JPH1051004A5 - - Google Patents

Description

【発明の名称】薄膜トランジスタ

Claims (13)

1. 活性層を有し、
   前記活性層には、前記活性層の両端に設けられた２つのソース領域と、前記２つのソース領域の間に設けられた２つのチャネル領域と、前記２つのチャネル領域の間に設けられた１つのドレイン領域と、前記ドレイン領域と前記２つのチャネル領域との間に設けられた２つの高抵抗領域とが形成され、
   前記２つのチャネル領域のそれぞれの上にゲイト絶縁膜を介して２つのゲイト電極が形成された薄膜トランジスタであって、
   前記２つのソース領域を結ぶ線上における前記２つの高抵抗領域の長さの和は一定となることを特徴とする薄膜トランジスタ。
2. 活性層を有し、
   前記活性層には、前記活性層の両端に設けられた２つのソース領域と、前記２つのソース領域に接して設けられた２つの高抵抗領域と、前記２つの高抵抗領域の間に設けられた２つのチャネル領域と、前記２つのチャネル領域に接して設けられた１つのドレイン領域とが形成され、
   前記２つのチャネル領域のそれぞれの上にゲイト絶縁膜を介して２つのゲイト電極が形成された薄膜トランジスタであって、
   前記２つのソース領域を結ぶ線上における前記２つの高抵抗領域の長さの和は一定となることを特徴とする薄膜トランジスタ。
3. 活性層を有し、
   前記活性層には、前記活性層の両端に設けられた２つのソース領域と、前記２つのソース領域の間に設けられた２つのチャネル領域と、前記２つのチャネル領域の間に設けられた１つのドレイン領域と、前記ドレイン領域と前記２つのチャネル領域との間に設けられた２つの低濃度不純物領域とが形成され、
   前記２つのチャネル領域のそれぞれの上にゲイト絶縁膜を介して２つのゲイト電極が形成された薄膜トランジスタであって、
   前記２つのソース領域を結ぶ線上における前記２つの低濃度不純物領域の長さの和は一定となることを特徴とする薄膜トランジスタ。
4. 活性層を有し、
   前記活性層には、前記活性層の両端に設けられた２つのソース領域と、前記２つのソース領域に接して設けられた２つの低濃度不純物領域と、前記２つの低濃度不純物領域の間に設けられた２つのチャネル領域と、前記２つのチャネル領域に接して設けられた１つのドレイン領域とが形成され、
   前記２つのチャネル領域のそれぞれの上にゲイト絶縁膜を介して２つのゲイト電極が形成された薄膜トランジスタであって、
   前記２つのソース領域を結ぶ線上における前記２つの低濃度不純物領域の長さの和は一定となることを特徴とする薄膜トランジスタ。
5. 請求項１または２において、前記２つのソース領域を結ぶ線上における前記２つの高抵抗領域の長さは互いに異なることを特徴とする薄膜トランジスタ。
6. 請求項３または４において、前記２つのソース領域を結ぶ線上における前記２つの低濃度不純物領域の長さは互いに異なることを特徴とする薄膜トランジスタ。
7. 請求項１乃至請求項６のいずれか一において、前記ゲイト電極は、モリブデンシリサイド、アルミニウム、タンタルまたは一導電型を有するシリコンから構成されることを特徴 とする薄膜トランジスタ。
8. アクティブマトリクス型の液晶表示パネルに用いられることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一に記載の薄膜トランジスタ。
9. 投影装置に具備されたアクティブマトリクス型の液晶表示パネルに用いられることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一に記載の薄膜トランジスタ。
10. パーソナルコンピュータに具備されたアクティブマトリクス型の液晶表示パネルに用いられることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一に記載の薄膜トランジスタ。
11. カーナビゲーションシステムに具備されたアクティブマトリクス型の液晶表示パネルに用いられることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一に記載の薄膜トランジスタ。
12. 投写型画像表示装置に具備されたアクティブマトリクス型の液晶表示パネルに用いられることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一に記載の薄膜トランジスタ。
13. ビデオカメラに具備されたアクティブマトリクス型の液晶表示パネルに用いられることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一に記載の薄膜トランジスタ。