JPH1076646A - インクジェット記録ヘッド及び該ヘッドを搭載するインクジェット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】位置のずらされた各ヒータに印加する電圧を一
定になるようにして、吐出性能を一定として、印字品位
のばらつきのないインクジェット記録ヘッド。 【解決手段】インクを吐出するために利用される発熱抵
抗体１０２と、発熱抵抗体１０２に電気的に接続する一
対の電極１０４とを備える複数の電気熱変換体と、電気
熱変換体の一対の電極１０４の一方に電気的に接続し、
各発熱抵抗体１０２を駆動するための複数の駆動素子１
０５と、複数の電気熱変換体の一対の電極１０４のもう
一方に電気的に接続する共通配線１０７と、発熱抵抗体
１０２の上方に各発熱抵抗体１０２に対応して設けられ
るインクを吐出する複数の吐出口と、吐出口に連通する
インク流路と、該インク流路に前記インクを供給するた
めの長溝状のインク供給口１０８と、を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体をオリフィス
から噴射して液滴を形成するインクジェット記録ヘッド
及び該ヘッドを搭載するインクジェット装置に関する。
特に、基板に対して垂直にインクが吐出し、ヒータが時
分割駆動をし、それによる被記録物に於ける着弾のずれ
をヒータ位置及びそれに対応する吐出口をずらすことに
よって補正するようにした、インクジェット記録ヘッド
及び該ヘッドを搭載するインクジェット装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のインクジェット記録ヘッドに関
し、例えば特開昭５４−５１８３７号公報に記載されて
いるインクジェット記録法は、熱エネルギーを液体に作
用させて、液滴吐出の原動力を得るという点において、
他のインクジェット記録方法とは異なる特徴を有してい
る。即ち、上述の公報に開示されている記録法は、熱エ
ネルギーの作用を受けた液体が加熱されて気泡を発生
し、この気泡発生に基づく作用力によって、記録ヘッド
部先端のオリフィス吐出口から液滴が形成され、この液
滴が被記録部材に付着して情報の記録が行われるという
ことを特徴としている。

【０００３】この記録法に適用される記録ヘッドは、一
般に液体を吐出するために設けられたオリフィスと、こ
のオリフィスに連通して液滴を吐出するための熱エネル
ギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部
とする液流路とを有する液吐出部、及び熱エネルギーを
発生する手段である電気熱変換体としての発熱抵抗体
（ヒータ）と、それをインクから保護する上部保護層と
蓄熱するための下部層とを具備している。

【０００４】上記のヘッドでその特徴を生かすため高密
度化、高速化のためヒータ数を多くすることが必要とな
っている。ところがヒータ数が多くなると外部配線板と
の電気接続数が多くなる。また、高密度でヒータを並べ
るとそれぞれのヒータの電極のピッチが小さくなり通常
の電気接続方法（ワイヤーボンディング等）では接続不
可能となる。そこで特開昭５７−７２８６７号公報に提
案されているように、基板上に駆動素子を作り込むこと
によって、上記問題を解決できる。ところで、特開昭５
９−９５１５４号公報に述べられているように、オリフ
ィスプレートを基板に貼り付けることによって、熱作用
部面から垂直に吐出するタイプのヘッドが提案されてい
る。

【０００５】このようなヘッドのヒータを多くする場
合、全ヒータを駆動する時のピーク電流を下げるため、
時分割で駆動するのが一般的である。ところが、時分割
で駆動すると、ヒータによって電圧が印加する時間が違
うため、吐出するタイミングが異なり、紙へのインクの
着弾位置が異なってしまい直線がギザギザになってしま
う。そのため、上述のタイプのヘッドにおいて、ヒータ
の位置を時分割駆動のタイミングに合わせてずらすこと
が提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】図５は従来のものにお
けるヒーター近傍を示す図であるが、この図５のよう
に、駆動素子が一列に並んでいて、共通電極がその上に
設けられているものの場合、ヒータ位置をずらすとヒー
タと駆動素子の配線間の距離が異なるので、選択電極の
抵抗値がヒータの位置によって、異なってしまう。ま
た、ヒータと共通電極までの距離が異なるので、ヒータ
と共通電極間の配線抵抗値が異なってしまう。そして上
記のパターンでは問題点が２つあった。その一つは、ヒ
ータとヒータの間に配線が通るため、高密度化のときに
ヒータ間の配線が邪魔になってしまう。また、ヒータの
横方向の自由度が少なくなり、高周波数対応ができなく
なる。他の一つは、ヒータとインク供給口間に折り返し
電極があるので、ヒータとインク供給口間の距離が大き
くなり、ヒータとインク供給口間の流抵抗が大きくな
る。したがって、吐出の周波数特性が悪くなり、高周波
数の吐出に対応することができなくなることがある。

