JPH11245291A - 芳香族ポリアミドフイルムおよびそれを用いた太陽電池 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】平坦で膜特性の優れた太陽電池を得るために、
平面性に優れた芳香族ポリアミドフイルムを提供する。 【解決手段】芳香族ポリアミドフイルムを、２１０℃で
のフイルムの幅方向の熱収縮率が２％以下、６１０ｍｍ
幅で２ｍ長のフイルムに０．５ｋｇ／ｍｍ²の荷重をか
けた際の中央部でのフイルムのタルミ量が６０ｍｍ以下
とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、平面性の良好な芳
香族ポリアミドフイルムおよびその上にアモルファスシ
リコン薄膜を設けた太陽電池に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】芳香族ポリアミドフイルムは、その優れ
た耐熱性、機械特性を活かして種々の用途に検討されて
いる。特にパラ配向系の芳香族ポリアミドは剛性、強度
等の機械特性が他のポリマより優れているため、フイル
ムの薄物化あるいはフイルム基材強度の向上に非常に有
利であり、プリンターリボン、磁気テープ、コンデンサ
ー、太陽電池等の用途に使用されている。

【０００３】例えば、特開平７−１３５３３０号公報、
特開平７−１３５３３１号公報には、芳香族ポリアミド
フイルムをその基板とし、この上にアモルファスシリコ
ン薄膜を設けた太陽電池が記載されており、基板として
フイルムを用いることでフレキシブルな太陽電池がで
き、その応用範囲も広い。このような太陽電池は、通
常、フイルムをロールから連続的に巻きだして、アモル
ファスシリコン層などの必要な各層を、フイルムに連続
的に真空蒸着、スパッタリングすることにより製造され
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
の方法においては、フイルムが２００〜３５０℃等の温
度になるため、熱で変形したり、またフイルムの平面性
が悪いため冷却ドラムから浮いてフイルムが熱変形し、
良好な平面性を維持できない問題があった。また、平面
性が悪いために走行性にむらがあり、傷が入り膜特性が
悪化する問題があった。

【０００５】本発明はかかる問題点を解決し、芳香族ポ
リアミドの優れた高剛性、耐熱性を活かし、平坦で表面
欠点の少ない芳香族ポリアミドフイルムおよびこれを用
いた太陽電池を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記した本発明の目的
は、２１０℃でのフイルムの幅方向（以下、ＴＤ方向と
する。）の熱収縮率が２％以下、６１０ｍｍ幅で２ｍ長
のフイルムに０．５ｋｇ／ｍｍ²の荷重をかけた際の中
央部でのフイルムのタルミ量が６０ｍｍ以下であること
を特徴とする芳香族ポリアミドフイルム、および該芳香
族ポリアミドフイルム上にアモルファスシリコン薄膜を
設けた太陽電池によって達成することができる。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明において芳香族ポリアミド
は、次の一般式（Ｉ）および／または一般式（ＩＩ）で
表わされる繰り返し単位を５０モル％以上、より好まし
くは、７０モル％以上含むものが好ましく挙げられる。

【０００８】一般式（Ｉ） 一般式（ＩＩ） ここで、Ａｒ₁、Ａｒ₂、Ａｒ₃としては、例えば、 などが挙げられ、Ｘ、Ｙは、 −Ｏ−，−ＣＨ₂−，−ＣＯ−，−ＳＯ₂−， −Ｓ−，
−Ｃ（ＣＨ₃）₂− 等から選ばれるが、これらに限定されるものではない。
更にこれらの芳香環上の水素原子の一部が、ハロゲン基
（特に塩素）、ニトロ基、Ｃ₁ 〜Ｃ₃ のアルキル基（特
にメチル基）、Ｃ₁ 〜Ｃ₃ のアルコキシ基などの置換基
で置換されているものも含み、また、重合体を構成する
アミド結合中の水素が他の置換基によって置換されてい
るものも含む。特性面からは上記の芳香環がパラ位で結
合されたものが、全芳香環の５０％以上、好ましくは７
０％以上を占める重合体が、フイルムの剛性が高く耐熱
性も良好となるため好ましい。また吸湿率を小さくする
点からは、芳香環上の水素原子の一部がハロゲン基（特
に塩素）で置換された芳香環が全体の３０％以上である
重合体が好ましい。

