JPH098338A

JPH098338A - フィルム状アモルファスシリコン太陽電池

Info

Publication number: JPH098338A
Application number: JP7155774A
Authority: JP
Inventors: Hirosaku Nagasawa; 啓作長沢; Hideki Sakai; 秀樹坂井
Original assignee: Asahi Chemical Industry Co Ltd
Current assignee: Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority date: 1995-06-22
Filing date: 1995-06-22
Publication date: 1997-01-10

Abstract

(57)【要約】【目的】耐環境性が改良された可撓性のフィルム基板
太陽電池を提供する。【構成】可撓性フィルム基板上に光起電力要素として
アモルファスシリコン薄膜および表面電極および裏面電
極を設けた太陽電池において、少なくとも太陽電池が形
成された面上に酸化珪素または酸化アルミニウムを主体
とする層を０．００５〜５μｍの厚みに設置したフィル
ム状アモルファスシリコン太陽電池。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、可撓性のフィルム基板
上に光起電力要素として、アモルファスシリコン薄膜を
設けた太陽電池に関するものであり、さらに詳しくは、
耐候性に優れた可撓性のフィルム状太陽電池に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】アモルファスシリコン薄膜をステンレス
スチール板、硝子板などの基板上に設けた太陽電池は、
特開昭５２−１４９４８９号公報、特開昭５５−４９９
４号公報、特開昭５５−２９１５４号公報などにより公
知である。また、アラミドフィルムやポリイミドフィル
ムを基板とするものについても、特開昭５４−１４９４
８９号公報、特開昭５５−４９９４号公報、特開昭５５
−２９１５４号公報、特開昭５５−８２４７４号公報、
特開昭５６−１６９３７２号公報、特開昭５７−１０３
８３９号公報、特開昭５９−３４６７７号公報、特開昭
５９−８８８７４号公報、特開昭５９−１０８３６８号
公報、特開昭５９−１５８５７１号公報、特開昭６０−
１３０８６７号公報、特開昭６０−２５７１８３号公
報、特開昭６１−７６２４号公報、特開昭６３−２３６
３７２号公報、特開平１−１１９０７２号公報、特開平
１−３０９３８５号公報などにより知られている。

【０００３】フィルムを基板とする方法は、フィルムを
ロールから送り出して処理後再度ロールに巻き取りつ
つ、アモルファスシリコン層などの必要な各層を連続的
に真空蒸着、スパッタ蒸着またはプラズマグロー放電な
どの方法で形成できることである。また、得られるフィ
ルム状の太陽電池は従来の硝子基板などの上にアモルフ
ァスシリコン薄膜を設けたものや、単結晶シリコン板や
多結晶シリコン板から製造された太陽電池と異なり、自
由に曲げることができ、その応用が広がることが期待で
きる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記太陽電池を実用に
供する上で、アモルファスシリコン層などの各要素材料
が、吸湿により劣化したり、材料間の寸法変化の差によ
る構造破壊が生じたりして、太陽電池としての性能が低
下することがあり、通常太陽電池を外気から遮断したモ
ジュール内に封止することが行われている。

【０００５】しかしモジュール内に封止することは、フ
ィルム状太陽電池の可撓性という利点が失われるため好
ましくない。本発明の目的は、耐環境性に優れた可撓性
のフィルム状太陽電池を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、アモルフ
ァスシリコン層の上に設置される透明電極である酸化イ
ンジウム錫膜がその生成条件によっては本発明目的を達
成する場合があること、それがその膜のガスバリヤ効果
によるものであること、酸化インジウム錫膜はガスバリ
ヤ性の安定性に乏しいことを見出し、鋭意研究の結果、
本発明を完成するに至った。

【０００７】即ち、本発明の課題は、可撓性フィルム基
板上に光起電力要素としてアモルファスシリコン薄膜お
よび表面電極および裏面電極を設けた太陽電池におい
て、少なくとも太陽電池が形成された面上に酸化珪素ま
たは酸化アルミニウムを主体とする層を０．００５〜５
μｍの厚みに設置したことを特徴とするフィルム状アモ
ルファスシリコン太陽電池により達成される。