【０００７】このようなことから、上記問題を解決する
ため、図６に示すようにヒータとインク供給口の間に電
極を設けないパターンが提案されている。しかしなが
ら、このようなパターンでヒータの位置ずらしを行う
と、ヒータと駆動素子の配線、ヒータと共通電極間の距
離が異なるためヒータの個別選択配線抵抗値、ヒータと
共通電極間の配線抵抗値が異なり、したがって、ヒータ
に印加される電圧が異なってしまう。その結果、印字性
能に影響が出てしまうことがある。さらに、ひどい場合
はヒータの位置によって吐出できないことがある。

【０００８】したがって、上記図６に示されるようなパ
ターンにおいては、ヒータの位置によってヒータに印加
する電圧を一定にするような電極、駆動素子の設計を行
う必要があった。特に、駆動素子を作り込む基板の場
合、駆動素子とヒータの間が狭いことによって配線の抵
抗値補正領域が狭いので、補正の方法を十分考える必要
がある。

【０００９】そこで、本発明は、上記従来のものにおけ
る課題を解決し、基板に対して垂直にインクが吐出し、
ヒータが時分割駆動をし、それによる被記録物に於ける
着弾のずれをヒータ位置及びそれに対応する吐出口をず
らすことによって補正するようにした、インクジェット
記録ヘッドにおいて、前記位置のずらされた各ヒータに
印加する電圧を一定になるようにして、吐出性能を一定
として、印字品位のばらつきのないインクジェット記録
ヘッドを提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、インクを吐出するために利用される発熱抵
抗体と、該発熱抵抗体に電気的に接続する一対の電極
と、を備える複数の電気熱変換体と、該電気熱変換体の
一対の電極の一方に電気的に接続し、各発熱抵抗体を駆
動するための複数の駆動素子と、前記複数の電気熱変換
体の一対の電極のもう一方に電気的に接続する共通配線
と、前記発熱抵抗体の上方に各発熱抵抗体に対応して設
けられるインクを吐出する複数の吐出口と、該吐出口に
連通するインク流路と、該インク流路に前記インクを供
給するための長溝状のインク供給口と、を有し、前記複
数の発熱抵抗体は前記インク供給口の長手方向に沿って
配列されるとともに、インク供給口までの最短距離が時
分割駆動されるタイミングによって異なるインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、前記一対の電極のうち、少なく
とも一方の電極の配線抵抗値がすべての電気熱変換体で
ほぼ等しくなっていることを特徴とするものである。

【００１１】本発明は、そのために、前記各ヒータに印
加する電圧を一定になるように少なくとも前記各ヒータ
に対する個別選択電極配線の幅、およびヒータと共通電
極との間の配線の幅を変える構成をとることができる。
また、本発明は、前記各ヒータに印加する電圧が一定に
なるように少なくとも前記各ヒータに対する個別選択電
極配線と駆動素子の配線、およびヒータと共通電極との
間の配線の接続位置を変える構成を採ることができる。
また、本発明は、前記各ヒータに印加する電圧が一定に
なるように前記各ヒータに対する駆動素子の位置を変え
る構成を採ることができる。また、本発明は、前記各ヒ
ータに印加する電圧が一定になるように前記各ヒータに
対する駆動素子への電力配線を補正する構成をとること
ができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】上記したように、本発明は位置ず
らしの行われた各ヒータに印加する電圧を一定とするた
めに、その手段の一つとして、ヒータの位置によって電
極配線幅を可変し、配線抵抗値を一定にする構成を採る
ことができる。具体的には、ヒータと駆動素子の配線と
の接続部、ヒータと共通電極の間の距離が大きいヒータ
は配線の太さを太くし、距離が小さいヒータは細くす
る。なお、配線の線幅を変えるのはヒータと駆動素子の
配線間の電極、ヒータと共通電極間の電極どちらか一方
でもよいし、両方でもよい。また、ヒータと駆動素子の
配線間の電極、ヒータと共通電極の間の距離が全体的に
短く、その間で抵抗値補正が出来ない時や、配線のオー
バエッチ量が一定でなく設計どおりに配線補正が出来な
い場合、さらに駆動素子の配線との接続位置とヒータと
の間を一定にして接続部にインクを接しないようにする
場合、ヒータと駆動素子の配線との接続位置までの距
離、ヒータと共通電極の間の配線の接続位置までの距離
を一定にする。駆動素子の電極は広くできるので接続位
置と駆動素子の間の距離が異なっていても抵抗値がほと
んど変わらない。また、ヒータと共通電極の間の配線の
接続位置が変わっても共通電極の幅が広いので十分対応
可能である。なお、接続位置を変えるのはヒータと駆動
素子の配線間、ヒータと共通電極間どちらか一方でもよ
いし、両方でもよい。