【０００９】芳香族ポリアミドのより好ましい具体例と
しては、 （ここでｍ、ｎは０〜４）を５０モル％以上、さらに好
ましくは７０モル％以上含むものが挙げられる。

【００１０】上記芳香族ポリアミドに含まれるその他の
成分として、たとえば芳香族ポリイミドなど他の繰り返
し単位を５０モル％未満共重合、または他のポリマをブ
レンドされていてもよく、またフイルムの物性を損なわ
ない程度に導電性粒子、滑剤、酸化防止剤その他の添加
剤等がブレンドされていてもよい。

【００１１】本発明の芳香族ポリアミドフイルムは、２
１０℃でのＴＤ方向の熱収縮率が２％以下の必要があ
る。好ましくは１％以下である。２％より大きいとアモ
ルファスシリコン薄膜を付ける際に熱でフイルムが変形
し、良好な膜が得られない。

【００１２】また、本発明の芳香族ポリアミドフイルム
は６１０ｍｍ幅で２ｍ長のフイルムに０．５ｋｇ／ｍｍ
²の荷重をかけた際の中央部でのフイルムのタルミ量が
６０ｍｍ以下の必要がある。好ましくは３０ｍｍ以下で
ある。６０ｍｍより大きいとアモルファスシリコン薄膜
を設ける際にドラムなどの支持体上でフイルムが支持体
から離れ、熱でフイルムが変形する問題が発生する。ま
たフイルムを走行させる時にガイドロールとの接触が悪
くフイルムに傷が入る問題も起こる。

【００１３】本発明の芳香族ポリアミドフイルムの厚さ
は、２μｍ以上１５０μｍ以下の範囲が好ましい。より
好ましくは２μｍ以上１００μｍ以下である。

【００１４】本発明の芳香族ポリアミドフイルムにおい
ては、表面粗さや摩擦係数を維持するために、フイルム
中に粒子を含有することが好ましい。粒子の種類として
は、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ＣａＳＯ₄、ＢａＳ
Ｏ₄、ＣａＣＯ₃、カ−ボンブラック、ゼオライト、その
他の金属微粉末などの無機粒子や、シリコン粒子、ポリ
イミド粒子、架橋共重合体粒子、架橋ポリエステル粒
子、テフロン粒子などの有機高分子などがあるが、耐熱
性の点から無機粒子の方がより好ましい。粒子径は０．
０１〜５μｍ、より好ましくは０．０５〜２μｍの範囲
である。また含有量は０．００５〜１０ｗｔ％が好まし
く、０．０１〜５ｗｔ％がより好ましい。

【００１５】特にシリコン薄膜を設ける面の十点平均粗
さＲｚは、１〜２００ｎｍであることが好ましい。より
好ましくは２〜１００ｎｍである。またガイドロールや
ドラム等との摩擦を適度にコントロールすることで接触
性を向上させると共に走行を安定化させることができ
る。

【００１６】また、本発明の芳香族ポリアミドフイルム
のヤング率は、フイルムの長さ方向（以下、ＭＤ方向と
する。）が７００ｋｇ／ｍｍ²以上、ＴＤ方向は８００
ｋｇ／ｍｍ²以上、より好ましくはＴＤ方向は１０００
ｋｇ／ｍｍ²あることが好ましい。

【００１７】本発明の芳香族ポリアミドフイルムの伸度
が、１０％以上、より好ましくは２０％以上、更に好ま
しくは３０％以上であることが、適度な柔軟性を持つ点
で好ましい。

