JPH06226192A - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置Info
- Publication number
- JPH06226192A JPH06226192A JP5019126A JP1912693A JPH06226192A JP H06226192 A JPH06226192 A JP H06226192A JP 5019126 A JP5019126 A JP 5019126A JP 1912693 A JP1912693 A JP 1912693A JP H06226192 A JPH06226192 A JP H06226192A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inner cup
- resist
- masking plate
- rotating shaft
- spinner head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板を高速に回転させて外側にはね飛ばされ
た余分なレジストがはねかえって基板に再度、付着する
ことを防ぐ。 【構成】 スピンナーヘッドおよび回転軸を保護するイ
ンナーカップと、アウターカップの内側に設けられたシ
ャヘイ板の角部をなくし曲面とすることにより、不要な
レジストのはねかえりを抑え、排気をスムーズに行う。
た余分なレジストがはねかえって基板に再度、付着する
ことを防ぐ。 【構成】 スピンナーヘッドおよび回転軸を保護するイ
ンナーカップと、アウターカップの内側に設けられたシ
ャヘイ板の角部をなくし曲面とすることにより、不要な
レジストのはねかえりを抑え、排気をスムーズに行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクや光ディス
ク用原盤にスピンコート法によりレジスト等を塗布する
際に使用される塗布装置（スピンナー）に関するもので
ある。
ク用原盤にスピンコート法によりレジスト等を塗布する
際に使用される塗布装置（スピンナー）に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】文書ファイル、データファイル用などの
高密度メモリとして、記録、再生あるいは消去が可能な
光ディスクが用いられている。光ディスクには、微細な
凹凸（例えば、トラッキングのための溝）が必要であ
る。このため、安価に大量に光ディスクを製造するに
は、Ｎｉスタンパーと呼ばれる金型によりプラスチック
上に微細な凹凸パターンを転写し光ディスク用基板とす
ることが一般に行われている。
高密度メモリとして、記録、再生あるいは消去が可能な
光ディスクが用いられている。光ディスクには、微細な
凹凸（例えば、トラッキングのための溝）が必要であ
る。このため、安価に大量に光ディスクを製造するに
は、Ｎｉスタンパーと呼ばれる金型によりプラスチック
上に微細な凹凸パターンを転写し光ディスク用基板とす
ることが一般に行われている。
【０００３】このＮｉスタンパーを製造するには、厚い
ガラス基板（例えば、６ｍｍ程度）上に感光性樹脂（ホ
トレジスト；以下レジストと略す）を塗布し、これに所
定パターン（例えば、同心円状又はうず巻き状のトラッ
クパターン）をレーザ光で露光後、現像してレーザー照
射部（または、それ以外の部分）を除去し、ガラス基板
上にレジストパターンを形成させる。レジストパターン
を有するガラス基板をガラス原盤という。このガラス原
盤のレジストパターンが形成されている面に、Ｎｉをド
ライめっきにより積層させ、その後湿式めっきを行う。
これをガラス原盤から剥がすことで、ガラス原盤上のパ
ターンがＮｉ層に転写されたＮｉスタンパーが製造され
る。
ガラス基板（例えば、６ｍｍ程度）上に感光性樹脂（ホ
トレジスト；以下レジストと略す）を塗布し、これに所
定パターン（例えば、同心円状又はうず巻き状のトラッ
クパターン）をレーザ光で露光後、現像してレーザー照
射部（または、それ以外の部分）を除去し、ガラス基板
上にレジストパターンを形成させる。レジストパターン
を有するガラス基板をガラス原盤という。このガラス原
盤のレジストパターンが形成されている面に、Ｎｉをド
ライめっきにより積層させ、その後湿式めっきを行う。
これをガラス原盤から剥がすことで、ガラス原盤上のパ
ターンがＮｉ層に転写されたＮｉスタンパーが製造され
る。
【０００４】ところで、別のタイプの光ディスクの製造
工程において、薄いガラス基板（１．２ｍｍ程度）に直
接に所定パターンを形成する場合もある。この工程は、
ガラス基板上にレジストを塗布し、これに所定のパター
ンを露光し、現象することで基板上にレジストパターン
が形成される。その後、エッチングして基板に所定パタ
ーンの溝を形成し、最後にレジストパターンを除去する
と、目的とする基板を得ることができる。
工程において、薄いガラス基板（１．２ｍｍ程度）に直
接に所定パターンを形成する場合もある。この工程は、
ガラス基板上にレジストを塗布し、これに所定のパター
ンを露光し、現象することで基板上にレジストパターン
が形成される。その後、エッチングして基板に所定パタ
ーンの溝を形成し、最後にレジストパターンを除去する
と、目的とする基板を得ることができる。
【０００５】何れの場合においても、基板上にレジスト
を塗布する必要があり、その方法としては、スピンコー
ト法が一般的に用いられている。スピンコート法を用い
る理由は、表面が平滑で、膜厚の均一なレジスト層を効
率良く形成できることにある。この方法は、高速で回転
している基板上にレジストを滴下するだけで塗布作業が