【００１３】さらに、駆動素子の配線と接続位置と駆動
素子の間の距離が異なっていることによる抵抗値の違い
が問題になる時は、駆動素子の位置をずらせばよい。ま
た、チップサイズが大きくなる、ロジック配線の引き回
しが難しくなるなど、駆動素子の位置をずらすことが難
しい場合、駆動素子に入力する電力配線の抵抗値を補正
する方法がある。補正の方法は駆動素子と電力配線との
間の配線の幅の補正、接続位置と駆動素子との間の距離
を一定にするなど考えられる。以上、解決方法として種
々上げたが、これら単独であっても良いし、複合されて
もよい。それぞれ、ヒータの位置の設計をした時、最適
の組み合わせで目的を達成出来れば良い。

【００１４】

【実施例】以下、実施例にしてがって詳細に説明する。 ［実施例１］図７は実施例１に係るインクジェット記録
ヘッドを示す斜視図である。本実施例のインクジェット
記録ヘッドは基板上に形成されたヒータにパルス状の電
圧を与えることによりそのヒータ上に高圧の気泡を発生
させ、この気泡の圧力でヒータに垂直な方向にインクを
吐出させるバブルジェット方式のヘッドである。図中、
参照符号１０１はシリコン（Ｓｉ）製の基板、参照符号
３０２はインク流路壁をなす層、参照符号３０３は吐出
口が形成されているオリフィスプレートである。参照符
号３０４はアルミ（Ａｌ）製のベースプレートであり、
Ｌ字型に湾曲した一方の面に上記基板１０１を接合して
いる。参照符号３０５はインクを収容するタンクであ
る。参照符号３０６はフレキシブルケーブル、参照符号
３０７は基板１０１上の配線とフレキシブルケーブル３
０６を接続するためのボンディングワイヤ、参照符号３
０８は本ヘッドが装着されるプリンタのキャリッジにお
ける装置本体側の電気接続と接続するための電気接点で
ある。オリフィスプレート３０３において、参照符号ｎ
１〜ｎ３２は吐出口を示し、これら吐出口は２列で、か
つ各列は互いに吐出口ピッチの１／２ずれて配置されて
いる。すなわち、吐出口ｎ１〜ｎ３２は千鳥状の配列を
なすものである。本ヘッドは後述のようにプリンタのキ
ャリッジに装着され、図７中矢印ｘの方向に移動しなが
ら吐出を行う。図８は、図７におけるＡＡ´線断面の主
要部を示す図である。インクは、インクタンク３０５か
らベースプレート３０４に開けられた穴３１０、Ｓｉ基
板１０１に開けられた穴（以下、これをインク供給口と
いう）１０８およびインク流路３１２を介してヒータを
含む室に至り、吐出口ｎｋ（ｋ＝１，２，…，３２）か
ら吐出される。図において参照符号ｈｋ（ｋ＝１，２，
…，３２）はＳｉ基板１０１上に形成されたヒータであ
る。吐出口ｎｋに対応して設けられるヒータは、図に示
すように吐出口の真下においてその中心と吐出口の中心
軸を一致させて設けられている。図９は各インク流路３
１２の形状およびそれぞれのインク流路におけるヒータ
ｈｋの配置を示す図である。同図に示すヒータｈｋの配
置、すなわち各ヒータｈｋ間の相対位置は、吐出口ｎｋ
の配置（吐出口間の相対位置）と一致する。ヒータｈ１
〜ｈ１０とヒータｈ１７〜ｈ３２の位置は、上述のよう
に各ピッチの１／２だけずれている。本ヘッドは３２個
のヒータを、それぞれ等しいヒータ数の時分割で予め定
められた１６回のタイミングで駆動する。従って、同一
タイミングでは吐出データに応じて最大２個のヒータが
駆動されることになる。本実施例において、「インク供
給口端からの距離」とは、左列のヒータについてはイン
ク供給口左端からの距離、右列のヒータについてはイン
ク供給口右端からの距離をそれぞれ意味する。尚、本実
施例にかかるインクジェット記録ヘッドは、同一タイミ
ングで駆動される２つのヒータはプリント媒体上で、例
えばキャリッジ移動方向である主走査方向に常に１０ド
ットピッチ分離れた位置にインクを着弾させるようにな
っている。