【００１８】本発明の芳香族ポリアミドフイルムの吸湿
率は、４％以下が好ましく、より好ましくは３％以下、
更に好ましくは２％以下である。吸湿率が小さいほど高
温での水分の発生が少なくなり、アモルファスシリコン
薄膜の特性が向上する点で好ましい。

【００１９】次に本発明の芳香族ポリアミドフイルムの
製造方法について、一例を挙げて説明する。

【００２０】まず、芳香族ポリアミドは、酸クロリドと
ジアミンから得る場合には、Ｎ−メチルピロリドン（Ｎ
ＭＰ）、ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）、ジメチル
ホルムアミド（ＤＭＦ）などの非プロトン性有機極性溶
媒中で、溶液重合したり、水系媒体を使用する界面重合
などで合成される。ポリマ溶液は、単量体として酸クロ
リドとジアミンを使用すると塩化水素が副生するが、こ
れを中和する場合には、水酸化カルシウム、水酸化リチ
ウム、炭酸カルシウム、炭酸リチウムなどの無機の中和
剤、またエチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、
アンモニア、トリエチルアミン、トリエタノールアミ
ン、ジエタノールアミンなどの有機の中和剤が使用され
る。また、イソシアネートとカルボン酸との反応は、非
プロトン性有機極性溶媒中、触媒の存在下で行なわれ
る。

【００２１】本発明の芳香族ポリアミドフイルムを得る
ためには、ポリマの固有粘度（ポリマ０．５ｇを硫酸中
で１００ｍｌの溶液として３０℃で測定した値）が、
０．５以上であることが好ましい。

【００２２】また、上記ポリマ溶液はそのまま製膜原液
として使用してもよく、あるいはポリマを一度単離して
から上記の有機溶媒や、硫酸等の無機溶剤に再溶解して
製膜原液を調製してもよい。

【００２３】再溶解して製膜原液を調整する場合には、
溶解助剤として無機塩、例えば、塩化カルシウム、塩化
マグネシム、塩化リチウム、硝酸リチウムなどを添加し
ても良い。この時、製膜原液中のポリマ濃度は２〜４０
wt％が好ましい。

【００２４】なお、上記したようにフイルムの表面粗さ
や摩擦係数を維持するために、粒子を含有させる場合
は、粒子を予め溶媒中に十分スラリ−化した後、重合用
溶媒または希釈用溶媒として使用したり、製膜原液を調
製した後に直接添加することができる。

【００２５】上記のように調製された製膜原液は、いわ
ゆる溶液製膜法によりフイルム化が行なわれる。溶液製
膜法には乾湿式法、乾式法、湿式法などがあり、いずれ
の方法で製膜してもよいが、ここでは乾湿式法を例にと
って説明する。

【００２６】まず、製膜原液を口金からニッケル、ステ
ンレス、銅、チタン、ハステロイ、タンタル等の材質か
らなるドラム、エンドレスベルト等の支持体上に押し出
して薄膜とし、次いでかかる薄膜層から溶媒を飛散させ
薄膜が自己保持性を持つまで乾燥する。乾燥条件は室温
〜２５０℃、６０分以内の範囲が好ましく、より好まし
くは室温〜２００℃の範囲である。乾燥温度が２５０℃
を越えると急激な加熱によるボイドの発生、表面の荒れ
等が起こり実用的なフイルムが得られない。

【００２７】上記乾式工程を終えたフイルムは支持体か
ら剥離されて湿式工程に導入され、ここでフイルム中に
含有されている溶剤や不純物が除去される。湿式工程に
おいて使用される浴としては、水系媒体からなるものが
挙げられ、水の他に有機溶媒や無機塩等を含有していて
もよい。特に水を３０％以上、より好ましくは５０％以
上含有することが好ましく、浴温度を０〜１００℃とし
て使用することが好ましい。

