JPH1133469A

JPH1133469A - スピンコート装置

Info

Publication number: JPH1133469A
Application number: JP9208585A
Authority: JP
Inventors: Yoshihisa Usami; 由久宇佐美
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1997-07-17
Filing date: 1997-07-17
Publication date: 1999-02-09

Abstract

(57)【要約】【課題】放出された塗布液が飛散防止壁面に付着、堆
積しにくく、また塗布液の跳ね返りによる塗膜障害を起
すことのない光ディスク製造用スピンコート装置を提供
する。【解決手段】塗布液を円盤状透明樹脂基板の表面に付
与するための塗布液付与装置、該装置の下方に配置され
ている、上記基板を水平に保持するための回転可能なス
ピナーヘッド装置、回転する基板上に該塗布液付与装置
から付与されたのち、基板表面上を外周側に流延し、次
いで基板の外周縁部から外側に放出される塗布液の飛散
を防止する飛散防止壁からなり、スピナーヘッド上に水
平に支持される基板の外周縁部から該防止壁のスピナー
ヘッド側表面までの距離が８〜２５ｃｍの範囲にあり、
かつ該基板の上側表面を延長した平面と該防止壁のスピ
ナーヘッド側表面とが形成する角度が５〜３５度の範囲
となるように飛散防止壁が配置されているスピンコート
装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクの製造
に有利に用いられるスピンコート装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】基板の内周側に塗布液を滴下し、該基板
を回転させることにより、その遠心力により該塗布液を
外周側に流延させて塗膜を形成させた後、次いでその余
分の塗布液を振り切り、基板の外周縁部からその周囲に
放出させることからなる薄膜形成法は、スピンコート法
として良く知られている。このスピンコート法は、従来
から光ディスクを製造する際に有利な方法として利用さ
れている。例えば、所謂ＣＤ−Ｒと称される追記型の情
報記録媒体（光ディスク）の代表的な例は、直径が１２
０ｍｍの円盤状透明樹脂基板（以下、ディスク状基板、
あるいは単に基板と称する）の表面上に、色素記録層、
光反射層、そして保護層がこの順に積層された構成から
なる。そして色素記録層及び保護層はそれぞれ上記のス
ピンコート法を利用して形成されている場合が多い（例
えば、特公平７−１１８０９４号公報参照）。

【０００３】上記スピンコート法を実施する装置として
は、例えば、図４に示されるようなスピンコート装置が
一般的である。なお、スピンコート装置は、その回転軸
を中心として対称の関係にあるため、図（以下の図にお
いても同じである）では、その片側の半分のみを示して
ある。スピンコート装置４０は、塗布液付与装置４１、
スピナーヘッド装置４５、そして飛散防止壁４８から構
成されている。塗布液付与装置４１は、ホッパ４２とノ
ズル４４とからなり、ホッパ４２内に導入された塗布液
４３は、このノズルを通してその所定量が上記のような
ディスク状基板１の表面上に滴下されるようになってい
る。スピナーヘッド装置４５は、上記塗布液付与装置４
１の下方に配置されており、ディスク状基板１を載置す
るための載置部４６と基板を固定するための固定具４７
からなる。ディスク状基板１は載置部４６上に載置され
た後、固定具４７により水平に保持される。そしてスピ
ナーヘッド装置４５は駆動モータ（記載なし）により軸
回転が可能とされている。スピナーヘッドにより水平に
保持された状態で回転している基板上に上記の塗布液付
与装置４１から付与された塗布液４３は、基板表面上を
外周側に流延する。そして基板表面上には塗膜が形成さ
れる。塗膜形成に関与しない塗布液（余分の塗布液）４
３ａは、基板の外周縁部から外側に放出される。飛散防
止壁４８は、この塗布液４３ａが周辺に飛散するのを防
止するために設けられている。