完了する。
を塗布する必要があり、その方法としては、スピンコー
ト法が一般的に用いられている。スピンコート法を用い
る理由は、表面が平滑で、膜厚の均一なレジスト層を効
率良く形成できることにある。この方法は、高速で回転
している基板上にレジストを滴下するだけで塗布作業が
完了する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置では、スピ
ンコート法により原盤や基板上に所定の膜厚のレジスト
を塗布する場合、膜厚を薄く均一にするためスピンナー
ヘッドを高速に回転させている。そして、必要な厚さ以
外の不要なレジストは原盤や基板から外側へ高速に除去
される。
ンコート法により原盤や基板上に所定の膜厚のレジスト
を塗布する場合、膜厚を薄く均一にするためスピンナー
ヘッドを高速に回転させている。そして、必要な厚さ以
外の不要なレジストは原盤や基板から外側へ高速に除去
される。
【０００７】しかしながら、外側へ除去されたミスト状
のレジストがシャヘイ板やインナーカップにあたっては
ね返ると、原盤や基板に再度、付着する。これがレジス
ト膜の欠陥になるという問題があった。
のレジストがシャヘイ板やインナーカップにあたっては
ね返ると、原盤や基板に再度、付着する。これがレジス
ト膜の欠陥になるという問題があった。
【０００８】
【課題を解決する為の手段】上記問題を解決するため
に、本発明は、基板を載せるスピンナーヘッドと、該ス
ピンナーを回転可能に下から支える回転軸と、該回転軸
の下端に取付られたモーターと、前記スピンナーヘッド
及び回転軸を保護するインナーカップと、該インナーカ
ップの外側に設けられたシャヘイ板と、該シャヘイ板の
外側に設けられたアウターカップと、排気系とからなる
塗布装置において、前記インナーカップ及びシャヘイ板
が曲面からなることを特徴とする塗布装置を提供するも
のである。
に、本発明は、基板を載せるスピンナーヘッドと、該ス
ピンナーを回転可能に下から支える回転軸と、該回転軸
の下端に取付られたモーターと、前記スピンナーヘッド
及び回転軸を保護するインナーカップと、該インナーカ
ップの外側に設けられたシャヘイ板と、該シャヘイ板の
外側に設けられたアウターカップと、排気系とからなる
塗布装置において、前記インナーカップ及びシャヘイ板
が曲面からなることを特徴とする塗布装置を提供するも
のである。
【０００９】
【作用】従来の装置では、図２に示すように、インナー
カップ（４）とシャヘイ板（６）に折り曲げた角部があ
るため不要なレジストがその部分ではね返ること、さら
に排気がスムーズに行われず飛び散ったミスト状のレジ
ストを排気できないことが基板上に余分なレジストが再
付着する原因であることがわかった。
カップ（４）とシャヘイ板（６）に折り曲げた角部があ
るため不要なレジストがその部分ではね返ること、さら
に排気がスムーズに行われず飛び散ったミスト状のレジ
ストを排気できないことが基板上に余分なレジストが再
付着する原因であることがわかった。
【００１０】本発明では、図１に示すようにインナーカ
ップ（４）とアウターカップ（５）との間に設けられた
シャヘイ板（６）、ならびに飛び散ったレジストを回収
するための排気系からなるスピンナーにおいては、前記
インナーカップ（４）及びシャヘイ板（６）の角をなく
し、曲面とすることにより不要なレジストのはね返りが
抑えられ、角部が無いため排気がスムーズに行われる。
さらに好ましくは、ミスト状のレジストが排気されるイ
ンナーカップとシャヘイ板との間隙を排気系に近づくほ
ど狭くすることにより排気を効率よく行うことができ
る。
ップ（４）とアウターカップ（５）との間に設けられた
シャヘイ板（６）、ならびに飛び散ったレジストを回収
するための排気系からなるスピンナーにおいては、前記
インナーカップ（４）及びシャヘイ板（６）の角をなく
し、曲面とすることにより不要なレジストのはね返りが
抑えられ、角部が無いため排気がスムーズに行われる。
さらに好ましくは、ミスト状のレジストが排気されるイ
ンナーカップとシャヘイ板との間隙を排気系に近づくほ
ど狭くすることにより排気を効率よく行うことができ
る。
【００１１】以上、レジストを基板上に塗布する工程を
例に本発明の塗布装置を説明してきたが、本発明はこれ
に限られるものではなく、光ディスクの記録層の保護の
ための有機樹脂の塗布、光ディスクの表面保護のための
ハードコート剤の塗布にも使用することが可能である。
例に本発明の塗布装置を説明してきたが、本発明はこれ
に限られるものではなく、光ディスクの記録層の保護の
ための有機樹脂の塗布、光ディスクの表面保護のための
ハードコート剤の塗布にも使用することが可能である。
【００１２】
【実施例】図１において、（１）は基板（Ｓ）を載置す
るスピンナーヘッドである。スピンコートを行う際に
は、スピンナーヘッド（１）をモーター（３）によって
回転駆動させる。スピンナーヘッド（１）及び回転軸
（２）及びモーター（３）をスピンコート時に基板から
垂れ落ちる余分なレジストから保護するようにインナー
カップ（４）が設置されている。インナーカップ（４）
は従来用いられていたインナーカップの角部を半径５０
ｍｍの曲面としたものである。
るスピンナーヘッドである。スピンコートを行う際に
は、スピンナーヘッド（１）をモーター（３）によって
回転駆動させる。スピンナーヘッド（１）及び回転軸
（２）及びモーター（３）をスピンコート時に基板から
垂れ落ちる余分なレジストから保護するようにインナー
カップ（４）が設置されている。インナーカップ（４）
は従来用いられていたインナーカップの角部を半径５０
