JPH1177549A - 研磨テープ - Google Patents
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- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 133
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 31
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 13
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 23
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 23
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 22
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 22
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 17
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 15
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 14
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 14
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 12
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 12
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 11
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 11
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 10
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 8
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 8
- RTTZISZSHSCFRH-UHFFFAOYSA-N 1,3-bis(isocyanatomethyl)benzene Chemical compound O=C=NCC1=CC=CC(CN=C=O)=C1 RTTZISZSHSCFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920002433 Vinyl chloride-vinyl acetate copolymer Polymers 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 4
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 4
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 4
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 4
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Natural products C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 3
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 3
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 3
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 3
- 235000010980 cellulose Nutrition 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 3
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 3
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 3
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003232 water-soluble binding agent Substances 0.000 description 3
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 229920001747 Cellulose diacetate Polymers 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N Dimethylamine Chemical compound CNC ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004354 Hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- 239000005058 Isophorone diisocyanate Substances 0.000 description 2
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 2
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 2
- BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N Methylamine Chemical compound NC BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QORUGOXNWQUALA-UHFFFAOYSA-N N=C=O.N=C=O.N=C=O.C1=CC=C(C(C2=CC=CC=C2)C2=CC=CC=C2)C=C1 Chemical compound N=C=O.N=C=O.N=C=O.C1=CC=C(C(C2=CC=CC=C2)C2=CC=CC=C2)C=C1 QORUGOXNWQUALA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- OSGAYBCDTDRGGQ-UHFFFAOYSA-L calcium sulfate Chemical compound [Ca+2].[O-]S([O-])(=O)=O OSGAYBCDTDRGGQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010431 corundum Substances 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 2
- 235000019447 hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N isophorone diisocyanate Chemical compound CC1(C)CC(N=C=O)CC(C)(CN=C=O)C1 NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 2
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- LNAZSHAWQACDHT-XIYTZBAFSA-N (2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dimethoxy-2-(methoxymethyl)-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-trimethoxy-6-(methoxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6r)-4,5,6-trimethoxy-2-(methoxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxane Chemical compound CO[C@@H]1[C@@H](OC)[C@H](OC)[C@@H](COC)O[C@H]1O[C@H]1[C@H](OC)[C@@H](OC)[C@H](O[C@H]2[C@@H]([C@@H](OC)[C@H](OC)O[C@@H]2COC)OC)O[C@@H]1COC LNAZSHAWQACDHT-XIYTZBAFSA-N 0.000 description 1