【００２８】湿式工程を出たフイルムは更に乾燥、延伸
が行われる。乾燥、延伸は室温〜４００℃で、延伸倍率
は面倍率で０．８〜５．０（面倍率とは延伸後のフイル
ム面積を延伸前のフイルムの面積で除した値で定義す
る。１以下はリラックスを意味する。）の範囲で行われ
る。より好ましい延伸倍率は１．１〜３．０である。ポ
リマの種類によっては含水状態で延伸したほうがよいも
のもあり、室温に近い８０℃以下で延伸をしてもよい。

【００２９】特に、本発明の芳香族ポリアミドフイルム
に必要な熱収縮率、タルミ量を得るためには、例えば、
含水率が３０〜７０％の芳香族ポリアミドフイルムの場
合、テンター温度を２５０℃以上、より好ましくは２５
５℃以上とすることが好ましい。

【００３０】またＴＤ方向の平面性を良化するには、Ｔ
Ｄ方向の延伸温度むらを平均温度の２％以下に維持する
ことが好ましい。

【００３１】さらに延伸後にフイルムは室温まで冷却さ
れ、本発明の芳香族ポリアミドフイルムを得ることがで
きる。この際のＴＤ方向の温度むらを１５％以下とする
ことで、本発明の目的であるフイルムの平面性を容易に
得ることができる。

【００３２】次に上記芳香族ポリアミドフイルムを用い
た太陽電池について説明する。

【００３３】太陽電池は、上記芳香族ポリアミドフイル
ムと該フイルム上に設けられたアモルファスシリコン薄
膜で構成される。アモルファスシリコン薄膜の構成は特
に限定されないが、例えば、第１層に導電層を０．０１
〜５０μｍ設け、その上にアモルファスシリコン層を設
け、さらにその上に電極を設けられたもの等が挙げられ
る。

【００３４】以下に、芳香族ポリアミドフイルム上にア
モルファスシリコン薄膜を設け、太陽電池を製造する具
体的な方法について、一例を挙げて説明する。

【００３５】まず、芳香族ポリアミドフイルム上に導電
層を０．０１〜５０μｍを形成する。導電層はステンレ
ス、ニッケルクロム合金、ニッケル、鉄、クロム、ニオ
ブ、チタン、ジルコニウムの単体またはそれらの合金、
または酸化錫、酸化インジウム、酸化インジウム錫、酸
化カドミウムなどの酸化物を蒸着、またはスパッタリン
グさせることにより形成できる。なお導電層形成前に、
芳香族ポリアミドフイルムと導電層との密着性を向上さ
せるためにコロナ処理、グロー処理等を施すことが好ま
しい。

【００３６】次いで、アモルファスシリコン層をグロー
放電法、スパッタリング法、イオンプレーテイング法な
どの方法で形成する。

【００３７】たとえば、グロー放電法の場合１０〜０．
００１Ｔｏｒｒに保たれた真空反応器内でロールに巻い
た芳香族ポリアミドフイルムを引き出し、２００〜３５
０℃に加熱した支持電極上を走行させる。真空反応器内
にＳｉＨ₄ガスを送り込みつつ支持電極に対向する電極
との間に電圧をかけて放電を起こし、真空反応器内をプ
ラズマ状態にすることによりＳｉＨ₄が分解してフイル
ム上にアモルファスシリコン層が形成される。この際Ｓ
ｉＨ₄と共にＢ₂Ｈ₆を送り込めばｐ型アモルファスシリ
コン層が、ＳｉＨ₄とともにＰＨ₃を送り込めばｎ型アモ
ルファスシリコン層が形成される。

【００３８】その後、例えばショットキー接合セルの場
合は、白金、金、パラジウムなどをスパッタリングや真
空蒸着させることにより、１０ｎｍ程度の厚さのショッ
トキーバリア電極を形成することができる。またヘテロ
結合セルの場合は、酸化インジウム、酸化錫、酸化イン
ジウム錫、酸化カドミウムをスパッタリングまたは真空
蒸着させ１０〜５００ｎｍの厚さのヘテロ電極を形成す
ることができる。

