JPH11274071A - 塗布用ノズル - Google Patents
塗布用ノズルInfo
- Publication number
- JPH11274071A JPH11274071A JP10149734A JP14973498A JPH11274071A JP H11274071 A JPH11274071 A JP H11274071A JP 10149734 A JP10149734 A JP 10149734A JP 14973498 A JP14973498 A JP 14973498A JP H11274071 A JPH11274071 A JP H11274071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- flow path
- slit
- coating liquid
- right halves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 スリット状開口部を有するノズルの塗布液ボ
タ落ちを防止する。 【解決手段】 ノズル１０は左右の半体１１，１１をボ
ルト１２，１３で結合して構成され、各半体１１はその
合わせ面に塗布液の流路１５となる凹部１６、流路１５
とつながるスリット状開口部１７となる凹部１８が形成
され、凹部１８内には一定間隔でスリット状開口部１７
の幅を設定する凸部１９が設けられ、また、各半体１１
には流路１５となる凹部１６の上方に前記ボルト１２の
挿通穴２０が形成され、凹部１６の下方に前記ボルト１
３の挿通穴２１が形成されている。
タ落ちを防止する。 【解決手段】 ノズル１０は左右の半体１１，１１をボ
ルト１２，１３で結合して構成され、各半体１１はその
合わせ面に塗布液の流路１５となる凹部１６、流路１５
とつながるスリット状開口部１７となる凹部１８が形成
され、凹部１８内には一定間隔でスリット状開口部１７
の幅を設定する凸部１９が設けられ、また、各半体１１
には流路１５となる凹部１６の上方に前記ボルト１２の
挿通穴２０が形成され、凹部１６の下方に前記ボルト１
３の挿通穴２１が形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は例えばガラス基板や
半導体ウェーハ等の板状被処理物表面にレジスト液や現
像液等の塗布液を塗布するノズルに関する。
半導体ウェーハ等の板状被処理物表面にレジスト液や現
像液等の塗布液を塗布するノズルに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハやガラス基板等の板状被
処理物表面に塗布するレジスト液等の量を極力少なくす
る手段として、特開昭６１−６５４３５号公報、特開昭
６３−１５６３２０号公報及び特開平４−１１８０７３
号公報に開示されるようにスリット状開口部を有するノ
ズルを用いることが知られている。
処理物表面に塗布するレジスト液等の量を極力少なくす
る手段として、特開昭６１−６５４３５号公報、特開昭
６３−１５６３２０号公報及び特開平４−１１８０７３
号公報に開示されるようにスリット状開口部を有するノ
ズルを用いることが知られている。
【０００３】上記スリット状開口部を有するノズルの具
体的な構造は上記公報からは明確ではないが、本発明者
等はノズルの具体的な構造として図１０に示すものを製
作した。即ち、ノズルは左右の半体１０１，１０２の流
路となる凹部１０３及びスリット状開口部となる凹部１
０４を形成した面を合わせ、流路となる凹部１０３より
も上方位置をボルト１０５にて結合してノズルを製作し
た。
体的な構造は上記公報からは明確ではないが、本発明者
等はノズルの具体的な構造として図１０に示すものを製
作した。即ち、ノズルは左右の半体１０１，１０２の流
路となる凹部１０３及びスリット状開口部となる凹部１
０４を形成した面を合わせ、流路となる凹部１０３より
も上方位置をボルト１０５にて結合してノズルを製作し
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように流路よ
りも上方をボルトにて結合すると、必然的にスリット状
開口部の下端が開き、塗布液のボタ落ちが生じる。ま
