JPH1095676A - セラミック基板の製造方法 - Google Patents
セラミック基板の製造方法Info
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- JPH1095676A JPH1095676A JP8251825A JP25182596A JPH1095676A JP H1095676 A JPH1095676 A JP H1095676A JP 8251825 A JP8251825 A JP 8251825A JP 25182596 A JP25182596 A JP 25182596A JP H1095676 A JPH1095676 A JP H1095676A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 10
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002472 Starch Polymers 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001413 amino acids Chemical class 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019698 starch Nutrition 0.000 description 1
- 239000008107 starch Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数のセラミックグリーンシートを重ね合わ
せて焼成してもそれぞれのセラミックグリーンシートが
焼きついて固着することなくセラミック基板が得られる
セラミック基板の製造方法を提供する。 【解決手段】 炉内に配置したセラミックグリーンシー
トを焼成するセラミック基板の製造方法において、複数
枚の前記セラミックグリーンシートを重ね合わせて棚板
に配置し、上記炉内を加熱するとともに、上記棚板に水
平振動を加えることである。
せて焼成してもそれぞれのセラミックグリーンシートが
焼きついて固着することなくセラミック基板が得られる
セラミック基板の製造方法を提供する。 【解決手段】 炉内に配置したセラミックグリーンシー
トを焼成するセラミック基板の製造方法において、複数
枚の前記セラミックグリーンシートを重ね合わせて棚板
に配置し、上記炉内を加熱するとともに、上記棚板に水
平振動を加えることである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は炉内に配置したセラ
ミックグリーンシートを焼成して形成するセラミック基
板の製造方法に関するものである。
ミックグリーンシートを焼成して形成するセラミック基
板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プリント配線板等に使用されるセラミッ
ク基板は、複数枚のセラミックグリーンシートを炉内の
棚板上に配置し、上記炉を電気ヒータやバーナーにより
加熱し、上記セラミックグリーンシートを焼成すること
により得ることができる。しかしながら、この方法でセ
ラミックグリーンシートを焼成するとセラミックグリー
ンシート同士またはセラミックグリーンシートと棚板と
が焼き付き、それぞれが固着してしまう問題があった。
そこで、セラミックグリーンシート間、及びセラミック
グリーンシートと棚板との間に敷粉または敷粉シートを
付加して焼成する方法が行われていたが、敷粉の場合、
焼成前に敷粉を塗布する工程と焼成後に敷粉を除去する
工程が、また、敷粉シートの場合には、焼成前に敷粉シ
ートを配置する工程が必要となり、それぞれの工程が付
加されるため作業効率が低下し、生産性が大幅に低下し
ていた。
ク基板は、複数枚のセラミックグリーンシートを炉内の
棚板上に配置し、上記炉を電気ヒータやバーナーにより
加熱し、上記セラミックグリーンシートを焼成すること
により得ることができる。しかしながら、この方法でセ
ラミックグリーンシートを焼成するとセラミックグリー
ンシート同士またはセラミックグリーンシートと棚板と
が焼き付き、それぞれが固着してしまう問題があった。
そこで、セラミックグリーンシート間、及びセラミック
グリーンシートと棚板との間に敷粉または敷粉シートを
付加して焼成する方法が行われていたが、敷粉の場合、
焼成前に敷粉を塗布する工程と焼成後に敷粉を除去する
工程が、また、敷粉シートの場合には、焼成前に敷粉シ
ートを配置する工程が必要となり、それぞれの工程が付
加されるため作業効率が低下し、生産性が大幅に低下し
ていた。
【０００３】そこで、上記敷粉や敷粉シートを使用せ
ず、固着すること無く焼成する方法が求められていた。
ず、固着すること無く焼成する方法が求められていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な事情に鑑みてなされたものであって、その目的とする
ところは、複数のセラミックグリーンシートを重ね合わ
せて焼成してもそれぞれのセラミックグリーンシートが
焼きついて固着することなくセラミック基板が得られる
セラミック基板の製造方法を提供することである。