【０００８】以下に、本発明の具体的な実施方法の一態
様を示しつつ、詳細に説明する。本発明を実施するに
は、フィルム上に第１の導電層を０．０１〜２０μｍの
厚みで形成する。導電層としては、ステンレススチー
ル、ニッケルクロム合金、およびニッケル、鉄、クロ
ム、ニオブ、ジルコニウム、チタンの単体またはそれら
の合金、または酸化錫、酸化インジウム、酸化インジウ
ム錫、酸化カドミウムなどの酸化物を蒸着法またはスパ
ッタリング法で形成することで形成できる。

【０００９】ついで、アモルファスシリコン層をグロー
放電法、スパッタリング法、イオンプレーティング法な
どの方法により形成する。例えば、グロー放電の場合、
１〜０．０１Ｔｏｒｒに保たれた真空反応器内で、ロー
ル状に巻かれたフィルムを引き出し、２００〜４００℃
に加熱した支持電極上を走行させる。真空反応器内にＳ
ｉＨ₄ガスを送り込みつつ支持電極に対抗する電極との
間に直流電圧または１〜数１０ＭＨｚの高周波電圧を印
加して、グロー放電を起こし、真空反応器内をプラズマ
状態とすることによりＳｉＨ₄が分解してフィルム上に
アモルファスシリコン層を形成する。この際、ＳｉＨ₄
と共にＢ₂Ｈ₆を０．５〜５重量％送り込めばｐ型シリコ
ン層が、ＰＨ₃をＳｉＨ₄と共に送り込めばｎ型シリコン
層が形成される。

【００１０】次に、例えばショットキー接合セルの場合
はショットキーバリア電極として白金、金、パラジウム
などをスパッタ法や真空蒸着法によって１００オングス
トローム前後の厚さに形成する。また、ヘテロ結合セル
の場合は、酸化インジウム、酸化錫、酸化インジウム
錫、酸化カドミウム層をスパッタ法または真空蒸着法で
２００〜３０００オングストローム前後の厚さに形成す
る。

【００１１】次に、収集電極をショットキーバリア金
属、ヘテロ電極上に設けてアモルファスシリコン太陽電
池が完成される。次いで、このように形成されたフィル
ム状太陽電池上に、更に好ましくはベースフィルムの裏
面にも、本発明の特徴とする酸化珪素または酸化アルミ
ニウムを主体とする層（以下、バリヤ層と称する。）を
形成する。バリヤ層として、酸化珪素を主体とする層お
よび酸化アルミニウムを主体とする層を積層して設ける
ことも好ましい態様である。

【００１２】太陽電池の耐環境性を改良するためには、
太陽電池面にバリヤ層を設けるだけで本発明の効果を得
ることが多いが、用いる基板フィルムによっては太陽電
池の裏面（基板フィルム面）にもバリヤ層を設けること
は好ましい実施態様である。この際設けられるバリヤ層
は太陽電池面に設けるものと同じであっても異なったも
のであってもよく、また、酸化珪素又は酸化アルミニウ
ムを主体とするものの他に、金属アルミニウム、ニッケ
ル、クロム、チタンや、それらを主体とする合金など、
塩化ビニリデン、ふっ化ビニリデンなどのガス透過性の
小さな合成樹脂なども好ましく用いられる。

【００１３】酸化珪素および酸化アルミニウムには、そ
れら以外の金属（例えば、ホウ素、マグネシウム、鉛、
亜鉛など）の酸化物が含まれることも、それが本発明の
効果を損なわない限り許される。バリヤ層を形成する方
法としては、スパッタ法または真空蒸着法等が任意に用
いられてよい。

【００１４】バリヤ層の厚みとしては、０．００５〜５
μｍ、好ましくは０．０１〜２μｍ、更に好ましくは
０．０４〜０．５μｍの範囲に選ばれるべきであり、こ
れ以下では、バリヤ層形成時のピンホールなどによりバ
リヤ効果が不十分となる恐れがある。またこれ以上の厚
みでは、フィルム状太陽電池が屈曲された際にバリヤ層
が破壊されて、バリヤ効果を失う恐れがある。

