物 のないスペース構成により最小限度にとどめることができる。検出器の金属面は 不動態化され（passivized）ており、従って、保護ガラスを除去している間には 、保護ガスまたはその他の特殊の手順が不必要である。 もしもＣＣＤ検出器のガラス面が除去されれば、偏向界面（deflecting inter face）の数が増大せず、従って、反射の問題は起こらない。他方、接着面がより 小さくなるにつれて、検出器をプリズムに接着することがさらに困難になる。そ の場合には、検出器をプリズムに光検出器アレーを支持するケーシングの端縁に より接着させなければならず、これらの端縁は第４図に符号１９で示してある。 本発明の自動化された整合方法においては、コンピュータにより制御される移 動機構がＣＣＤ検出器をプリズム面に関して所望の位置に調節する。光電子工学 的なフィードバック設定アルゴリズムが検出器のために所定の整合要求条件が満 たされる位置を求める。 この調節プロセスにおいては、要素アレー１が出口面４上の整合目標の線形像 (line-formed image)５と交差するように光検出器アレー１がビームスプリット プリズム２の出口面４に近く位置決めされる。このような場合には、光検出器ア レーが像５と交差し、かつそれによりフィードバック情報がその交差から得られ ることが確実である。これにひき続いて、光検出器アレーが該光検出器アレーか ら得られた光レベル信号を監視することによりｚ軸方向の焦点面に向かって移動 せしめられる。信号がその最大レベルに達したときに、出口面からの距離が正し くかつ少なくとも光検出器アレーと像５との交差が焦点面内にある。次の工程は 、検出器の端縁をｘ−ｙレベルまたはｚ軸のまわりのビームに向かって回転する ことにより検出器アレーを光ビームに対して一方に偏向させることである。この 回転の間、制御装置が光ビームと検出器アレーとの交差点を焦点面内で連続する ように維持する。検出器により供給される光レベルの分布は、検出器の端縁要素 が光ビームに接近するにつれて漸次平滑化し始める。光レベル分布がさらに十分 になるときに、アルゴリズムが検出器の並行(parallelism)から離れて要素アレ ーを光ビームに対して長手方向に右側の位置に調節する。右側の位置が求められ ると直ちに、自動作用が停止され、かつ検出器をプリズムに接着することができ る。 整合の間、ＣＣＤ検出器により行われた光レベル分布に基づいて、達成された 光レベル分布の均一性を指示するパラメータが連続更新により計算される。この パラメータは容認できる整合のレベル精度を指示する不連続状態と比較される。 整合パラメータが不連続状態に達したときに整合自動作用が停止される。 光検出器アレーを該アレーの長手方向において正しい位置に配置するためには 、光源の光アパーチャの光レベル分布に対する暗頂点(dark peak)を創成する整 合マークが利用される。ＣＣＤ検出器のある光検出を暗頂点に対して調節するこ とにより要素アレーをその長手方向においても調節することができる。 ガラスの光学的特性に相当する光学的特性を有するある型式の接着剤がＣＣＤ 検出器を取り付けるために慣行的に使用されてきた。この接着剤は、プリズムと ＣＣＤ検出器の保護ガラスとの間に薄い均一なガラス状の層を形成してきた。本 発明の調整方法およびＣＣＤ保護ガラスの実施可能な除去を使用することにより 、非光学用接着剤の使用をも可能にすると共に、これらの接着剤は接着技術のあ る変更をひき起こす。 本発明の方法においては、この接着剤はもしも光伝達通路に使用されないとし ても、光学用である必要はない。電子産業により使用されている接着剤、例えば 、エポキシ接着剤は、もしもそれらの特性が検出器の取付けに好適でありかつそ れらの粘度がこの目的に適していれば、適用することができる。 この調節プロセスにおいては、所望の焦点距離を得るために、表面を相互に加 圧するかまたは引き離すかのいずれかが必要である。接着剤は取付けの間に取付 け面の移動に追従可能であるために十分な弾性を有していなければならない。取 付けの間の接着剤の層の厚さは、ほぼ０．３mmまたはそれ以上であるが、２mmよ りも薄ければ有利である。