【００１５】図１は本発明の実施例１のヒータ近傍の詳
細平面図である。１０１は基板、１０２はヒータ、１０
３はヒータと駆動素子の配線との間の選択電極、１０４
はヒータと共通電極間の配線電極、１０５は駆動素子、
１０６は駆動素子の配線、１０７は共通電極、１０８は
インク供給口である。

【００１６】本実施例の記録ヘッドの作成過程を説明す
ると、まず、シリコン基板上にｂｉ−ＣＭＯＳプロセス
で駆動素子と論理素子を作成する。駆動素子のピッチは
ヒータのピッチと同様で３００ｄｐｉである。駆動素子
作成の最後に駆動素子の配線電極をＡｌ−Ｃｕで１．０
μｍ作成しパターニングし、層間絶縁層としてＳｉＯ2
を１．５μｍ作成する。次に、層間保護層に駆動素子の
配線とヒータの個別電極と接続する位置に２０μｍ×２
０μｍの大きさのスルホール１０９をエッチングによっ
て開ける。そして、ヒータ材としてＴａＮを０．１μｍ
形成する。その上に電極層としてＡｌを０．６μｍ形成
し、フォトリソ技術によって図１に示すようなパターン
に形成する。ヒータサイズは３０μｍ×３０μｍであ
る。

【００１７】図１に示すようにヒータ１０２−１と１０
２−２はインク供給口１０８からの距離をずらして設置
してある。駆動素子の配線との接続部のスルホール１０
９のヒータ側の端部とヒータの電極端部との間の寸法Ａ
は、１０２−１のヒータで１００μｍであり、１０２−
２のヒータで７５μｍである。また、ヒータの電極端部
と共通電極との間の距離Ｂは１０２−１のヒータで１５
０μｍであり、１０２−２のヒータで１２５μｍであ
る。したがって、電極配線の幅が同じであると電極配線
の抵抗値が１０２−１のヒータの配線抵抗値が１０２−
２のヒータの配線抵抗値の１．２５倍になる。このた
め、ヒータの配線が同じであるとヒータに印加する電圧
がかわって吐出性能がヒータによって異なり、印字性能
が悪くなる。

【００１８】このようなことから、本実施例では、配線
の太さを変えることで配線の抵抗値を補正した。ヒータ
と駆動素子の配線との間の選択電極の幅とヒータと共通
電極間の配線電極の幅両方とも１０２−１のヒータで２
０μｍ、１０２−２のヒータで１６μｍとした。１０２
−１のヒータの配線を１０２−２のヒータの配線の太さ
の１．２５倍にすることで駆動素子の配線との接続部の
スルホール１０９のヒータ側の端部とヒータの電極端部
との間１０２−２のヒータの配線抵抗値と、ヒータの電
極端部と共通電極との間の配線抵抗値を１０２−１のヒ
ータと両方とも同じにすることができた。そして、電極
の抵抗値が同じであることからヒータに印加する電圧を
同じにすることができた。

