JPH11149010A - カラーフィルタ用感放射線性組成物 - Google Patents
カラーフィルタ用感放射線性組成物Info
- Publication number
- JPH11149010A JPH11149010A JP33231697A JP33231697A JPH11149010A JP H11149010 A JPH11149010 A JP H11149010A JP 33231697 A JP33231697 A JP 33231697A JP 33231697 A JP33231697 A JP 33231697A JP H11149010 A JPH11149010 A JP H11149010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- meth
- acrylate
- acrylic acid
- copolymer
- bis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
も、未露光部に組成物の未溶解物(残渣)が残存した
り、画素上にスカムが発生することがなく、しかもパタ
ーン形状、基板との密着強度等にも優れた画素アレイを
高い歩留りで形成することができるカラーフィルタ用感
放射線性組成物を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタ用感放射線性組成物は、
(A)着色剤、(B)バインダーポリマー、(C)多官
能性モノマー、(D)ω−カルボキシ−ポリカプロラク
トンモノ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸ダ
イマーおよびジカルボン酸モノ(2−(メタ)アクリロ
イロキシエチル)の群から選ばれるカルボキシル基含有
単官能性モノマー、並びに(E)光重合開始剤を含有す
ることを特徴とする。
Description
置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタの
製造に使用されるカラーフィルタ用感放射線性組成物に
関する。
等に用いられるカラーフィルタを形成するには感放射線
性組成物が使用されており、かかる組成物としては、高
感度、基板との密着性、耐薬品性等が要求されるため、
一般にネガ型の感放射線性組成物が用いられている。こ
のようなネガ型感放射線性組成物を用いてカラーフィル
タを形成する際には、通常、透明基板上にパターン形状
の遮光層を形成して、着色剤を分散したネガ型感放射線
性組成物樹脂を基板上に塗布し、フォトマスクを介して
放射線を照射(以下、「露光」という。)したのち、現
像して、未露光部を現像液で溶解することにより、画素
パターンを形成しており、前記着色剤としては、赤、緑
および青の3原色が使用されている。前記着色剤を分散
したネガ型感放射線性組成物には、従来、(メタ)アク
リル酸等の酸性官能基を含有する樹脂、ペンタエリスリ
トールトリ(メタ)アクリレート等の多官能性モノマー
および1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等
の光重合開始剤を含むものが主に用いられている。しか
しながら、このようなネガ型感放射線性組成物からカラ
ーフィルタを形成しようとすると、アルカリ現像液を用
いて現像する際に、露光により硬化した画素部分がアル
カリ現像液により膨潤し、得られる画素パターンの分解
能が低下したり、画素パターンが変形することがあっ
た。特に、着色剤を分散したネガ型感放射線性組成物
を、例えば撮像管素子などのようにシリコーンウエハー
上に微細な画素アレイを形成するような電子工学的用途
に用いると、アルカリ現像液により現像する場合に、得
られた画素パターン上にスカム(浮きかす)が発生した
り、表面荒れを生じたり、画素アレイの一部が脱落する
などの問題点があり、高精度の画素アレイを高い歩留り
で製造することが困難であった。また、画素パターンの
密着強度が現像により低下してしまい、画素アレイの形
成後に配向膜や透明導電膜を設ける際に、画素パターン
が基板から剥離するという欠点もあった。このような問
題点を解決するものとして、例えば赤色顔料、ポリビニ
ルフェノール、メチロール化メラミンおよび1,1−ビ
ス(p−クロロフェニル)−2,2,2−トリクロロエ
タン等の光酸発生剤からなる化学増幅型のネガ型感放射
線性組成物も提案されており、該組成物を用いて得られ
たカラーフィルタは、微細な画素パターンであっても充
分な密着強度を有している。しかしながら、この化学増
幅型ネガ型感放射線性組成物を用いて微細な画素アレイ
を形成しようとすると、アルカリ現像液で現像する際
に、未露光部(非画素部)に、組成物の未溶解物(残
渣)が残存したり、画素上にスカムが発生することがあ
った。そのため、微細な画素アレイを形成する場合であ
っても、未露光部に組成物の未溶解物(残渣)が残存し
たり、画素上にスカムが発生することがなく、高精度で
かつ基板との密着強度に優れた画素アレイを形成しうる
ネガ型のカラーフィルタ用感放射線性組成物の開発が望
まれていた。
な事情に鑑みてなされたものであり、その課題は、微細
な画素アレイを形成する場合であっても、未露光部に組
成物の未溶解物(残渣)が残存したり、画素上にスカム
が発生することがなく、しかもパターン形状、基板との
密着強度等にも優れた画素アレイを高い歩留りで形成す
ることができるカラーフィルタ用感放射線性組成物を提
供することにある。
剤、(B)バインダーポリマー、(C)多官能性モノマ
ー、(D)ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ
(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸ダイマーお
よびジカルボン酸モノ(2−(メタ)アクリロイロキシ
エチル)の群から選ばれるカルボキシル基含有単官能性
モノマー、並びに(E)光重合開始剤を含有することを
特徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成物、からな
る。
はなく、カラーフィルタの用途に応じて適宜選定され、
また有機着色剤でも無機着色剤でもよい。前記有機着色
剤としては、染料、有機顔料、天然色素等を挙げること
ができ、また前記無機着色剤としては、無機顔料のほ
か、体質顔料と呼ばれる無機塩等を挙げることができる
が、カラーフィルタには高精密な発色と耐熱性が求めら
れることから、本発明における着色剤としては、発色性
が高く、かつ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高
い着色剤が好ましく、通常、有機着色剤および/または
カーボンブラックが使用され、特に有機顔料および/ま
たはカーボンブラックが好ましい。前記有機顔料として
は、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society
ofDyers and Colourists 社発行) において、ピグメン
ト(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下
記するカラーインデックス番号が付されているものを挙
げることができる。 C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー
13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイ
エロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメ
ントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.
ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー8
3、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエ
ロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグ
メントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー13
9、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイ
エロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピ
グメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー16
6、C.I.ピグメントイエロー168; C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ
43、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオ
レンジ61、C.I.ピグメントオレンジ71; C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド97、
C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド1
23、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレ
ッド168、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメ
ントレッド177、C.I.ピグメントレッド180、C.I.
ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド21
5、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッ
ド242、C.I.ピグメントレッド254; C.I.ピグメントバイオレット19、ピグメントバイオレ
ット23、ピグメントバイオレット29; C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー6
0、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブ
ルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6; C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン3
6; C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン
25; C.I.ピグメントブラック1、ピグメントブラック7。 これらの有機顔料は、何れも好ましく使用することがで
きる。
酸化チタン、硫酸バリウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、
亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、
群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チ
タンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げる
ことができる。これらの無機着色剤のうち、特にカーボ
ンブラックが好ましい。本発明において、着色剤は、単
独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、前記各着色剤は、表面をポリマーで改質して使用
することができる。着色剤表面を改質するポリマーとし
ては、例えば、特開平8−259876号公報等に記載
されたポリマーや、市販の顔料分散用の各種のポリマー
またはオリゴマー等を挙げることができる。また、各着
色剤は、所望により、分散剤あるいは分散助剤と共に使
用することができる。このような分散剤あるいは分散助
剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオ
ン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤を
挙げることができる。前記界面活性剤の具体例として
は、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシ
エチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレ
イルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル
類;ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポ
リオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキ
シエチレンアルキルフェニルエーテル類;ポリエチレン
グリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジス
テアレート等のポリエチレングリコールジエステル類;
ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル
類;3級アミン変性ポリウレタン類;ポリエチレンイミ
ン類等のほか、以下商品名で、KP(信越化学工業
(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)製)、エフ
トップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大
日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリ
ーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、
旭硝子(株)製)等を挙げることができる。これらの界
面活性剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用する
ことができる。界面活性剤の使用量は、着色剤100重
量部に対して、通常、50重量部以下、好ましくは0〜
30重量部である。
色剤に対してバインダーとして作用し、かつカラーフィ
ルタ製造時の現像処理工程において用いられるアルカリ
現像液に可溶性である限り、適宜のポリマーを使用する
ことができる。このようなバインダーポリマーとして
は、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基等の
酸性官能基を含有するポリマーを挙げることができる。
本発明におけるバインダーポリマーとしては、カルボキ
シル基を含有するポリマーが好ましく、特に、1個以上
のカルボキシル基を含有するエチレン性不飽和モノマー
(以下、単に「カルボキシル基含有不飽和モノマー」と
いう。)と、他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマ
ー(以下、単に「他の不飽和モノマー」という。)との
共重合体(以下、単に「カルボキシル基含有共重合体」
という。)が好ましい。カルボキシル基含有不飽和モノ
マーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、ク
ロトン酸、α−クロルアクリル酸、エタクリル酸、けい
皮酸等の不飽和モノカルボン酸類;マレイン酸、無水マ
レイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シ
トラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和
ジカルボン酸(無水物)類;3価以上の不飽和多価カル
ボン酸(無水物)類;こはく酸モノ(2−アクリロイロ
キシエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシ
エチル)、フタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチ
ル)、フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)
等の非重合性ジカルボン酸のモノ(メタ)アクリロイロ
キシアルキルエステル類や、ω−カルボキシ−ポリカプ
ロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシ−ポリカ
プロラクトンモノメタクリレート等を挙げることができ
る。これらのカルボキシル基含有不飽和モノマーは、単
独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
ば、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエ
ン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、o−ク
ロルスチレン、m−クロルスチレン、p−クロルスチレ
ン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p
−メトキシスチレン、p−ビニルベンジルメチルエーテ
ル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族
ビニル化合物;メチルアクリレート、メチルメタクリレ
ート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n
−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレー
ト、i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリ
レート、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリ
レート、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリ
レート、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチル
メタクリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチル
メタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、
2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシ
プロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタク
リレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−
ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブ
チルアクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレー
ト、3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキ
シブチルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリ
レート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリル
アクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリ
レート、ベンジルメタクリレート、フェニルアクリレー
ト、フェニルメタクリレート、メトキシトリエチレング
リコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコー
ルメタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類;
ノエチルメタクリレート、2−ジメチルアミノエチルア
クリレート、2−ジメチルアミノエチルメタクリレー
ト、2−アミノプロピルアクリレート、2−アミノプロ
ピルメタクリレート、2−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、2−ジメチルアミノプロピルメタクリレー
ト、3−アミノプロピルアクリレート、3−アミノプロ
ピルメタクリレート、3−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、3−ジメチルアミノプロピルメタクリレート
等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;グリ
シジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等の不
飽和カルボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、プ
ロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカ
ルボン酸ビニルエステル類;ビニルメチルエーテル、ビ
ニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル、メタ
リルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類;アクリ
ロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロ
ニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合
物;アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロア
クリルアミド、N−(2−ヒドロキシエチル)アクリル
アミド、N−(2−ヒドロキシエチル)メタクリルアミ
ド、マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロ
ヘキシルマレイミド等の不飽和アミドあるいは不飽和イ
ミド類;1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレ
ン等の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレン、ポリメチル
アクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリn−ブ
チルアクリレート、ポリn−ブチルメタクリレート、ポ
リシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノアクリロイ
ル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノ
マー類等を挙げることができる。これらの他の不飽和モ
ノマーは、単独でまたは2種以上を混合して使用するこ
とができる。
ボキシル基含有不飽和モノマーの共重合割合は、通常、
5〜50重量%、好ましくは10〜40重量%である。
この場合、カルボキシル基含有不飽和モノマーの共重合
割合が5重量%未満では、得られる感放射線性組成物の
アルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、
また50重量%を超えると、アルカリ現像液による現像
時に、形成された画素パターンが基板から脱落したり、
画素表面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。特に
カルボキシル基含有不飽和モノマーを前記特定の共重合
割合で含有するカルボキシル基含有共重合体は、アルカ
リ現像液に対して優れた溶解性を有するものであり、当
該共重合体をバインダーとして用いた感放射線性組成物
は、アルカリ現像液による現像後に未溶解物が残存する
ことが極めて少なく、基板上の画素を形成する部分以外
の領域における地汚れ、膜残り等が発生し難く、しかも
該組成物から得られる画素パターンは、アルカリ現像液
に過剰に溶解することがなく、基板に対して、優れた密
着性を有し、基板から脱落するおそれもないものとな
る。
に、アクリル酸および/またはメタクリル酸を必須成
分とし、場合により、こはく酸モノ(2−アクリロイロ
キシエチル)および/またはこはく酸モノ(2−メタク
リロイロキシエチル)を含有するカルボキシル基含有不
飽和単量体と、スチレン、メチルアクリレート、メチ
ルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルア
クリレート、ベンジルメタクリレート、フェニルアクリ
レート、フェニルメタクリレート、グリセリンモノアク
リレート、グリセリンモノメタクリレート、N−フェニ
ルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリ
メチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる
少なくとも1種との共重合体(以下、「カルボキシル基
含有共重合体(I)」という。)が好ましい。
例としては、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレン/
メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合
体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート
/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アク
リル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタ
クリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマク
ロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル
(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマク
ロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレ
ート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
共重合体あるいは(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体からなる二元ないし三元共重合体(以下、「カルボキ
シル基含有共重合体(Ia)」という。);
ル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレー
ト/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)ア
クリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリ
レートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/
スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニ
ルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレン
/フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイ
ミド共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/スチレン/ベンジル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/スチレン/フェニル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/N−フェ
ニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセ
リンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリ
レート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/メチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アク
リレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモ
ノ(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル
酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重
合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)ア
クリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/ベンジル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
共重合体、
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/N
−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/
グリセリンモノ(メタ)アクリレート/ベンジル(メ
タ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル
メタクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アク
リル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシ
エチル〕/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/フェ
ニル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル
酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/フェニル
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/フェニル(メタ)アクリレート/ポリスチレ
ンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)ア
クリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー
共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/N−フェニルマレイミド/ポリスチレンマク
ロモノマー共重合体あるいは(メタ)アクリル酸/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイ
ミド/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合
体からなる四元共重合体(以下、「カルボキシル基含有
共重合体(Ib)」という。);
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポリ
スチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸
/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェ
ニルマレイミド/ポリメチルメタクリレートマクロモノ
マー共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレン/フェニ
ル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポ
リスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/スチレン/フェニル(メタ)アクリレート/N−フ
ェニルマレイミド/ポリメチルメタクリレートマクロモ
ノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/スチレン/メチル(メタ)アク
リレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレ
ート/スチレン/メチル(メタ)アクリレート/フェニ
ル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸
/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/メ
チル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)
アクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重
合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)ア
クリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)
アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/フェニル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/ベ
ンジル(メタ)アクリレート共重合体、
タ)アクリレート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリ
レート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)ア
クリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチ
レン/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマ
クロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリ
ンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/ベンジル(メ
タ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモ
ノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ
〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/スチレン/フェニル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/フェニル
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/スチレン/フェニル(メタ)アクリレート/
ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン
/フェニル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリ
レートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/N
−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/
グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/N−
フェニルマレイミド/ポリスチレンマクロモノマー共重
合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)ア
クリレート/スチレン/N−フェニルマレイミド/ポリ
メチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/メチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メ
タ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレート/2−
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アク
リレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル
酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/フ
ェニル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレート/
ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アク
リル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチル
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル
酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポ
リスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポ
リメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロ
イロキシエチル〕/グリセリンモノ(メタ)アクリレー
ト/メチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレー
ト/フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレ
イミド共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレート/
フェニル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモ
ノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレート/
フェニル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレ
ートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こ
はく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/
グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メタ)
アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/メチル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミ
ド/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)ア
クリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチ
ル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポ
リメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
タ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アク
リレート/ベンジル(メタ)アクリレート/フェニル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アク
リレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモ
ノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/N
−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/
グリセリンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリ
レート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジ
ル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマ
クロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸
モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセ
リンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メ
タ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アク
リレート/フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニ
ルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリ
ンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アク
リル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メ
タ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモ
ノマー共重合体、
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)
アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/N−フ
ェニルマレイミド/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド/ポリメチルメタクリレート
マクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく
酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)ア
クリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレ
ート/ベンジル(メタ)アクリレート/フェニル(メ
タ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、
(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレ
ート/ベンジル(メタ)アクリレート/フェニル(メ
タ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/ベンジル(メタ)アクリレート/フェニル
(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマク
ロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モ
ノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリ
ンモノ(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリ
レート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)ア
クリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキ
シエチル〕/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/ベ
ンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノ
マー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2
−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/N
−フェニルマレイミド/ポリスチレンマクロモノマー共
重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)
アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フ
ェニルマレイミド/ポリメチルメタクリレートマクロモ
ノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ
〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレ
ート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アク
リル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシ
エチル〕/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/フェ
ニル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマ
ー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレ
ート/フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマ
レイミド/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイ
ミド/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)
アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ(メタ)ア
クリレート/N−フェニルマレイミド/ポリスチレンマ
クロモノマー共重合体あるいは(メタ)アクリル酸/こ
はく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/
グリセリンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマ
レイミド/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共
重合体からなる五元共重合体(以下、「カルボキシル基
含有共重合体(Ic)」という。);
ロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)
アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポリスチレン
マクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレ
ン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベン
ジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/
ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/スチレン/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド/ポリスチレンマクロモノマ
ー共重合体あるいは(メタ)アクリル酸/スチレン/2
−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポリ
メチルメタクリレートマクロモノマー共重合体からなる
六元共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体
(Id)」という。)等を挙げることができる。前記カ
ルボキシル基含有共重合体(I)は、単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。また、本発明に
おいては、場合により、カルボキシル基含有共重合体
(I)と共に、他のバインダーポリマーを1種以上の併
用することもできる。
ンクロマトグラフィー(GPC;溶出溶媒テトラヒドロ
フラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量
(以下、単に「重量平均分子量」という。)は、好まし
くは3,000〜300,000、さらに好ましくは
5,000〜100,000である。このような特定の
重量平均分子量を有するバインダーポリマーを使用する
ことにより、現像性に優れた感放射線性組成物が得ら
れ、それによりシャープなパターンエッジを有する画素
アレイを形成することができるとともに、現像処理時に
基板上の画素を形成する部分以外の領域における地汚
れ、膜残り等が発生し難くなる。本発明におけるバイン
ダーポリマーの使用量は、(A)着色剤100重量部に
対して、通常、10〜1000重量部、好ましくは20
〜500重量部である。この場合、バインダーポリマー
の使用量が10重量部未満では、例えば、アルカリ現像
性が低下したり、画素が形成される部分以外の領域での
地汚れや膜残りが発生するおそれがあり、一方1000
重量部を超えると、相対的に着色剤濃度が低下するた
め、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難
となる場合がある。
ン性不飽和結合を2個以上を有するモノマーからなる。
このような多官能性モノマーとしては、例えば、エチレ
ングリコール、プロピレングリコール等のアルキレング
リコールのジアクリレートまたはジメタクリレート類;
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等
のポリアルキレングリコールのジアクリレートまたはジ
メタクリレート類;グリセリン、トリメチロールプロパ
ン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等
の3価以上の多価アルコールのオリゴアクリレートまた
はオリゴメタクリレート類;トリメチロールプロパンジ
アクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエ
リスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タメタクリレート等のモノヒドロキシオリゴアクリレー
トまたはモノヒドロキシオリゴメタクリレート類と、マ
ロン酸、こはく酸、グルタル酸、テレフタル酸等のジカ
ルボン酸類との遊離カルボキシル基含有モノエステル化
物;プロパン−1,2,3−トリカルボン酸(トリカル
バリル酸)、ブタン−1,2,4−トリカルボン酸、ベ
ンゼン−1,2,3−トリカルボン酸、ベンゼン−1,
3,4−トリカルボン酸、ベンゼン−1,3,5−トリ
カルボン酸等のトリカルボン酸類と、2−ヒドロキシエ
チルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロ
キシプロピルメタクリレート等のモノヒドロキシモノア
クリレートまたはモノヒドロキシモノメタクリレート類
との遊離カルボキシル基含有オリゴエステル化物;ポリ
エステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹
脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴアクリレ
ートまたはオリゴメタクリレート類;両末端ヒドロキシ
ポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソ
プレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末
端ヒドロキシル化重合体のジアクリレートまたはジメタ
クリレート類や、トリス(2−アクリロイロキシエチ
ル)フォスフェート、トリス(2−メタクリロイロキシ
エチル)フォスフェート等を挙げることができる。
上の多価アルコールのオリゴアクリレートまたはオリゴ
メタクリレート類、具体的には、トリメチロールプロパ
ントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタ
クリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、
ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエ
リスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタ
クリレート等が好ましく、特にトリメチロールプロパン
トリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートおよ
びジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが好まし
い。前記多官能性モノマーは、単独でまたは2種以上を
混合して使用することができる。本発明における多官能
性モノマーの使用量は、(B)バインダーポリマー10
0重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ましく
は20〜300重量部である。この場合、多官能性モノ
マーの使用量が5重量部未満では、画素強度あるいは画
素表面の平滑性が低下する傾向があり、一方500重量
部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、
画素が形成される部分以外の領域での地汚れや膜残りが
発生しやすくなる傾向がある。
ー 本発明におけるカルボキシル基含有単官能性モノマー
は、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレ
ート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノメタク
リレート、アクリル酸ダイマー、メタクリル酸ダイマ
ー、ジカルボン酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)
およびジカルボン酸モノ(2−メタクリロイロキシエチ
ル)の群から選ばれる少なくとも1種からなる。ジカル
ボン酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)およびジカ
ルボン酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)におけ
るジカルボン酸としては、例えば、しゅう酸、マロン
酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸等の脂肪族ジカ
ルボン酸類;ヘキサヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソ
フタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸等の脂環族ジカル
ボン酸類;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸等の
芳香族ジカルボン酸類等を挙げることができる。これら
のジカルボン酸のうち、脂肪族ジカルボン酸類が好まし
く、特にこはく酸が好ましい。本発明において、特に好
ましいカルボキシル基含有単官能性モノマーは、ω−カ
ルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレートおよび
こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)である。
前記カルボキシル基含有単官能性モノマーは、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができる。
用量は、多官能性モノマーとカルボキシル基含有単官能
性モノマーとの合計に対して、通常、1〜90重量%、
好ましくは1〜50重量%である。この場合、カルボキ
シル基含有単官能性モノマーの使用量が1重量%未満で
は、画素パターンの欠落や欠損、未露光部に組成物の未
溶解物(残渣)あるいは画素上にスカムを生じたり、得
られる画素の基板との密着強度が低下するおそれがあ
り、一方90重量%を超えると、画素強度あるいは画素
表面の平滑性が低下する傾向がある。また、本発明にお
いては、場合により、前記カルボキシル基含有単官能性
モノマーの一部を他のカルボキシル基含有単官能性モノ
マーに置き換えることもできる。この場合の他のカルボ
キシル基含有単官能性モノマーの使用割合は、全カルボ
キシル基含有単官能性モノマーの、通常、50重量%以
下、好ましくは10重量%以下である。
たは結合基が開裂して、ラジカル種、カチオン種、アニ
オン種等の前記(C)成分および(D)成分の重合を開
始しうる活性種を発生する化合物を意味する。このよう
な光重合開始剤としては、ビイミダゾール環を有する化
合物、ベンゾイン結合を有する化合物、他の光ラジカル
発生剤、トリハロメチル基を有する化合物等を挙げるこ
とができる。前記ビイミダゾール環を有する化合物とし
ては、下記一般式(1)で表される化合物(以下、「ビ
イミダゾール系化合物(1)」という。)、下記一般式
(2)で表される化合物(以下、「ビイミダゾール系化
合物(2)」という。)等を挙げることができる。
ハロゲン原子、シアノ基、炭素数1〜4のアルキル基ま
たは炭素数6〜9のアリール基を示し、複数存在するX
は相互に同一でも異なってもよく、Aは−COO-R(但
し、Rは炭素数1〜4のアルキル基または炭素数6〜9
のアリール基を示す。)を示し、複数存在するAは相互
に同一でも異なってもよく、mは1〜3の整数であり、
nは1〜3の整数である。〕
びX3 は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、ハ
ロゲン原子、シアノ基、炭素数1〜4のアルキル基また
は炭素数6〜9のアリール基を示す。但し、X1 、X2
およびX3 の2個以上が同時に水素原子をとることはな
い。〕 前記一般式(1)および一般式(2)は、2個のイミダ
ゾール単位が1位または2位で相互に結合した構造を一
般的に表している。したがって、ビイミダゾール系化合
物(1)およびビイミダゾール系化合物(2)は、それ
らの主要骨格が下記式(3)〜(5)に相当する化合物
の単独あるいは2種以上の混合物である。
て、X、X1 、X2 およびX3 のハロゲン原子として
は、例えば、塩素原子、臭素原子、よう素原子等を挙げ
ることができ、炭素数1〜4のアルキル基としては、例
えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロ
ピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル
基、t−ブチル基を挙げることができ、炭素数6〜9の
アリール基としては、例えば、フェニル基、o−トリル
基、m−トリル基、p−トリル基等を挙げることができ
る。また、一般式(1)において、Aで示される−COO-
RにおけるRとしては、Xについて例示した炭素数1〜
4のアルキル基および炭素数6〜9のアリール基を挙げ
ることができる。
ミダゾール系化合物(2)の具体例を示すと、次のとお
りである。ビイミダゾール系化合物(1)としては、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,
5,5’──テトラキス(4−メトキシカルボニルフェ
ニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’──テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキ
シカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−
ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス
(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビ
イミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロ
ロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−
メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ
ール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシ
カルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカル
ボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5.
