JPH11240919A5

JPH11240919A5 -

Info

Publication number: JPH11240919A5
Application number: JP1998349241A
Authority: JP
Filing date: 1998-11-04
Publication date: 2005-10-27

Claims

ポリマーが実質的に芳香属基を含まず、かつ、ポリマーに懸垂されている酸不安定基（置換活性基）を有し、該酸不安定基が、置換基を有してもよいイソボルニル基、置換基を有してもよいフェンキル基、置換基を有してもよいピネニル基、置換基を有してもよい３，２，０架橋系基、置換基を有してもよい２，２，１架橋系基、置換基を有してもよい複素脂環式基、置換基を有してもよい３或は４の環状炭素原子を有するシクロアルキル基、又は、置換基を有してもよいアルケニル基のいずれかからなるものであるポリマー、及び、光酸発生化合物からなるポジ型のフォトレジスト組成物。
ポリマーが、次式（Ｉ）で示される繰り返し単位、
式中、Ｌは、置換基を有してもよいイソボルニル基、置換基を有してもよいフェンキル基、置換基を有してもよいピネニル基、置換基を有してもよい３，２，０架橋系基、置換基を有してもよい２，２，１架橋系基、置換基を有してもよい複素脂環基、置換基を有してもよい３或は４の環状炭素原子を有するシクロアルキル基、又は、置換基を有してもよいアルケニル基であり、
Ｘは、ニトリル、置換基を有してもよい脂環式基、置換基を有してもよい複素脂環式基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアルケニル基、又は、置換基を有してもよいアルキニル基であり、
Ｒは、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアルケニル基、置換基を有してもよいアルキニル基、置換基を有してもよいアルカノイル基、又は、置換又は非置換の１個から３個の環式基を有し１個から３個の異種原子を有する複素環式基であり、
Ｚは、ポリマーユニット間の橋かけ基であり、
ａ、ｂ及びｃは、各ポリマーユニットのモルパーセントである、
式で示されるポリマーである請求項１に記載のフォトレジスト組成物。
ポリマーが実質的に芳香基を含まず、かつ、ポリマー骨格に懸垂されている酸不安定基を含み、当該酸不安定基が、ポリマー骨格に懸垂される−Ｃ（＝Ｏ）Ｏアダマンチル基、−Ｃ（＝Ｏ）Ｏノルボルニル基又は−Ｃ（＝Ｏ）Ｏシクロヘキシル基の隣接基効果値Ａよりも大きい隣接基効果値Ａを有する基であるポリマー、及び、光酸発生化合物とからなるポジ型のフォトレジスト組成物。
ａ）請求項１に記載のフォトレジスト組成物のコーティング膜を基板上に適用する工程と、
ｂ）ポジ型のレリーフ像を得るためにフォトレジストコーティング膜を露光し、現像する工程、を含む事を特徴とするポジ型のフォトレジストレリーフ像を形成する方法。
ａ）請求項３に記載のフォトレジスト組成物のコーティング膜を基板上に被覆する工程と、
ｂ）ポジ型のレリーフ像を得るためにフォトレジストコーティング膜を露光し、現像する工程、を含む事を特徴とするポジ型のフォトレジストレリーフ像を形成する方法。
請求項１に記載のフォトレジスト組成物でコーティングされている工業製品。
次式（Ｉ）で示される繰り返し単位、
式中、Ｌは、置換基を有してもよいイソボルニル基、置換基を有してもよいフェンキル基、置換基を有してもよいピネニル基、置換基を有してもよい３，２，０架橋系基、置換基を有してもよい２，２，１架橋系基、置換基を有してもよい複素脂環式基、置換基を有してもよい３或は４の炭素原子を有するシクロアルキル基、又は、置換基を有してもよいアルケニル基であり、
Ｘは、ニトリル、置換基を有してもよい脂環式基、置換基を有してもよい複素脂環式基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアルケニル基、又は、置換基を有してもよいアルキニル基であり、
Ｒは、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアルケニル基、置換基を有してもよいアルキニル基、置換基を有してもよいアルカノイル基、又は、置換基を有してもよい１個から３個の環式部と１から３の異種原子を有する複素環式基であり、
Ｚは、ポリマーユニット間の橋かけ基であり、
ａ、ｂ及びｃは、各ポリマーユニットのモルパーセントである、
を有するポリマー。