【０００４】従来から、この飛散防止壁４８は、そのス
ピナーヘッド側表面と、ディスク状基板１をスピナーヘ
ッド装置４５に装着した時に該基板１の上側表面の延長
した面とのなす角度が約４５度となるように配置されて
いる場合が多い。即ち、スピナーヘッド装置４５の回転
により振り切られた余分の塗布液４３ａは、基板の外周
縁部からその遠心力により外側にほぼ水平方向に飛散
し、直接飛散防止壁４８の表面に衝突する。飛散防止壁
４８は、衝突した塗布液がそのまま落下し易いように上
記のような角度に傾斜された状態で配置されている場合
が多い。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明者の検討による
と、スピンコート装置を繰り返し使用している間に、飛
散防止壁の表面に衝突した塗布液が徐々に付着し、塗布
液の乾燥、固化に伴い塗布液中の不揮発分が前記飛散防
止壁に堆積するようになる。そしてこの堆積物に衝突し
た塗布液が多方面に飛び散り、その結果、跳ね返った液
が塗膜面上に落下してその表面に欠陥が生じることがわ
かった。特に、光ディスクの色素記録層を形成するため
の色素溶液は非常に低粘度であることが多く、そのため
飛沫となって飛び易かった。また従来では、上記のよう
な塗膜形成の障害を回避するために、堆積物の除去作業
が必要とされ、定期的に装置を停止することもあり、生
産性の点からも改良が求められている。

【０００６】本発明の目的は、基板の外周縁部より放出
された塗布液が飛散防止壁面に付着、堆積しにくく、ま
た堆積した場合であっても堆積物からの塗布液の跳ね返
りによる塗膜障害を起すことなく、塗膜形成を行なうこ
とができる光ディスク製造用のスピンコート装置を提供
することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者の研究により、
スピナーヘッド装置の周囲に配置される飛散防止壁を該
装置に装着した基板の外周縁部から一定の間隔となるよ
うに配置し、かつ該防止壁の傾斜角度を従来より更に傾
斜させることにより、塗布液の飛散防止壁面への堆積を
抑制でき、また堆積した場合においても堆積物から跳ね
返った塗布液の飛沫による塗膜障害を抑制できることが
見出された。

【０００８】本発明は、塗布液を円盤状透明樹脂基板の
表面に付与するためのノズルを有する塗布液付与装置、
該塗布液付与装置の下方に配置されている、上記基板を
水平に保持するための、駆動モータにより軸回転が可能
とされているスピナーヘッド装置、そして該スピナーヘ
ッドにより水平に保持された状態で回転している基板上
に該塗布液付与装置から付与されたのち、基板表面上を
外周側に流延し、次いで基板の外周縁部から外側に放出
される塗布液の周辺への飛散を防止するための飛散防止
壁からなる情報記録媒体製造用のスピンコート装置であ
って、該飛散防止壁が、スピナーヘッド上に水平に支持
される基板の外周縁部から該防止壁のスピナーヘッド側
表面までの距離が８〜２５ｃｍの範囲にあり、かつ該防
止壁のスピナーヘッド側表面とスピナーヘッド上に水平
に支持される基板の上側表面を延長した平面とが形成す
る角度が５〜３５度の範囲となるように配置されている
ことを特徴とするスピンコート装置にある。