保護ガラスを有する光検出器アレーの場合には、保護 ガラスの表面全体に塗布される光学的な接着剤、または光検出器アレーおよびビ ームスプリットプリズムを包囲する端縁の間の非光学的接着剤または光学的接着 剤を使用することができる。保護ガラスを備えていない光検出器の場合には、後 者の接着方法のみを行うことができる。 接着剤のみが僅かな硬化収縮を生ずることが必要である。接着剤の一様でない 硬化により、取り付けられるべき表面に収縮に起因する張力が容易にひき起こさ れ、この張力のために取付け面が移動することがある。組立に使用される接着剤 は、１％の最大硬化収縮のみが許容される。接着剤の一様でない硬化によりひき 起こされる張力がより小さいので、接着剤をスポットとして適用することにより 取付けの始めにおける硬化収縮のおそれを低下させることができる。 接着剤の硬化時間は組立時間にかなりの影響をおよぼす。短い硬化時間により 、取付け面が移動するおそれが小さくなる。他方、非常に早く硬化する接着剤の 使用は議論のある問題になろう。硬化時間を短くすることは、もしも取付けを急 ぐために不可避であれば、組立に誤差が生ずることがある。 組立の要求条件は、触媒(catalysator)、例えば、紫外線を使用することによ り硬化を制御可能な態様で始めることができる接着剤により最良に満たされる。 そのうえ、通常、温度を上昇することにより接着剤の硬化を高めることができる 。しかしながら、このために、熱膨脹に起因する損傷が起きるおそれが高くなる 。 また、接着剤が５〜９０％の範囲内の未凝縮湿度（uncondensated humidity） に耐えることができることが必要である。耐振動性および耐衝撃性は、少なくと も、電子工学の要求条件を満たさなければならない。 両方がこの目的のために好適でありかつ機械的な要求条件を満たすいくつかの 代替接着剤がある。この方法においては、光学的な構成部分を接合するために意 図された二成分接着剤を使用することができ、かつ該接着剤の特性を成分の割合 を変更することにより調整することができる。代替接着剤は紫外線により硬化さ れる単一成分接着剤または多成分接着剤である。これらの接着剤は取扱いが簡単 であり、該接着剤は長期間にわたって処理することができ、かつ硬化の開始の制 御が可能である。 本発明による方法においては、取付け段階が接着剤なしで実施される調節段階 の直後に行われる。検出器が所望の位置に調節されると直ちに整合作動が所定位 置にロックされる。これにひき続いて、接着を行うために、光検出器のみがプリ ズムの表面に対して垂直に移動せしめられる。 整列したＣＣＤ検出器およびプリズムが接着剤をＣＣＤの表面に塗布するため に相互にひき離される。接着剤が塗布されたＣＣＤ検出器は、プリズムからその 調節された距離まで戻る直角運動により移動せしめられる。検出器が正しい位置 に配置されると直ちに、接着剤がその型式により硬化されるか、または硬化する ために残される。接着剤が塗布された領域が硬化しているときに、検出器がプリ ズムの表面と接着する。これにひき続いて、接合部が検出器にその端縁からプリ ズムまで接着剤を塗布することにより補強されかつシールされる。 第１段階においては、極めて小量の接着剤が小さい領域、例えば、検出器の隅 部または広い端縁にスポットまたは線としてのみ塗布される。このような接着剤 スポットは第４図に符号６で例示してある。 先ず検出器の小さいスポット状の領域に接着剤を塗布することにより、表面を 急速に硬化させることができ、それにより表面の硬化収縮または移動によりひき 起こされる欠陥が生ずるおそれが低くなる。 代替的に、接着剤スポットを有するＣＣＤ検出器を調節することができる。こ れはこの調節がカメラ組立体において決まりきった手順になるや否や特に行うこ とができる。 また、本発明の方法は、ＣＣＤ検出器をビームスプリットプリズムの焦点面に 関して所望の傾角に位置決めすることが可能である。この場合の出発点は、調節 後に調節機構がＣＣＤ検出器をビームスプリットプリズムの焦点面に関して所望 の傾角に保持する指令を与えられることを除いては、上記の実施例と同じである 。その後、ＣＣＤ検出器は、傾斜位置においてビームスプリッティングプリズム に接着される。