【００１９】［実施例２］図２は本発明の実施例２のヒ
ータ近傍の詳細平面図である。実施例１と同様にシリコ
ン基板上にｂｉ−ＣＭＯＳプロセスで駆動素子と論理素
子を作成する。駆動素子のピッチはヒータのピッチと同
様で３００ｄｐｉである。駆動素子作成の最後に駆動素
子の配線電極をＡｌ−Ｃｕで１．０μｍ作成しパターニ
ングし、層間絶縁層としてＳｉＯ2を１．５μｍ作成す
る。次に、層間保護層に駆動素子の配線とヒータの個別
電極と接続する位置に１０μｍ×１０μｍの大きさのス
ルホール１０９をエッチングによって開ける。スルホー
ル１０９の位置は図２に示すように、ヒータの位置のず
れに対応してヒータとスルホール１０９の距離Ａが一定
になるように形成する（５０μｍとした）。そして、ヒ
ータ材としてＴａＮを０．１μｍ形成する。その上に電
極層としてＡｌを０．６μｍ形成し、フォトリソ技術に
よって図２に示すようなパターンに形成する。

【００２０】ヒータと共通電極が接続する位置を、図２
に示すようにヒータの位置のずれに対応してヒータと共
通電極の距離Ｂが同じようにする（１００μｍとし
た）。ヒータサイズは３０μｍ×３０μｍである。電極
の太さはすべて２０μｍで一定である。このようにすれ
ば、配線抵抗値をどのヒータでも一定に出来、ヒータに
印加される電圧を一定にすることが出来た。ヒータと駆
動素子の配線との接続位置までの距離、ヒータと共通電
極までの距離を一定にしたので、電極層のオーバーエッ
チ量が変わっても、どの位置のヒータも配線抵抗値を一
定にすることができる。また、ヒータと駆動素子の電極
間の距離で配線抵抗値の調整をしないので、接続位置の
スルホール１０９とヒータ間の距離が十分とれるため、
スルホール１０９をノズル形成材などの有機樹脂で覆う
ことも可能になる。

【００２１】［実施例３］図３は本発明の実施例３のヒ
ータ近傍の詳細平面図である。上記、実施例１、２とも
駆動素子からスルホール１０９までの間の配線１０６は
ヒータの位置のずれによって、配線の長さが異なる。駆
動素子からスルホール１０９までの配線は、膜厚を厚く
出来、幅を太くできることから、実施例１，２ではこの
部分の抵抗値の違いを無視した。しかしながら、ヒータ
の位置ずれが大きい場合や、ヒータに印加される電圧に
よって大きく吐出性能がかわる場合、駆動素子からスル
ホール１０９までの間の配線を厚く、太く出来ない場合
時などは、この部分の補正をしなければいけない。その
ひとつの手段として駆動素子の位置を変えることによっ
て達成できる。

【００２２】以下、本実施例にしたがって詳細に説明す
る。実施例１と同様にシリコン基板上にｂｉ−ＣＭＯＳ
プロセスで駆動素子と論理素子を作成する。駆動素子の
ピッチはヒータのピッチと同様で３００ｄｐｉであり図
３に示すようにヒータの位置ずれに対応するように設置
されている。駆動素子作成の最後に駆動素子の配線電極
をＡｌ−Ｃｕで１．０μｍ作成しパターニングし、層間
絶縁層としてＳｉＯ2を１．５μｍ作成する。次に、層
間保護層に駆動素子の配線とヒータの個別電極と接続す
る位置に２０μｍ×２０μｍの大きさのスルホール１０
９をエッチングによって開ける。スルホール１０９の位
置は実施例２と同様に、ヒータの位置のずれに対応して
ヒータとスルホール１０９の距離Ａが一定になるように
形成する（５０μｍとした）。そして、ヒータ材として
ＴａＮを０．１μｍ形成する。その上に電極層としてＡ
ｌを０．６μｍ形成し、フォトリソ技術によって図３に
示すようなパターンに形成する。

【００２３】ヒータと共通電極が接続する位置を実施例
２と同様にヒータの位置のずれに対応してヒータと共通
電極の距離Ｂが同じようにする（１００μｍとした）。
ヒータサイズは２５μｍ×５０μｍである。電極の太さ
はすべて３０μｍで一定である。このようにすれば、配
線抵抗値と駆動素子の配線両方をどのヒータでも一定に
出来、ヒータに印加される電圧を精密に一定にすること
が出来た。