5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)
−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−シ
アノフェニル)−4,4’,5.5’−テトラキス(4
−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニ
ルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−
ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テ
トラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エト
キシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニ
ルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−
ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テ
トラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エチルフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エト
キシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニ
ルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−
ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニル
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エ
トキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニ
ルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール等を挙げるこ
とができる。
ては、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−
ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェ
ニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジシアノフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリシアノフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジメ
チルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル
−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,
4,6−トリメチルフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2,4−ジエチルフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリエチルフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジフェニルフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−
トリフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
フェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることが
できる。
(1)としては、特に、2,2’−ビス(2−クロルフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エト
キシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール
および2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾールが好ましく、ま
たビイミダゾール系化合物(2)としては、特に、2,
2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾー
ル、、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾール2,2’−ビス(2,4−ジブロモフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾールおよび2,2’−ビス(2,4,
6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましい。ビ
イミダゾール系化合物(1)およびビイミダゾール系化
合物(2)は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、
析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高
く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進
行させるとともに、コントラストが高く、未露光部で硬
化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、現像
液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に対して高い溶
解性を有する未硬化部分とに明確に区分され、パターン
の欠落、欠損やアンダーカットのない優れたカラーフィ
ルタを形成することができるものである。
および他の光ラジカル発生剤の具体例としては、2−ヒ
ドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オ
ン、1−(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキ
シ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロ
キシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−n−
プロピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェ
ニルケトン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセト
フェノン、2−メチル−(4−メチルチオフェニル)−
2−モルフォリノ−1−プロパン−1−オン、2−ベン
ジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフ
ェニル)ブタン−1−オン、ベンゾフェノン、3,3’
−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、2,4−ジ
エチルチオキサントン、4−アジドベンズアルデヒド、
4−アジドアセトフェノン、4−アジドベンザルアセト
フェノン、アジドピレン、4−ジアゾジフェニルアミ
ン、4−ジアゾ−4’−メトキシジフェニルアミン、4
−ジアゾ−3−メトキシジフェニルアミン、ビス(2,
6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル
ペンチルフォスフィンオキサイド、ジベンゾイル、ベン
ゾインイソブチルエーテル、N−フェニルチオアクリド
ン、トリフェニルピリリウムパークロレート、2,2−
ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン等を
挙げることができる。さらに、前記トリハロメチル基を
有する化合物の具体例としては、1,3,5−トリス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、1,3−ビス
(トリクロロメチル)−5−(2’−クロロフェニル)
−s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメチル)
−5−(4’−クロロフェニル)−s−トリアジン、
1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−(2’−メト
キシフェニル)−s−トリアジン、1,3−ビス(トリ
クロロメチル)−5−(4’−メトキシフェニル)−s
−トリアジン等を挙げることができる。前記ベンゾイン
結合を有する化合物、他の光ラジカル発生剤およびトリ
ハロメチル基を有する化合物のうち、2−ヒドロキシ−
2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−メ
チル−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノ
−1−プロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチ
ルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−
1−オン等が、形成された画素パターンが現像時に基板
から脱落し難く、画素強度および感度も高い点で好まし
い。本発明において、ビイミダゾール環を有する化合
物、ベンゾイン結合を有する化合物、他の光ラジカル発
生剤あるいはトリハロメチル基を有する化合物は、1種
単独で、あるいは2種以上を組み合せて使用することが
できる。
イミダゾール環を有する化合物、ベンゾイン結合を有す
る化合物、他の光ラジカル発生剤およびトリハロメチル
基を有する化合物と共に、増感剤、硬化促進剤および高
分子化合物からなる光架橋剤あるいは光増感剤(以下、
「高分子光架橋・増感剤」という。)の群から選ばれる
1種以上をさらに併用することもできる。前記増感剤の
具体例としては、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベ
ンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベン
ゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−
ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチ
ルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−1,4−
ジメチルアミノベンゾエート、2,5−ビス(4’−ジ
エチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチ
ルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマ
リン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等を挙げること
ができる。また、前記硬化促進剤の具体例としては、2
−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベン
ゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、
2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、
2−メルカプト−4,6−ジメチルアミノピリジン、1
−フェニル−5−メルカプト−1H−テトラゾール、3
−メルカプト−4−メチル−4H−1,2,4−トリア
ゾール等の連鎖移動剤を挙げることができる。さらに、
前記高分子光架橋・増感剤は、光架橋剤および/または
光増感剤として機能しうる官能基を主鎖および/または
側鎖中に有する高分子化合物であり、その具体例として
は、4−アジドベンズアルデヒドとポリビニルアルコー
ルとの縮合物、4−アジドベンズアルデヒドとフェノー
ルノボラック樹脂との縮合物、4−アクリロイルフェニ
ルシンナモイルエステルの単独重合体あるいは共重合
体、1,4−ポリブタジエン、1,2−ポリブタジエン
等を挙げることができる。前記増感剤、硬化促進剤およ
び高分子光架橋・増感剤のうち、4,4’−ビス(ジメ
チルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチ
ルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチア
ゾール等が、形成された画素パターンが現像時に基板か
ら脱落し難く、画素強度および感度も高い点で好まし
い。
ビイミダゾール系化合物(1)およびビイミダゾール系
化合物(2)の群から選ばれる1種以上と、ベンゾフェ
ノン系のベンゾイン結合を有する化合物、ベンゾフェノ
ン系の他の光ラジカル発生剤、ベンゾフェノン系の増感
剤およびチアゾール系の硬化促進剤の群から選ばれる1
種以上とを組み合わせて使用することが特に好ましい。
前記特に好ましい組み合わせの具体例としては、2,
2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)
−1,2’−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチ
ルアミノ)ベンゾフェノン、2,2’−ビス(2−クロ
ロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−
エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ
ール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2,2’−ビ
ス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’
−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノン/1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニ
ルケトン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボ
ニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール/4,4’
−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン/1−ヒドロ
キシシクロヘキシルフェニルケトン/2−メルカプトベ
ンゾチアゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、2,2’−ビス(2,4−ジブロ
モフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビ
−1,2’−イミダゾール/4,4’−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノン/2−ベンジル−2−ジメチル
アミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1
−オン、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)
−4,4’,5,5’−テトラフェニルビ−1,2’−
イミダゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベン
ゾフェノン/1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5、5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾ
フェノン/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−
(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン/2−
メルカプトベンゾチアゾール、および2,2’−ビス
(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/
4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン/1
−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン/2−メル
カプトベンゾチアゾールを挙げることができる。
化合物、他の光ラジカル発生剤およびトリハロメチル基
を有する化合物の合計使用割合は、光重合開始剤全体の
80重量%以下であることが好ましく、また増感剤およ
び硬化促進剤の合計使用割合は、光重合開始剤全体の8
0重量%以下であることが好ましく、さらに高分子光架
橋・増感剤の使用割合は、ビイミダゾール系化合物
(1)およびビイミダゾール系化合物(2)の合計10
0重量部に対して、通常、200重量部以下、好ましく
は0.01〜200重量部、さらに好ましくは50〜1
80重量部である。本発明における光重合開始剤の合計
使用量は、(C)成分と(D)成分との合計100重量
部に対して、通常、0.01〜200重量部、好ましく
は1〜120重量部、特に好ましくは1〜50重量部で
ある。この場合、光重合開始剤の合計使用量が0.01
重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、画素
パターンに欠落、欠損やアンダーカットを生じるおそれ
があり、一方200重量部を超えると、形成された画素
パターンが現像時に基板から脱落しやすく、また画素パ
ターンが形成される部分以外の領域で地汚れ、膜残り等
を生じやすくなる。
は、必要に応じて種々の添加剤を含有することもでき
る。このような添加剤としては、例えば、銅フタロシア
ニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色顔料誘導体等の分
散助剤;ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアル
コール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル
類、ポリ(フロロアルキルアクリレート)類等の高分子
化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面
活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキ
シシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラ
ン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメ
チルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3
−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロ
ピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルト
リメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジ
メトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシ
ル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメ
チルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキ
シシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシ
ラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の
密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−
ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノー
ル等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル
−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリア
ゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収
剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤等を挙げ
ることができる。
(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分およ
び(E)成分を必須成分とし、必要に応じて前記添加剤
成分を含有するが、通常、(A)成分以外の成分を適当
な溶剤に溶解した液状組成物として調製される。前記溶
剤としては、(A)〜(E)成分や添加剤成分を溶解ま
たは分散し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発
性を有するものである限り、適宜に選択して使用するこ
とができる。このような溶剤としては、例えば、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール
モノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチル
エーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、
ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジ
エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエ
チレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレング
リコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、
ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピ
レングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピ
レングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピ
レングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレング
リコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレング
リコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコール
モノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモ
ノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモ
ノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモ
ノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモ
ノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレング
リコールモノアルキルエーテルアセテート類;ジエチレ
ングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコール
メチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチル
エーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;メ
チルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノ
ン、3−ヘプタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロ
ピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等
の乳酸アルキルエステル類;2−ヒドロキシ−2−メチ
ルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプ
ロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、
3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピ
オン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エト
キシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキ
シ−3−メチルブタン酸メチル、3−メチル−3−メト
キシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチ
ルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢
酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、酢
酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチ
ル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピ
ル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エ
チル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、ア
セト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエ
ステル類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;
N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミ
ド、N,N−ジメチルアセトアミド等のカルボン酸アミ
ド類等を挙げることができる。これらの溶剤は、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。
エーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、
イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノー
ル、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジ
ル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジ
エチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロ
ピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセ
テート等の高沸点溶剤を併用することもできる。これら
の高沸点溶剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用
することができる。前記溶剤のうち、溶解性、顔料分散
性、塗布性等の観点から、エチレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチ
ルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチル
エーテル、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘ
プタノン、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−メ
チル−3−メトキシブチルプロピオネート、3−メトキ
シプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチ
ル、3−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸n−ブチ
ル、酢酸i−ブチル、酢酸n−アミル、酢酸i−アミ
ル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プ
ロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸エチル等が好まし
く、また高沸点溶剤としてはγ−ブチロラクトン等が好
ましい。本発明における溶剤の使用量は、(B)バイン
ダーポリマー100重量部に対して、通常、100〜1
0000重量部、好ましくは500〜5000重量部で
ある。
いて、カラーフィルタを形成する方法について説明す
る。まず、透明基板の表面上の画素を形成する部分を区
画するように遮光層を形成し、この基板上に、例えば赤
色の顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を
塗布したのち、プリベークを行って溶剤を蒸発させ、塗
膜を形成する。次いで、この塗膜にフォトマスクを介し
て露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像処理を行
って、塗膜の未露光部を溶解除去し、好ましくはさらに
ポストベークを行うことによって、赤色の画素が所定の
パターンで配置された画素アレイを形成する。その後、
緑色または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物
の液状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物
の塗布、プリベーク、露光および現像処理を行い、好ま
しくはさらにポストベークを行うことによって、緑色の
画素アレイおよび青色の画素アレイを同一基板上に順次
形成することにより、赤色、緑色および青色の三原色の
画素アレイが基板上に配置されたカラーフィルタを得
る。カラーフィルタを形成する際に使用される透明基板
としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネー
ト、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミ
ド、ポリイミド等を挙げることができる。また、これら
の透明基板には、所望により、シランカップリング剤等
による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティン
グ、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の
前処理を施しておくこともできる。感放射線性組成物の
液状組成物を透明基板に塗布する際には、回転塗布、流
延塗布、ロール塗布等の適宜の塗布法を採用することが
できる。塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、0.