【００１５】これらの真空蒸着処理、スパッタ処理、グ
ロー放電処理などの処理は、フィルムをロールからロー
ルに連続して移動させつつ実施されても、一定寸法のフ
ィルムを回分的に処理しても、いずれの方法であっても
よい。本発明に用いられるフィルムの機械的特性は、フ
ィルム状太陽電池を加工したり、取り扱う上で、太陽電
池に加わる力による無用な変形を防ぎ、アモルファスシ
リコン層の破壊を防止する上で、強度が１８ｋｇ／ｍｍ
²以上、好ましくは２５ｋｇ／ｍｍ²以上、弾性率が３０
０ｋｇ／ｍｍ²以上、好ましくは６００ｋｇ／ｍｍ²以上
の物を用いるることが推奨される。更に伸度は１０〜１
００％であることが好ましい。これらのフィルムの特性
は、長尺方向、幅方向のいずれにおいても満足されるべ
きであるが、それらが必ずしも同じである必要はなく、
いわゆるバランスタイプ、一軸緊張タイプのいずれであ
ってもよい。

【００１６】本発明に用いられるフィルムとしては、従
来から用いられるポリエチレンテレフタレート、ポリエ
チレンナフタレートなどが安価な材料として用いられる
が、更に好ましくは、アモルファスシリコン層形成に際
して受ける高温に耐える耐熱性を持つ素材が推奨され
る。その耐熱の尺度として、２００℃における熱収縮率
が２％以下の物である。

【００１７】さらに、本発明に用いられるフィルムの熱
膨張係数が大きいと形成されたアモルファスシリコン層
が室温に冷却された時や、使用時の太陽光による昼夜の
加熱、冷却の温度差に曝された時、フィルム基板との寸
法差による歪み応力が発生し剥離することがあり、フィ
ルムの熱膨張係数は１５×１０^-6，さらには１０×１０
^-6以下、−２×１０^-6以上、さらに好ましくは０以上で
あることが好ましい。ここで熱膨張係数は、室温から３
００℃の間の平均値で表すものとする。

【００１８】これらの特性を満足するフィルムとして
は、アラミド樹脂やポリイミド樹脂よりなるフィルムの
一部の物が使用可能である。本発明に用いられるアラミ
ド樹脂としては、次の構成単位からなる群より選択され
た単位より実質的に構成される。 −ＮＨ−Ａｒ₁−ＮＨ− （Ａ） −ＣＯ−Ａｒ₂−ＣＯ− （Ｂ） −ＮＨ−Ａｒ₃−ＣＯ− （Ｃ）ここでＡｒ₁、Ａｒ₂、Ａｒ₃は少なくとも１個の芳香環
を含み、同一でも異なっていてもよく、これらの代表例
としては下記一般式で表されるものが挙げられる。

【００１９】

【化１】

【００２０】また、これらの芳香環の環上の水素の一部
が、ハロゲン基、ニトロ基、アルキル基、アルコキシ基
などで置換されているものも含む。また、Ｘは−Ｏ−、
−ＣＨ₂−、−ＳＯ₂−、−Ｓ−、−ＣＯ−などである。
特に、全ての芳香環の８０モル％以上がパラ位にて結合
されているアラミド樹脂は、熱膨張係数が小さいフィル
ムを製造しやすいため好ましい。

【００２１】本発明に用いられるポリイミド樹脂として
は、ポリマーの繰り返し単位の中に芳香環とイミド基を
それぞれ１個以上含むものであり、下記一般式（１）又
は（２）で表されるものである。

【００２２】

【化２】

【００２３】ここでＡｒ₄及びＡｒ₆は少なくとも１個の
芳香環を含み、イミド環を形成する２個のカルボニル基
は芳香環上の隣接する炭素原子に結合している。このＡ
ｒ₄は、芳香族テトラカルボン酸またはその無水物に由
来する。代表例としては、下記一般式で表されるものが
ある。

【００２４】

【化３】

【００２５】ここでＹは、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＨ₂
−、−Ｓ−、−ＳＯ₂−などである。また、上記（２）
のＡｒ₆は無水トリカルボン酸、あるいはそのハライド
に由来する。上記（１）及び（２）のＡｒ₅、Ａｒ₇は、
少なくとも１個の芳香環を含み、芳香族ジアミン、芳香
族イソシアネートに由来する。Ａｒ₅またはＡｒ₇の代表
例としては下記一般式で示されるものがある。