【０００９】本発明は以下の態様であることが好まし
い。（１）飛散防止壁が、そのスピナーヘッド側表面と、ス
ピナーヘッド上に水平に支持される基板の上側表面を延
長した平面とが形成する角度が５〜１５度（特に好まし
くは７〜１５度、最も好ましくは、８〜１２度）の範囲
となるように配置されている。（２）飛散防止壁が、スピナーヘッド上に水平に支持さ
れる基板の外周縁部から該防止壁のスピナーヘッド側表
面までの距離が１０〜２５ｃｍ（更に好ましくは１５〜
２５ｃｍ）の範囲となるように配置されている。（３）飛散防止壁の上側端部から基板の外周縁部までの
距離が、１〜４０ｍｍ（更に好ましくは、２〜３０ｍ
ｍ、特に好ましくは、３〜２０ｍｍ）の範囲にある。（４）飛散防止壁の上側端部に下方に伸びたフランジ部
が備えられている。（５）上記（４）において、フランジ部が、その先端を
延長した面がスピナーヘッドに水平に支持される基板の
表面の外周縁部よりも飛散防止壁に近い側となるように
配置されている。（６）円盤状透明樹脂基板の直径が、１２０±３ｍｍで
ある。（７）塗布液が色素溶液である。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明のスピンコート装置につい
て添付の図面を用いて説明する。図１及び図２は、各々
本発明のスピンコート装置の断面模式図である。図１に
示されるように、本発明のスピンコート装置１０は、塗
布液付与装置１１、スピナーヘッド装置１５、及び飛散
防止壁１８から構成されている。塗布液付与装置１１は
塗布液１３を溜めておくためのホッパ１２とこれに通じ
るノズル１４からなり、このイズル１４から所定量の塗
布液がディスク状基板１上に滴下されるように構成され
ている。塗布液付与装置１１の下方には、スピナーヘッ
ド装置１５が配置されており、スピナーヘッド装置１５
は、ディスク状基板を水平に保持するための載置部１６
と基板を固定するための固定具１７から構成されてい
る。またスピナーヘッド装置１５は駆動モータ（記載な
し）に連結されており、この駆動モータにより軸回転が
可能である。スピナーヘッド装置１５に近接してその周
囲には、飛散防止壁１８が配置されている。上記塗布液
付与装置１１から、回転している基板上に付与された塗
布液１３は、基板表面上を外周側に流延する。そして余
分の塗布液１３ａは基板の外周縁部から外側に放出され
るが、塗布液１３ａは、飛散防止壁１８に衝突し、その
周辺への飛散が防止される。

【００１１】本発明に係る飛散防止壁１８は、スピナー
ヘッド上に水平に支持される基板の外周縁部から該防止
壁のスピナーヘッド側表面までの距離（図においてｄで
表されている距離）が、８〜２５ｃｍの範囲にあるよう
に配置されている。そして飛散防止壁１８に衝突して跳
ね返った塗布液による塗膜２の表面上への落下をより効
果的に防止するためには、この距離は、１０〜２５ｃｍ
の範囲にあることが好ましく、更に好ましくは１５〜２
５ｃｍの範囲である。

【００１２】また本発明に係る飛散防止壁１８は、その
スピナーヘッド側表面と、スピナーヘッド上に水平に支
持される基板の上側表面を延長した平面とが形成する角
度（図においてαで示されている傾斜角度）が５〜３５
度の範囲となるように配置されている。本発明において
は、飛散防止壁１８は、その傾斜角度が５〜１５度（更
に好ましくは、７〜１５度、特に好ましくは、８〜１２
度）の範囲となるように配置されていることが好まし
い。本発明において、飛散防止壁１８の上側端部と基板
の外周縁部との距離（図においてｄ’で表されている距
離）は、ある程度短いことが塗布液の跳ね返り量を減少
できる。この距離は、１〜４０ｍｍの範囲、更に好まし
くは、２〜３０ｍｍの範囲、特に好ましくは３〜２０ｍ
ｍの範囲にあるように設定することが好ましい。但し、
この距離が余り短過ぎると塗布の作業性が低下したり、
装置の保守の作業性が低下するので好ましくない。

【００１３】本発明に係る飛散防止壁２８は、図２に示
されるように、その上側端部に、下方に伸びたフランジ
部２９が備えられていることが好ましい。このフランジ
部２９により、塗布液が飛散防止壁２８の壁面、あるい
は堆積物に衝突した後、その飛沫が跳ね返り、基板表面
（塗膜面）上に落下するのを防止することができる。こ
の場合、フランジ部２９は、その先端を延長した面が、
スピナーヘッドに水平に支持される基板１の外周縁部よ
りも飛散防止壁２８に近い側となるように配置されてい
ることが好ましい。フランジ部２９をこのように配置す
ることによって、塗布液２３ａの飛沫がフランジ部２９
に付着し、更にここに堆積した場合であってもこの堆積
物が塗膜２面上に落下するのを防止できる。