ｍｍの曲面としたものである。
【００１３】スピンコート時にはね飛ばされたミスト状
のレジストは、排出パイプを通って廃液タンク（９）に
回収されるか、排気系へ排気される。インナーカップ
（４）とアウターカップ（５）との間にはシャヘイ板
（６）が設けられている。シャヘイ板（６）は、従来用
いられていたシャヘイ板（６）の角部を半径１００ｍｍ
の曲面としたものである。インナーカップ上部とシャヘ
イ板との間隙は１００ｍｍ、下部とシャヘイ板との間隙
は３０ｍｍとし、排気の流れを良くした。
のレジストは、排出パイプを通って廃液タンク（９）に
回収されるか、排気系へ排気される。インナーカップ
（４）とアウターカップ（５）との間にはシャヘイ板
（６）が設けられている。シャヘイ板（６）は、従来用
いられていたシャヘイ板（６）の角部を半径１００ｍｍ
の曲面としたものである。インナーカップ上部とシャヘ
イ板との間隙は１００ｍｍ、下部とシャヘイ板との間隙
は３０ｍｍとし、排気の流れを良くした。
【００１４】この装置のスピンナーヘッド（１）に厚さ
６ｍｍのガラス基板を設置し、ホトレジスト（ＡＺ１３
５０）を塗布し回転数６００回転でスピンナーヘッドを
回転させた。その後、スピンナーヘッドを停止させ原盤
を取り出し、プリベイク温度１００℃、時間３０分行
う。その後、目視で検査したところ、レジストのはね返
りは全く無かった。
６ｍｍのガラス基板を設置し、ホトレジスト（ＡＺ１３
５０）を塗布し回転数６００回転でスピンナーヘッドを
回転させた。その後、スピンナーヘッドを停止させ原盤
を取り出し、プリベイク温度１００℃、時間３０分行
う。その後、目視で検査したところ、レジストのはね返
りは全く無かった。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、インナーカップとシャ
ヘイ板の折り曲げた角をなくし、曲面とすることによ
り、不要なレジストが角部ではね返り基板の塗布面上に
再付着するのを防ぐことができる。また、角部をなくす
こと、あるいはインナーカップとアウターカップとの間
隙を排気系に近づくほど狭くすることにより排気の流れ
がよくなり、飛び散ったミスト状のレジストがインナー
カップとシャヘイ板との間をスムーズに排気される。
ヘイ板の折り曲げた角をなくし、曲面とすることによ
り、不要なレジストが角部ではね返り基板の塗布面上に
再付着するのを防ぐことができる。また、角部をなくす
こと、あるいはインナーカップとアウターカップとの間
隙を排気系に近づくほど狭くすることにより排気の流れ
がよくなり、飛び散ったミスト状のレジストがインナー
カップとシャヘイ板との間をスムーズに排気される。
【図１】 本発明の実施例の塗布装置の縦断面を示す概
略図である。
略図である。
【図２】 従来の塗布装置の縦断面を示す概略図であ
る。
る。
１‥‥‥スピンナーヘッド ２‥‥‥回転軸 ３‥‥‥モーター ４‥‥‥インナーカップ ５‥‥‥アウターカップ ６‥‥‥シャヘイ板 ７‥‥‥底部 ８‥‥‥排出パイプ ９‥‥‥廃液タンク
Claims (2)
- 【請求項１】基板を載せるスピンナーヘッドと、該スピ
ンナーを回転可能に下から支える回転軸と、該回転軸の
下端に取付られたモーターと、前記スピンナーヘッド及
び回転軸を保護するインナーカップと、該インナーカッ
プの外側に設けられたシャヘイ板と、該シャヘイ板の外
側に設けられたアウターカップと、排気系とからなる塗
布装置において、前記インナーカップ及びシャヘイ板が
曲面からなることを特徴とする塗布装置。 - 【請求項２】前記インナーカップと前記シャヘイ板との
間隙が排気系に近づくに従って狭くなることを特徴とす
る請求項１に記載の塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5019126A JPH06226192A (ja) | 1993-02-08 | 1993-02-08 | 塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5019126A JPH06226192A (ja) | 1993-02-08 | 1993-02-08 | 塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06226192A true JPH06226192A (ja) | 1994-08-16 |
Family
ID=11990775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5019126A Pending JPH06226192A (ja) | 1993-02-08 | 1993-02-08 | 塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06226192A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1133469A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | スピンコート装置 |
-
1993
- 1993-02-08 JP JP5019126A patent/JPH06226192A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1133469A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | スピンコート装置 |
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