接着手順は上記の説明の通りとすることができ、すなわち、接着 剤をＣＣＤ検出器の端縁上に適切なスポットとして塗布することができ、または ＣＣＤ検出器が先ずビームスプリットプリズムから正しい位置に移動するや否や 傾斜後のみに接着剤がこれらの表面に塗布される。このような制御された傾斜を 使用することにより、多数の新規の用途を有する線走査カメラを提供することが できる。この種類の傾斜により、もしも線走査カメラにより監視される対象に関 して傾斜した位置における線走査カメラを調節することが必要であればひき起こ される種々の種類の調整不良を補正することができる。このような傾斜の代替実 施例もまたＣＣＤ光検出器アレーとそのケーシングとの間のいかなる傾斜の誤差 をも補正する容易なかつ簡単な方法を提供することは明らかである。このような 僅かな修正は本発明の調整方法において自動的に行われる。 上記の説明において、本発明の方法の実施例のみについて記載したが、この方 法を添付した請求の範囲に決定された範囲から逸脱することなく変更することが できることを理解すべきである。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】１９９７年２月５日 【補正内容】 請求の範囲 １．線走査カメラ用ビームスプリッティングおよび検出器構造体であって、該 構造体がビームスプリッティングプリズム（２）と、ケーシング（１０）により 少なくとも後部から保護されかつ対物レンズ（７）の焦点面に対して調節される 光検出器アレー（１）と、ビームスプリッティングプリズム（２）の出口面（４ ）と光検出器アレー（１）との間の間隔を調節してそれにより光検出器アレーの 焦点を合わせるためにビームスプリッティングプリズム（２）の出口面（４）と 光検出器アレー（１）との間の支持および調節構造体とを備えている該構造体に おいて、支持および調節構造体が光検出器アレー（１）を包囲するケーシング（ １０）の端縁（１９）とビームスプリッティングプリズムの出口面（４）との間 に配置された接着剤層（６）からなることを特徴とするビームスプリッティング および光検出器構造体。 ２．光検出器アレー（１）のケーシング（１０）とビームスプリッティングプ リズムとの間の接合部がシールされていることを特徴とする請求の範囲第１項に 記載のビームスプリッティングおよび検出器構造体。 ３．前記接合部が接着剤でシールされていることを特徴とする請求の範囲第２ 項に記載のビームスプリッティングおよび検出器構造体。 ４．光検出器アレー（１）が焦点面に関して所望の傾角に傾斜し、それにより 光検出器アレーの一端部における接着剤層（６）がその他端部における接着剤層 よりも厚いことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のビームスプリッティング および検出器構造体。 ５．光検出器アレーを線走査カメラの対物レンズ（７）の焦点面に対して調節 しかつ光検出器アレーをこの位置においてビームスプリッティングプリズムの出 口面に支持構造体により取り付ける方法において、この方法が 線形光または線形部分の光が整合目標（３）からビームスプリッティングプリ ズム（２）を通じてその出口面（４）に導かれ、 光検出器アレー（１）が出口面上の整合目標の線形像（５）と交差するように 光検出器アレー（１）がビームスプリッティングプリズム（２）の出口面（４） の近くに位置決めされ、 光検出器アレーの検出器の光レベルが相互に本質的に対応するように光検出器 アレー（１）がビームスプリッティングプリズム（２）の出口面（４）上の線形 像（５）に関して調節され、かつ 光検出器アレー（１）がそのケーシング（１０）によりビームスプリッティン グプリズム（２）に対して支持されている諸工程を含むことを特徴とする方法。 ６．光検出器アレー（１）がそのケーシング（１０）によりビームスプリッテ ィングプリズム（２）に対して接着剤（６）で支持されていることを特徴とする 請求の範囲第５項に記載の方法。 ７．光検出器アレー（１）がそのケーシング（１０）によりビームスプリッテ ィングプリズム（２）の出口面に直接に接着されていることを特徴とする請求の 範囲第６項に記載の方法。 ８．前記方法が光検出器アレー（１）が調節後に焦点面に関して所望の角度に 傾斜される工程を付加的に含むことを特徴とする請求の範囲第６項に記載の方法 。 ９．接着が光検出器アレー（１）およびビームスプリッティングプリズム（２ ）が相互にひき離され、 接着剤（６）が光検出器アレーケーシング（１０）の端縁（１９）上に塗布さ れ、 光検出器アレー（１）がビームスプリッティングプリズム（２）から調節され た距離だけ戻るように移動され、かつ 接着剤（６）が硬化することを可能にし／接着剤が硬化される諸工程を含むこ とを特徴とする請求の範囲第５項から第８項までにいずれか１項に記載の方法。 10．前記方法が光検出器アレーをビームスプリッティングプリズム（２）の出 口面（４）に近く位置決めする前に、接着に使用される接着剤（６）が光検出器 アレー（１）のケーシング（１０）の端縁（１９）上に塗布され、かつ 接着剤（６）が調節後に硬化される諸工程を付加的に含むことを特徴とする請 求の範囲第５項から第８項のいずれか１項に記載の方法。 11．接着剤がスポット（６）として塗布され、かつ接着剤が硬化した後に光検 出器アレー（１）のケーシング（１０）とビームスプリッティングプリズムとの 間の接合部がシールされていることを特徴とする請求の範囲第９項または第１０ 項に記載の方法。 12．光検出器アレー（１）のケーシング（１０）とビームスプリッティングプ リズムとの間の接合部が接着剤でシールされていることを特徴とする請求の範囲 第１１項に記載の方法。 13．前記方法が光検出器アレー（１）をビームスプリッティングプリズム（２ ）の出口面（４）に近く位置決めする前に、またはケーシング（１０）の端縁上 の接着剤スポット（６）の実行可能な塗布前に、光検出器アレー（１）のケーシ ング（１０）の保護ガラスが除去される工程を付加的に含むことを特徴とする請 求の範囲第５項から第１２項までのいずれか１項に記載の方法。 14．接着剤の硬化が紫外線を接着剤に導くことを含むことを特徴とする請求の 範囲９項または第１０項に記載の方法。 15．ビームスプリッティングプリズム（２）の出口面上の線形光ビーム、また は線形部分からなる光ビームの幅が光検出器アレーの要素の幅に本質的に相当す ることを特徴とする請求の範囲第５項から第１４項までのいずれか１項に記載の 方法。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ， ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，Ｕ Ｇ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，Ｂ Ｙ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ， ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，Ｌ Ｖ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ， ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，Ｖ Ｎ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．線走査カメラ用ビームスプリッティングおよび検出器構造体であって、該 構造体がケーシング（１０）により少なくとも後部から保護されかつ対物レンズ （７）の焦点面に対して調節されかつビームスプリッティングプリズム（２）の 出口面（４）に支持および調節構造体により接着された光検出器アレー（１）を 備えている該構造体において、支持および調節構造体が光検出器アレー（１）を 包囲するケーシング（１０）の端縁（１９）とビームスプリッティングプリズム の出口面（４）との間に配置された接着剤層（６）を備えていることを特徴とす るビームスプリッティングおよび光検出器構造体。 ２．光検出器アレー（１）のケーシング（１０）とビームスプリッティングプ リズムとの間の接合部がシールされていることを特徴とする請求の範囲第１項に 記載のビームスプリッティングおよび光検出器構造体。 ３．前記接合部が接着剤でシールされていることを特徴とする請求の範囲第２ 項に記載のビームスプリッティングおよび検出器構造体。 ４．光検出器アレー（１）が焦点面に関して所望の傾角に傾斜し、それにより 光検出器アレーの一端部における接着剤層（６）がその他端部における接着剤層 よりも厚いことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のビームスプリッティング および検出器構造体。 ５．光検出器アレーを線走査カメラの対物レンズ（７）の焦点面に対して調節 しかつ該光検出器アレーをこの位置においてビームスプリッティングプリズムの 出口面に支持構造体により取り付ける方法において、この方法が 線形光または線形部分の光が整合目標（３）からビームスプリッティングプリ ズム（２）を通じてその出口面（４）に導かれ、 光検出器アレー（１）が出口面上の整合目標の線形像（５）と交差するように 光検出器アレー（１）がビームスプリッティングプリズム（２）の出口面（４） の近くに位置決めされ、 光検出器アレーの検出器の光レベルが相互に本質的に対応するように光検出器 アレー（１）がビームスプリッティングプリズム（２）の出口面（４）上の線形 像（５）に関して調節され、かつ 光検出器アレー（１）がそのケーシング（１０）によりビームスプリッティン グプリズム（２）に対して支持されている諸工程を含むことを特徴とする方法。 ６．光検出器アレー（１）がそのケーシング（１０）によりビームスプリッテ ィングプリズム（２）に対して接着剤（６）で支持されていることを特徴とする 請求の範囲第５項に記載の方法。 ７．光検出器アレー（１）がそのケーシング（１０）によりビームスプリッテ ィングプリズム（２）の出口面に直接に接着されていることを特徴とする請求の 範囲第６項に記載の方法。 ８．前記方法が光検出器アレー（１）が調節後に焦点面に関して所望の角度に 傾斜される工程を付加的に含むことを特徴とする請求の範囲第６項に記載の方法 。 ９．接着が光検出器アレー（１）およびビームスプリッティングプリズム（２ ）が相互にひき離され、 接着剤（６）が光検出器アレーケーシング（１０）の端縁（１９）上に塗布さ れ、 光検出器アレー（１）がビームスプリッティングプリズム（２）から調節され た距離だけ戻るように移動され、かつ 接着剤（６）が硬化することを可能にし／接着剤が硬化される諸工程を含むこ とを特徴とする請求の範囲第５項から第８項までのいずれか１項に記載の方法。 10．前記方法が光検出器アレーをビームスプリッティングプリズム（２）の出 口面（４）に近く位置決めする前に、接着に使用される接着剤（６）が光検出器 アレー（１）のケーシング（１０）の端縁（１９）上に塗布され、かつ 接着剤（６）が調節後に硬化される諸工程を付加的に含むことを特徴とする請 求の範囲第５項から第８項のいずれか１項に記載の方法。 11．接着剤がスポット（６）として塗布され、かつ接着剤が硬化した後に光検 出器アレー（１）のケーシング（１０）とビームスプリッティングプリズムとの 間の接合部がシールされていることを特徴とする請求の範囲第９項または第１０ 項に記載の方法。 12．光検出器アレー（１）のケーシング（１０）とビームスプリッティングプ リズムとの間の接合部が接着剤でシールされていることを特徴とする請求の範囲 第１１項に記載の方法。 13．前記方法が光検出器アレー（１）をビームスプリッティングプリズム（２ ）の出口面（４）に近く位置決めする前に、またはケーシング（１０）の端縁上 の接着剤スポット（６）の実行可能な塗布前に、光検出器アレー（１）のケーシ ング（１０）の保護ガラスが除去される工程を付加的に含むことを特徴とする請 求の範囲第５項から第１２項までのいずれか１項に記載の方法。 14．接着剤の硬化が紫外線を接着剤に導くことを含むことを特徴とする請求の 範囲９項または第１０項に記載の方法。 15．ビームスプリッティングプリズム（２）の出口面上の線形光ビーム、また は線形部分からなる光ビームの幅が光検出器アレーの要素の幅に本質的に相当す ることを特徴とする請求の範囲第５項から第１４項までのいずれか１項に記載の 方法。