な事情に鑑みてなされたものであって、その目的とする
ところは、複数のセラミックグリーンシートを重ね合わ
せて焼成してもそれぞれのセラミックグリーンシートが
焼きついて固着することなくセラミック基板が得られる
セラミック基板の製造方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明のセ
ラミック基板の製造方法は、炉内に配置したセラミック
グリーンシートを焼成するセラミック基板の製造方法に
おいて、複数枚の前記セラミックグリーンシートを重ね
合わせて棚板に配置し、上記炉内を加熱するとともに、
上記棚板に水平振動を加えることを特徴とする。
ラミック基板の製造方法は、炉内に配置したセラミック
グリーンシートを焼成するセラミック基板の製造方法に
おいて、複数枚の前記セラミックグリーンシートを重ね
合わせて棚板に配置し、上記炉内を加熱するとともに、
上記棚板に水平振動を加えることを特徴とする。
【０００６】請求項２に係る発明のセラミック基板の製
造方法は、上記請求項１記載のセラミック基板の製造方
法において、振動が０．０１Ｈｚ以上、１０Ｈｚ以下、
振動幅が０．０１ｍｍ以上、１ｍｍ以下であることを特
徴とする。
造方法は、上記請求項１記載のセラミック基板の製造方
法において、振動が０．０１Ｈｚ以上、１０Ｈｚ以下、
振動幅が０．０１ｍｍ以上、１ｍｍ以下であることを特
徴とする。
【０００７】上記振動が０．０１Ｈｚ未満であると振動
周期が遅くなり、振動幅を大きくしないと固着するが、
振動幅が１ｍｍ以上であると、セラミックグリーンシー
ト同士部分的に固着する所が発生し、振動の度に剥がれ
る現象が起きて表面が粗れる。また振動が１０Ｈｚ以上
になると、周期が短くなりセラミックグリーンシートの
移動が追従しなくなり、振動幅が０．０１ｍｍより小さ
くなるとセラミックグリーンシートが固着されてしま
う。
周期が遅くなり、振動幅を大きくしないと固着するが、
振動幅が１ｍｍ以上であると、セラミックグリーンシー
ト同士部分的に固着する所が発生し、振動の度に剥がれ
る現象が起きて表面が粗れる。また振動が１０Ｈｚ以上
になると、周期が短くなりセラミックグリーンシートの
移動が追従しなくなり、振動幅が０．０１ｍｍより小さ
くなるとセラミックグリーンシートが固着されてしま
う。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
る。
る。
【０００９】本発明のセラミック基板の製造方法で得ら
れるセラミック基板としては、例えば、アルミナ、窒化
アルミ、窒化ケイ素、窒化ボロン、フェライト、チタン
酸バリウム等のセラミック粉末が使用され、バインダー
としては、例えば、水、メチルセルロース、スターチ、
アミノ酸、フェノール樹脂、アクリル、酢酸ビニル、グ
リセリン及びグリコール等のように液状、粉末状を問わ
ず用いられ、併用することもできる。これらの材料を混
合分散し、例えばドクターブレード法等でシート状にし
て一定の大きさに打ち抜いてセラミックグリーンシート
が形成される。
れるセラミック基板としては、例えば、アルミナ、窒化
アルミ、窒化ケイ素、窒化ボロン、フェライト、チタン
酸バリウム等のセラミック粉末が使用され、バインダー
としては、例えば、水、メチルセルロース、スターチ、
アミノ酸、フェノール樹脂、アクリル、酢酸ビニル、グ
リセリン及びグリコール等のように液状、粉末状を問わ
ず用いられ、併用することもできる。これらの材料を混
合分散し、例えばドクターブレード法等でシート状にし
て一定の大きさに打ち抜いてセラミックグリーンシート
が形成される。
【００１０】図１は本発明のセラミック基板の製造方法
に使用される焼成装置の一例を示す概略図である。
に使用される焼成装置の一例を示す概略図である。
【００１１】図１に示す如く、焼成装置は炉１内に棚板
３が備えられ、この棚板３の上にセラミックグリーンシ
ート２が配置される。上記棚板３は、焼成するセラミッ
クグリーンシート２を保持するものであり、上記棚板３
は発熱体が内蔵され、さらに、振動発生装置５に連結さ
れている。
３が備えられ、この棚板３の上にセラミックグリーンシ
ート２が配置される。上記棚板３は、焼成するセラミッ
クグリーンシート２を保持するものであり、上記棚板３
は発熱体が内蔵され、さらに、振動発生装置５に連結さ
れている。
【００１２】上記発熱体はとしては、電気ヒータ、輻射
熱ヒータ、パネルヒータ等があり、本実施形態では電熱
ヒータ４を使用し、この電熱ヒータ４に電流を流すこと
により棚板３を加熱することができる。また、上記振動
発生装置５は、連結された棚板３に水平方向の振動を与
えるもので、その振動及び振動幅を任意に変化すること
ができる。
熱ヒータ、パネルヒータ等があり、本実施形態では電熱
ヒータ４を使用し、この電熱ヒータ４に電流を流すこと
により棚板３を加熱することができる。また、上記振動
発生装置５は、連結された棚板３に水平方向の振動を与
えるもので、その振動及び振動幅を任意に変化すること
ができる。
【００１３】また、上記棚板３には、配置したセラミッ
クグリーンシート２が振動で棚板３より落下しないよう
に、配置したセラミックグリーンシート２を囲うように
ガイド６が設けられている。図に示す棒状のガイド６
は、セラミックグリーンシート２を棚板３上に配置し易