- PSBDWGZCVUAZQS-UHFFFAOYSA-N (dimethylsulfonio)acetate Chemical compound C[S+](C)CC([O-])=O PSBDWGZCVUAZQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKTHNVSLHLHISI-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(isocyanatomethyl)benzene Chemical compound O=C=NCC1=CC=CC=C1CN=C=O FKTHNVSLHLHISI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C=C1 OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZIFAVKTNFCBPC-UHFFFAOYSA-N 2-chloroethanol Chemical compound OCCCl SZIFAVKTNFCBPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate Chemical compound C1=CC(N=C=O)=CC=C1CC1=CC=C(N=C=O)C=C1 UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQWCXKGKQLNYQG-UHFFFAOYSA-N 4-methylcyclohexan-1-ol Chemical compound CC1CCC(O)CC1 MQWCXKGKQLNYQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-N Betaine Natural products C[N+](C)(C)CC([O-])=O KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- DQEFEBPAPFSJLV-UHFFFAOYSA-N Cellulose propionate Chemical compound CCC(=O)OCC1OC(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C1OC1C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(COC(=O)CC)O1 DQEFEBPAPFSJLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005057 Hexamethylene diisocyanate Substances 0.000 description 1
- 229920000663 Hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Chemical class 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N Phosphorous acid Chemical compound OP(O)=O ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229920000491 Polyphenylsulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- FMRLDPWIRHBCCC-UHFFFAOYSA-L Zinc carbonate Chemical compound [Zn+2].[O-]C([O-])=O FMRLDPWIRHBCCC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N [(2R,3S,4S,5R,6R)-5-acetyloxy-3,4,6-trihydroxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound CC(=O)OC[C@@H]1[C@H]([C@@H]([C@H]([C@@H](O1)O)OC(=O)C)O)O SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N 0.000 description 1
- FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N [(2s,3r,4s,5r,6r)-2-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-trinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-3-yl]oxy-3,5-dinitrooxy-6-(nitrooxymethyl)oxan-4-yl] nitrate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O1)O[N+]([O-])=O)CO[N+](=O)[O-])[C@@H]1[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O[C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPXJVFZANSGRMM-UHFFFAOYSA-N acetic acid;2,3,4,5,6-pentahydroxyhexanal;sodium Chemical compound [Na].CC(O)=O.OCC(O)C(O)C(O)C(O)C=O DPXJVFZANSGRMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940081735 acetylcellulose Drugs 0.000 description 1
- 239000006230 acetylene black Substances 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- GZCGUPFRVQAUEE-SLPGGIOYSA-N aldehydo-D-glucose Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C=O GZCGUPFRVQAUEE-SLPGGIOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 125000004414 alkyl thio group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001413 amino acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000001414 amino alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229920003180 amino resin Polymers 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- IRERQBUNZFJFGC-UHFFFAOYSA-L azure blue Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[S-]S[S-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] IRERQBUNZFJFGC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229960003237 betaine Drugs 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940067573 brown iron oxide Drugs 0.000 description 1
- NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;prop-2-enenitrile Chemical compound C=CC=C.C=CC#N NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N butane-1,1-diol Chemical compound CCCC(O)O CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000378 calcium silicate Substances 0.000 description 1
- 229910052918 calcium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N calcium;dioxido(oxo)silane Chemical compound [Ca+2].[O-][Si]([O-])=O OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229920003090 carboxymethyl hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 229920006217 cellulose acetate butyrate Polymers 0.000 description 1
- 229920006218 cellulose propionate Polymers 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 150000008280 chlorinated hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- HGAZMNJKRQFZKS-UHFFFAOYSA-N chloroethene;ethenyl acetate Chemical compound ClC=C.CC(=O)OC=C HGAZMNJKRQFZKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229940117389 dichlorobenzene Drugs 0.000 description 1
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N dichromium trioxide Chemical compound O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000001227 electron beam curing Methods 0.000 description 1
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 1
- 229910001651 emery Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 235000010944 ethyl methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000417 fungicide Substances 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N hexane-1,1-diol Chemical compound CCCCCC(O)O ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005462 imide group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001841 imino group Chemical group [H]N=* 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- LDHBWEYLDHLIBQ-UHFFFAOYSA-M iron(3+);oxygen(2-);hydroxide;hydrate Chemical compound O.[OH-].[O-2].[Fe+3] LDHBWEYLDHLIBQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N iron(II,III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]O[Fe]=O SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZKLAOYSENRNKR-LNTINUHCSA-N iron;(z)-4-oxoniumylidenepent-2-en-2-olate Chemical compound [Fe].C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O LZKLAOYSENRNKR-LNTINUHCSA-N 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N iso-butyl acetate Natural products CC(C)COC(C)=O GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940035429 isobutyl alcohol Drugs 0.000 description 1
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M isocaproate Chemical compound CC(C)CCC([O-])=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000001261 isocyanato group Chemical group *N=C=O 0.000 description 1
- JMMWKPVZQRWMSS-UHFFFAOYSA-N isopropanol acetate Natural products CC(C)OC(C)=O JMMWKPVZQRWMSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940011051 isopropyl acetate Drugs 0.000 description 1
- GWYFCOCPABKNJV-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid Chemical compound CC(C)CC(O)=O GWYFCOCPABKNJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid methyl ester Natural products COC(=O)CC(C)C OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- MOUPNEIJQCETIW-UHFFFAOYSA-N lead chromate Chemical compound [Pb+2].[O-][Cr]([O-])(=O)=O MOUPNEIJQCETIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229920003087 methylethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 125000002560 nitrile group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 125000004043 oxo group Chemical group O=* 0.000 description 1
- 239000011049 pearl Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 1
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N phosphine group Chemical group P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003014 phosphoric acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Chemical class 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 1
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920005906 polyester polyol Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005373 siloxane group Chemical group [SiH2](O*)* 0.000 description 1
- 125000003808 silyl group Chemical group [H][Si]([H])([H])[*] 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 235000019812 sodium carboxymethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- IIACRCGMVDHOTQ-UHFFFAOYSA-N sulfamic acid Chemical class NS(O)(=O)=O IIACRCGMVDHOTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVEZZJVBDQCTEF-UHFFFAOYSA-N sulfenic acid Chemical compound SO RVEZZJVBDQCTEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUUPQKDIAURBJP-UHFFFAOYSA-N sulfinic acid Chemical compound OS=O BUUPQKDIAURBJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940117986 sulfobetaine Drugs 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 239000011269 tar Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 239000011667 zinc carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000010 zinc carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000004416 zinc carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 研磨性が大きく金属製シャフトについてもそ
の表面凹凸の除去が傷の発生を伴うことなく良好に行え
るようにする。 【解決手段】 支持体の一面に研磨材およびバインダー
を含む研磨層を設け、前記支持体の他面に無機粉末とバ
インダーを含むバック層を設けてなり、前記研磨層の厚
みが35〜70μmであり、前記支持体の厚みが100
〜150μmであり、且つ前記バック層の厚みが35〜
70μmである。
の表面凹凸の除去が傷の発生を伴うことなく良好に行え
るようにする。 【解決手段】 支持体の一面に研磨材およびバインダー
を含む研磨層を設け、前記支持体の他面に無機粉末とバ
インダーを含むバック層を設けてなり、前記研磨層の厚
みが35〜70μmであり、前記支持体の厚みが100
〜150μmであり、且つ前記バック層の厚みが35〜
70μmである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動車のエンジン
等に使用されているクランクシャフト、カムシャフトに
代表されるような金属製シャフト等における棒状軸部の
表面研磨などに使用される研磨テープに関するものであ
る。
等に使用されているクランクシャフト、カムシャフトに
代表されるような金属製シャフト等における棒状軸部の
表面研磨などに使用される研磨テープに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来の研磨テープの内、研磨材粒子サイ
ズが10〜12μmの小径研磨材粒子を用いた1000
番手以上の高番手研磨テープを用いて自動車のエンジン
等に使用されているクランクシャフト、カムシャフトに
代表されるような金属製シャフトにおける棒状軸部を研
磨しようとすると、研磨性(研磨量)が不足するため、
上記金属製シャフト製造の際の熱処理過程で生ずるクレ
ーター状の表面凹凸が十分除去できず、凹凸形状が残っ
てしまうという問題を有する。しかし、この場合、研磨
後の表面にはスクラッチ状の研磨傷は発生し難いという
長所を有する。
ズが10〜12μmの小径研磨材粒子を用いた1000
番手以上の高番手研磨テープを用いて自動車のエンジン
等に使用されているクランクシャフト、カムシャフトに
代表されるような金属製シャフトにおける棒状軸部を研
磨しようとすると、研磨性(研磨量)が不足するため、
上記金属製シャフト製造の際の熱処理過程で生ずるクレ
ーター状の表面凹凸が十分除去できず、凹凸形状が残っ
てしまうという問題を有する。しかし、この場合、研磨
後の表面にはスクラッチ状の研磨傷は発生し難いという
長所を有する。
【0003】一方、1000番手以下の粒子サイズの大
きい研磨材を含有する低番手研磨テープを用いて、上記
金属製シャフトの棒状軸部の表面を研磨した場合、研磨
性が大きくなるため、金属製シャフト表面のクレーター
状凹凸は除去できるが、研磨材粒子サイズが大きいた
め、研磨材粒子のエッジなどにより金属製シャフト表面
にスクラッチ状の傷が発生して、必要な表面性を得るこ
とができなかった。
きい研磨材を含有する低番手研磨テープを用いて、上記
金属製シャフトの棒状軸部の表面を研磨した場合、研磨
性が大きくなるため、金属製シャフト表面のクレーター
状凹凸は除去できるが、研磨材粒子サイズが大きいた
め、研磨材粒子のエッジなどにより金属製シャフト表面
にスクラッチ状の傷が発生して、必要な表面性を得るこ
とができなかった。
【0004】また、これら研磨テープの先行技術として
は、特公平5−55276号、特開平6−23856
号、特開平6−39736号、特公平4−40156
号、特開平7−118403号などが挙げられる。
は、特公平5−55276号、特開平6−23856
号、特開平6−39736号、特公平4−40156
号、特開平7−118403号などが挙げられる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかして、上記のよう
な先行技術においては、研磨テープの全体としての厚さ
が不足して機械的強度に欠けたり、バック層を有してい
ないものであったり、研磨層厚が薄いか過大であること
で、十分な研磨性の確保と研磨表面性の確保との両立が
得られない問題を有している。
な先行技術においては、研磨テープの全体としての厚さ
が不足して機械的強度に欠けたり、バック層を有してい
ないものであったり、研磨層厚が薄いか過大であること
で、十分な研磨性の確保と研磨表面性の確保との両立が
得られない問題を有している。
【0006】特に前述のような金属製シャフトの表面研
磨を行うについて、その棒状軸部に研磨テープを巻き付
け、この研磨テープのバック面からテープ押さえ(パッ
ド)を介して例えば15〜20Kgf/cm2の圧力で押し付
け、前記棒状軸部を研磨テープを押し付けた状態で回転
させて研磨を行う場合に、バック面からの押し付けが弱
いと研磨が不十分となると共に、上記棒状軸部の回転に
伴って研磨テープが引きずられて移動すると良好な研磨
が行えない問題を有する。
磨を行うについて、その棒状軸部に研磨テープを巻き付
け、この研磨テープのバック面からテープ押さえ(パッ
ド)を介して例えば15〜20Kgf/cm2の圧力で押し付
け、前記棒状軸部を研磨テープを押し付けた状態で回転
させて研磨を行う場合に、バック面からの押し付けが弱
いと研磨が不十分となると共に、上記棒状軸部の回転に
伴って研磨テープが引きずられて移動すると良好な研磨
が行えない問題を有する。
【0007】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、研磨性が大きく金属製シャフトについてもその
表面凹凸の除去が傷の発生を伴うことなく良好に行える
ようにした研磨テープを提供せんとするものである。
であり、研磨性が大きく金属製シャフトについてもその
表面凹凸の除去が傷の発生を伴うことなく良好に行える
ようにした研磨テープを提供せんとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決した本発
明の研磨テープは、支持体の一面に研磨材およびバイン
ダーを含む研磨層を設け、支持体の他面に無機粉末とバ
インダーを含むバック層を設けてなり、前記研磨層の厚
みが35〜70μmであり、前記支持体の厚みが100
〜150μmであり、且つ前記バック層の厚みが35〜
70μmであることを特徴とするものである。
明の研磨テープは、支持体の一面に研磨材およびバイン
ダーを含む研磨層を設け、支持体の他面に無機粉末とバ
インダーを含むバック層を設けてなり、前記研磨層の厚
みが35〜70μmであり、前記支持体の厚みが100
〜150μmであり、且つ前記バック層の厚みが35〜
70μmであることを特徴とするものである。
【0009】前記研磨層中の前記研磨材とバインダー
は、重量比で100/13〜100/24とするのが望
ましい。また、前記研磨層表面の鋼球磨耗量を、0.0
03〜0.009mm3とするのが好適である。一方、前
記研磨層中の研磨材は平均粒子サイズが25〜35μm
のものを用いるのが望ましい。
は、重量比で100/13〜100/24とするのが望
ましい。また、前記研磨層表面の鋼球磨耗量を、0.0
03〜0.009mm3とするのが好適である。一方、前
記研磨層中の研磨材は平均粒子サイズが25〜35μm
のものを用いるのが望ましい。
【0010】さらに、前記支持体をエンボスされた支持
体で設けるのが好適である。
体で設けるのが好適である。
【0011】
【発明の効果】上記のような本発明によれば、厚みが1
00〜150μmの支持体の片面に、研磨材とバインダ
ーを含む厚みが35〜70μmの研磨層を、反対面に無
機粉末とバインダーを含む厚みが35〜70μmのバッ
ク層を設け、全体として厚みが大きく高い機械強度を得
ると共に、特に研磨層の厚みを35〜70μmとしてい
ることで耐久性の確保と大きな研磨性と研磨面の表面性
との両立を得て、金属製シャフト製造の際の熱処理過程
で生じるクレータ状の表面凹凸の研磨除去が良好に行え
る。
00〜150μmの支持体の片面に、研磨材とバインダ
ーを含む厚みが35〜70μmの研磨層を、反対面に無
機粉末とバインダーを含む厚みが35〜70μmのバッ
ク層を設け、全体として厚みが大きく高い機械強度を得
ると共に、特に研磨層の厚みを35〜70μmとしてい
ることで耐久性の確保と大きな研磨性と研磨面の表面性
との両立を得て、金属製シャフト製造の際の熱処理過程
で生じるクレータ状の表面凹凸の研磨除去が良好に行え
る。
【0012】特に、前記バック層の厚みを35〜70μ
mとすることで、バック層の表面粗さの確保による研磨
中の研磨テープの引きずりによる移動防止が行えると共
にカールバランスが得られる。つまり、研磨テープをバ
ック面から金属製シャフト等の棒状軸部に押し付けて研
磨を行うについて、棒状軸部の回転に伴って研磨テープ
が引きずられて移動しないためには、バック面にある程
度の表面粗さが必要で、このためにバック層には無機粉
末を含有しており、この無機粉末による適度の表面粗さ
を得るためにある程度のバック層の厚みが必要であると
共に、このバック層と研磨層との厚みバランスが悪い
と、研磨テープが一方方向にカールして研磨テープの製
造過程、使用に不都合が生じるのを、前記研磨層と同等
の厚みとすることで解消し、良好な研磨が行える。
mとすることで、バック層の表面粗さの確保による研磨
中の研磨テープの引きずりによる移動防止が行えると共
にカールバランスが得られる。つまり、研磨テープをバ
ック面から金属製シャフト等の棒状軸部に押し付けて研
磨を行うについて、棒状軸部の回転に伴って研磨テープ
が引きずられて移動しないためには、バック面にある程
度の表面粗さが必要で、このためにバック層には無機粉
末を含有しており、この無機粉末による適度の表面粗さ
を得るためにある程度のバック層の厚みが必要であると
共に、このバック層と研磨層との厚みバランスが悪い
と、研磨テープが一方方向にカールして研磨テープの製
造過程、使用に不都合が生じるのを、前記研磨層と同等
の厚みとすることで解消し、良好な研磨が行える。
【0013】また、研磨層に用いるバインダー量を研磨
材に対して13〜24重量部と増やすことにより、研磨
材粒子の表面における緩衝剤としてのバインダーが多く
なり、金属製シャフトの表面のスクラッチ状の傷の発生
をさらに減少することができる。この場合に、研磨面の
鋼球磨耗量を0.003〜0.009mm3に設定すると
良好な研磨性と研磨表面性との両立が図れる。
材に対して13〜24重量部と増やすことにより、研磨
材粒子の表面における緩衝剤としてのバインダーが多く
なり、金属製シャフトの表面のスクラッチ状の傷の発生
をさらに減少することができる。この場合に、研磨面の
鋼球磨耗量を0.003〜0.009mm3に設定すると
良好な研磨性と研磨表面性との両立が図れる。
【0014】一方、研磨層中の研磨材の平均粒子サイズ
を25〜35μmと比較的大きいものとすると、さらに
良好な研磨性と研磨表面性とが確保できる。
を25〜35μmと比較的大きいものとすると、さらに
良好な研磨性と研磨表面性とが確保できる。
【0015】さらに、支持体としてエンボス加工を施し
た例えばポリエチレンテレフタレートを用いると、研磨
層表面の粗さを確保することができ、良好な研磨性を得
ることができる。
た例えばポリエチレンテレフタレートを用いると、研磨
層表面の粗さを確保することができ、良好な研磨性を得
ることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の研磨テープの実
施の形態を示し、本発明をさらに詳細に説明する。図1
は本例の研磨テープの断面構造を示す概略図である。
施の形態を示し、本発明をさらに詳細に説明する。図1
は本例の研磨テープの断面構造を示す概略図である。
【0017】本例の研磨テープ1は、支持体2の片面に
研磨層5が形成され、この支持体1の他方の面にはバッ
ク層6が積層されている。
研磨層5が形成され、この支持体1の他方の面にはバッ
ク層6が積層されている。
【0018】研磨層5は、平均粒子サイズが25〜35
μmの研磨材3がバインダー4に分散され、研磨材10
0重量部に対してバインダーが13〜24重量部配合さ
れている。また、バック層6は、バック面の表面粗さを
得るための例えば平均粒径が8μmと粒子サイズが大き
い炭酸カルシウム粒子と、バック面を着色して研磨面と
区別するための例えば平均粒径が1μmと粒子サイズの
小さい酸化鉄粒子とによる無機粉末7がバインダー8に
分散されている。
μmの研磨材3がバインダー4に分散され、研磨材10
0重量部に対してバインダーが13〜24重量部配合さ
れている。また、バック層6は、バック面の表面粗さを
得るための例えば平均粒径が8μmと粒子サイズが大き
い炭酸カルシウム粒子と、バック面を着色して研磨面と
区別するための例えば平均粒径が1μmと粒子サイズの
小さい酸化鉄粒子とによる無機粉末7がバインダー8に
分散されている。
【0019】なお、上記バック層6には、着色用の無機
粉末(顔料)を含有させる代わりに、バック層表面に研
磨層と識別するための印刷等を施すようにしてもよい。
粉末(顔料)を含有させる代わりに、バック層表面に研
磨層と識別するための印刷等を施すようにしてもよい。
【0020】前記支持体2は、厚みが100〜150μ
mの例えばポリエチレンテレフタレート(PET)によ
る高分子支持体で設けられ、研磨層5の厚みが35〜7
0μmであり、バック層6の厚みが35〜70μmであ
り、全体の厚みは170〜290μmと研磨テープ1と
しては大きく設けられている。また、上記支持体2の表
面にはエンボス加工による凹凸(図示せず)が施されて
いる。
mの例えばポリエチレンテレフタレート(PET)によ
る高分子支持体で設けられ、研磨層5の厚みが35〜7
0μmであり、バック層6の厚みが35〜70μmであ
り、全体の厚みは170〜290μmと研磨テープ1と
しては大きく設けられている。また、上記支持体2の表
面にはエンボス加工による凹凸(図示せず)が施されて
いる。
【0021】そして、上記のような研磨層5を有する研
磨テープ1における鋼球摩耗評価法による研磨性として
は、鋼球の摩耗量が0.003〜0.009mm3であ
る。
磨テープ1における鋼球摩耗評価法による研磨性として
は、鋼球の摩耗量が0.003〜0.009mm3であ
る。
【0022】本発明研磨テープ1により、例えば図3に
示すようなエンジンのクランクシャフト10の研磨を行
う部位は、そのピン部10aおよびジャーナル部10b
の周面であり、これらのピン部10aまたはジャーナル
部10bの長さに相当する幅の研磨テープ1を用意す
る。
示すようなエンジンのクランクシャフト10の研磨を行
う部位は、そのピン部10aおよびジャーナル部10b
の周面であり、これらのピン部10aまたはジャーナル
部10bの長さに相当する幅の研磨テープ1を用意す
る。
【0023】研磨法は図2に示すように、研磨テープ1
がロール状に巻かれた送り出しロール15から、センサ
ー16を介して研磨テープ1が送り出され、回転駆動さ
れているクランクシャフト10に対してそのピン部10
aまたはジャーナル部10bに研磨テープ1を巻回し、
2本の揺動アーム17,17に設けられたテープ押さえ
18,18によって研磨テープ1を両側からピン部10
aまたはジャーナル部10bに約15〜20Kgf/cm2の
圧力で押さえ付け、研磨後の研磨テープ1は歯車19、
送りローラ20等によって走行され巻き取られる。
がロール状に巻かれた送り出しロール15から、センサ
ー16を介して研磨テープ1が送り出され、回転駆動さ
れているクランクシャフト10に対してそのピン部10
aまたはジャーナル部10bに研磨テープ1を巻回し、
2本の揺動アーム17,17に設けられたテープ押さえ
18,18によって研磨テープ1を両側からピン部10
aまたはジャーナル部10bに約15〜20Kgf/cm2の
圧力で押さえ付け、研磨後の研磨テープ1は歯車19、
送りローラ20等によって走行され巻き取られる。
【0024】本発明の研磨テープで使用し得る支持体と
しては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナ
フタレート等のポリエステル類、ポリプロピレン等のポ
リオレフイン類、セルローストリアセテート、セルロー
スダイアセテート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニ
ル等のビニル系樹脂類、ポリカーボネート、ポリイミ
ド、ポリアミド、ポリスルホン、ポリフェニルスルホ
ン、ポリベンゾオキサゾール等のプラスチックのほかに
アルミニウム等の金属、紙、布等も使用できる。
しては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナ
フタレート等のポリエステル類、ポリプロピレン等のポ
リオレフイン類、セルローストリアセテート、セルロー
スダイアセテート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニ
ル等のビニル系樹脂類、ポリカーボネート、ポリイミ
ド、ポリアミド、ポリスルホン、ポリフェニルスルホ
ン、ポリベンゾオキサゾール等のプラスチックのほかに
アルミニウム等の金属、紙、布等も使用できる。
【0025】また、支持体の表面には研磨層塗布液また
はバック層塗布液の塗布に先立って、コロナ放電処理、
プラズマ処理、下塗処理、熱処理、除塵埃処理、金属蒸
着処理、アルカリ処理を行ってもよい。支持体の厚み
は、前述のように100〜150μmが望ましく、長手
もしくは幅方向のいずれかのヤング率が400Kg/m
m2以上であることが望ましい。
はバック層塗布液の塗布に先立って、コロナ放電処理、
プラズマ処理、下塗処理、熱処理、除塵埃処理、金属蒸
着処理、アルカリ処理を行ってもよい。支持体の厚み
は、前述のように100〜150μmが望ましく、長手
もしくは幅方向のいずれかのヤング率が400Kg/m
m2以上であることが望ましい。
【0026】また、本発明の研磨層に使用可能な研磨材
としては、アルミナ、酸化クロム、α−アルミナ、炭化
珪素、ダイヤモンド、γ−アルミナ、熔融アルミナ、コ
ランダム、人造ダイヤモンド、ザクロ石、エメリー(主
成分:コランダムと磁鉄鉱)、ガーネット等の主として
モース硬度の高い材料を単独または組合わせで使用する
ことができる。その平均粒子径は、前述のように25〜
35μmが好ましく、これより粒子径が小さいと研磨力
が低く、大きいと研磨部分に傷が発生しやすい。研磨層
の厚みは膜強度、耐久性の観点から35〜70μmに設
ける。
としては、アルミナ、酸化クロム、α−アルミナ、炭化
珪素、ダイヤモンド、γ−アルミナ、熔融アルミナ、コ
ランダム、人造ダイヤモンド、ザクロ石、エメリー(主
成分:コランダムと磁鉄鉱)、ガーネット等の主として
モース硬度の高い材料を単独または組合わせで使用する
ことができる。その平均粒子径は、前述のように25〜
35μmが好ましく、これより粒子径が小さいと研磨力
が低く、大きいと研磨部分に傷が発生しやすい。研磨層
の厚みは膜強度、耐久性の観点から35〜70μmに設
ける。
【0027】一方、バック層に使用可能な無機粉末とし
ては、バック面の表面粗さを得るための粒子として、炭
酸カルシウム、硫酸カルシウム、珪酸カルシウム、硫酸
バリウム、炭酸マグネシウム、炭酸亜鉛、酸化亜鉛等が
単独または組み合わせで使用することができ、また、バ
ック面の着色のための粒子(顔料)としては、赤茶色の
酸化鉄、黄色のクロム酸鉛、チタンイェロー、緑色の酸
化クロム、青色の群青等が使用できる。
ては、バック面の表面粗さを得るための粒子として、炭
酸カルシウム、硫酸カルシウム、珪酸カルシウム、硫酸
バリウム、炭酸マグネシウム、炭酸亜鉛、酸化亜鉛等が
単独または組み合わせで使用することができ、また、バ
ック面の着色のための粒子(顔料)としては、赤茶色の
酸化鉄、黄色のクロム酸鉛、チタンイェロー、緑色の酸
化クロム、青色の群青等が使用できる。
【0028】前述のように研磨テープの研磨面をクラン
クシャフト(被研磨体)にバック面からテープ押さえに
よってある程度大きな圧力で押し付けて研磨する場合
に、バック面からの押し付けが弱いと研磨が不十分とな
り、この際バック面が十分な粗さをもっていないと研磨
テープがクランクシャフトに引きずられて同時に回転し
て研磨できなくなる。上記バック面の表面粗さ(Ra)
に関しては、約3μm程度の粗さが研磨テープがクラン
クシャフトに回転中引きずられないためには必要であ
り、この表面粗さを得るためにバック層に平均粒径が約
8μmの炭酸カルシウム粒子等を配合しているものであ
り、この粒子がバック層厚み方向で3〜4個重なる程度
の厚みを持たせることが、表面粗さを大きくしテープ押
さえと研磨テープバック面とのスリップ防止に効果が見
られるため、バック層の厚みは35μm以上必要であ
る。バック層を厚くすると粒子がバインダー中に埋もれ
てしまい、バック面が平滑化すると共に、このバック層
が厚すぎるとコストの上昇を招くことにもなり、また、
研磨層との厚みバランスが悪いと一方方向にカールする
ことからその厚みは70μm以下にする。
クシャフト(被研磨体)にバック面からテープ押さえに
よってある程度大きな圧力で押し付けて研磨する場合
に、バック面からの押し付けが弱いと研磨が不十分とな
り、この際バック面が十分な粗さをもっていないと研磨
テープがクランクシャフトに引きずられて同時に回転し
て研磨できなくなる。上記バック面の表面粗さ(Ra)
に関しては、約3μm程度の粗さが研磨テープがクラン
クシャフトに回転中引きずられないためには必要であ
り、この表面粗さを得るためにバック層に平均粒径が約
8μmの炭酸カルシウム粒子等を配合しているものであ
り、この粒子がバック層厚み方向で3〜4個重なる程度
の厚みを持たせることが、表面粗さを大きくしテープ押
さえと研磨テープバック面とのスリップ防止に効果が見
られるため、バック層の厚みは35μm以上必要であ
る。バック層を厚くすると粒子がバインダー中に埋もれ
てしまい、バック面が平滑化すると共に、このバック層
が厚すぎるとコストの上昇を招くことにもなり、また、
研磨層との厚みバランスが悪いと一方方向にカールする
ことからその厚みは70μm以下にする。
【0029】そして上記研磨層およびバック層には上記
研磨材または無機粉末以外に粒子サイズの小さい粉末を
含有してもよく、この粉末としてはカーボンブラックが
使用でき、例えば、ゴム用ファーネス、ゴム用サーマ
ル、カラー用ブラック、アセチレンブラック等を用いる
ことができる。その比表面積は5〜500m2 /g、D
BP吸油量は10〜400ml/100g、pHは2〜
10、含水率は0.1〜10%、タップ密度は0.1〜
1g/cm2 であるのが好ましい。このカーボンブラッ
クの具体的な例としては、キャボット社製:BLACK
PEARLS 2000,1300,1000,90
0,800,700、三菱化成工業社製:650B,9
50B,3250B,850,900,960,98
0,1000,2300,2400,2600等があげ
られる。また、カーボンブラックを分散剤等で表面処理
したり、樹脂でグラファイト化したものを用いることも
できる。
研磨材または無機粉末以外に粒子サイズの小さい粉末を
含有してもよく、この粉末としてはカーボンブラックが
使用でき、例えば、ゴム用ファーネス、ゴム用サーマ
ル、カラー用ブラック、アセチレンブラック等を用いる
ことができる。その比表面積は5〜500m2 /g、D
BP吸油量は10〜400ml/100g、pHは2〜
10、含水率は0.1〜10%、タップ密度は0.1〜
1g/cm2 であるのが好ましい。このカーボンブラッ
クの具体的な例としては、キャボット社製:BLACK
PEARLS 2000,1300,1000,90
0,800,700、三菱化成工業社製:650B,9
50B,3250B,850,900,960,98
0,1000,2300,2400,2600等があげ
られる。また、カーボンブラックを分散剤等で表面処理
したり、樹脂でグラファイト化したものを用いることも
できる。
【0030】本発明の研磨層およびバック層に使用され
るバインダーとしては、従来公知の熱可塑性樹脂、熱硬
化性樹脂、反応型樹脂、電子線硬化型樹脂、紫外線硬化
型樹脂、可視光線硬化型樹脂やこれらの混合物が使用さ
れる。
るバインダーとしては、従来公知の熱可塑性樹脂、熱硬
化性樹脂、反応型樹脂、電子線硬化型樹脂、紫外線硬化
型樹脂、可視光線硬化型樹脂やこれらの混合物が使用さ
れる。
【0031】熱可塑性樹脂としては、軟化温度が150
℃以下、平均分子量が10000〜300000、重合
度が約50〜2000程度のものでより好ましくは20
0〜700程度である。例えば塩化ビニル酢酸ビニル共
重合体、塩化ビニル共重合体、塩化ビニル酢酸ビニルビ
ニルアルコール共重合体、塩化ビニルビニルアルコール
共重合体、塩化ビニル塩化ビニリデン共重合体、塩化ビ
ニルアクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステルア
クリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル塩化ビニ
リデン共重合体、アクリル酸エステルスチレン共重合
体、メタクリル酸エステルアクリロニトリル共重合体、
メタクリル酸エステル塩化ビニリデン共重合体、メタク
リル酸エステルスチレン共重合体、ウレタンエラストマ
ー、ナイロン−シリコン系樹脂、ニトロセルロース−ポ
リアミド樹脂、ポリフッカビニル、塩化ビニリデンアク
リロニトリル共重合体、ブタジエンアクリロニトリル共
重合体、ポリアミド樹脂、ポリビニルブチラール、セル
ロース誘導体(セルロースアセテートブチレート、セル
ロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セ
ルロースプロピオネート、ニトロセルロース、エチルセ
ルロース、メチルセルロース、プロピルセルロース、メ
チルエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、
アセチルセルロース等)、スチレンブタジエン共重合
体、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、クロロ
ビニルエーテルアクリル酸エステル共重合体、アミノ樹
脂、各種の合成ゴム系の熱可塑性樹脂およびこれらの混
合物等が使用される。
℃以下、平均分子量が10000〜300000、重合
度が約50〜2000程度のものでより好ましくは20
0〜700程度である。例えば塩化ビニル酢酸ビニル共
重合体、塩化ビニル共重合体、塩化ビニル酢酸ビニルビ
ニルアルコール共重合体、塩化ビニルビニルアルコール
共重合体、塩化ビニル塩化ビニリデン共重合体、塩化ビ
ニルアクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステルア
クリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル塩化ビニ
リデン共重合体、アクリル酸エステルスチレン共重合
体、メタクリル酸エステルアクリロニトリル共重合体、
メタクリル酸エステル塩化ビニリデン共重合体、メタク
リル酸エステルスチレン共重合体、ウレタンエラストマ
ー、ナイロン−シリコン系樹脂、ニトロセルロース−ポ
リアミド樹脂、ポリフッカビニル、塩化ビニリデンアク
リロニトリル共重合体、ブタジエンアクリロニトリル共
重合体、ポリアミド樹脂、ポリビニルブチラール、セル
ロース誘導体(セルロースアセテートブチレート、セル
ロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セ
ルロースプロピオネート、ニトロセルロース、エチルセ
ルロース、メチルセルロース、プロピルセルロース、メ
チルエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、
アセチルセルロース等)、スチレンブタジエン共重合
体、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、クロロ
ビニルエーテルアクリル酸エステル共重合体、アミノ樹
脂、各種の合成ゴム系の熱可塑性樹脂およびこれらの混
合物等が使用される。
【0032】熱硬化性樹脂または反応型樹脂としては、
塗布液の状態では200000以下の分子量であり、塗
布、乾燥後に加熱加湿することにより、縮合、付加等の
反応により分子量が無限大となるものが好適である。ま
た、これらの樹脂のなかで、樹脂が熱分解するまでの間
に軟化または溶融しないものが好ましい。具体的には例
えばフェノール樹脂、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、
ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタンポ
リカーボネート樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキ
ッド樹脂、シリコン樹脂、アクリル系反応樹脂(電子線
硬化樹脂)、エポキシ−ポリアミド樹脂、ニトロセルロ
ースメラミン樹脂、高分子量ポリエステル樹脂とイソシ
アネートプレポリマーの混合物、メタクリル酸塩共重合
体とジイソシアネートプレポリマーの混合物、ポリエス
テルポリオールとポリイソシアネートとの混合物、尿素
ホルムアルデヒド樹脂、低分子量グリコール/高分子量
ジオール/トリフェニルメタントリイソシアネートの混
合物、ポリアミン樹脂、ポリイミン樹脂およびこれらの
混合物等である。
塗布液の状態では200000以下の分子量であり、塗
布、乾燥後に加熱加湿することにより、縮合、付加等の
反応により分子量が無限大となるものが好適である。ま
た、これらの樹脂のなかで、樹脂が熱分解するまでの間
に軟化または溶融しないものが好ましい。具体的には例
えばフェノール樹脂、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、
ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタンポ
リカーボネート樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキ
ッド樹脂、シリコン樹脂、アクリル系反応樹脂(電子線
硬化樹脂)、エポキシ−ポリアミド樹脂、ニトロセルロ
ースメラミン樹脂、高分子量ポリエステル樹脂とイソシ
アネートプレポリマーの混合物、メタクリル酸塩共重合
体とジイソシアネートプレポリマーの混合物、ポリエス
テルポリオールとポリイソシアネートとの混合物、尿素
ホルムアルデヒド樹脂、低分子量グリコール/高分子量
ジオール/トリフェニルメタントリイソシアネートの混
合物、ポリアミン樹脂、ポリイミン樹脂およびこれらの
混合物等である。
【0033】これらの熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、反
応型樹脂は、主たる官能基以外に官能基としてカルボン
酸(COOM)、スルフィン酸(SO2M)、スルフェ
ン酸(SOM)、スルホン酸(SO3M)、燐酸(PO4
M3)、ホスホン酸(PO3M2)、硫酸(OSO3M)、
およびこれらのエステル基等の酸性基(MはH、アルカ
リ金属、アルカリ土類金属、炭化水素基)、アミノ酸
類;アミノスルホン酸類、アミノアルコールの硫酸また
は燐酸エステル類、スルフォベタイン、ホスホベタイ
ン、アルキルベタイン型等の両性類基、アミノ基、イミ
ノ基、イミド基、アミド基等、また、水酸基、アルコキ
シル基、チオール基、アルキルチオ基、ハロゲン基
(F、Cl、Br、I)、シリル基、シロキサン基、エ
ポキシ基、イソシアナト基、シアノ基、ニトリル基、オ
キソ基、アクリル基、フォスフィン基を通常1種以上6
種以内含み、各々の官能基は樹脂1gあたり1×10-6
eq〜1×10-2eq含むことが好ましい。
応型樹脂は、主たる官能基以外に官能基としてカルボン
酸(COOM)、スルフィン酸(SO2M)、スルフェ
ン酸(SOM)、スルホン酸(SO3M)、燐酸(PO4
M3)、ホスホン酸(PO3M2)、硫酸(OSO3M)、
およびこれらのエステル基等の酸性基(MはH、アルカ
リ金属、アルカリ土類金属、炭化水素基)、アミノ酸
類;アミノスルホン酸類、アミノアルコールの硫酸また
は燐酸エステル類、スルフォベタイン、ホスホベタイ
ン、アルキルベタイン型等の両性類基、アミノ基、イミ
ノ基、イミド基、アミド基等、また、水酸基、アルコキ
シル基、チオール基、アルキルチオ基、ハロゲン基
(F、Cl、Br、I)、シリル基、シロキサン基、エ
ポキシ基、イソシアナト基、シアノ基、ニトリル基、オ
キソ基、アクリル基、フォスフィン基を通常1種以上6
種以内含み、各々の官能基は樹脂1gあたり1×10-6
eq〜1×10-2eq含むことが好ましい。
【0034】これらのバインダーの単独または組み合わ
されたものが使われ、ほかに添加剤が加えられる。添加
剤としては分散剤、潤滑剤、帯電防止剤、酸化防止剤、
防黴剤、着色剤、溶剤等が加えられる。
されたものが使われ、ほかに添加剤が加えられる。添加
剤としては分散剤、潤滑剤、帯電防止剤、酸化防止剤、
防黴剤、着色剤、溶剤等が加えられる。
【0035】本発明の研磨層およびバック層に硬化剤と
して用いるポリイソシアネートとしては、トリレンジイ
ソシアネート、4・4’−ジフェニルメタンジイソシア
ネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、キシリレン
ジイソシアネート、ナフチレン−1・5−ジイソシアネ
ート、o−トルイジンジイソシアネート、イソホロンジ
イソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネー
ト、イソホロンジイソシアネート等のイソシアネート
類、当該イソシアネート類とポリアルコールとの生成
物、イソシアネート類の縮合によって生成した2〜10
量体のポリイソシアネート、ポリイソシアネートとポリ
ウレタンとの生成物で末端官能基がイソシアネートであ
るもの等を使用することができる。これらポリイソシア
ネート類の平均分子量は100〜20000のものが好
適である。
して用いるポリイソシアネートとしては、トリレンジイ
ソシアネート、4・4’−ジフェニルメタンジイソシア
ネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、キシリレン
ジイソシアネート、ナフチレン−1・5−ジイソシアネ
ート、o−トルイジンジイソシアネート、イソホロンジ
イソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネー
ト、イソホロンジイソシアネート等のイソシアネート
類、当該イソシアネート類とポリアルコールとの生成
物、イソシアネート類の縮合によって生成した2〜10
量体のポリイソシアネート、ポリイソシアネートとポリ
ウレタンとの生成物で末端官能基がイソシアネートであ
るもの等を使用することができる。これらポリイソシア
ネート類の平均分子量は100〜20000のものが好
適である。
【0036】これらポリイソシアネートの市販されてい
る商品名としては、コロネートL、コロネートHL、コ
ロネート2030、コロネート2031、ミリオネート
MR、ミリオネートMTL(日本ポリウレタン社製)、
タケネートD−102、タケネートD−110N、タケ
ネートD−200、タケネートD−202、タケネート
300S、タケネート500(武田薬品社製)、スミジ
ュールT−80、スミジュール44S、スミジュールP
F、スミジュールL、スミジュールN、デスモジュール
L、デスモジュールIL、デスモジュールN、デスモジ
ュールHL、デスモジュールT65、デスモジュール1
5、デスモジュールR、デスモジュールRF、デスモジ
ュールSL、デスモジュールZ4273(住友バイエル
社製)等があり、これらを単独若しくは硬化反応性の差
を利用して二つ若しくはそれ以上の組み合わせによって
使用することができる。
る商品名としては、コロネートL、コロネートHL、コ
ロネート2030、コロネート2031、ミリオネート
MR、ミリオネートMTL(日本ポリウレタン社製)、
タケネートD−102、タケネートD−110N、タケ
ネートD−200、タケネートD−202、タケネート
300S、タケネート500(武田薬品社製)、スミジ
ュールT−80、スミジュール44S、スミジュールP
F、スミジュールL、スミジュールN、デスモジュール
L、デスモジュールIL、デスモジュールN、デスモジ
ュールHL、デスモジュールT65、デスモジュール1
5、デスモジュールR、デスモジュールRF、デスモジ
ュールSL、デスモジュールZ4273(住友バイエル
社製)等があり、これらを単独若しくは硬化反応性の差
を利用して二つ若しくはそれ以上の組み合わせによって
使用することができる。
【0037】また、硬化反応を促進する目的で、水酸基
(ブタンジオール、ヘキサンジオール、分子量が100
0〜10000のポリウレタン、水等)、アミノ基(モ
ノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン
等)を有する化合物や金属酸化物の触媒や鉄アセチルア
セトネート等の触媒を併用することもできる。これらの
水酸基やアミノ基を有する化合物は多官能であることが
望ましい。これらポリイソシアネートはバインダー樹脂
とポリイソシアネートの総量100重量部あたり2〜7
0重量部で使用することが好ましく、より好ましくは5
〜50重量部である。
(ブタンジオール、ヘキサンジオール、分子量が100
0〜10000のポリウレタン、水等)、アミノ基(モ
ノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン
等)を有する化合物や金属酸化物の触媒や鉄アセチルア
セトネート等の触媒を併用することもできる。これらの
水酸基やアミノ基を有する化合物は多官能であることが
望ましい。これらポリイソシアネートはバインダー樹脂
とポリイソシアネートの総量100重量部あたり2〜7
0重量部で使用することが好ましく、より好ましくは5
〜50重量部である。
【0038】本発明の分散、混練、塗布の際に使用する
有機溶媒としては、任意の比率でアセトン、メチルエチ
ルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノ
ン、イソホロン、テトラヒドロフラン等のケトン系;メ
タノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、イ
ソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、メチル
シクロヘキサノールなどのアルコール系;酢酸メチル、
酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸イソプ
ロピル、乳酸エチル、酢酸グリコールモノエチルエーテ
ル等のエステル系;ジエチルエーテル、テトラヒドロフ
ラン、グリコールジメチルエーテル、グリコールモノエ
チルエーテル、ジオキサンなどのエーテル系;ベンゼ
ン、トルエン、キシレン、クレゾール、クロルベンゼ
ン、スチレンなどのタール系(芳香族炭化水素);メチ
レンクロライド、エチレンクロライド、四塩化炭素、ク
ロロホルム、エチレンクロルヒドリン、ジクロルベンゼ
ン等の塩素化炭化水素、N,N−ジメチルホルムアルデ
ヒド、ヘキサン等のものが使用できる。またこれら溶媒
は通常任意の比率で2種以上で用いる。また1重量%以
下の量で微量の不純物(その溶媒自身の重合物、水分、
原料成分等)を含んでもよい。これらの溶剤は研磨液の
合計固形分100重量部に対して50〜20000重量
部で用いられる。好ましい研磨層塗布液の固形分率は5
〜60重量%である。
有機溶媒としては、任意の比率でアセトン、メチルエチ
ルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノ
ン、イソホロン、テトラヒドロフラン等のケトン系;メ
タノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、イ
ソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、メチル
シクロヘキサノールなどのアルコール系;酢酸メチル、
酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸イソプ
ロピル、乳酸エチル、酢酸グリコールモノエチルエーテ
ル等のエステル系;ジエチルエーテル、テトラヒドロフ
ラン、グリコールジメチルエーテル、グリコールモノエ
チルエーテル、ジオキサンなどのエーテル系;ベンゼ
ン、トルエン、キシレン、クレゾール、クロルベンゼ
ン、スチレンなどのタール系(芳香族炭化水素);メチ
レンクロライド、エチレンクロライド、四塩化炭素、ク
ロロホルム、エチレンクロルヒドリン、ジクロルベンゼ
ン等の塩素化炭化水素、N,N−ジメチルホルムアルデ
ヒド、ヘキサン等のものが使用できる。またこれら溶媒
は通常任意の比率で2種以上で用いる。また1重量%以
下の量で微量の不純物(その溶媒自身の重合物、水分、
原料成分等)を含んでもよい。これらの溶剤は研磨液の
合計固形分100重量部に対して50〜20000重量
部で用いられる。好ましい研磨層塗布液の固形分率は5
〜60重量%である。
【0039】また、水溶性のバインダーとしては、代表
的な例として、カルボキシメチルセルロースのナトリウ
ム塩(CMC)、ヒドロキシエチルセルロース(HE
C)、ポリビニールアルコール(PVA)、カルボキシ
ル基含有ポリウレタン等の水溶性のバインダーを用いる
ことができる。この水溶性のバインダーの溶剤として
は、水、および、メチルアルコール、エチルアルコール
等の水溶性アルコール、これらの混合液等を使用し、必
要に応じて各種添加剤を配合する。
的な例として、カルボキシメチルセルロースのナトリウ
ム塩(CMC)、ヒドロキシエチルセルロース(HE
C)、ポリビニールアルコール(PVA)、カルボキシ
ル基含有ポリウレタン等の水溶性のバインダーを用いる
ことができる。この水溶性のバインダーの溶剤として