た、逆に流路よりも下方をボルトにて結合すると、上方
から液漏れを起こしたり、スリット状開口部の幅を設定
することが難しく塗布液の途切れ等を生じる。
りも上方をボルトにて結合すると、必然的にスリット状
開口部の下端が開き、塗布液のボタ落ちが生じる。ま
た、逆に流路よりも下方をボルトにて結合すると、上方
から液漏れを起こしたり、スリット状開口部の幅を設定
することが難しく塗布液の途切れ等を生じる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係るノズルは、左右の半体を合わせてノズルを構
成し、左右の半体の合わせ面間には流路とスリット状開
口部を形成し、また左右の半体の合わせ面のうちの少な
くとも一方には前記スリット状開口部の幅を設定する凸
部を設け、更に前記流路の上方位置及び下方位置におい
てボルトにて左右の半体を結合する構成とした。
発明に係るノズルは、左右の半体を合わせてノズルを構
成し、左右の半体の合わせ面間には流路とスリット状開
口部を形成し、また左右の半体の合わせ面のうちの少な
くとも一方には前記スリット状開口部の幅を設定する凸
部を設け、更に前記流路の上方位置及び下方位置におい
てボルトにて左右の半体を結合する構成とした。
【０００６】また、本発明に係る他のノズルは、前記流
路の一端を塗布液の供給管が嵌合する供給口とし、他端
を塗布液の排出管が嵌合する排出口とし、更に前記供給
口に連続する部分の流路断面形状を塗布液の供給管の流
路断面形状に実質的に等しく、また前記排出口に連続す
る部分の流路断面形状を塗布液の排出管の流路断面形状
に実質的に等しいくした。このような構成とすること
で、管と流路との継ぎ目に段差が生じることなく、気泡
の発生を防止することができる。
路の一端を塗布液の供給管が嵌合する供給口とし、他端
を塗布液の排出管が嵌合する排出口とし、更に前記供給
口に連続する部分の流路断面形状を塗布液の供給管の流
路断面形状に実質的に等しく、また前記排出口に連続す
る部分の流路断面形状を塗布液の排出管の流路断面形状
に実質的に等しいくした。このような構成とすること
で、管と流路との継ぎ目に段差が生じることなく、気泡
の発生を防止することができる。
【０００７】更に、本発明に係る他のノズルは、前記流
路の一端を塗布液の供給管が嵌合する供給口とし、他端
を閉塞し、更に前記供給口に連続する部分の流路断面形
状を塗布液の供給管の流路断面形状に実質的に等しくし
た。このように構成することで、前記同様気泡の発生を
防止することができる。
路の一端を塗布液の供給管が嵌合する供給口とし、他端
を閉塞し、更に前記供給口に連続する部分の流路断面形
状を塗布液の供給管の流路断面形状に実質的に等しくし
た。このように構成することで、前記同様気泡の発生を
防止することができる。
【０００８】尚、下方のボルトの挿通穴については、凸
部の部分に設ける方が塗布液にボルトが接触しないので
好ましい。
部の部分に設ける方が塗布液にボルトが接触しないので
好ましい。
【０００９】また、凸部の形状としては、例えば正面か
ら見て略紡錘形状をなすようにする。このようにするこ
とで、スムーズに塗布液が流下し、スリット状開口部内
での発泡を防止することができる。
ら見て略紡錘形状をなすようにする。このようにするこ
とで、スムーズに塗布液が流下し、スリット状開口部内
での発泡を防止することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る
塗布用ノズルを適用した回転カップ式の塗布ユニットの
全体図、図２は本発明に係る塗布用ノズルの断面図、図
３は本発明に係る塗布用ノズルを構成する左右の半体の
うちの一方の正面図、図４は図３の塗布液の供給部の部
分の拡大図、図５はボルト挿通穴の部分の拡大図、図６
は図５のＡ−Ａ線断面図、図７は図５のＢ−Ｂ線断面図
である。尚、本発明はノズルに関するものなので、実施
の形態は塗布用ノズルに限らない。
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る
塗布用ノズルを適用した回転カップ式の塗布ユニットの
全体図、図２は本発明に係る塗布用ノズルの断面図、図
３は本発明に係る塗布用ノズルを構成する左右の半体の
うちの一方の正面図、図４は図３の塗布液の供給部の部
分の拡大図、図５はボルト挿通穴の部分の拡大図、図６
は図５のＡ−Ａ線断面図、図７は図５のＢ−Ｂ線断面図
である。尚、本発明はノズルに関するものなので、実施
の形態は塗布用ノズルに限らない。
【００１１】回転カップ式の塗布ユニットは下部分１と
上部分２からなり、下部分１はベースに固定されたアウ
ターカップ３とこのアウターカップ３内に設けられスピ
ンナーにて回転せしめられるインナーカップ４とを備
え、インナーカップ４内にはインナーカップ４と一体的
に回転する載置テーブル５が設けられ、この載置テーブ
ル５の中央部は図示しないが、独立して昇降動し且つ上
昇した位置でガラス基板Ｗ（板状被処理物）の受け渡し
を行い、下降位置で載置テーブル５と面一になるサブテ
ーブルが設けられている。
上部分２からなり、下部分１はベースに固定されたアウ
ターカップ３とこのアウターカップ３内に設けられスピ
ンナーにて回転せしめられるインナーカップ４とを備
え、インナーカップ４内にはインナーカップ４と一体的
に回転する載置テーブル５が設けられ、この載置テーブ
ル５の中央部は図示しないが、独立して昇降動し且つ上
昇した位置でガラス基板Ｗ（板状被処理物）の受け渡し
を行い、下降位置で載置テーブル５と面一になるサブテ
ーブルが設けられている。
【００１２】一方、上部分２は下降した位置でアウター
カップ３の周縁を閉塞するアウターカップ用蓋体６と、
図示しないが、アウターカップ用蓋体６内に設けられ下
降した位置でインナーカップ４の周縁を閉塞するインナ
ーカップ用蓋体とを備え、アウターカップ用蓋体６はア
ーム７に支持され、インナーカップ用蓋体はアウターカ
ップ用蓋体６とは独立して回転可能に支持されている。
カップ３の周縁を閉塞するアウターカップ用蓋体６と、
図示しないが、アウターカップ用蓋体６内に設けられ下
降した位置でインナーカップ４の周縁を閉塞するインナ
ーカップ用蓋体とを備え、アウターカップ用蓋体６はア
ーム７に支持され、インナーカップ用蓋体はアウターカ
ップ用蓋体６とは独立して回転可能に支持されている。
【００１３】一方、回転カップ式の塗布ユニットの両側
にはレール８，８を備え、これらレール８，８間に門型
フレーム９を移動可能に係合し、この門型フレーム９に
本発明に係るノズル１０を取り付けている。
にはレール８，８を備え、これらレール８，８間に門型
フレーム９を移動可能に係合し、この門型フレーム９に
本発明に係るノズル１０を取り付けている。
【００１４】ノズル１０は図２〜図７に示すように、左
右の半体１１，１１をボルト１２，１３で結合して構成
される。各半体１１はその合わせ面に塗布液の流路１５
となる凹部１６が形成され、流路１５とつながるスリッ
ト状開口部１７となる凹部１８と、凹部１８内には一定
間隔でスリット状開口部１７の幅を設定する凸部１９が
一方の半体１１のみに設けられている。
右の半体１１，１１をボルト１２，１３で結合して構成
される。各半体１１はその合わせ面に塗布液の流路１５
となる凹部１６が形成され、流路１５とつながるスリッ
ト状開口部１７となる凹部１８と、凹部１８内には一定
間隔でスリット状開口部１７の幅を設定する凸部１９が
一方の半体１１のみに設けられている。
【００１５】凸部１９の形状は正面から見て略紡錘形状
をなし、流路１５からの塗布液が出来るだけ抵抗を受け
ずにスリット状開口部１７を流下するようにしている。
をなし、流路１５からの塗布液が出来るだけ抵抗を受け
ずにスリット状開口部１７を流下するようにしている。
【００１６】また、各半体１１には流路１５となる凹部
１６の上方に前記ボルト１２の挿通穴２０が形成され、
凹部１６の下方に前記ボルト１３の挿通穴２１が形成さ
れている。特に挿通穴２１については前記凸部１９の部
分に開口せしめ、塗布液がボルト１３に接触しない構成
になっている。尚、挿通穴２１を凸部１９から外して開
口させてもよい。
１６の上方に前記ボルト１２の挿通穴２０が形成され、
凹部１６の下方に前記ボルト１３の挿通穴２１が形成さ
れている。特に挿通穴２１については前記凸部１９の部
分に開口せしめ、塗布液がボルト１３に接触しない構成
になっている。尚、挿通穴２１を凸部１９から外して開
口させてもよい。
【００１７】また、ノズル１０に形成された直線状の流
路１５の一端は塗布液の供給管３１が嵌合する供給口１
５ａとされ、他端は塗布液の排出管３２が嵌合する排出
口１５ｂとされ、これら供給口１５ａ及び排出口１５ｂ
は流路１５よりも若干大径とされ、供給口１５ａに供給
管３１を、また排出口１５ｂに排出管３２をそれぞれ嵌
合させた状態で、図４に示すように、供給口１５ａ及び
排出口１５ｂの流路断面形状と流路１５の流路断面形状
とが略同一になるようにしている。斯かる構成とするこ
とで、供給管３１及び排出管３２と流路１５との継ぎ目
において段差がなくなり、塗布液が流れることにつれて
気泡が発生するのを防止することができる。
路１５の一端は塗布液の供給管３１が嵌合する供給口１
５ａとされ、他端は塗布液の排出管３２が嵌合する排出
口１５ｂとされ、これら供給口１５ａ及び排出口１５ｂ
は流路１５よりも若干大径とされ、供給口１５ａに供給
管３１を、また排出口１５ｂに排出管３２をそれぞれ嵌
合させた状態で、図４に示すように、供給口１５ａ及び
排出口１５ｂの流路断面形状と流路１５の流路断面形状
とが略同一になるようにしている。斯かる構成とするこ
とで、供給管３１及び排出管３２と流路１５との継ぎ目
において段差がなくなり、塗布液が流れることにつれて
気泡が発生するのを防止することができる。
【００１８】図８は別実施例を示す図であり、前記実施
例は左右の半体１１，１１を同一形状とすることで、製
作の容易性を確保しているが、この実施例にあってはス
リット状開口部１７となる凹部１８とスリット状開口部
１７の幅決定する凸部１９を両方の半体１１に形成して
いる。尚、流路１５となる凹部１６を一方の半体１１の
みに形成してもよい。
例は左右の半体１１，１１を同一形状とすることで、製
作の容易性を確保しているが、この実施例にあってはス
リット状開口部１７となる凹部１８とスリット状開口部
１７の幅決定する凸部１９を両方の半体１１に形成して
いる。尚、流路１５となる凹部１６を一方の半体１１の
みに形成してもよい。
【００１９】図９は別実施例を示す図３と同様の断面図
であり、この実施例にあっては流路１５の他端を栓３３
で閉塞している。上述したように一端に供給口を他端に
排出口を設けたノズルは、例えば現像液の循環流路の一
部に設けるのに適しており、図９に示すように他端を閉
じたノズルは、例えばレジスト液の塗布流路に適してい
る。
であり、この実施例にあっては流路１５の他端を栓３３
で閉塞している。上述したように一端に供給口を他端に
排出口を設けたノズルは、例えば現像液の循環流路の一
部に設けるのに適しており、図９に示すように他端を閉
じたノズルは、例えばレジスト液の塗布流路に適してい
る。
【００２０】また、図示しない別実施例にあっては、供
給管と排出管を流路に対し、流路の端部においてＬ字型
に連結してもよい。
給管と排出管を流路に対し、流路の端部においてＬ字型
に連結してもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
左右の半体を合わせてスリット状開口部を有するノズル
を作製するにあたり、左右の半体の合わせ面のうちの少
なくとも一方にはスリット状開口部の幅を設定する凸部
を設け、且つ左右の半体をボルトで結合する場合に、前
記流路の上方位置及び下方位置をそれぞれ結合するよう
にしたので、スリット状開口部の下端が広がることがな
く、また左右の半体の合わせ面のうちの少なくとも一方
にスリット状開口部の幅を設定する凸部を設けたので、
安定した塗布液を供給が可能になる。
左右の半体を合わせてスリット状開口部を有するノズル
を作製するにあたり、左右の半体の合わせ面のうちの少
なくとも一方にはスリット状開口部の幅を設定する凸部
を設け、且つ左右の半体をボルトで結合する場合に、前
記流路の上方位置及び下方位置をそれぞれ結合するよう
にしたので、スリット状開口部の下端が広がることがな
く、また左右の半体の合わせ面のうちの少なくとも一方
にスリット状開口部の幅を設定する凸部を設けたので、
安定した塗布液を供給が可能になる。
【００２２】また、下方のボルトの挿通穴を、凸部の部
分に設けるようにすれば、塗布液にボルトが接触しない
ので異物等の混入を確実に防止することができ、更に、
凸部の形状として、例えば正面から見て略紡錘形状とす
ることで、スムーズに塗布液が流下し、スリット状開口
部内での発泡を防止することができる。
分に設けるようにすれば、塗布液にボルトが接触しない
ので異物等の混入を確実に防止することができ、更に、
凸部の形状として、例えば正面から見て略紡錘形状とす
ることで、スムーズに塗布液が流下し、スリット状開口
部内での発泡を防止することができる。
【００２３】更に、ノズルに形成した塗布液の流路の断
面形状と、塗布液の供給管の断面形状或いは塗布液の排
出管の断面形状とをほぼ同一にしたので、管と流路との
継ぎ目に段差が生じることなく、したがって気泡の発生
を防止することができる。
面形状と、塗布液の供給管の断面形状或いは塗布液の排
出管の断面形状とをほぼ同一にしたので、管と流路との
継ぎ目に段差が生じることなく、したがって気泡の発生
を防止することができる。
【図１】本発明に係る塗布用ノズルを適用した回転カッ
プ式の塗布ユニットの全体図
プ式の塗布ユニットの全体図
【図２】本発明に係る塗布用ノズルの断面図
【図３】本発明に係る塗布用ノズルを構成する左右の半
体のうちの一方の正面図
体のうちの一方の正面図
【図４】図３の塗布液の供給部の部分の拡大図
【図５】図３のボルト挿通穴の部分の拡大図
【図６】図５のＡ−Ａ線断面図
【図７】図５のＢ−Ｂ線断面図
【図８】別実施例を示す図２と同様の断面図
【図９】別実施例を示す図３と同様の断面図
【図１０】従来例を示す図２と同様の断面図
１…塗布ユニットの下部分、２…塗布ユニットの上部
分、３…アウターカップ、４…インナーカップ、５…載
置テーブル、６…アウターカップ用蓋体、１０…ノズ
ル、１１…ノズル半体、１２，１３…ボルト、１５…流
路、１５ａ…供給口、１５ｂ…排出口、１６…流路とな
る凹部、１７…スリット状開口部、１８…スリット状開
口部となる凹部、１９…凸部、２０，２１…ボルト挿通
穴、３３…栓。
分、３…アウターカップ、４…インナーカップ、５…載
置テーブル、６…アウターカップ用蓋体、１０…ノズ
ル、１１…ノズル半体、１２，１３…ボルト、１５…流
路、１５ａ…供給口、１５ｂ…排出口、１６…流路とな
る凹部、１７…スリット状開口部、１８…スリット状開
口部となる凹部、１９…凸部、２０，２１…ボルト挿通
穴、３３…栓。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐合 宏仁 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布す
るノズルにおいて、このノズルは左右の半体を合わせて
構成され、左右の半体の合わせ面間には長手方向に流路
とこれに並走して下方にスリット状開口部が形成され、
また左右の半体の合わせ面のうちの少なくとも一方の流
路より下方には前記スリット状開口部の幅を設定する凸
部が設けられ、更に前記流路の上方位置及び下方位置に
おいてボルトにて左右の半体が結合されていることを特
徴とする塗布用ノズル。 - 【請求項２】 被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布す
るノズルにおいて、このノズルは左右の半体を合わせて
構成され、左右の半体の合わせ面間には長手方向に流路
とこれに並走して下方にスリット状開口部が形成され、
前記流路の一端は塗布液の供給管が嵌合する供給口とさ
れ、他端は塗布液の排出管が嵌合する排出口とされ、更
に前記供給口に連続する部分の流路断面形状は塗布液の
供給管の流路断面形状に実質的に等しく、また前記排出
口に連続する部分の流路断面形状は塗布液の排出管の流
路断面形状に実質的に等しいことを特徴とする塗布用ノ
ズル。 - 【請求項３】 被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布す
るノズルにおいて、このノズルは左右の半体を合わせて
構成され、左右の半体の合わせ面間には長手方向に流路
とこれに並走して下方にスリット状開口部が形成され、
前記流路の一端は塗布液の供給管が嵌合する供給口とさ
れ、他端は閉塞され、更に前記供給口に連続する部分の
流路断面形状は塗布液の供給管の流路断面形状に実質的