いように、棚板３と嵌合自在に取り外すことができる。
上記ガイド６は、図に示す如く柱状のものの他に、板体
を屈折させ、屈折した内面がセラミックグリーンシート
２の四隅に沿うように配したものも使用する事ができ
る。
クグリーンシート２が振動で棚板３より落下しないよう
に、配置したセラミックグリーンシート２を囲うように
ガイド６が設けられている。図に示す棒状のガイド６
は、セラミックグリーンシート２を棚板３上に配置し易
いように、棚板３と嵌合自在に取り外すことができる。
上記ガイド６は、図に示す如く柱状のものの他に、板体
を屈折させ、屈折した内面がセラミックグリーンシート
２の四隅に沿うように配したものも使用する事ができ
る。
【００１４】さらに、上記焼成装置は炉１内に発熱体を
有し、本実施形態では電熱ヒータ４を使用し、この電熱
ヒータ４に電流を流すことにより発熱させ、炉１内を所
定の焼成温度まで加熱することができる。上記焼成温度
は、セラミックグリーンシート２の構成材料により、上
記棚板３に内蔵された電熱ヒータ４とともに適宜決定さ
れ、所望の焼成温度を得ることができる。
有し、本実施形態では電熱ヒータ４を使用し、この電熱
ヒータ４に電流を流すことにより発熱させ、炉１内を所
定の焼成温度まで加熱することができる。上記焼成温度
は、セラミックグリーンシート２の構成材料により、上
記棚板３に内蔵された電熱ヒータ４とともに適宜決定さ
れ、所望の焼成温度を得ることができる。
【００１５】次に上記焼成装置を用いたセラミック基板
の製造方法について説明する。本発明は、炉１内に設け
られた棚板３上に複数のセラミックグリーンシート２を
重ね合わせて配置し、そのセラミックグリーンシート２
を囲うようにガイド６を棚板３に嵌合して立設し、炉１
内に配された電熱ヒータ４に電流を流し、炉１内を所定
の焼成温度まで加熱するとともに、棚板３に内蔵した電
熱ヒータ４にも電流を流し、棚板３自身を加熱し、炉１
内の雰囲気温度の上昇に合わせて棚板３の温度を調整す
る。すると、セラミックグリーンシート２は、炉１内に
露出した面と棚板３に接触し炉１内に露出していない面
とが均一に加熱される。さらに、上記加熱と同時に棚板
３に連結された振動発生装置５を作用させる。この振動
発生装置５は、棚板３に連結され、棚板３に配置された
ものを水平方向に振動を与えることができ、本発明で
は、振動を０．０１Ｈｚ以上、１０Ｈｚ以下、振動幅が
０．０１ｍｍ以上、１ｍｍ以下に設定し、棚板３に振動
を与える。すると、棚板３に配置されたセラミックグリ
ーンシート２は互いに振動し、移動して固着することが
なく焼成することができる。また、上記振動でセラミッ
クグリーンシート２が一部ずれたとしても、棚板３に立
設したガイド６で、その周囲が抑制されているので、ず
り落ちることなく焼成することができる。
の製造方法について説明する。本発明は、炉１内に設け
られた棚板３上に複数のセラミックグリーンシート２を
重ね合わせて配置し、そのセラミックグリーンシート２
を囲うようにガイド６を棚板３に嵌合して立設し、炉１
内に配された電熱ヒータ４に電流を流し、炉１内を所定
の焼成温度まで加熱するとともに、棚板３に内蔵した電
熱ヒータ４にも電流を流し、棚板３自身を加熱し、炉１
内の雰囲気温度の上昇に合わせて棚板３の温度を調整す
る。すると、セラミックグリーンシート２は、炉１内に
露出した面と棚板３に接触し炉１内に露出していない面
とが均一に加熱される。さらに、上記加熱と同時に棚板
３に連結された振動発生装置５を作用させる。この振動
発生装置５は、棚板３に連結され、棚板３に配置された
ものを水平方向に振動を与えることができ、本発明で
は、振動を０．０１Ｈｚ以上、１０Ｈｚ以下、振動幅が
０．０１ｍｍ以上、１ｍｍ以下に設定し、棚板３に振動
を与える。すると、棚板３に配置されたセラミックグリ
ーンシート２は互いに振動し、移動して固着することが
なく焼成することができる。また、上記振動でセラミッ
クグリーンシート２が一部ずれたとしても、棚板３に立
設したガイド６で、その周囲が抑制されているので、ず
り落ちることなく焼成することができる。
【００１６】上述したように、本発明のセラミック基板
の製造方法によると、炉内の棚板上に配置された複数の
セラミックグリーンシートを、加熱して焼成進行中に棚
板に振動を与えながら焼成するので、重ね合わされたセ
ラミックグリーンシートが固着するのを抑制することが
できる。
の製造方法によると、炉内の棚板上に配置された複数の
セラミックグリーンシートを、加熱して焼成進行中に棚
板に振動を与えながら焼成するので、重ね合わされたセ
ラミックグリーンシートが固着するのを抑制することが
できる。
【００１７】特に上記棚板に与える振動を０．０１Ｈｚ
以上、１０Ｈｚ以下、振動幅が０．０１ｍｍ以上、１ｍ
ｍ以下に設定することによりその効果は著しいものとな
る。
以上、１０Ｈｚ以下、振動幅が０．０１ｍｍ以上、１ｍ
ｍ以下に設定することによりその効果は著しいものとな
る。
【００１８】
【発明の効果】本発明に係るセラミック基板の製造方法
によると、複数枚のセラミックグリーンシートを重ね合
わせて棚板に配置し、上記炉内を加熱するとともに、上
記棚板に水平振動を加えることにより、重ね合わされた
セラミックグリーンシートが固着することなく焼成する