【００１４】なお、本発明に係る飛散防止壁は、図で示
されるように、平面の場合の例で説明されているが、こ
の防止壁は、曲面の場合であっても本発明の目的を達成
できる。飛散防止壁が曲面を形成している場合、上述し
た距離ｄ及び傾斜角度αは、飛散防止壁が平面の場合に
準じて設定される。即ち、距離ｄは、スピナーヘッド上
に水平に支持される基板の外周縁部から曲面を形成する
飛散防止壁のスピナーヘッド側表面までの距離で表さ
れ、また傾斜角度αは、曲面を形成する飛散防止壁のス
ピナーヘッド側表面における接線方向の面と、スピナー
ヘッド上に水平に支持される基板の上側表面を延長した
平面とが形成する角度で表される。

【００１５】次に、本発明のスピンコート装置を用いた
情報記録媒体（光ディスク）の製造法について説明す
る。光ディスクは、様々な態様のものが提案されてい
る。本発明のスピンコート装置は、例えば、図３に示さ
れるような、円盤状透明樹脂基板（ディスク状基板）３
１上に、色素記録層３２、光反射層３３及び保護層３４
をこの順に積層させた構造の追記型の光ディスク３０の
製造法に有利に利用できるため、この態様の光ディスク
の製造法について以下に詳述する。基板材料としては、
例えばポリカーボネート；ポリメチルメタクリレート等
のアクリル樹脂；ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体
等の塩化ビニル系樹脂；エポキシ樹脂；アモルファスポ
リオレフィンおよびポリエステルなどを挙げることがで
き、所望によりそれらを併用してもよい。上記材料の中
では、耐湿性、寸法安定性および価格などの点からポリ
カーボネートが好ましい。上記のような基板材料で形成
される円盤状透明樹脂基板は、その直径が、１２０±３
ｍｍであるものが好ましい。しかし、用途により８０±
３ｍｍ、又は６４±３ｍｍの直径のものを用いることも
できる。

【００１６】なお、基板上には、トラッキング用の案内
溝またはアドレス信号等の情報を表わす凹凸（プレグル
ーブ）が形成されていることが好ましい。このプレグル
ーブは、ポリカーボネートなどの樹脂材料を射出成形あ
るいは押出成形する際に直接基板上に形成されることが
好ましい。プレグルーブの深さは１００〜３０００Åの
範囲にあることが好ましく、またその半値幅は、０．２
〜０．９μｍの範囲にあることが好ましい。

【００１７】上記の材料からなるディスク状基板３１上
には、本発明に係るスピンコート装置を用いて色素記録
層３２が設けられる。まず、ディスク状基板３１を、例
えば、図１に示されるスピナーヘッド装置１５に装着す
る。ディスク状基板３１（図１では、ディスク状基板１
に対応）は、固定具１７によりその載置部１６に水平に
保持される。次に、塗布液１３を塗布液付与装置１１の
ホッパ１２に導入する。塗布液１３は、そこから所定量
が基板上の内周側にドーナツ状に滴下するように調整さ
れている。塗布液１３は後述する色素化合物を適当な溶
剤に溶解した色素溶液が用いられる。なお、塗布液の濃
度は一般に０．０１〜１５重量％の範囲にあり、好まし
くは０．１〜１０重量％の範囲、特に好ましくは０．５
〜５重量％の範囲、最も好ましくは０．５〜３重量％の
範囲にある。

【００１８】駆動モータによってスピナーヘッド装置１
５は高速回転が可能である。基板１上に滴下された塗布
液１３は、スピナーヘッド装置の回転により、基板表面
上を外周方向に流延し、基板の外周縁部に到達する。外
周縁部に達した塗布液は、更にその遠心力により基板縁
部から外側にほぼ水平方向に塗布液１３ａ（余分の塗布
液）として放出され、その周囲に飛散する。飛散した塗
布液は、本発明に係る飛散防止壁１８に衝突する。しか
しこの飛散防止壁１８は、前述のように、スピナーヘッ
ド上に水平に支持される基板の外周縁部からスピナーヘ
ッド側表面までの距離、及びスピナーヘッド側表面とス
ピナーヘッド上に水平に支持される基板の上側表面を延
長した平面とが形成する角度が一定の範囲となるように
配置されているため、塗布液１３ａは、その壁面に付着
しにくく、またそこに堆積しにくくなっている。また堆
積した場合においても、飛散防止壁は、スピナーヘッド
から一定の間隔で配置されており、また好ましくは、飛
散防止壁１８の上側端部と基板の外周縁部との距離が比
較的短く設定することにより、更に図２に示すようなフ
ランジ部を設けることにより、堆積物による塗布液の基
板上への跳ね返りを抑制することができる。従ってディ
スク状基板上には、塗布液の飛沫による塗膜欠陥のない
良好な表面品質を持つ色素記録層３２が形成される。色
素記録層の層厚は一般に２０〜５００ｎｍの範囲で、好
ましくは５０〜３００ｎｍの範囲で設けられる。