1〜10μm、好ましくは0.2〜5.0μm、特に好
ましくは0.2〜3.0μmである。カラーフィルタを
形成する際に使用される放射線としては、例えば、可視
光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用するこ
とができるが、波長が190〜450nmの範囲にある
放射線が好ましい。放射線の照射エネルギー量は、好ま
しくは1〜1000mJ/cm2 である。また、前記ア
ルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸
化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニ
ウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシ
クロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジア
ザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が
好ましい。前記アルカリ現像液には、例えばメタノー
ル、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適
量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通
常、水洗する。現像処理法としては、シャワー現像法、
スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液
盛り)現像法等を適用することができ、現像条件は、常
温で5〜300秒が好ましい。このようにして形成され
たカラーフィルタは、例えば、カラー液晶表示装置、カ
ラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて有用であ
る。
線性組成物は、前記(A)成分、(B)成分、(C)成
分、(D)成分および(E)成分を必須成分として含有
するものであるが、特に好ましい組成物を具体的に例示
すると、下記(イ)〜(ト)のとおりである。 (イ) (B)成分がカルボキシル基含有共重合体
(I)からなり、(E)成分が2,2’−ビス(2−ク
ロルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4
−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダ
ゾールおよび2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボ
ニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾールの群から選
ばれる1種以上のビイミダゾール系化合物(1)を含有
するカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ロ) (B)成分がカルボキシル基含有共重合体
(I)からなり、(E)成分が2,2’−ビス(2,4
−ジクロロフェニル)−4,4’,5、5’−テトラフ
ェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾールおよび2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾールの群から選ばれる1種以上の
ビイミダゾール系化合物(2)を含有するカラーフィル
タ用感放射線性組成物。 (ハ) (E)成分がさらに、ベンゾフェノン系のベン
ゾイン結合を有する化合物、ベンゾフェノン系の他の光
ラジカル発生剤、ベンゾフェノン系の増感剤およびチア
ゾール系の硬化促進剤の群から選ばれる1種以上を含む
前記(イ)または(ロ)のカラーフィルタ用感放射線性
組成物。 (ニ) (B)成分であるカルボキシル基含有共重合体
(I)が、カルボキシル基含有共重合体(Ia)、カル
ボキシル基含有共重合体(Ib)、カルボキシル基含有
共重合体(Ic)およびカルボキシル基含有共重合体
(Id)の群から選ばれる少なくとも1種の共重合体で
ある前記(イ)、(ロ)または(ハ)のカラーフィルタ
用感放射線性組成物。 (ホ) (C)成分がトリメチロールプロパントリアク
リレート、トリメチロールプロパントリメタクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエ
リスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアク
リレートおよびジペンタエリスリトールヘキサメタクリ
レートの群から選ばれる少なくとも1種である前記
(イ)、(ロ)、(ハ)または(ニ)のカラーフィルタ
用感放射線性組成物。 (ヘ)(D)成分がω−カルボキシ−ポリカプロラクト
ンモノアクリレートおよびこはく酸モノ(2−アクリロ
イロキシエチル)の群から選ばれる少なくとも1種であ
る前記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)または(ホ)の
カラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ト) (A)成分が有機顔料および/またはカーボン
ブラックである前記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)、
(ホ)または(ヘ)のカラーフィルタ用感放射線性組成
物。
態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実
施例に何ら制約されるものではない。 比較例1 (A)成分としてC.I.ピグメントイエロー83とC.I.ピ
グメントグリーン36との17/83(重量比)混合物
80重量部、(B)成分としてメタクリル酸/2−ヒド
ロキシエチルメタクリレート/ベンジルメタクリレート
/ポリスチレンマクロモノマー共重合体(共重合重量比
=60/15/15/10、重量平均分子量=25,0
00)50重量部、(C)成分としてジペンタエリスリ
トールペンタアクリレート40重量部、(E)成分とし
て2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,
4’,5、5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール10重量部と4,4’−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノン10重量部と2−ベンジル−2−ジメチ
ルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−
1−オン30重量部と2−メルカプトベンゾチアゾール
5重量部、および溶剤として3−エトキシプロピオン酸
エチル1500重量部を混合して液状組成物を調製し
た。次いで、表面にナトリウムイオンの溶出を防止する
シリカ(SiO2)膜が形成されたソーダガラス製透明基板の
表面上に、画素を形成する部分を区画するように遮光層
を設けたのち、スピンコーターを用いて前記液状組成物
を塗布し、90℃で2分間プリベークを行なって、膜厚
2.0μmの塗膜を形成した。その後、基板を室温まで
冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを
介して、塗膜に波長365nm、405nmおよび43
6nmの光を含む紫外線を100mJ/cm2 露光し
た。次いで、基板を23℃の0.04重量%水酸化カリ
ウム水溶液中に1分間浸漬して現像処理を行い、超純水
で洗浄し、風乾したのち、さらに180℃で30分間ポ
ストベークを行なって、透明基板上に各辺20μm×2
0μmの緑色の画素パターンが形成された画素アレイを
作製した。この画素アレイを光学顕微鏡で観察したとこ
ろ、画素パターンの欠落や欠損が認められ、未露光部に
組成物の未溶解物(残渣)が残存し、かつ画素上にスカ
ムが認められ、しかも得られた画素の基板との密着強度
も不十分であった。
グメントグリーン36との17/83(重量比)混合物
80重量部、(B)成分としてメタクリル酸/2−ヒド
ロキシエチルメタクリレート/ベンジルメタクリレート
/ポリスチレンマクロモノマー共重合体(共重合重量比
=60/15/15/10、重量平均分子量=25,0
00)50重量部、(C)成分としてジペンタエリスリ
トールペンタアクリレート40重量部、(D)成分とし
てω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレー
ト5重量部、(E)成分として2,2’−ビス(2,4
−ジクロロフェニル)−4,4’,5、5’−テトラフ
ェニル−1,2’−ビイミダゾール10重量部と4,
4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン10重量
部と2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルフォリノフェニル)ブタン−1−オン30重量部と2
−メルカプトベンゾチアゾール5重量部、および溶剤と
して3−エトキシプロピオン酸エチル1500重量部を
混合して液状組成物を調製した。次いで、表面にナトリ
ウムイオンの溶出を防止するシリカ(SiO2)膜が形成され
たソーダガラス製透明基板の表面上に、画素を形成する
部分を区画するように遮光層を設けたのち、スピンコー
ターを用いて前記液状組成物を塗布し、90℃で2分間
プリベークを行なって、膜厚2.0μmの塗膜を形成し
た。その後、基板を室温まで冷却したのち、高圧水銀ラ
ンプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に波長365
nm、405nmおよび436nmの光を含む紫外線を
100mJ/cm2 露光した。次いで、基板を23℃の
0.04重量%水酸化カリウム水溶液中に1分間浸漬し
て現像処理を行い、超純水で洗浄し、風乾したのち、さ
らに180℃で30分間ポストベークを行なって、透明
基板上に各辺20μm×20μmの緑色の画素パターン
が形成された画素アレイを作製した。この画素アレイを
光学顕微鏡で観察したところ、画素パターンの形状が良