ことができる。さらに、その振動が０．０１Ｈｚ以上、
１０Ｈｚ以下、振動幅が０．０１ｍｍ以上、１ｍｍ以下
であると、その効果が著しく得ることができる。
によると、複数枚のセラミックグリーンシートを重ね合
わせて棚板に配置し、上記炉内を加熱するとともに、上
記棚板に水平振動を加えることにより、重ね合わされた
セラミックグリーンシートが固着することなく焼成する
ことができる。さらに、その振動が０．０１Ｈｚ以上、
１０Ｈｚ以下、振動幅が０．０１ｍｍ以上、１ｍｍ以下
であると、その効果が著しく得ることができる。
【００１９】また、複数のセラミックグリーンシートを
一度に重ね合わせて焼成することができるので、効率的
に処理することができ生産性も向上する。
一度に重ね合わせて焼成することができるので、効率的
に処理することができ生産性も向上する。
【図１】本発明のセラミック基板の製造方法に使用され
る焼成装置の一例を示す概略図である。
る焼成装置の一例を示す概略図である。
１ 炉 ２ セラミックグリーンシート ３ 棚板 ４ 電熱ヒータ ５ 振動発生装置 ６ ガイド
Claims (2)
- 【請求項１】 炉内に配置したセラミックグリーンシー
トを焼成するセラミック基板の製造方法において、複数
枚の前記セラミックグリーンシートを重ね合わせて棚板
に配置し、上記炉内を加熱するとともに、上記棚板に水
平振動を加えることを特徴とするセラミック基板の製造
方法。 - 【請求項２】 上記請求項１記載のセラミック基板の製
造方法において、振動が０．０１Ｈｚ以上、１０Ｈｚ以
下、振動幅が０．０１ｍｍ以上、１ｍｍ以下であること
を特徴とするセラミック基板の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8251825A JPH1095676A (ja) | 1996-09-24 | 1996-09-24 | セラミック基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8251825A JPH1095676A (ja) | 1996-09-24 | 1996-09-24 | セラミック基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1095676A true JPH1095676A (ja) | 1998-04-14 |
Family
ID=17228488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8251825A Pending JPH1095676A (ja) | 1996-09-24 | 1996-09-24 | セラミック基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1095676A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3616809A1 (de) * | 2018-08-31 | 2020-03-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur herstellung von sinterzeug, sintereinrichtung und verfahren zur herstellung einer elektrischen maschine |
| CN120025172A (zh) * | 2025-04-18 | 2025-05-23 | 山东华屹科创纳米材料有限公司 | 一种微米级球形碳化硼陶瓷及其制备方法 |
-
1996
- 1996-09-24 JP JP8251825A patent/JPH1095676A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3616809A1 (de) * | 2018-08-31 | 2020-03-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur herstellung von sinterzeug, sintereinrichtung und verfahren zur herstellung einer elektrischen maschine |
| WO2020043565A1 (de) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur herstellung von sinterzeug, sintereinrichtung und verfahren zur herstellung einer elektrischen maschine |
| CN120025172A (zh) * | 2025-04-18 | 2025-05-23 | 山东华屹科创纳米材料有限公司 | 一种微米级球形碳化硼陶瓷及其制备方法 |
| CN120025172B (zh) * | 2025-04-18 | 2025-09-02 | 山东华屹科创纳米材料有限公司 | 一种微米级球形碳化硼陶瓷及其制备方法 |
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