【００１９】色素記録層に用いる色素は特に限定されな
い。使用可能な色素の例としては、シアニン色素、フタ
ロシアニン色素、イミダゾキノキサリン系色素、ピリリ
ウム系・チオピリリウム系色素、アズレニウム系色素、
スクワリリウム系色素、Ｎｉ、Ｃｒなどの金属錯塩系色
素、ナフトキノン系色素、アントラキノン系色素、イン
ドフェノール系色素、インドアニリン系色素、トリフェ
ニルメタン系色素、メロシアニン系色素、オキソノール
系色素、アルミニウム系・ジインモニウム系色素及びニ
トロソ化合物を挙げることができる。これらの色素のう
ちでは、シアニン色素、フタロシアニン系色素、アズレ
ニウム系色素、スクワリリウム系色素、オキソノール系
色素及びイミダゾキノキサリン系色素が好ましい。

【００２０】色素記録層を形成するための塗布液の溶剤
の例としては、酢酸ブチル、セロソルブアセテートなど
のエステル；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、
メチルイソブチルケトンなどのケトン；ジクロルメタ
ン、１，２−ジクロルエタン、クロロホルムなどの塩素
化炭化水素；ジメチルホルムアミドなどのアミド；シク
ロヘキサンなどの炭化水素；テトラヒドロフラン、エチ
ルエーテル、ジオキサンなどのエーテル；エタノール、
ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノー
ル、ジアセトンアルコールなどのアルコール；２，２，
３，３−テトラフロロプロパノールなどのフッ素系溶
剤；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコール
モノメチルエーテルなどのグリコールエーテル類などを
挙げることができる。上記溶剤は使用する色素の溶解性
を考慮して単独または二種以上を適宜併用することがで
きる。好ましくは、２，２，３，３−テトラフロロプロ
パノールなどのフッ素系溶剤である。なお、塗布液中に
は、所望により退色防止剤や結合剤を添加してもよい
し、更に酸化防止剤、ＵＶ吸収剤、可塑剤、そして潤滑
剤など各種の添加剤を目的に応じて添加してもよい。

【００２１】結合剤の例としては、ゼラチン、セルロー
ス誘導体、デキストラン、ロジン、ゴムなどの天然有機
高分子物質；およびポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リスチレン、ポリイソブチレン等の炭化水素系樹脂、ポ
リ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル・
ポリ酢酸ビニル共重合体等のビニル系樹脂、ポリアクリ
ル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル等のアクリル樹
脂、ポリビニルアルコール、塩素化ポリエチレン、エポ
キシ樹脂、ブチラール樹脂、ゴム誘導体、フェノール・
ホルムアルデヒド樹脂等の熱硬化性樹脂の初期縮合物な
どの合成有機高分子を挙げることができる。結合剤を使
用する場合に、結合剤の使用量は、色素に対して一般に
０．０１〜５０倍量（重量比）の範囲にあり、好ましく
は、０．１〜５倍量（重量比）の範囲にある。

【００２２】なお、色素記録層が設けられる側の基板表
面には、平面性の改善、接着力の向上および記録層の変
質防止などの目的で、下塗層が設けられてもよい。下塗
層の材料としては例えば、ポリメチルメタクリレート、
アクリル酸・メタクリル酸共重合体、スチレン・無水マ
レイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、Ｎ−メチロ
ールアクリルアミド、スチレン・ビニルトルエン共重合
体、クロルスルホン化ポリエチレン、ニトロセルロー
ス、ポリ塩化ビニル、塩素化ポリオレフィン、ポリエス
テル、ポリイミド、酢酸ビニル・塩化ビニル共重合体、
エチレン・酢酸ビニル共重合体、ポリエチレン、ポリプ
ロピレン、ポリカーボネート等の高分子物質；およびシ
ランカップリング剤などの表面改質剤を挙げることがで
きる。下塗層は、上記物質を適当な溶剤に溶解または分
散して塗布液を調製した後、この塗布液をスピンコー
ト、ディップコート、エクストルージョンコートなどの
塗布法により基板表面に塗布することにより形成するこ
とができる。下塗層の層厚は一般に０．００５〜２０μ
ｍの範囲、好ましくは０．０１〜１０μｍの範囲で設け
られる。

【００２３】上記色素記録層を形成後、乾燥させる。そ
の後、色素記録層の上には情報の再生時における反射率
の向上の目的で、反射層が設けられる。反射層の材料で
ある光反射性物質はレーザ光に対する反射率が高い物質
であり、その例としては、Ｍｇ、Ｓｅ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚ
ｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｒ
ｅ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐ
ｔ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉ
ｎ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｔｅ、Ｐｂ、Ｐｏ、Ｓｎ、Ｂｉなどの
金属及び半金属あるいはステンレス鋼を挙げることがで
きる。これらのうちで好ましいものは、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｐ
ｔ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌおよびステンレス鋼であ
る。これらの物質は単独で用いてもよいし、あるいは二
種以上の組み合わせて用いてもよい。または合金として
用いてもよい。特に好ましくはＡｕ、Ａｇもしくはその
合金である。反射層は、例えば、上記光反射性物質を蒸
着、スパッタリングまたはイオンプレーティングするこ
とにより記録層の上に形成することができる。反射層の
層厚は、一般的には１０〜８００ｎｍの範囲、好ましく
は２０〜５００ｎｍの範囲、更に好ましくは５０〜３０
０ｎｍの範囲で設けられる。

【００２４】保護層は、色素記録層などを物理的および
化学的に保護する目的で反射層の上に設けられる。保護
層は、基板の色素記録層が設けられていない側にも耐傷
性、耐湿性を高める目的で設けることもできる。保護層
で使用される材料としては、例えば、ＳｉＯ、ＳｉＯ
₂ 、ＭｇＦ₂ 、ＳｎＯ₂ 、Ｓｉ₃ Ｎ₄ 等の無機物質、及
び熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、そしてＵＶ硬化性樹脂
等の有機物質を挙げることができる。保護層は、例え
ば、プラスチックの押出加工で得られたフィルムを接着
剤を介して反射層上及び／または基板上にラミネートす
ることにより形成されることができる。あるいは真空蒸
着、スパッタリング、塗布等の方法により設けられても
よい。また、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂の場合には、
これらを適当な溶剤に溶解して塗布液を調製したのち、
この塗布液を塗布し、乾燥することによっても形成され
ることができる。ＵＶ硬化性樹脂の場合には、そのまま
もしくは適当な溶剤に溶解して塗布液を調製したのちこ
の塗布液を塗布し、ＵＶ光を照射して硬化させることに
よっても形成されることができる。これらの塗布液中に
は、更に帯電防止剤、酸化防止剤、ＵＶ吸収剤等の各種
添加剤を目的に応じて添加してもよい。上記塗布液を用
いて保護層を形成する場合には、前述したように、本発
明に係るスピンコート装置を用いて形成することができ
る。保護層の層厚は一般には０．１〜１００μｍの範囲
で設けられる。

【００２５】なお、上記の光ディスクの製造に際して、
その色素記録層の形成を図１に示されるスピンコート装
置を用いて行なう場合の例で示したが、図２に示される
スピンコート装置を用いることによっても同様に行なう
ことができる。この場合には、塗布液の塗膜面上への跳
ね返りが飛散防止壁の上側端部に備えられたフランジ部
２９によって防止される。従って跳ね返った塗布液によ
る塗膜障害を伴うことなく、良好な状態で色素記録層を
形成することができる。また、色素記録層と同様にし
て、下塗層、あるいは保護層などの塗布型の層を形成す
る場合においても本発明のスピンコート装置を用いるこ
とができる。

【００２６】

【実施例】以下に本発明の実施例と比較例を記載する。［実施例１］

【００２７】

【化１】

【００２８】上記の構造式で示されるシアニン色素２ｇ
を２，２，３，３−テトラフルオロプロパノール１００
ｃｃに溶解し、記録層形成用塗布液を調製した。この塗
布液を、表面にスパイラル状のプレグルーブ（トラック
ピッチ：１．６μｍ、プレグルーブ幅：０．４μｍ、プ
レグルーブの深さ：０．１６μｍ）が射出成形により形
成されたポリカーボネート基板（直径：１２０ｍｍ、厚
さ：１．２ｍｍ、帝人（株）のポリカーボネート（商品
名：パンライトＡＤ５５０３））のそのプレグルーブ側
の表面に、下記の飛散防止壁が備えられた本発明のスピ
ンコート装置を用いてそのスピナーヘッド装置の回転数
を３００ｒｐｍ〜２０００ｒｐｍまで変化させながら塗
布し、色素記録層（厚さ（グルーブ内）：約２００ｎ
ｍ）を形成した。スピンコート装置としては、飛散防止
壁が、スピナーヘッド上に水平に支持される基板の外周
縁部から該防止壁のスピナーヘッド側表面までの距離
（図１においてｄで示される距離）が、１１ｃｍであ
り、かつスピナーヘッド上に水平に支持される基板の上
側表面を延長した平面と該防止壁のスピナーヘッド側表
面が形成する角度（図１においてαで示される角度）が
１０度となるように配置されたスピンコート装置が用い
られた。またこの時、基板の外周縁部から該防止壁の上
側端部までの距離（図１においてｄ’で示される距離）
は１５ｍｍであった。

【００２９】次に、色素記録層上に、Ａｕをスパッタし
て、膜厚が１００ｎｍの反射層を形成した。更に上記で
用いたスピンコート装置を用いて、反射層上に、ＵＶ硬
化性樹脂（商品名：ＳＤ−２２０、大日本インキ化学工
業（株）製）をそのスピナーヘッド装置の回転数を３０
０ｒｐｍ〜２０００ｒｐｍまで変化させながら塗布した
後、紫外線を照射して層厚８μｍの保護層を形成した。
以上の工程により、基板、色素記録層、反射層及び保護
層からなるＣＤ−Ｒ型の光ディスク（以下、サンプル）
を製造した。

【００３０】［実施例２］〜［実施例５］実施例１において、スピンコート装置として、スピナー
ヘッド上に水平に支持される基板の外周縁部から該防止
壁のスピナーヘッド側表面までの距離（図１においてｄ
で示される距離）及びスピナーヘッド上に水平に支持さ
れる基板の上側表面を延長した平面と該防止壁のスピナ
ーヘッド側表面が形成する角度（図１においてαで示さ
れる角度）、そして基板の外周縁部から該防止壁の上側
端部までの距離（図１においてｄ’で示される距離）
を、下記の表１に示されるように配置された飛散防止壁
を有するスピンコート装置を用いたこと以外は同様にし
て本発明に従うＣＤ−Ｒ型の光ディスクを製造した。

【００３１】［比較例１及び２］実施例１において、ス
ピンコート装置として、スピナーヘッド上に水平に支持
される基板の外周縁部から該防止壁のスピナーヘッド側
表面までの距離（図１においてｄで示される距離）及び
スピナーヘッド上に水平に支持される基板の上側表面を
延長した平面と該防止壁のスピナーヘッド側表面が形成
する角度（図１においてαで示される角度）、そして基
板の外周縁部から該防止壁の上側端部までの距離（図１
においてｄ’で示される距離）を、下記の表１に示され
るように配置された飛散防止壁を有するスピンコート装
置を用いたこと以外は同様にして比較用のＣＤ−Ｒ型の
光ディスクを各１００枚づつ製造した。

【００３２】［光ディスクとしての評価］上記のサンプ
ルの調製において、スピンコート装置を用いて形成した
色素記録層の表面に、塗布液の飛沫による５０μｍ以上
の欠陥が発生しているか否かを微鏡で観察し、製品とし
ての歩留により評価した。その結果を表１に示す。