好で欠落や欠損が認められず、かつ未露光部に組成物の
未溶解物(残渣)が残存したり、画素上にスカムが発生
することがなく、しかも得られた画素の基板との密着強
度にも優れていた。
成物は、微細な画素アレイを形成する場合であっても、
未露光部に組成物の未溶解物(残渣)が残存したり、画
素上にスカムが発生することがなく、しかもパターン形
状、基板との密着強度等にも優れた画素アレイを高い歩
留りで形成することができる。
Claims (2)
- 【請求項1】 (A)着色剤、(B)バインダーポリマ
ー、(C)多官能性モノマー、(D)ω−カルボキシ−
ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、(メ
タ)アクリル酸ダイマーおよびジカルボン酸モノ(2−
(メタ)アクリロイロキシエチル)の群から選ばれるカ
ルボキシル基含有単官能性モノマー、並びに(E)光重
合開始剤を含有することを特徴とするカラーフィルタ用
感放射線性組成物。 - 【請求項2】 (D)成分がω−カルボキシ−ポリカプ
ロラクトンモノアクリレートおよび/またはこはく酸モ
ノ(2−アクリロイロキシエチル)であることを特徴と
する請求項1記載のカラーフィルタ用感放射線性組成
物。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33231697A JP3867179B2 (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
| KR10-1998-0036907A KR100504313B1 (ko) | 1997-09-09 | 1998-09-08 | 감방사선성조성물 |
| EP98116991A EP0902327A3 (en) | 1997-09-09 | 1998-09-08 | Radiation sensitive composition |
| US09/149,095 US6255034B1 (en) | 1997-09-09 | 1998-09-08 | Radiation sensitive composition |
| KR10-2003-0091041A KR100429338B1 (ko) | 1997-09-09 | 2003-12-15 | 감방사선성 조성물 |
| KR10-2003-0091042A KR100518992B1 (ko) | 1997-09-09 | 2003-12-15 | 감방사선성 조성물 |
| KR10-2003-0091040A KR100527017B1 (ko) | 1997-09-09 | 2003-12-15 | 감방사선성 조성물 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33231697A JP3867179B2 (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11149010A true JPH11149010A (ja) | 1999-06-02 |
| JP3867179B2 JP3867179B2 (ja) | 2007-01-10 |
Family
ID=18253606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33231697A Expired - Fee Related JP3867179B2 (ja) | 1997-09-09 | 1997-11-18 | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3867179B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7713680B2 (en) | 2007-03-20 | 2010-05-11 | Jsr Corporation | Radiation sensitive resin composition for forming a protective film, method of forming a protective film from the composition, liquid crystal display device and solid-state image sensing device |
| KR20230079024A (ko) | 2020-09-29 | 2023-06-05 | 가부시키가이샤 디엔피 파인 케미칼 | 광경화성 착색 수지 조성물, 경화물, 컬러 필터, 표시 장치 |
-
1997
- 1997-11-18 JP JP33231697A patent/JP3867179B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7713680B2 (en) | 2007-03-20 | 2010-05-11 | Jsr Corporation | Radiation sensitive resin composition for forming a protective film, method of forming a protective film from the composition, liquid crystal display device and solid-state image sensing device |
| KR20230079024A (ko) | 2020-09-29 | 2023-06-05 | 가부시키가이샤 디엔피 파인 케미칼 | 광경화성 착색 수지 조성물, 경화물, 컬러 필터, 표시 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3867179B2 (ja) | 2007-01-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3867177B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| US6255034B1 (en) | Radiation sensitive composition | |
| JP3564836B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ | |
| US6087050A (en) | Radiation sensitive composition and color filter | |
| JP4282783B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JPH11149153A (ja) | ブラックレジスト用感放射線性組成物 | |
| JP3807108B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP3632532B2 (ja) | 青色カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ | |
| JPH10274848A (ja) | 感放射線性組成物およびカラーフィルター用感放射線性組成物 | |
| JP3661399B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP2000047018A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP3693035B2 (ja) | 放射線性組成物、カラーフィルタ、ブラックマトリクスおよび液晶表示素子 | |
| JP4207261B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JPH10260310A (ja) | カラーフィルター用着色組成物 | |
| JPH10260309A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JPH1138226A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JPH1138225A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP2003029018A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタ、および液晶表示素子、 | |
| JPH1172616A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP2001108817A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ | |
| JPH11231124A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JPH10273525A (ja) | アルカリ可溶性重合体 | |
| JP4497226B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP3867179B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP3915271B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040712 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040907 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041105 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060912 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060925 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131020 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |