JPH1150146A - エッチング性に優れた電子部品用低熱膨張合金の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 画像の局部的な鮮明度の低下をもたらすスジ
むら等のエッチング不良が発生せず、かつ高精度のエッ
チング加工が可能な電子部品用低熱膨張合金の製造方法
を提供すること。 【解決手段】 Ｎｉ：３０〜４５ｗｔ％を含有するＦｅ
−Ｎｉ系合金からなり、造塊法で溶製された角柱状鋼塊
または連続鋳造法で溶製された角柱状スラブの断面形状
を、圧延方向に垂直な辺の長さａに対する圧延方向の辺
の長さｂの比ｂ／ａが０．６以上となるようにし、圧下
率が５０％以上の分塊圧延または鍛造を行い、その後熱
間圧延および冷間圧延する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シャドウマスクや
リードフレーム等の微細なエッチング加工を施す電子部
品に使用される低熱膨張合金薄板に関し、特に、コンピ
ューターディスプレイに使用される高精細用シャドウマ
スクとして好適なエッチング性に優れた低熱膨張合金の
製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】シャドウマスクやリードフレーム等の電
子部品は一般にエッチング加工が施されて使用される。
この際に、エッチング速度が速く、かつエッチング後の
孔の端部形状と寸法精度に優れたエッチング性の高い材
料が要求されている。

【０００３】以下、シャドウマスクを例にとって説明す
る。シャドウマスクはテレビジョンのブラウン管に使用
されており、電子銃から発射された電子ビームをガラス
体によって支持された蛍光面上の所定の位置に正確に照
射して特定の色調を与えるための多数の細孔を有してい
る。この場合に、発射された電子ビームのうち細孔を通
過して蛍光体に照射されるのは約２割であり、残りの８
割はシャドウマスクに衝突するため、シャドウマスクは
蛍光面を支持するガラス体に比較して高温になる。その
上、シャドウマスク用素材として従来より用いられてき
た底炭素リムド鋼や低炭素アルミキルド鋼等の軟鋼板
は、蛍光面を支持するガラス体に比べて熱膨張率がはる
かに大きいため、これらの間に位置ずれが生じて電子ビ
ームを蛍光面上の所定の位置へ正確に照射することがで
きなくなり、画像が不鮮明になることが多かった。

【０００４】画像が不鮮明になることを防止するため
に、シャドウマスクの懸架位置となる支持体の構造を工
夫して、上記位置ずれを補償することも試みられている
が、必ずしも十分とはいえない。さらに近年は、テレビ
ジョン画面の大型化、高品位化や高輝度化に伴って、こ
れらの位置ずれの問題が顕在化している。

【０００５】そこで、シャドウマスク用素材として、低
熱膨張材料である３６ｗｔ％Ｎｉを含有するＦｅ−Ｎｉ
系合金の使用が拡大している。この合金は従来の低炭素
鋼に比べて熱膨張係数が約１／１０と小さく、高輝度画
面における電子ビームの加熱に対してもその低膨張性は
維持されるため、この材料を素材として作製されたシャ
ドウマスクでは、熱膨張による色ずれは生じにくい。

【０００６】シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板
は、通常、連続鋳造法または造塊法によって合金鋼塊を
調整し、次いで分塊圧延、熱間圧延、冷間圧延、焼鈍を
施して製造される。この合金薄板にフォトエッチング加
工により電子ビームの通過孔を形成した後、焼鈍、成型
加工および黒化処理等の各工程を施すことによりシャド
ウマスクが製造される。

【０００７】しかし、Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板を素材とす
るシャドウマスクは、優れた低熱膨張特性を有する一方
で、エッチング性に劣るため、フォトエッチング加工で
良好な孔形状を得ることは困難であり、エッチング不良
により局部的に画像の鮮明度不良を生じることがある。
そこで、このＦｅ−Ｎｉ系合金薄板についてエッチング
性を改善する試みがなされている。

【０００８】例えば、特公昭５９−３２８５９号公報で
は、フォトエッチング加工後の孔形状をシャドウマスク
全面にわたって均一にするためには、エッチング面の結
晶方位の不揃いを防いで、エッチング速度を一定にする
必要があるとして｛１００｝結晶面の配向度を３５％以
上とすることによって改善を図っている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
テレビジョン画面の大型化およびコンピューターのディ
スプレイへの適用拡大にともない画像のきめ細かさや高
輝度化への要求が一段と高まってきており、このために
電子ビームの通過孔をより高輝度に穿孔するようなエッ
チング加工が必要となってきている。

【００１０】特に、コンピューターディスプレイに使用
される高精細のシャドウマスクでは主として板厚０．１
５ｍｍ以下の素材が使用され、例えば直径１２０μｍ
の孔が２７０μｍピッチで穿孔されており、さらなるフ
ァインピッチ化も試行されている。

【００１１】このような微細な孔をエッチング面内にお
いて精度よく穿孔するために、エッチング技術の向上と
ともに、素材の材質の向上が図られてきたが、依然とし
て局部的なエッチング不良に起因する孔形状の不良が発
生しており、画像の局部的な鮮明度不良の一因となって
いる。

【００１２】このエッチング不良は、マスク部において
合金薄板の圧延方向に沿った微細な線状のむらとして観
察され、「スジむら」と呼ばれている。このスジむらの
多くは数十μｍ〜数ｍｍの幅を有し、マスク部の一辺か
ら対辺に達する。これまでＮｉの偏析あるいは不純物の
偏析によりスジむらが発生することが知られており、ス
ジむらを抑制するために均熱による偏析拡散処理に関し
ていくつかの技術が提案されている。

【００１３】例えば、特開平２−５４７４号公報では、
スジむらがＣ、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｃｒ等の不純物元素の偏
析、あるいは鋳造時の凝固組織により発生するものと
し、０．００１〜０．０３ｗｔ％のＢを添加するととも
に、特定条件でスラブを加熱することにより偏析を阻止
し、柱状晶組織を低減してスジむらの抑制を図ってい
る。しかし、実際には、例えばシャドウマスクのように
微細なエッチング加工と低熱膨張が要求される材料で
は、特性を劣化させないためにＣ、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｃｒ等
の元素は合計しても１ｗｔ％に満たない量に極力低減し
ており、このような偏析によるスジむらは生じ得ず、こ
の技術はＦｅ−３６％Ｎｉ合金薄板で発生するスジむら
を解消するものではない。一方で、シャドウマスクの黒
化処理では０．０２ｗｔ％を超えてＢが存在すると、黒
化むらが発生して局部的な色ずれが生じる。

【００１４】また特開昭６０−１２８２５３号公報で
は、スジむらの発生原因はＮｉの成分偏析であり、Ｆｅ
−Ｎｉ系合金鋼塊を８５０℃〜融点以下の温度で加熱
し、１ヒートまたは２ヒート以上で４０％以上の断面減
少率で鍛造することによりＮｉ偏析を改善することで、
エッチング孔形状を良くし、スジむらをなくす方法を提
案している。しかし、より微細なエッチング孔を高密度
に穿孔する必要のあるコンピューターディスプレイ用の
シャドウマスクでは、単に断面現象率を４０％以上とす
るだけではスジむらを解消することができない。

【００１５】また特公平０６−６８１２８号公報では、
スジむらの発生原因は成分偏析が最も支配的であると
し、１３５０℃以下の温度範囲でｌｏｇｔ≧８．２８−
６．０９×１０−３Ｔ（ただしｔは保定時間（ｈｒ）、
Ｔは材料温度）で熱処理することを提案している。しか
し、この技術では、鋼塊あるいはスラブの形状および断
減少率を考慮しておらず、この技術において扁平な鋼塊
またはスラブを使用すると、鋼板の幅をｗとした場合に
１／２ｗ〜１／４ｗでスジむらが発生する。

【００１６】以上述べたように、上記いずれの技術を用
いてもＦｅ−３６％Ｎｉ合金薄板で発生するようなエッ
チング加工によるスジむらを克服することができず、む
しろ画像の高品位化に伴って、スジむら等のエッチング
不良は増加する傾向にあり、その対策が求められてい
る。

【００１７】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであって、画像の局部的な鮮明度の低下をもたらすス
ジむら等のエッチング不良が発生せず、かつ高精度のエ
ッチング加工が可能な電子部品用低熱膨張合金の製造方
法を提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、Ｆｅ−Ｎ
ｉ系低熱膨張合金薄板のエッチング性について種々検討
を行った結果、上述のスジむらをはじめとするエッチン
グ不良が、Ｎｉミクロ偏析の濃度変動量だけでなく、鋼
板内部での柱状晶の形態にも影響されることを見出し
た。

【００１９】図１は、板厚３．０ｍｍの熱延板におい
て、圧延方向と垂直断面のミクロ組織を示したものであ
る。腐食液として１０％塩化第二鉄溶液を使用した。鋼
Ａは、圧延方向に垂直な辺の長さａに対する圧延方向の
辺の長さｂの比ｂ／ａ＝０．１３の角形鋼塊を１２５０
℃×４０時間で均熱処理し、圧下率２０％で分塊圧延し
た場合の代表例であるが、板圧方向に斜めに延びた柱状
晶組織が存在する。一方、鋼Ｂは、ｂ／ａ＝０．９１の
角形鋼塊を同一条件で均熱処理し、圧下率７５％で分塊
圧延した場合の代表例であるが、柱状晶組織は平行とな
る。鋼Ａと鋼Ｂに熱間圧延、冷間圧延および焼鈍を施
し、調質圧延、歪み取り焼鈍し、板厚０．１２ｍｍの薄
板としたものをエッチング加工すると、鋼Ａではスジむ
らが発生したのに対し、鋼Ｂではスジむらは発生しなか
った。

【００２０】熱延板の断面で認められる柱状晶組織は、
消えることはなく、熱延以降の冷間圧延と焼鈍を経て、
薄い板状の偏析組織が積み重ねられたものとして存在す
る。この柱状晶組織の樹枝はＦｅ濃化であり、樹間はＮ
ｉ濃化となり、エッチングの際に溶解量が異なるため孔
界面に凹凸を生じ、光の反射状態が変化するため、スジ
ムラとして認識されることとなる。

【００２１】すなわち、扁平な鋼塊またはスラブを用い
ると、たとえ断面減少率を高くしたとしても、柱状晶組
織が斜めに残存してスジむらが発生しやすくなるのであ
って、柱状晶組織を平行に残存させるためには、用いる
鋼塊またはスラブの形状と圧下率の両方を制御する必要
がある。

【００２２】本発明は、このような知見に基づいて完成
されたものであり、第１に、Ｎｉ：３０〜４５ｗｔ％を
含有するＦｅ−Ｎｉ系合金からなり、造塊法で溶製され
た角柱状鋼塊または連続鋳造法で溶製された角柱状スラ
ブの断面形状を、圧延方向に垂直な辺の長さａに対する
圧延方向の辺の長さｂの比ｂ／ａが０．６以上となるよ
うにし、圧下率が５０％以上の分塊圧延または鍛造を行
い、その後熱間圧延および冷間圧延することを特徴とす
る、エッチング性に優れた電子部品用低熱膨張合金の製
造方法を提供するものである。

【００２３】第２に、Ｎｉ：２０〜４０ｗｔ％、Ｃｏ：
７ｗｔ％以下を含有し、かつＮｉ＋Ｃｏが２７〜４０ｗ
ｔ％であるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金からなり、造塊法で
溶製された角柱状鋼塊または連続鋳造法で溶製された角
柱状スラブの断面形状を、圧延方向に垂直な辺の長さａ
に対する圧延方向の辺の長さｂの比ｂ／ａが０．６以上
となるようにし、圧下率が５０％以上の分塊圧延または
鍛造を行い、その後熱間圧延および冷間圧延することを
特徴とする、エッチング性に優れた電子部品用低熱膨張
合金の製造方法を提供するものである。

【００２４】第３に、Ｎｉ：３０〜４５ｗｔ％を含有す
るＦｅ−Ｎｉ系合金からなり、造塊法で円柱状鋼塊を溶
製し、圧下率が２０％以上の分塊圧延または鍛造を行
い、その後熱間圧延および冷間圧延することを特徴とす
る、エッチング性に優れた電子部品用低熱膨張合金の製
造方法を提供するものである。

【００２５】第４に、Ｎｉ：２０〜４０ｗｔ％、Ｃｏ：
７ｗｔ％以下を含有し、かつＮｉ＋Ｃｏが２７〜４０ｗ
ｔ％であるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金からなり、造塊法で
円柱状鋼塊を溶製し、圧下率が２０％以上の分塊圧延ま
たは鍛造を行い、その後熱間圧延および冷間圧延するこ
とを特徴とする、エッチング性に優れた電子部品用低熱
膨張合金の製造方法を提供するものである。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。本発明においては、電子部品の性能を低下させる
寸法変化や位置ずれが生じないような十分な低熱膨張性
を得るために、Ｎｉを３０〜４５ｗｔ％を含有するＦｅ
−Ｎｉ系合金を用いる。このような合金を用いることに
より、室温〜１００℃の平均熱膨張係数が２．０×１０
^-6／℃以下の低熱膨張が実現される。

【００２７】また、本発明の他の形態においては、７ｗ
ｔ％以下のＣｏを添加したＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金を用
いる。この場合には、Ｎｉ：２０〜４０ｗｔ％、Ｃｏ：
７ｗｔ％以下を含有し、かつＮｉ＋Ｃｏが２７〜４０ｗ
ｔ％である。このような組成の合金を用いることによ
り、上記Ｆｅ−Ｎｉ系合金と同様の低熱膨張性を得るこ
とができる。Ｃｏが７ｗｔ％を超えるとエッチング性が
著しく低下するため、Ｃｏ量の上限を７ｗｔ％とする。

【００２８】本発明の合金は、上記元素の他に、本発明
の効果が損なわれない範囲であればＳｉ、Ｍｎ、Ｂ、
Ｎ、Ｏを含有してもよいが、Ｓｉ≦０．０７ｗｔ％、Ｍ
ｎ≦０．５ｗｔ％、Ｂ≦０．０２ｗｔ％、Ｎ≦０．００
５ｗｔ％、Ｏ≦０．００２ｗｔ％の範囲に制限すること
が望ましい。

【００２９】これらの元素のうち、Ｓｉは溶鋼の脱酸元
素として使用することができるが、過剰に存在すると黒
化処理において板表層に濃化し、均質で黒色の酸化膜形
成を阻害するため０．０７ｗｔ％以下であることが望ま
しい。Ｍｎは良好な熱間加工性を確保する上で有用であ
るが、過剰に存在するとエッチング性を低下させ、また
黒化処理において板の表層に濃化し、均質で黒色の酸化
膜形成を阻害するため、０．５ｗｔ％以下であることが
望ましい。Ｂは熱間加工性の向上やスケール生成を抑制
する効果があるが、過剰に存在すると黒化処理において
板の表層に濃化し、均質で黒色の酸化膜形成を阻害する
ため、０．０２ｗｔ％以下とすることが望ましい。Ｎは
プレス加工性の劣化やエッチング性の劣化をもたらすた
め、０．００５ｗｔ％以下とすることが望ましい。Ｏは
プレス前の軟質化焼鈍時に結晶粒の成長を阻害し、プレ
ス成形性を劣化させるので、０．００２ｗｔ％以下であ
ることが望ましい。

【００３０】上記成分組成の低熱膨張合金薄板を得るた
めに、本発明においては、まず、上記成分組成の合金を
転炉または電気炉で溶解し、連続鋳造法あるいは造塊法
でスラブ（連続鋳造法の場合）または鋼塊（造塊法の場
合）を製造する。この場合に、スラブまたは鋼塊の断面
形状を、圧延方向に垂直な辺の長さａに対する圧延方向
の辺の長さｂの比ｂ／ａが０．６以上となるようにし、
圧下率が５０％以上とすの分塊圧延または鍛造を行って
厚さ１２０〜３００ｍｍとする。また、分塊圧延または
鍛造に先立って、均熱処理を行うことが好ましく、その
際の条件は加熱温度１１５０℃以上、保持時間１０時間
以上が好ましい。

【００３１】図２はエッチング加工の孔ピッチが３００
μｍ以下の薄板について、造塊法によって溶製された鋼
塊および連続鋳造法によって溶製されたスラブのｂ／ａ
および分塊圧延あるいは鍛造の際の圧下率が、製造した
マスクのスジむらの発生の有無に及ぼす影響を示す図で
ある。なお、均熱処理条件は１１５０℃以上１０時間以
上である。

【００３２】図２から、鋼塊およびスラブの寸法比ｂ／
ａが０．６以上、かつ分塊圧延あるいは鍛造での圧下率
５０％以上の範囲内が、板厚０．１０〜０．２５ｍｍの
薄板においてスジむらが発生しない領域であることが確
認される。

【００３３】このようにｂ／ａが０．６以上で良好な結
果が得られるのは、ｂ／ａが０．６未満の場合には柱状
晶が冷間圧延後も板厚方向に対して斜めに存在し、スジ
むらが発生しやすくなるのに対し、ｂ／ａが０．６以上
ではこのようなことが生じないからである。なお、本発
明の趣旨からは必ずしもｂ／ａの上限は規定する必要は
ないが、設備的制約からｂ／ａ＝１．５程度がほぼ上限
となる。

【００３４】ｂ／ａが０．６以上であっても、分塊圧延
あるいは鍛造での圧下率が５０％未満では、柱状晶が冷
間圧延後も板厚に対して斜めに存在し、スジむらを発生
しやすくなるため、分塊圧延あるいは鍛造での圧下率を
５０％以上とする。

【００３５】冷間圧延後に柱状晶が斜めに存在すること
を防止する観点からは、造塊法で円柱状鋼塊を溶製し
て、これに圧下率が２０％以上の分解圧延または鍛造を
施すようにしてもよい。

【００３６】図３は、鋼塊またはスラブ形状、柱状晶の
状態、および分塊圧延または鍛造後のスラブ形状を模式
的に示す図であり、（ａ）角柱状の鋼塊またはスラブ、
（ｂ）は円柱状の鋼塊またはスラブを示すものである。
図中、ハッチングは柱状晶を模式的に示すものであり、
中の四角形は分塊圧延または鍛造後のスラブ形状を示す
ものである。

【００３７】Ｎｉ偏析の拡散を促進する観点から、上述
したように、分塊圧延または鍛造に先だって均熱処理す
ることが好ましく、その際に加熱温度１１５０℃以上、
保持時間１０時間以上とすることが好ましい。１１５０
℃未満あるいは１０時間未満ではＮｉ偏析の拡散効果が
小さく、スジむらの発生を防止する観点から好ましくな
い。なお、分塊圧延または鍛造後に１１５０℃以上で１
０時間以上の均熱処理を行っても、偏析拡散の効果は損
なわれない。

【００３８】その後、１０５０〜１２５０℃で３０分間
以上の熱処理を施し、熱間圧延により厚さ２〜３ｍｍの
熱延鋼板を得る。この熱延鋼板について、冷間圧延と７
５０℃以上での焼鈍を２回以上繰り返し、板厚０．１０
〜０．２５ｍｍの薄板を製造する。この際に、鋼塊から
薄板までの累積圧下率は９９．９％以上とする。これに
より、目的とする電子部品用低熱膨張合金薄板が得られ
る。

【００３９】本発明は、エッチング加工される電子部品
用の合金薄板全般を対象とするが、特に高精度のエッチ
ング加工と低熱膨張性が要求されるエッチング加工によ
る孔ピッチが３００μｍ以下のシャドウマスク用素材の
製造方法として好適である。本発明における低熱膨張特
性を有するＦｅ−Ｎｉ系またはＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金
薄板を素材とするシャドウマスクは、熱膨張による位置
ずれが少ないので、これを用いたブラウン管の画像は一
段と鮮明になる。

【００４０】

【実施例】以下、本発明の合金薄板をシャドウマスク用
素材として使用する場合の実施例について説明する。表
１に本実施例で用いた鋼の化学成分組成を示す。ここで
はシャドウマスク用素材として必要な低熱膨張特性、黒
化処理性およびプレス成形性が得られるＡ〜Ｄの３種類
を溶製した。

【００４１】

【表１】

【００４２】これらの鋼を溶製した鋼塊およびスラブに
対して１１００〜１３００℃で５〜６０時間の均熱処理
を施し、その後分塊圧延あるいは鍛造を行った。引き続
き１０５０〜１１５０℃で１〜５時間の熱処理を行い、
その後熱間圧延して厚さ２．０〜４．０ｍｍの熱延鋼板
を得た。さらに冷間圧延と７００℃以上の温度での焼鈍
を２〜４回行い、板厚０．１０〜０．２５ｍｍの表２に
示す薄板Ｎｏ．１〜２４を製造した。なお、Ｎｏ．１〜
１８が本発明例であり、Ｎｏ．１９〜２４が比較例であ
る。

【００４３】これらＮｏ．１〜２４の薄板を製造した際
の、鋼塊およびスラブの寸法および圧延方向に垂直な辺
の長さａに対する圧延方向の辺の長さｂの比ｂ／ａを表
２に示し、分塊圧延または鍛造の際の圧下率および均熱
条件を表３に示す。これらの鋼塊およびスラブを使用し
て製造した薄板についてエッチング不良の有無を評価し
た。その結果も表３に示す。

【００４４】

【表２】

【００４５】

【表３】

【００４６】エッチング性の評価は電子ビーム通過孔の
孔径が１２０μｍφ、孔ピッチ２７０μｍであるフォト
マスクを使用してフォトエッチング穿孔試験を行い、加
工後のシャドウマスクの外観についてスジむら等のエッ
チング不良の有無と加工精度を判定した。このときのフ
ォトエッチングは、液温６０℃、４７ボーメ濃度の塩化
第二鉄水溶液をスプレー圧２．０ｋｇｆ／ｃｍ²でスプ
レー処理する条件で行った。エッチング不良の有無は、
一方向光源を用いた透過光および反射光による目視観察
によって判定した。

【００４７】表３に示すように、本発明例であるＮｏ．
１〜１８ではエッチング不良が発生せず、高い加工精度
が得られた。これに対して、比較例であるＮｏ．１９〜
２４はいずれも、Ｎｉ成分の濃度変動による相対的なエ
ッチング速度の差が助長されてスジむらを生じた。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
特定組成のＦｅ−Ｎｉ系合金またはＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系
合金を素材として用い、造塊鋼塊または連続鋳造スラブ
の形状および圧下率を規定することにより、スジむら等
のエッチング不良が発生しない電子部品用低熱膨張合金
を製造することができる。本発明の方法によって製造さ
れた電子部品用低熱膨張合金薄板は、特に高精度の加工
が必要なコンピューターディスプレイに使用されるシャ
ドウマスクとして好適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】ｂ／ａ＝０．１３およびｂ／ａ＝０．９１の角
形鋼塊を圧下率７５％で分塊圧延した場合の結晶組織を
示す顕微鏡写真。

【図２】エッチング加工の孔ピッチが３００μｍ以下の
薄板について、造塊法によって溶製された鋼塊および連
続鋳造法によって溶製されたスラブのｂ／ａおよび分塊
圧延あるいは鍛造の際の圧下率が、製造したマスクのス
ジむらの発生の有無に及ぼす影響を示す図。

【図３】鋼塊またはスラブ形状、柱状晶の状態、および
分塊圧延または鍛造後のスラブ形状を模式的に示す図。

フロントページの続き (72)発明者 大村 雅紀 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 山本 彰 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 尾崎 大介 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 山村 直一 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｎｉ：３０〜４５ｗｔ％を含有するＦｅ
   −Ｎｉ系合金からなり、造塊法で溶製された角柱状鋼塊
   または連続鋳造法で溶製された角柱状スラブの断面形状
   を、圧延方向に垂直な辺の長さａに対する圧延方向の辺
   の長さｂの比ｂ／ａが０．６以上となるようにし、圧下
   率が５０％以上の分塊圧延または鍛造を行い、その後熱
   間圧延および冷間圧延することを特徴とする、エッチン
   グ性に優れた電子部品用低熱膨張合金の製造方法。
2. 【請求項２】 Ｎｉ：２０〜４０ｗｔ％、Ｃｏ：７ｗｔ
   ％以下を含有し、かつＮｉ＋Ｃｏが２７〜４０ｗｔ％で
   あるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金からなり、造塊法で溶製さ
   れた角柱状鋼塊または連続鋳造法で溶製された角柱状ス
   ラブの断面形状を、圧延方向に垂直な辺の長さａに対す
   る圧延方向の辺の長さｂの比ｂ／ａが０．６以上となる
   ようにし、圧下率が５０％以上の分塊圧延または鍛造を
   行い、その後熱間圧延および冷間圧延することを特徴と
   する、エッチング性に優れた電子部品用低熱膨張合金の
   製造方法。
3. 【請求項３】 Ｎｉ：３０〜４５ｗｔ％を含有するＦｅ
   −Ｎｉ系合金からなり、造塊法で円柱状鋼塊を溶製し、
   圧下率が２０％以上の分塊圧延または鍛造を行い、その
   後熱間圧延および冷間圧延することを特徴とする、エッ
   チング性に優れた電子部品用低熱膨張合金の製造方法。
4. 【請求項４】 Ｎｉ：２０〜４０ｗｔ％、Ｃｏ：７ｗｔ
   ％以下を含有し、かつＮｉ＋Ｃｏが２７〜４０ｗｔ％で
   あるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金からなり、造塊法で円柱状
   鋼塊を溶製し、圧下率が２０％以上の分塊圧延または鍛
   造を行い、その後熱間圧延および冷間圧延することを特
   徴とする、エッチング性に優れた電子部品用低熱膨張合
   金の製造方法。