JPH11237531A - 光モジュール - Google Patents
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Abstract
効率を維持しながら従来よりもはるかに調芯調整が容易
で、かつ温度変化に起因した光結合効率の低下を効果的
に抑制する構造を備えた光モジュールを提供する。 【解決手段】 光ファイバ(24)と半導体素子(6)間を光
学的に結合する樹脂成型部材として、凹面形状の反射面
を有する光学的反射部材(12)を設ける。特に、光学的反
射部材(12)は、支持構造(150a,150b)によりハウジング
(2)の搭載面から所定距離を離間した状態で、該ハウジ
ング(2)内の所定位置に設置されたり、該光学的反射部
材(12)よりも高い熱膨張率を有するカウンター部材(17
0)が埋め込まれることにより、温度変化に起因した形状
変化が効果的に抑制される。
Description
使用される、受光素子、発光素子等の半導体素子が内蔵
された光モジュールに関し、特に、光ファイバと該半導
体素子間を光学的にかつ高精度に結合させる構造を備え
た光モジュールに関するものである。
受光素子、発光素子等の半導体素子とが光学的に結合さ
れた従来の光モジュールでは、係る半導体素子ととも
に、該光ファイバ端面と半導体素子間の光路中に配置さ
れた集光レンズや平面反射面をも透明樹脂で一体的に封
止することにより、該光ファイバと半導体素子との光学
的な結合状態を維持する構造が一般的に採用されてい
る。なお、従来の光モジュールとしては、例えば特開昭
63−090866号公報に、信号光の伝送媒体である
光ファイバ端面から出射され集光レンズを介して到達し
た光を平面反射面で反射させて受光素子の受光面に入射
させる構造の光受信モジュールが開示されている。
は、受光素子等の半導体素子とともに集光レンズ及び平
面反射鏡を透明樹脂で一体的に封止した構造が採用され
ているが、このような構造では集光レンズと平面反射鏡
及び半導体素子の光軸合わせを実現する必要があり、封
止樹脂の外形に対して十分に高い精度で半導体素子の位
置を設定した上で樹脂封止しなければならない。しかし
ながら、このような半導体素子の位置決め精度の向上を
図ることは極めて困難であり、光通信分野に適用される
光モジュールの製造には適さないという課題があった。
高精度が要求されない分野、例えば受光素子に入射する
光束が比較的広くかつ受光素子の受光面積が大きくとも
許容される分野では適用可能であったが、光通信分野で
の適用に際しては、光ファイバのコア径が僅か数μm程
度しかなく、かつ受光素子の受光面積も数百μm平方程
度しか確保できないため、極めて高い調芯精度が要求さ
れる。したがって、従来の技術を適用して光通信用の光
モジュールを製造した場合、十分な調芯精度が得られな
いために光ファイバと半導体素子間の光結合効率が低下
したり、仕様不適合となって生産性の向上を阻害する等
の弊害を引き起こす可能性があった。
ギガヘルツ帯の通信速度に及ぶに至り、より高い調芯精
度が得られる光モジュールの開発が要請されている。
ためになされたものであり、光ファイバと半導体素子間
の高い光学的結合効率を維持しながら従来よりもはるか
に調芯調整が容易で、かつ使用環境の温度変化に影響さ
れにくい構造を備え、部品点数の低減化等が実現可能な
光モジュールを提供することを目的としている。
ールは、半導体素子を収納し、該半導体素子を搭載する
搭載面を有するハウジングと、ハウジングの側壁から所
定方向に伸び、光ファイバの先端に取り付けられたフェ
ルールを収納した状態で支持するスリーブと、ハウジン
グに収納され、光ファイバと半導体素子とを光学的に結
合する樹脂部材であって、曲面形状の反射面を有する光
学的反射部材とを備える。ここで、上記半導体素子に
は、少なくとも発光素子と受光素子が含まれる。よっ
て、当該光モジュールには、発光素子が搭載され、該発
光素子の発光面と光ファイバの光入射端面とが光学的に
結合された光送信モジュールと、受光素子が搭載され、
該受光素子の受光面と光ファイバの光出射端面とが光学
的に結合された光受信モジュールとが含まれる。
想的に定義される回転楕円体の一部形状に一致する凹面
形状であることが好ましい。また、このような特殊形状
の反射面を有する光学的反射部材は、高い調芯精度を得
るため、該回転楕円体の第1焦点に光ファイバのコア出
射端面が一致するとともに、該回転楕円体の第2焦点に
上記半導体素子の主面(発光素子における発光面あるい
は受光素子における受光面)とが一致するよう、ハウジ
ング内の所定位置に設置される。
信モジュールである場合、光ファイバの光出射端面から
信号光束が所定の広がり角で出射されても、該光出射端
面が上記第1の焦点に一致している限り、上記反射面の
何れかの部分で反射されて常に受光素子の受光面に到達
して受光される。逆に、当該光モジュールが光送信モジ
ュールである場合、発光素子の発光面から所定の広がり
角で出射された光も上記反射面の作用により光ファイバ
の光入射端面に到達する。なお、上記コア端面を含む光
ファイバの端面は、該光ファイバの光軸に対して所定角
度傾いている。
工のしやすさから樹脂材料が利用され、また、図1に示
されたように、樹脂成型された光学的反射部材12の足
(下端部12a〜12d)が、ハウジング内の半導体素
子(例えば、PDなど)が搭載される搭載面上に接着剤
を介してそれぞれ直接固定されるのが一般的である。な
お、この明細書において、ハウジング内の搭載面は、半
導体素子PDが直接設置される主板31の上面と台座部
310の上面も含む概念である。
される樹脂材料は、加工のしやすさとともに熱膨張率が
大きいことも知られている。そのため、当該光モジュー
ル動作中の半導体素子から発生する熱や回路要素から発
生する熱が搭載面に固定された下端部12a〜12dを
介して直接光学的反射部材12へ伝えられると、当該光
学的反射部材12に不要な応力が加わってしまう。この
ように、一旦高精度に設置されたとしても、光学的反射
部材12自体が熱膨張により変形してしまうと、図2に
示されたように、反射面14の位置が変化したり、該反
射面14の曲率が変動し、半導体素子と光ファイバとの
光結合効率が著しく低下してしまう。なお、図2におい
て、破線120は熱膨張した光学的反射部材を示し、破
線140は該熱膨張した光学的反射部材の反射面を示
す。
いた光モジュールでは、組み立て工程等における熱履歴
を経て該光学的反射部材に応力歪が残留することがあ
る。すなわち、樹脂成型された光学的反射部材に応力歪
が残留していると、製造環境と使用環境との温度差(周
辺温度の高温域への変化あるいは低温域への変化)に起
因して、反射面の設置位置の変位、曲率変動等が発生し
(熱膨張により光学的反射部材全体の形状が変化)、P
Dの受光面上の集光位置がずれてしまう(PD感度が変
動する)。なお、半導体素子としてLDが搭載されてい
る場合には、光学的反射部材の反射面の変位、曲率変動
等により、該LDと光ファイバとの光結合効率が変動す
ることとなる。
は、特殊形状の反射面を有しかつ樹脂成型された光学的
反射部材への熱伝導を抑制する構造が設けられている。
は、上記樹脂成型された光学的反射部材を、ハウジング
内の搭載面から所定距離離間した状態で該ハウジング内
の所定位置に保持するための支持構造を備える。
あるいはセラミック材料からなる一対の補助板で光学的
反射部材の側面を挟み、該光学的反射部材が搭載面から
所定距離離間した状態で各補助板の一部を該搭載面に固
定することにより実現できる。また、光学的反射部材の
ハウジング内の搭載面と向い合う底面に、金属材料ある
いはセラミック材料からなる複数のスタンドピンの各一
端を固定し、これらスタンドピンの他端を該搭載面に接
着固定することによって、該光学的反射部材を該搭載面
から所定距離離間させてもよい。
残留する応力歪に起因した光学的反射部材の形状変化
(周辺温度の変化により発生)を抑制するため、例え
ば、該光学的反射部材の所定部位に設けられた凹み内
に、該光学的反射部材よりも熱膨張率の高い樹脂からな
るカウンター部材が埋め込まれた構成であってもよい。
カウンター部材が光学的反射部材に埋め込まれた構造
と、上記支持構造とを組合わせも可能である。
ルにおける各実施形態を図3〜図7を参照しながら説明
する。なお、各図において、同一部分には同一の番号を
付して重複する説明は省略する。また、当該光モジュー
ルは、半導体受光素子が適用された光受信モジュールと
半導体発光素子が適用された光送信モジュールとを含む
が、これら各モジュールは適用される半導体素子の種類
を除いて基本的な構成は同じであるため、以下この明細
書では光受信モジュールについてのみ説明する。
の概略構造を説明するための組み立て工程図であり、図
4は、図3の組み立て工程を経て得られた、この発明に
係る光受信モジュール100の外観を示す斜視図であ
る。
に示されたように、半導体素子として受光素子を収納
し、該半導体素子を搭載する搭載面を有するハウジング
2を備えている。このハウジング2の側壁にはフェルー
ル26を収納した状態で支持するスリーブ22が設けら
れている。また、該ハウジング2の底部には絶縁部材3
1によって支持された複数のリード端子を備えている。
ング2内の所定位置に収納された状態で、該ハウジング
2の開口部分と蓋20も所定の接着剤により接着され
る。また、フェルール26もスリーブ22内に挿入され
た状態で接着固定されている。なお、スリーブ22に
は、図3に示されたように、フェルール接着用の複数の
貫通孔220が該スリーブ22の伸びる方向に沿って複
数列設けられている。
反射部材12の側面には、一対の補助板150a、15
0bが接着固定されており、これら補助板150a、1
50bには、光学的反射部材12を搭載面から離間させ
るためのスペーサとして機能する足151a及び151
b、151c及び151dがそれぞれ設けられている。
また、この光学的反射部材12は、所定部位に残留する
応力歪に起因した当該光学的反射部材12の形状変化を
抑制するためのカウンター部材170が埋め込まれた構
造であってもよい。
と受光素子6及び光ファイバ24の光出射端面との位置
決めは、例えば、次のようにして行われている。側面に
一対の補助板150a、150bが取り付けられた光学
的反射部材12を該ハウジング2の内部に挿入し、回転
楕円体の一方の焦点Aに受光素子6の受光面を一致させ
る。一方、他の焦点Bに光ファイバ24におけるコアの
光出射端面を一致させるようにして、相互の位置を調整
した上で各補助板150a、150bの足151a〜1
51dを、搭載面であるハウジング2の内側底端面4b
(図7参照)に接着剤等で固着することにより、位置決
めが行われている。なお、この位置決め工程では、光学
的反射部材12をハウジング2内の所定位置に設置した
後であっても、フェルール26に受納された光ファイバ
24の光出射端面の位置を光軸Pの方向に微調整するこ
とにより、光ファイバ24の光出射端面を焦点Bと一致
せることが可能となっている(図5(b)参照)。
て、焦点Bに一致した光ファイバ24の光出射端面より
所定の広がり角で出射される信号光束hνは、光入射孔
16及び窓部材18を通過して反射面14に到達する
(図5(b)参照)。そして、反射面14で反射されて
た信号光束hνは集光され受光素子6の受光面に到達す
る。ここで、受光素子6の受光面が焦点Aに、光ファイ
バ24の出射端面が焦点Bに一致しているので、光出射
端面から出射される信号光束hνの出射方向が様々に異
なって反射面14での反射位置が異なったとしても、常
に受光素子6の受光面に到達する。したがって、本質的
に精度の高い調芯機構が実現され、また光ファイバ24
の光出射端面の向きの調整が容易な調芯機構が実現され
ている。
の端面での反射光が同一光軸上に戻らないようにするた
めに、図5(a)に示されたように、光軸Pに対して所
定角度ψ1(例えば、ψ1=8°)だけ斜め研磨されてい
る。この斜カットされた光出射端面から出射される信号
光束hνは光ファイバ24の光軸Pに対して研磨角度ψ
1の1/2 の角度ψ2(例えば、ψ2=4°)で曲げられ
る。このため、光ファイバ24の光出射端面が光軸Pに
対して回転した場合、回転依存性のために、信号光束h
νは回転方向θにおける何れの方向へ出射するかが不確
定となる。このような場合には、従来の平面反射鏡にて
光束を反射させる構造を有する光受信モジュールでは、
出射光束が受光素子の受光面からずれて光結合効率の低
下を招来したり、また極めて高精度の微調整が必要にな
る等の問題を招来するが、この実施例に係る光受信モジ
ュールは、図5(b)に示されたように、光ファイバ2
4の光出射端面が焦点Bに一致している限り、出射光束
hνの出射方向が様々に異なったとしても、反射面14
の何れかの位置で反射されて常に焦点Aに位置する受光
素子6の受光面に到達するので、上述の回転依存性の影
響を無視することができ、光ファイバ24の回転方向θ
の調整が不要となる。
2とは別個に形成されているため、該ハウジング2内の
所定位置に設置された後であっても、接着固定されない
限り取り付け位置の微調整を容易に行うことができる。
さらに、この様な構成では、複数の光学素子を組み合わ
せて精度のよい調芯機構を実現する必要が無く、単一の
光学的反射部材12により本質的に優れた調芯機構を実
現することができるため、部品点数を削減することがで
きるとともに、調整箇所の低減化、実装面積の縮小化、
実装コストの低減化、調芯コストの低減化等を実現する
ことができる。
て、光学的反射部材12の温度変化に起因した形状変化
を効果的に抑制する構造を図6を用いて説明する。
の搭載面から離間した状態で、光学的反射部材12を該
ハウジング2内の所定位置に設置するための支持構造を
示す図である。特に、これら図6(a)及び(b)に示
された支持構造は、ハウジング2の搭載面側から光学的
反射部材12への熱伝導を防止するよう機能する。すな
わち、第1の支持構造は、図6(a)に示されたよう
に、一対の補助板150a、150bが光学的反射部材
12の側面に接着固定されることにより実現されてい
る。また、これら各補助板150a、150bには、そ
れぞれ足151a及び151b、151c及び151d
が設けられており、該搭載面から光学的反射部材12を
離間させるすスぺーサとして機能する。一方、第2の支
持構造は、図6(b)に示されたように、複数のスタン
ドピン161a〜161dにより実現される。これらス
タンドピン161a〜161dおのおのの一端は、光学
的反射部材12のハウジング2内の搭載面に向い合う底
面に取り付けられている。そして、これらスタンドピン
161a〜161dおのおのの他端が、ハウジング2内
の搭載面に接着固定されることにより、光学的反射部材
12が搭載面から離間された状態でハウジング2内の所
定位置に固定される。
2をハウジング2内に設置する場合、製造時における環
境温度と使用時における環境温度との差に起因した形状
変化を考慮する必要がある。通常、組み立て工程等にお
ける熱履歴を経て樹脂成型された光学的反射部材には応
力歪が残留してしまう。したがって、製造環境と使用環
境との温度差が大きいと(周辺温度の高温域への変化あ
るいは低温域への変化)、この温度変化に起因して、反
射面の設置位置の変位、曲率変動等が発生し(熱膨張に
より光学的反射部材全体の形状が変化)、PDの受光面
上の集光位置がずれてしまう(PD感度が変動する)。
ける光学的反射部材12には、図6(c)に示されたよ
うに、該光学的反射部材12の所定部位に、該光学的反
射部材12よりも高い熱膨張率を有するカウンター部材
170を埋め込むことにより、残留応力に起因した形状
変形を吸収する構造が設けられている。
図6(c)に示された構造に、上記図6(a)あるいは
図6(b)に示された支持構造を組合わせることも可能
である。
材12の反射面14は、金(Au)、銀(Ag)、アル
ミニウム(Al)等の光を反射する金属を蒸着又はスパ
ッタリング等にてコーティングされる。ただし、現在光
通信で利用されている信号光波長帯(1.3μmないし
1.5μm)に対する反射効率を考慮すると、アルミニ
ウム(反射率約80%)よりも金(反射率約98%)又
は銀(反射率約99%)を用いることが好ましい。ま
た、上記反射面の腐食等を考慮して長期安定性を図る場
合には、銀よりも金又はアルミニウムを適用することが
好ましい。また、コーティングによる付着性を考慮すれ
ば、アルミニウムを適用することがより好ましい。
内部構造について説明する。図7は、図4に示された光
受信モジュールの内部構造を示す断面図であって、
(a)は図4中のI−I線に沿って示された断面図、
(b)は図4中のII−II線に沿って示された断面図、
(c)は図4中のIII−III線に沿って示された断面図で
ある。なお、ハウジング2内に収納される光学的反射部
材12の構造は、図6に示されたいずれの構造であって
もよい。
面図において、樹脂成型された矩形状のハウジング2の
内側底面4aには、PINフォトダイオード等の受光素
子6とその受光素子6から出力される電気信号を増幅す
るための前置増幅回路8が、共に半導体チップ(ベアチ
ップ)の状態で固着されている。ハウジング2の底面に
は、受光素子6及び前置増幅回路8へ電源を供給するた
めの電源供給用リード端子10a、10b、前置増幅回
路8の出力信号を外部へ出力するための信号出力用リー
ド端子、グランド用リード端子10c、10d等の複数
のリード端子が設けられ、これらのリード端子と受光素
子6及び前置増幅回路8間がワイヤーボンディングにて
配線されている。複数のリード端子のうち、特に電源供
給用リード端子10a、10bやグランド用リード端子
10c、10dやは幅広に形成されており、インピーダ
ンス及びインダクタンスの低減等を図ることにより、高
周波特性の劣化や高周波発振等の不安定動作の発生を未
然に防止している。
よって定義される所定内径の光入射窓16が形成され、
ハウジング2の内側端面に固着された透明の部材18
(例えばサファイヤ窓)にて光入射窓16が覆われてい
る。また、ハウジング2の外側端面には、光入射窓16
に対応した筒状のスリーブ22が取り付けられ、このス
リーブ22内に、光ファイバ24の先端に取り付けられ
たフェルール26が挿入されている。
は、図6に示されたように、樹脂成型された略矩形状の
光学的反射部材12が設置され、該光学的反射部材12
の側面に接着固定された一対の補助板150a、150
bの各下端部151a及び151b、151c及び15
1dがハウジング2の他の内側底面4b(搭載面に含ま
れる)に接着剤等で固着されている。なお、この光学的
反射部材12の上面には、該光学的反射部材12よりも
高い熱膨張率を有するカウンター部材170が埋め込ま
れており、残留する応力歪に起因した形状変化を抑制す
る。
った面には、回転楕円体の一部形状に一致した凹面形状
の反射面14が形成されている。そして、この光学的反
射部材12は、回転楕円体の一方の焦点Aに受光素子6
の受光面が一致し、他の焦点Bにフェルール26に受容
された光ファイバ24の光出射端面(コア端面を含む)
が一致するよう配置される(図5(b)参照)。
0により塞がれ、これにより、該ハウジング2の内部は
上記光学的反射部材12が所定位置に固定された状態で
機密封止される。
ルは、図6(a)及び(b)に示されたように、特殊形
状の反射面が形成された光学的反射部材とハウジング内
の搭載面とを所定距離離間させる支持構造を備えてい
る。この構造により、搭載面側からの熱伝動に起因した
該光学的反射部材の変形に伴う反射面の位置ずれや曲率
変動が効果的に抑制され、当該光モジュール使用時にお
ける光ファイバと半導体素子との光結合効率の低下が防
止できるという効果がある。
て、光学的反射部材は、図6(c)に示されたように、
該光学的反射部材よりも高い熱膨張率を有するカウンタ
ー部材が埋め込まれた構造であってもよい。この構造に
より、当該光学的反射部材は、残留する応力歪に起因し
た形状変化が起こりにくくなり、使用環境の温度変化に
影響されることなく、光ファイバと半導体素子との光結
合効率の十分維持できるという効果がある。
ための図である。
光学的反射部材において、熱膨張による反射面の形状変
化を説明するための図である。
するための組み立て工程図である。
に係る光モジュールの外観を示す斜視図である。