【００２６】

【化４】

【００２７】ここで、これらの芳香環の環上の水素の一
部が、ハロゲン基、ニトロ基、アルキル基、アルコキシ
基などで置換されているものも含む。Ｚは、−Ｏ−、−
ＣＨ ₂−、−Ｓ−、−ＳＯ₂−、−ＣＯ−などである。特
に、Ａｒ₅、Ａｒ₇の８０％以上がパラ位に結合された芳
香環であるポリイミド樹脂は、熱膨張係数が小さいフィ
ルムを製造しやすいため好ましい。

【００２８】また、本発明のアラミド樹脂またはポリイ
ミド樹脂には、フィルムの物性を損ねたり、本発明の目
的に反しない限り、滑剤、酸化防止剤、その他の添加剤
などや、他のポリマーが含まれていてもよい。本発明の
フィルムの製造法については、特に限定されるものでは
なく、それぞれの樹脂に適した製造法が取られてよい。

【００２９】まずアラミド樹脂については、有機溶剤可
溶のものでは、直接溶剤中で重合するか、一旦ポリマー
を単離した後再溶解するなどして溶液とし、ついで乾式
法または湿式法にて製膜され、また、ポリパラフェニレ
ンテレフタルアミド（ＰＰＴＡ）等の有機溶剤に難溶の
ものについては、濃硫酸などに溶解して溶液とし、つい
で乾式法または湿式法にて製膜される。

【００３０】一方、ポリイミド樹脂については、有機溶
剤中にてテトラカルボン酸無水物と芳香族ジアミンを反
応させて、ポリアミド酸とし、この溶液をそのまま、ま
たは一旦閉環処理してポリイミドとし、再度溶剤に溶解
して溶液を得、それらを乾式法または湿式法にて製膜さ
れる。乾式法では、溶液はダイから押し出され、金属ド
ラムやエンドレスベルトなどの支持体上にキャストさ
れ、キャストされた溶液が自己支持性あるフィルムを形
成するまで乾燥またはイミド化反応が進められる。

【００３１】湿式法では、溶液はダイから直接凝固液中
に押し出されるか、乾式と同様に金属ドラムまたはエン
ドレスベルト上にキャストされた後、凝固液中に導か
れ、凝固される。ついでこれらのフィルムはフィルム中
の溶剤や無機塩などを洗浄され、延伸、乾燥、熱処理な
どの処理を受ける。

【００３２】フィルムに滑り性を付与する目的で、微粒
子を混在させることも行われてよい。微粒子としては、
有機化合物、無機化合物があるが、通常は、例えばＳｉ
Ｏ₂、ＴｉＯ₂、ＺｎＯ、Ａｌ₂Ｏ₃、ＣａＳＯ₄、ＢａＳ
Ｏ₄、ＣａＣＯ₃、カーボンブラック、ゼオライト、その
他金属粉末などの無機化合物が用いられる。粒子径は
０．００５から２μｍ、添加量は０．０３重量％以上、
５重量％未満に選ばれることが多い。

【００３３】本発明に用いられるフィルムの厚みは特に
制限されるものではなく、通常５μｍ以上、１５０μｍ
以下、好ましくは１２μｍ以上、１００μｍ以下に選ば
れる。またフィルムには、染料や顔料などの着色剤や、
難燃剤、帯電防止剤、酸化防止剤、その他の改質剤につ
いても、それが本発明の目的に反しない限り含まれてい
てもよい。

【００３４】本発明のフィルム状太陽電池は、その可撓
性を活かすために単独で用いられても、何らかの支持体
上に積層固定されて用いられても良く、またモジュール
として組み込まれて用いられてもよい。（特性の測定法）本発明の特性値の測定法は次の通りで
ある。（１）フィルムの厚み、強度、伸度、弾性率の測定法フィルムの厚みは、直径２ｍｍの測定面を持つダイヤル
ゲージで測定する。

【００３５】強度、伸度、弾性率は、定速伸長型強伸度
測定機を用い、測定長１００ｍｍ、引っ張り速度５０ｍ
ｍ／分で測定したものである。（２）熱収縮率の測定法フィルムから２ｃｍ×５ｃｍの試料片を切り出し、４ｃ
ｍの間隔に刃物で傷をつけて標識とし、予め２３℃、５
５％ＲＨの雰囲気下に７２時間放置した後、標識間の距
離を読み取り顕微鏡にて測定し、次いで２００℃の熱風
式オーブンに２時間拘束することなく放置した後、再度
２３℃、５５％ＲＨの雰囲気下に７２時間放置した後、
標識間の距離を読み取り顕微鏡にて測定して求めた。（３）熱膨張係数の測定法熱力学特性測定機（ＴＭＡ、真空理工株式会社製ＴＭ７
０００型）に幅５ｍｍのサンプルを取り付け、荷重０．
３ｇ下で、一旦３００℃まで昇温してサンプルの残留歪
を除去した後、窒素気流下に冷却し、３００℃から３０
℃までのフィルムの寸法変化を測定し、この間の熱膨張
率を平均値として求める。（４）光電変換特性光電変換特性は、変換効率をＡＭ＝１に調節したオリエ
ル社のソーラーシュミレータで測定した。

【００３６】

【実施例】

【００３７】

【実施例１】ポリパラフェニレンテレフタルアミド（Ｐ
ＰＴＡ）を、９９．８％濃硫酸にポリマー濃度が１２％
になるように溶解し、ダイからエンドレスベルト上にキ
ャストした。ベルト上で加熱と同時に吸湿処理して、ド
ープを液晶相から等方相に相転換した後、０℃の４５％
硫酸中にて凝固させ、中和、水洗し、縦横ともに１．１
倍の延伸を施した後クリップテンターにより定長状態を
保ちつつ熱風乾燥し、次いで４００℃で緊張熱処理、３
５０℃でフリー熱処理した後巻き上げた。

【００３８】得られたＰＰＴＡフィルムは５０μｍの厚
みであり、長尺方向、幅方向にそれぞれ、強度３５、３
７ｋｇ／ｍｍ²、伸度４０、３７％、弾性率９５０、９
８０ｋｇ／ｍｍ²、２００℃熱収縮率０．０６、０．０
５％、熱膨張係数４．２×１０^-6、４．０×１０^-6であ
った。フィルムをスパッタリング装置にてステンレスス
チールターゲットよりフィルム上に厚さ１０００オング
ストロームのステンレススチール層を形成した。

【００３９】次いで、真空反応器中の支持電極上に上記
処理フィルムを設置し、反応器内を一旦１０−５Ｔｏｒ
ｒに排気し、支持電極の温度を３００℃に高めた後、対
抗電極と支持電極に３０Ｗの１３．５６ＭＨｚの高周波
電圧を印加しつつアルゴンガスを器内に導入して１Ｔｏ
ｒｒのアルゴン雰囲気下でプレスパッタし、次いで水素
ガスで１０％に希釈したＳｉＨ₄同様に水素ガスで１％
に希釈したＰＨ₃ガスを導入し、０．８Ｔｏｒｒの雰囲
気化でフィルム上に２００オングストロームのｎ型アモ
ルファスシリコン層を形成する。引き続き、ＳｉＨ₄の
みを導入し、厚さ６０００オングストロームのｉ型アモ
ルファスシリコン層を積層し、さらにＳｉＨ₄ガス中に
１％のＢ₂Ｈ₆を含有するものを導入し、厚さ２００オン
グストロームのｐ型アモルファスシリコン層を形成し
た。

【００４０】次いでこのｐｉｎ型アモルファスシリコン
半導体層を形成したフィルムを真空蒸着装置内に設置
し、電子ビーム法により１０００オングストローム厚み
の酸化インジウム錫層を蒸着しヘテロフェイス層とし
た。最後にその上に厚さ１０００オングストロームのパ
ラジウム層を櫛形に真空蒸着し、フィルム状太陽電池を
構成した。

【００４１】次いで、このフィルム状太陽電池を真空蒸
着装置内に設置し、太陽電池面に、次いでフィルムの裏
面にスパッタ法にて酸化アルミニウムをそれぞれ０．１
μｍの厚みに積層した。このフィルム状太陽電池の光電
変換特性は６．５％であった。このフィルム状太陽電池
を室温の水中に１昼夜浸漬したが、特別な外観上の変化
は見られなかった。その後、水中から取り出し８０℃の
熱風乾燥機中にて乾燥し、光電変換特性を測定したとこ
ろ、６．５％を示し、水に浸漬したことによる性能の低
下は全く見られなかった。