【００３３】

【表１】表１ ──────────────────────────────────── 基板外周縁部と基板外周縁部と飛散防止防止壁の傾斜防止壁面の距離上側端部の距離壁のフラ角度α（度）歩留ｄ（ｃｍ）ｄ’（ｍｍ）ンジ（垂直：９０度）（％） ──────────────────────────────────── 実施例１１１１５なし１０９４実施例２１１１０あり１０９６実施例３１１１５なし２０９１実施例４１１１５なし３０８８実施例５２１１５なし１０９６ ──────────────────────────────────── 比較例１１１１５なし４５８２比較例２１１６０なし４５７５ ────────────────────────────────────

【００３４】上記表１の結果から、本発明に従うスピン
コート装置を用いて製造したサンプル（実施例１〜５）
の場合には、従来のスピンコート装置を用いて製造した
サンプル（比較例１）の場合に比べて塗膜障害が少な
く、従って高い製品歩留を示している。このことから、
本発明に従うスピンコート装置を用いることにより、高
い生産性が実現できる。

【００３５】

【発明の効果】本発明のスピンコート装置を用いること
により、振り切った塗布液による塗膜障害を回避するこ
とができるため、ディスク状基板上に高品質な塗膜を形
成することができ、従って高い生産性で光ディスクを製
造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明のスピンコート装置の断面模式
図を示す。

【図２】図２は、図１に示されるスピンコート装置の飛
散防止壁にフランジ部が付設された本発明のスピンコー
ト装置の断面模式図を示す。

【図３】図３は、ディスク状基板上に色素記録層、反射
層、そして保護層をこの順に有する光ディスクの断面模
式図を示す。

【図４】図４は、従来のスピンコート装置の断面模式図
を示す。

【符号の説明】

１ディスク状基板２塗膜１０、２０、４０スピンコート装置１１、２１、４１塗布液付与装置１２、２２、４２ホッパ１３、２３、４３塗布液１４、２４、４４ノズル１５、２５、４５スピナーヘッド装置１６、２６、４６ディスク状基板の載置部１７、２７、４７固定具１８、２８、４８飛散防止壁２９フランジ部３０光ディスク３１ディスク状基板３２色素記録層３３反射層３４保護層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】塗布液を円盤状透明樹脂基板の表面に付
与するためのノズルを有する塗布液付与装置、該塗布液
付与装置の下方に配置されている、上記基板を水平に保
持するための、駆動モータにより軸回転が可能とされて
いるスピナーヘッド装置、そして該スピナーヘッドによ
り水平に保持された状態で回転している基板上に該塗布
液付与装置から付与されたのち、基板表面上を外周側に
流延し、次いで基板の外周縁部から外側に放出される塗
布液の周辺への飛散を防止するための飛散防止壁からな
る光ディスク製造用スピンコート装置であって、該飛散
防止壁が、スピナーヘッド上に水平に支持される基板の
外周縁部から該防止壁のスピナーヘッド側表面までの距
離が８〜２５ｃｍの範囲にあり、かつスピナーヘッド上
に水平に支持される基板の上側表面を延長した平面と該
防止壁のスピナーヘッド側表面とが形成する角度が５〜
３５度の範囲となるように配置されていることを特徴と
するスピンコート装置。
【請求項２】飛散防止壁の上側端部から基板の外周縁
部までの距離が１〜４０ｍｍの範囲にある請求項１に記
載のスピンコート装置。
【請求項３】飛散防止壁の上側端部に下方に伸びたフ
ランジ部が備えられている請求項１に記載のスピンコー
ト装置。
【請求項４】フランジ部が、その先端を延長した面が
スピナーヘッドに水平に支持される基板の表面の外周縁
部よりも飛散防止壁に近い側となるように配置されてい
る請求項３に記載のスピンコート装置。
【請求項５】円盤状透明樹脂基板の直径が、１２０±
３ｍｍである請求項１〜４のいずれかの項に記載のスピ
ンコート装置。
【請求項６】塗布液が色素溶液である請求項１〜５の
いずれかの項に記載のスピンコート装置。