【００２４】［実施例４］図４は本発明の実施例４のヒ
ータ近傍の詳細平面図である。実施例３において、論理
配線の引き回しなどで駆動素子の位置を変えることが不
可能な場合、本実施例のように駆動素子に入力する電力
配線４１０を補正することによって、ヒータの電圧を一
定にすることが出来る。図４に示してあるとおり、駆動
素子へ入力する電力配線の接続位置を変えることによっ
て、駆動素子配線の抵抗値の補正をすることができる。
このようにすれば、駆動素子の位置を変えずにヒータに
印加される電圧を精密に一定にすることが出来る。図１
０は、上述した各実施例に関して説明したインクジェッ
トを用いることができるインクジェットプリンタの一例
を示す概略斜視図である。上述した各実施例のインクジ
ットヘッドは、イエロー（Ｙ），マゼンタ（Ｍ），シア
ン（Ｃ）およびブラック（ＢＫ）の各インク毎に設けら
れる。これら４個のインクジェットヘッドおよびこれら
のヘッドに供給するインクを貯留したタンクはキャリッ
ジ１２に着脱自在に搭載される。キャリッジ１２は、ガ
イド軸１１に対して摺動可能に設けられ、これにより不
図示のモータによって走行するベルト５２によってガイ
ド軸１１に沿った走査が可能となる。各インクジェット
ヘッドの吐出口に対向する部分ではキャリッジ１２の走
査に伴ってプリント媒体Ｐが間欠的に搬送される。すな
わち、上記対向する部分を挟んで２組の搬送ローラ対１
５，１６および１７，１８が設けられこれらが不図示の
モータによって回転することによりプリント媒体Ｐの間
欠送りがなされる。キャリッジのホームポジションに
は、各インクジェットヘッドの吐出回復処理を行うため
の回復ユニット１９が設けられている。

【００２５】

【発明の効果】以上のとおり、本発明は、インクを吐出
する手段を備えた基板に対して垂直にインクが吐出し、
前記基板に並設された各ヒータが時分割駆動をし、それ
による被記録物に於ける着弾のずれをヒータ位置及びそ
れに対応する吐出口をずらすことによって補正し、前記
各ヒータを駆動する素子が前記基板上に形成されている
インクジェット記録ヘッドにおいて、前記位置のずらさ
れた各ヒータに対して印加する電圧を一定になるように
構成して、インクの吐出性能を一定にすることを可能と
し、印字品位のばらつきのないインクジェット記録ヘッ
ドを実現することができる。本発明においては、ヒータ
と駆動素子の配線との接続部、ヒータと共通電極の間の
距離が大きいヒータは配線の太さを太くし、距離が小さ
いヒータは細くすることによって、配線抵抗値を一定に
することによって、ヒータに印加される電圧を一定にす
ることできる。また、本発明においては、ヒータと駆動
素子の配線間の電極、ヒータと共通電極の間の距離が全
体的に短く、その間で抵抗値補正が出来ない時や、配線
のオーバエッチ量が一定でなく設計どおりに配線補正が
出来ない場合、さらに駆動素子の配線との接続位置とヒ
ータとの間を一定にして接続部にインクを接しないよう
にする場合、ヒータと駆動素子の配線との接続位置まで
の距離、ヒータと共通電極の間の配線の接続位置までの
距離を一定にすることによってもヒータに印加される電
圧を一定にすることができる。さらに、本発明において
は、駆動素子の配線と接続位置と駆動素子の間の距離が
異なっていることによる抵抗値の違いが問題になる時
は、駆動素子の位置をずらすことによってもヒータに印
加される電圧を一定にすることができる。

【００２６】また、チップサイズが大きくなる、ロジッ
ク配線の引き回しが難しくなるなど、駆動素子の位置を
ずらすことが難しい場合、駆動素子に入力する電力配線
の抵抗値を補正する方法によってもヒータに印加される
電圧を一定にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１にかかるヒータ近傍の詳細図
である。