【００４２】

【比較例１】比較のため、実施例１において得られた酸
化アルミニウムをスパッタする前のフィルム状太陽電池
を、実施例１と同様に水に浸漬したところ、フィルムの
吸湿膨張により、フィルム状太陽電池に反りが発生し
た。また、水から取り出し乾燥したフィルム状太陽電池
の光電変換特性は、水に浸漬する前の６．５％から５．
０％まで低下した。

【００４３】

【実施例２】市販のポリイミドフィルムであるカプトン
（東レ・デュポン株式会社商標）２００Ｖを用いた他は
実施例１と同様にして太陽電池を構成した。用いたフィ
ルムの長尺方向、幅方向それぞれの強度は２２．５、２
３．５ｋｇ／ｍｍ²、伸度６１．４、６１．９％、弾性
率３８６、４２２ｋｇ／ｍｍ²、熱膨張係数２３×１０
^-6、２０×１０^-6であった。

【００４４】次いで、酸化珪素をその両面に０．１２μ
ｍの厚みにスパツタ法にて積層した。得られたフィルム
状太陽電池の光電変換特性は５．８％であり、８０℃、
９５％ＲＨの雰囲気に１週間放置した後に取り出し、乾
燥したものの光電変換特性は５．８％を示した。

【００４５】

【比較例２】実施例２で得られた酸化珪素を積層する前
のフィルム状太陽電池を、同様の湿熱雰囲気に曝したと
ころ、光電変換特性は、５．８％から４．０％に低下し
た。

【００４６】

【実施例３】市販の７５μの厚みのポリエチレンナフタ
レートを用いて、実施例１と同様にしてフィルム状太陽
電池を製造し、太陽電池面にのみ実施例と同様にして酸
化アルミニウム層を積層した。この光電変換特性が６．
１％のフィルム状太陽電池をステンレススチール板上に
エポキシ樹脂にて張り付け、太陽電池面に室温の水を５
時間にわたって注いだ。その後風乾したものの光電特性
は、６．１％であった。

【００４７】

【比較例３】実施例３で酸化アルミニウム層を積層しな
い他は全く同様の試験を実施したところ、光電変換特性
は６．１％から３．２％に低下した。

【００４８】

【発明の効果】本発明によれば、実用に当たって吸湿に
よる特性の低下が少ない耐環境性に優れた可撓性のフィ
ルム状太陽電池が提供できる。従って、従来の太陽電池
の如くモジュールとして封止するなどの加工が不要であ
り、コスト面での利点がある他、可撓性が殺されること
がない。

【００４９】本発明によれば、可撓性と耐環境性を活か
した新しい太陽電池としての活用方法が拓けることが期
待できる。具体的な実用上の利点としては、例えば、軽
量でかつ巻取る等の手段で持ち運びが容易であることか
ら、レジャー用や緊急用の太陽光発電などにに用いられ
る。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】可撓性フィルム基板上に光起電力要素と
してアモルファスシリコン薄膜および表面電極および裏
面電極を設けた太陽電池において、少なくとも太陽電池
が形成された面上に酸化珪素または酸化アルミニウムを
主体とする層を０．００５〜５μｍの厚みに設置したこ
とを特徴とするフィルム状アモルファスシリコン太陽電
池。
【請求項２】フィルム基板として、強度が１８ｋｇ／
ｍｍ²以上、弾性率が３００ｋｇ／ｍｍ²以上である合成
樹脂フィルムを用いる請求項１記載のフィルム状アモル
ファスシリコン太陽電池。
【請求項３】フィルム基板として、強度が１８ｋｇ／
ｍｍ²以上、弾性率が３００ｋｇ／ｍｍ²以上、２００℃
における熱収縮率が２％以下である耐熱性合成樹脂フィ
ルムを用いる請求項１記載のフィルム状アモルファスシ
リコン太陽電池。
【請求項４】フィルム基板として強度が１８ｋｇ／ｍ
ｍ²以上、弾性率が３００ｋｇ／ｍｍ²以上、２００℃に
おける熱収縮率が２％以下であり、熱膨張係数が１５×
１０^-6以下、−２×１０^-6以上である耐熱性合成樹脂フ
ィルムを用い請求項１記載のフィルム状アモルファスシ
リコン太陽電池。