【００３９】さらにショットキーバリア電極、ヘテロ電
極上に、パラジウムなどで構成される収集電極を設けて
太陽電池とすることができる。

【００４０】本発明において得られる太陽電池の光電変
換特性は５％以上となる。

【００４１】以下、本発明を実施例により具体的に説明
する。

【００４２】なお、本発明において物性の測定方法、効
果の評価方法は次の方法による。

【００４３】（１）熱収縮率 幅１０ｍｍ×長さ２５０ｍｍとなるようにＴＤ方向に長
いサンプルを切り出し２００ｍｍの間隔に標線を描く。
これを２１０℃のオーブンで１０分間加熱後、フイルム
を取り出し標線の間隔を測定する。加熱前後の寸法より
収縮率を求める。

【００４４】（２）十点平均粗さＲｚ 小坂研究所製の薄膜段差測定器（ＥＴ−１０）で、触針
先端半径０．５μｍ、触針荷重５ｍｇ、カットオフ値
０．００８ｍｍ、測定長０．５ｍｍの条件で５回測定し
その平均で表す。

【００４５】（３）タルミ量 図１、２を用いて測定方法を説明する。すなわち、図１
に示すように、ＴＤ方向の幅が６１０ｍｍにフイルム１
を切り出し、これをＭＤ方向に２ｍ以上準備する。これ
を２ｍの距離をおいた２本のロール３にフイルムを渡
し、ＭＤ方向に０．５ｋｇ／ｍｍ²の荷重をかける。２
本のロールの中央にロール３と平行に糸２を渡し、フイ
ルムと接するように糸をはり、図２に示すように糸２と
フイルム１の一番たるんだ位置の距離を測定してタルミ
量を求める。なお測定は、温度２５℃、湿度５０％ＲＨ
の環境下で行うものとする。

【００４６】（４）光電変換特性 変換効率をＡＭ＝１に調節したオリエル社のソーラーシ
ュミレータで測定した。

【００４７】（５）ヤング率、伸度 インストロンタイプの引張り試験機を用いて測定した。
試験片は１０ｍｍ幅で５０ｍｍ長さ、引張り速度は３０
０ｍｍ／分である。

【００４８】（６）吸湿率 温度２５℃、湿度７５％ＲＨに調節されたオーブンに１
０ｃｍ×１０ｃｍの絶乾した試験片を入れ、２日後に取
り出し、重量測定して求めた。

【００４９】

【実施例】実施例１ 重合槽にＮーメチルー２ーピロリドン（ＮＭＰ）を仕込
み、この中に芳香族ジアミン成分として８０モル％に相
当する２−クロルパラフェニレンジアミンと、２０モル
％に相当する４、４’−ジアミノジフェニルエ−テルと
を溶解させた。これに９９．５モル％に相当する２−ク
ロルテレフタル酸クロリドを添加し、重合を完了した。
さらに炭酸リチウムで発生塩化水素の９７モル％を中和
し、ついでアンモニアを１０モル％分添加してポリマ溶
液を得た。

【００５０】この中に、ＮＭＰ中で一次粒径０．０２μ
ｍのシリカ粒子を平均粒径０．２μｍに分散させたスラ
リーを、粒子量がポリマに対して０．３ｗｔ％となるよ
うに添加した。そしてポリマ濃度１０．７ｗｔ％、３０
℃での溶液粘度を４０００ポイズに調整して製膜原液と
した。

【００５１】これを４０℃に保温して３μｍカットのフ
ィルタ−を通した後、最終のフイルム厚みで２０μｍに
なるように口金より金属ベルト上に流延した。この流延
されたフイルムを１３０℃の熱風で加熱して溶媒を蒸発
させ、自己保持性を得たフイルムをベルトから連続的に
剥離した。次に水槽内へフイルムを導入して残存溶媒と
中和で生じた無機塩等の抽出を行なった。なお５０℃の
水／ＮＭＰの混合浴中（比率は９０／１０wt％）でＭＤ
方向に１．１倍延伸し、さらに水で充分抽出を行った。