【図２】本発明の実施例２にかかるヒータ近傍の詳細図
である。

【図３】本発明の実施例３にかかるヒータ近傍の詳細図
である。

【図４】本発明の実施例４にかかるヒータ近傍の詳細図
である。

【図５】従来のヒータ近傍の詳細図である。

【図６】従来の更に別の形態のヒータ近傍の詳細図であ
る。

【図７】本発明にかかるインクジェット記録ヘッドを示
す模試的斜視図である。

【図８】図７におけるＡＡ´線断面の主要部を示す図で
ある。

【図９】図７のインクジェット記録ヘッドにおける各イ
ンク流路の形状およびヒータの配置を示す図である。

【図１０】本発明にかかるインクジェット記録ヘッドを
搭載可能なインクジェット記録装置を示す模式的斜視図
である。

【符号の説明】

１１：ガイド軸 １２：キャリッジ １５，１６，１７，１８：搬送ローラ １９：回復ユニット １０１：基板 １０２：ヒータ １０３：ヒータと駆動素子の配線との間の選択電極 １０４：ヒータと共通電極間の配線電極 １０５：駆動素子 １０６：駆動素子の配線 １０７：共通電極 １０８：インク供給口 １０９：スルホール ３０２：インク流路壁をなす層 ３０３：オリフィスプレート ３０４：アルミ（Ａｌ）製のベースプレート ３０５：インクを収容するタンク ３０６：フレキシブルケーブル ３０７：ボンディングワイヤ ３０８：電気接点 ３１０：ベースプレートに開けられた穴 ３１２：インク流路 ４１０：駆動素子に入力する電力配線

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】インクを吐出するために利用される発熱抵
   抗体と、該発熱抵抗体に電気的に接続する一対の電極
   と、を備える複数の電気熱変換体と、該電気熱変換体の
   一対の電極の一方に電気的に接続し、各発熱抵抗体を駆
   動するための複数の駆動素子と、前記複数の電気熱変換
   体の一対の電極のもう一方に電気的に接続する共通配線
   と、前記発熱抵抗体の上方に各発熱抵抗体に対応して設
   けられるインクを吐出する複数の吐出口と、該吐出口に
   連通するインク流路と、該インク流路に前記インクを供
   給するための長溝状のインク供給口と、を有し、前記複
   数の発熱抵抗体は前記インク供給口の長手方向に沿って
   配列されるとともに、インク供給口までの最短距離が時
   分割駆動されるタイミングによって異なるインクジェッ
   ト記録ヘッドにおいて、前記一対の電極のうち、少なく
   とも一方の電極の配線抵抗値がすべての電気熱変換体で
   ほぼ等しくなっていることを特徴とするインクジェット
   記録ヘッド。
2. 【請求項２】前記電気熱変換体の一対の電極は前記発熱
   抵抗体とインク供給口との間を避けて設けられている請
   求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
3. 【請求項３】前記電極と共通配線との接続位置が、すべ
   ての電気熱変換体で各発熱抵抗体から等距離離れた位置
   に設けられている請求項１に記載のインクジェット記録
   ヘッド。
4. 【請求項４】前記電極と駆動素子との接続位置が、すべ
   ての電気熱変換体で各発熱抵抗体から等距離離れた位置
   に設けられている請求項１に記載のインクジェット記録
   ヘッド。
5. 【請求項５】前記電極と共通配線との接続位置もしくは
   前記電極と駆動素子との接続位置が前記発熱抵抗体に近
   いものほど前記一対の電極の幅が細くなっている請求項
   １に記載のインクジェット記録ヘッド。
6. 【請求項６】前記駆動素子は接続される発熱抵抗体との
   距離がそれぞれ等しくなるようにずれて配置されている
   請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
7. 【請求項７】前記インクジェット記録ヘッドは前記駆動
   素子に入力する電力配線を備えているとともに、該電力
   配線は電気的に接続される発熱抵抗体との距離がそれぞ
   れ等しくなるようにずれて配置されている請求項１に記
   載のインクジェット記録ヘッド。
8. 【請求項８】請求項１に記載のインクジェットヘッドが
   搭載可能であり、前記ヘッドを搭載した状態で前記発熱
   抵抗体の配列方向と垂直方向に走査可能なキャリッジを
   備えるインクジェット記録装置。