に等しいことを特徴とする塗布用ノズル。 - 【請求項４】 請求項１乃至請求項３に記載の塗布用ノ
ズルにおいて、前記凸部の部分に下方のボルトの挿通穴
が設けられていることを特徴とする塗布用ノズル。 - 【請求項５】 請求項１乃至請求項４に記載の塗布用ノ
ズルにおいて、前記凸部の形状は正面から見て略紡錘形
状をなすことを特徴とする塗布用ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14973498A JP3945551B2 (ja) | 1998-01-19 | 1998-05-29 | 塗布用ノズル |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10-7784 | 1998-01-19 | ||
| JP778498 | 1998-01-19 | ||
| JP14973498A JP3945551B2 (ja) | 1998-01-19 | 1998-05-29 | 塗布用ノズル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11274071A true JPH11274071A (ja) | 1999-10-08 |
| JP3945551B2 JP3945551B2 (ja) | 2007-07-18 |
Family
ID=26342148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14973498A Expired - Fee Related JP3945551B2 (ja) | 1998-01-19 | 1998-05-29 | 塗布用ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3945551B2 (ja) |
Cited By (7)
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|---|---|---|---|---|
| KR100849591B1 (ko) * | 2005-08-23 | 2008-07-31 | 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 | 처리액 공급노즐 및 기판처리장치 |
| US7416758B2 (en) | 2004-12-31 | 2008-08-26 | Lg Display Co., Ltd. | Slit coater |
| US7449069B2 (en) | 2004-12-28 | 2008-11-11 | Lg Display Co., Ltd. | Slit coater having apparatus for supplying a coating solution |
| CN100464873C (zh) * | 2005-10-27 | 2009-03-04 | 东京应化工业株式会社 | 狭缝喷嘴 |
| US7647884B2 (en) | 2004-12-31 | 2010-01-19 | Lg. Display Co., Ltd. | Slit coater with a standby unit for a nozzle and a coating method using the same |
| US7914843B2 (en) | 2004-12-31 | 2011-03-29 | Lg Display Co., Ltd. | Slit coater having pre-applying unit and coating method using the same |
| KR101282591B1 (ko) * | 2006-09-18 | 2013-07-12 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 코팅 장치 |
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1998
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