【００５２】次にテンタ−に導入し３００℃で水分の乾
燥と延伸、熱処理を行なった。この間にフイルムのＴＤ
方向に１．３倍延伸を行なった。この時の延伸部分のＴ
Ｄ方向の温度むらは２℃（平均温度の０．７％）であっ
た。ついでこれをテンター出口の２５℃の室温まで冷却
したが、冷却過程全域にわたって温度むらは最大で８％
であった。最もむらの大きい部分はテンター出口付近で
平均２５℃の温度に対し２℃のむらがあった。得られた
フイルムのヤング率はＭＤ方向が１１５０ｋｇ／ｍ
ｍ²、ＴＤ方向が１２５０ｋｇ／ｍｍ²であった。またフ
イルムのＴＤ方向の熱収縮率とタルミ量を表１に示し
た。また十点平均粗さＲｚは３２ｎｍと平滑であった。
また伸度はＭＤ、ＴＤ方向共、各々５２％、４５％であ
り、吸湿率は１．５％であった。

【００５３】得られたフイルムにスパッタリング装置で
ステンレスのターゲットを使用してフイルム上に厚さ１
００ｎｍのステンレス層を形成した。

【００５４】次いで真空反応器中の支持電極上に上記フ
イルムを設置し、反応器内を一旦１０^-5Ｔｏｒｒに排気
し、支持電極の温度を２００℃に高めた後、対向電極と
支持電極に３０Ｗの１５ＭＨｚの高周波電圧を印加しつ
つアルゴンガスを器内に導入して１Ｔｏｒｒのアルゴン
雰囲気下でプレスパッタし、次いで水素ガスで１０％に
希釈したＳｉＨ₄、同様に水素ガスで１％に希釈したＰ
Ｈ₃ガスを導入し、１Ｔｏｒｒの雰囲気下でフイルム上
に２５ｎｍのｎ型アモルファスシリコン層を形成した。
続いてＳｉＨ₄のみを導入して厚さ５００ｎｍのｉ型ア
モルファスシリコン層を積層し、さらにＳｉＨ₄ガス中
に１％のＢ₂Ｈ₆を含有するものを導入し、厚さ２５ｎｍ
のｐ型アモルファスシリコン層を形成した。

【００５５】次いでこのｐｉｎ型アモルファスシリコン
層を形成したフイルムを真空蒸着装置内に装着し、電子
ビーム法で１００ｎｍの厚みの酸化インジウム錫層を蒸
着しヘテロ電極層とした。最後にその上に１００ｎｍの
パラジウム層を櫛形に真空蒸着し、フイルム状太陽電池
を作成した。

【００５６】これらの工程でフイルムが熱で変形した
り、シワになるなどの問題はなく平面性の優れた太陽電
池が得られた。得られた太陽電池の光電変換効率を測定
したところ、６．８％と良好であった。

【００５７】実施例２ 実施例１と同じポリマ溶液を用い、実施例１と同様に製
膜を行った。テンター温度は２８０℃、延伸倍率はＭＤ
方向が１．１倍、ＴＤ方向が１．４倍で温度むらは２℃
で平均温度の０．７％であった。また冷却時の温度むら
は７％であった。このフイルムの特性を表１に示すがタ
ルミ量は小さものであった。

【００５８】また、ＭＤ、ＴＤ方向についてヤング率は
各々１１００ｋｇ／ｍｍ²、１５００ｋｇ／ｍｍ²、伸度
は５５％、４２％であった。また吸湿率は１．６％であ
った。