ための図であり、(a)は光ファイバ端面の形状を説明
するための図、(b)は光ファイバと半導体素子間の調
芯機能を説明するための図である。
反射部材の熱膨張による反射面の形状変化を防止する構
造を示す図であり、(a)は搭載面から光学的反射部材
を離間させる第1の支持構造、(b)は搭載面から光学
的反射部材を離間させる第2の支持構造、(c)はカウ
ンター部材により光学的反射部材の変形を防止する構造
がそれぞれ示されている。
断面図であり、(a)は図2中のI−I線に沿って示され
た断面図、(b)は図2中のII−II線に沿って示された
断面図、及び(c)は図2中のIII−III線に沿って示さ
れた断面図である。
光学的反射部材、12a、12b、12c、12d…下
端部、14…反射面、22…スリーブ、24…光ファイ
バ、26…フェルール、150a、150b…補助板、
161a、161b、161c、161d…スタンドピ
ン、170…カウンター部材。
Claims (9)
- 【請求項1】 半導体素子を収納し、該半導体素子を搭
載する搭載面を有するハウジングと、 前記ハウジングの側壁から所定方向に沿って伸び、かつ
光ファイバの先端に取り付けられたフェルールを収納し
た状態で支持するスリーブと、 前記ハウジングに収納された樹脂部材であって、前記光
ファイバと前記半導体素子とを光学的に結合するための
所定形状の反射面が設けられた光学的反射部材と、 前記光学的反射部材を、前記ハウジング内の搭載面から
所定距離離間させた状態で該ハウジング内の所定位置に
保持するための支持構造とを、備えた光モジュール。 - 【請求項2】 半導体素子を収納し、該半導体素子を搭
載する搭載面を有するハウジングと、 前記ハウジングの側壁から所定方向に沿って伸び、かつ
光ファイバの先端に取り付けられたフェルールを収納し
た状態で支持するスリーブと、 前記ハウジングに収納された樹脂部材であって、前記光
ファイバと前記半導体素子とを光学的に結合するための
所定形状の反射面が設けられた光学的反射部材と、 前記光学的反射部材の所定部位に埋め込まれ、かつ該光
学的反射部材よりも高い熱膨張率を有する樹脂材料から
なるカウンター部材とを、備えた光モジュール。 - 【請求項3】 前記光学的反射部材を、前記ハウジング
内の搭載面から所定距離離間させた状態で該ハウジング
内の所定位置に保持するための支持構造を、さらに備え
たことを特徴とする請求項2記載の光モジュール。 - 【請求項4】 前記光学的反射部材の反射面は、仮想的
に定義される回転楕円体の側面の一部形状に一致する凹
面形状であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか
一項記載の光モジュール。 - 【請求項5】 前記支持構造は、それぞれの一部が前記
ハウジング内の搭載面に固定されるとともに、それぞれ
が前記光学的反射部材の側面を挟んだ状態で、該光学的
反射部材を前記ハウジング内の所定位置に支持する一対
の補助板を含むことを特徴とする請求項1、3、4のい
ずれか一項記載の光モジュール。 - 【請求項6】 前記一対の補助板は、それぞれ金属材料
あるいはセラミック材料からなることを特徴とする請求
項4記載の光モジュール。 - 【請求項7】 前記支持構造は、前記光学的反射部材の
前記ハウジング内の搭載面と向い合う底面にその一端が
固定された複数のスタンドピンを含むことを特徴とする
請求項1、3、4のいずれか一項記載の光モジュール。 - 【請求項8】前記複数のスタンドピンは、それぞれ金属
材料あるいはセラミック材料からなることを特徴とする
請求項7記載の光モジュール。 - 【請求項9】 前記光学的反射部材が、前記回転楕円体
の第1焦点に該反射面と向かい合った前記光ファイバの
コア端面が一致し、該回転楕円体の第2焦点に前記半導
体素子の該反射面と向かい合った主面とが一致するよ
う、前記ハウジング内の所定位置に設置されたことを特
徴とする請求項1〜8のいずれか一項記載の光モジュー
ル。
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