【００５９】これを用いて実施例１と同様に太陽電池を
作製したが、工程でフイルムが熱で変形したり、シワに
なるなどの問題もなく平面性の優れた太陽電池が得られ
た。

【００６０】光電変換効率は６．７％であった。

【００６１】実施例３ 実施例１と同じポリマ溶液を用い、実施例１と同様に製
膜を行った。テンター温度は３００℃、延伸倍率はＭＤ
方向が１．１倍、ＴＤ方向が１．３倍で温度むらは５℃
で平均温度の１．７％であった。また冷却時の温度むら
は１２％であった。このフイルムの特性を表１に示すが
実施例１、２よりタルミ量は両端部が大きかった。

【００６２】これを用いて実施例１と同様に太陽電池を
作製したが、工程内でフイルムの両端部が熱で一部変形
していたが、中央部は問題なかった。また巻き取った際
にシワになるなどの問題はなかった。光電変換効率は
６．５％であった。

【００６３】比較例１ 実施例１と同じポリマ溶液を用い製膜を行った。テンタ
ー温度は３００℃、延伸倍率はＭＤ方向が１．１倍、Ｔ
Ｄ方向が１．３倍であったが、温度むらは１０℃と平均
温度の３．３％の大きなむらがあった。一方冷却時の温
度むらは８％であった。得られたフイルムの特性を表１
に示すがタルミ量の大きなフイルムであった。

【００６４】これを実施例１と同様にして太陽電池を作
製したが、工程内でフイルムのタルミに相当する部分が
熱で変色し、さらフイルム走行時にシワが入り巻き取っ
たものにはシワが多数あって、太陽電池にできる状態で
はなかった。

【００６５】比較例２ 実施例１と同じポリマ溶液を用い製膜を行った。テンタ
ー温度は３００℃、延伸倍率はＭＤ方向が１．１倍、Ｔ
Ｄ方向が１．３倍で温度むらは１０℃（平均温度の３．
３％）であった。また冷却時の温度むらは２０％であっ
た。このフイルムの特性を表１に示すがタルミ量は大き
なものであった。

【００６６】これを用いて実施例１と同様に太陽電池を
作製したが、変色やシワが大きなものであった。

【００６７】比較例３ 実施例１と同じポリマ溶液を用い製膜を行った。テンタ
ー温度は２４５℃、延伸倍率はＭＤ方向が１．１倍、Ｔ
Ｄ方向が１．３倍で温度むらは平均温度の０．８％であ
った。また冷却時の温度むらは１２％であった。このフ
イルムの特性を表１に示すが、熱収縮率の大きなもので
あった。

【００６８】これを用いて実施例１と同様に太陽電池を
作製しようとしたが、工程内でフイルムが熱で変形して
しまい、太陽電池を作製することはできなかった。

【００６９】

【００７０】

【発明の効果】本発明の芳香族ポリアミドフイルムは、
２１０℃でのＴＤ方向の熱収縮率が２％以下、６１０ｍ
ｍ幅で２ｍ長のフイルムに０．５ｋｇ／ｍｍ²の荷重を
かけた際の中央部でのフイルムのタルミ量が６０ｍｍ以
下であることを特徴とするため、平面性が良好で表面欠
点が少ない。このため、フイルム上にアモルファスシリ
コン薄膜を設けた太陽電池は、平坦で膜特性に優れたも
のとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】タルミ量の測定方法を示す概略図である。

【図２】タルミ量を求める方法を示す図である。

【符号の説明】

１：フイルム ２：糸 ３：ロール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｂ２９Ｌ 7:00

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】２１０℃でのフイルムの幅方向の熱収縮率
   が２％以下、６１０ｍｍ幅で２ｍ長のフイルムに０．５
   ｋｇ／ｍｍ²の荷重をかけた際の中央部でのフイルムの
   タルミ量が６０ｍｍ以下であることを特徴とする芳香族
   ポリアミドフイルム。
2. 【請求項２】請求項１に記載の芳香族ポリアミドフイル
   ム上にアモルファスシリコン薄膜を設けた太陽電池。