は、水、および、メチルアルコール、エチルアルコール
等の水溶性アルコール、これらの混合液等を使用し、必
要に応じて各種添加剤を配合する。
【0040】前記研磨層成分およびバック層成分の分
散、混練の方法には特に制限はなく、また各成分の添加
順序(樹脂、粉体、潤滑剤、溶媒等)、分散・混練中の
添加位置、分散温度(0〜80℃)などは適宜設定する
ことができる。そして研磨層塗料およびバック層塗料の
調製には通常の混練機を用いることができる。
散、混練の方法には特に制限はなく、また各成分の添加
順序(樹脂、粉体、潤滑剤、溶媒等)、分散・混練中の
添加位置、分散温度(0〜80℃)などは適宜設定する
ことができる。そして研磨層塗料およびバック層塗料の
調製には通常の混練機を用いることができる。
【0041】研磨層用塗布液およびバック層用塗布液を
塗布する方法としては、塗布液の粘度を1〜20000
センチストークス(25℃)に調整した上で、エアード
クターコーター、ブレードコーター、エアナイフコータ
ー、スクイズコーター、含浸コーター、リバースロール
コーター、トランスファーロールコーター、グラビアコ
ーター、キスコーター、キヤストコーター、スプレイコ
ーター、ロッドコーター、正回転ロールコーター、カー
テンコーター、押出コーター、バーコーター、リップコ
ーター等が利用でき、さらにその他の方法も使用可能で
あり、これらの具体的説明は朝倉書店発行の『コーティ
ング工学』(昭和46.3.20.発行)253頁〜2
77頁等に詳細に記載されている。これら塗布液の塗布
の順番は任意に選択でき、また所望の液の塗布の前に下
塗り層あるいは支持体との密着力向上のためにコロナ放
電処理等を行ってもよい。
塗布する方法としては、塗布液の粘度を1〜20000
センチストークス(25℃)に調整した上で、エアード
クターコーター、ブレードコーター、エアナイフコータ
ー、スクイズコーター、含浸コーター、リバースロール
コーター、トランスファーロールコーター、グラビアコ
ーター、キスコーター、キヤストコーター、スプレイコ
ーター、ロッドコーター、正回転ロールコーター、カー
テンコーター、押出コーター、バーコーター、リップコ
ーター等が利用でき、さらにその他の方法も使用可能で
あり、これらの具体的説明は朝倉書店発行の『コーティ
ング工学』(昭和46.3.20.発行)253頁〜2
77頁等に詳細に記載されている。これら塗布液の塗布
の順番は任意に選択でき、また所望の液の塗布の前に下
塗り層あるいは支持体との密着力向上のためにコロナ放
電処理等を行ってもよい。
【0042】次に、シートを所定幅にカットして研磨テ
ープを形成し、必要に応じて、表面の清浄、バーニッシ
ュを行う。
ープを形成し、必要に応じて、表面の清浄、バーニッシ
ュを行う。
【0043】
【実施例】以下に、本発明の実施例および比較例を示
し、その研磨特性として摩耗量、研磨面粗さ等の特性を
評価した。
し、その研磨特性として摩耗量、研磨面粗さ等の特性を
評価した。
【0044】<実施例1〜5>この実施例は、厚さ12
5μmのポリエチレンテレフタレート(PET)による
支持体を用意し、この支持体の裏面側に、バインダー
(塩化ビニール酢酸ビニール共重合体、ポリウレタン、
ポリイソシアネート)、溶剤(メチルエチルケトンとシ
クロヘキサノンとの混合溶剤)、無機粉末(炭酸カルシ
ウム:粒子サイズ8ミクロン、酸化鉄:粒子サイズ1μ
m)を分散した後述の処方によるバック層用塗布液を、
乾燥後の厚さが40μmとなるようにブレードコーター
で塗布し、乾燥することによりバック層を設けた。
5μmのポリエチレンテレフタレート(PET)による
支持体を用意し、この支持体の裏面側に、バインダー
(塩化ビニール酢酸ビニール共重合体、ポリウレタン、
ポリイソシアネート)、溶剤(メチルエチルケトンとシ
クロヘキサノンとの混合溶剤)、無機粉末(炭酸カルシ
ウム:粒子サイズ8ミクロン、酸化鉄:粒子サイズ1μ
m)を分散した後述の処方によるバック層用塗布液を、
乾燥後の厚さが40μmとなるようにブレードコーター
で塗布し、乾燥することによりバック層を設けた。
【0045】さらに、上記バック層の反対側の支持体上
に、バインダー(塩化ビニール酢酸ビニール共重合体、
ポリウレタン、ポリイソシアネート)、溶剤(メチルエ
チルケトンとシクロヘキサノンとの混合溶剤)、研磨材
(酸化アルミニウム、粒子サイズ30μm)を分散した
後述の処方による研磨層用塗布液を、乾燥後の厚さが、
それぞれ35μm、40μm、50μm、60μm、7
0μmとなるようにブレードコーターで塗布し、乾燥す
ることにより研磨層を設けた。
に、バインダー(塩化ビニール酢酸ビニール共重合体、
ポリウレタン、ポリイソシアネート)、溶剤(メチルエ
チルケトンとシクロヘキサノンとの混合溶剤)、研磨材
(酸化アルミニウム、粒子サイズ30μm)を分散した
後述の処方による研磨層用塗布液を、乾燥後の厚さが、
それぞれ35μm、40μm、50μm、60μm、7
0μmとなるようにブレードコーターで塗布し、乾燥す
ることにより研磨層を設けた。
【0046】上記のようにして作製した研磨シートを1
8mm幅にスリットし、研磨層の厚みが異なる評価用の研
磨テープとした。
8mm幅にスリットし、研磨層の厚みが異なる評価用の研
磨テープとした。
【0047】<比較例1,2>この比較例は、厚さ12
5μmのポリエチレンテレフタレート(PET)による
支持体を用意し、この支持体の裏面側に、バインダー
(塩化ビニール酢酸ビニール共重合体、ポリウレタン、
ポリイソシアネート)、溶剤(メチルエチルケトンとシ
クロヘキサノンとの混合溶剤)、無機粉末(炭酸カルシ
ウム:粒子サイズ8ミクロン、酸化鉄:粒子サイズ1μ
m)を分散した後述の処方によるバック層用塗布液を、
乾燥後の厚さが40μmとなるようにブレードコーター
で塗布し、乾燥することによりバック層を設けた。
5μmのポリエチレンテレフタレート(PET)による
支持体を用意し、この支持体の裏面側に、バインダー
(塩化ビニール酢酸ビニール共重合体、ポリウレタン、
ポリイソシアネート)、溶剤(メチルエチルケトンとシ
クロヘキサノンとの混合溶剤)、無機粉末(炭酸カルシ
ウム:粒子サイズ8ミクロン、酸化鉄:粒子サイズ1μ
m)を分散した後述の処方によるバック層用塗布液を、
乾燥後の厚さが40μmとなるようにブレードコーター
で塗布し、乾燥することによりバック層を設けた。
【0048】さらに、上記バック層の反対側の支持体上
に、バインダー(塩化ビニール酢酸ビニール共重合体、
ポリウレタン、ポリイソシアネート)、溶剤(メチルエ
チルケトンとシクロヘキサノンとの混合溶剤)、研磨材
(酸化アルミニウム、粒子サイズ30μm)を分散した
後述の処方による研磨層用塗布液を、乾燥後の厚さが、
それぞれ30μm、75μmとなるようにブレードコー
ターで塗布し、乾燥することにより研磨層を設けた。
に、バインダー(塩化ビニール酢酸ビニール共重合体、
ポリウレタン、ポリイソシアネート)、溶剤(メチルエ
チルケトンとシクロヘキサノンとの混合溶剤)、研磨材
(酸化アルミニウム、粒子サイズ30μm)を分散した
後述の処方による研磨層用塗布液を、乾燥後の厚さが、
それぞれ30μm、75μmとなるようにブレードコー
ターで塗布し、乾燥することにより研磨層を設けた。
【0049】上記のようにして作製した研磨シートを1
8mm幅にスリットし、評価用の研磨テープとした。
8mm幅にスリットし、評価用の研磨テープとした。
【0050】上記のように作製した本発明の実施例1〜
5および比較例1,2の研磨テープにおける、研磨層厚
さ、支持体厚さ、P/B比(研磨材/バインダー重量
比)、および、研磨テストの評価結果、評価結果よりの
判定結果を表1に示す。
5および比較例1,2の研磨テープにおける、研磨層厚
さ、支持体厚さ、P/B比(研磨材/バインダー重量
比)、および、研磨テストの評価結果、評価結果よりの
判定結果を表1に示す。
【0051】 [研磨層塗布液処方] 研磨材(アルミナ) 600部 塩化ビニール酢酸ビニール共重合体(MR110:日本ゼオン 社製,スルホン酸カリウム塩含有) 6部 ポリウレタン(UR8300:東洋紡社製,スルホン酸 ナトリウム基含有) 25部 ポリイソシアネート(コロネートL:日本ポリウレタン社製) 30部 溶剤 300部 [バック層塗布液処方] 炭酸カルシウム 440部 酸化鉄 4部 塩化ビニール酢酸ビニール共重合体(MR110:日本ゼオン 社製,スルホン酸カリウム塩含有) 20部 ポリウレタン(UR8300:東洋紡社製,スルホン酸 ナトリウム基含有) 40部 ポリイソシアネート(コロネートL:日本ポリウレタン社製) 50部 溶剤 420部
【0052】
【表1】
【0053】上記表1における評価方法を説明する。
【0054】(1)厚み測定方法 研磨層、バック層、支持体の厚み測定は、ミツトヨ製の
マイクロメーターを用いた。
マイクロメーターを用いた。
【0055】(2)鋼球摩耗量測定法 鋼球摩耗測定器を用い、 荷重:200g 走行:1パス×10トラック 鋼球径:6.35mmφ の条件に従い、固定した鋼球で研磨テープ表面を擦り、
擦った後の鋼球表面を顕微鏡で観察し摩耗した体積を計
算して求めた。
擦った後の鋼球表面を顕微鏡で観察し摩耗した体積を計
算して求めた。
【0056】(3)研磨面の粗さ測定 研磨機を用い、測定条件を、 計測長さ:0.25mm 計測速度:0.025mm/秒 カットオフ:25Hz 高さ倍率:20倍 とし、材質がFCD700である4cm×2cmの円筒状金
属(ワークピース)を研磨テープで研磨し、この研磨後
の面の粗さ(中心線平均表面粗さRa)を、TALOR
−HOBSON社製タリステップを用いて測定した。測
定後、測定値の上限20%、下限10%をカットしてR
aデータとして使用した。
属(ワークピース)を研磨テープで研磨し、この研磨後
の面の粗さ(中心線平均表面粗さRa)を、TALOR
−HOBSON社製タリステップを用いて測定した。測
定後、測定値の上限20%、下限10%をカットしてR
aデータとして使用した。
【0057】そして、前記表1における評価判定につい
ては、 研磨テープの鋼球摩耗量:0.003mm3以上……規格内(○) 0.003mm3以下……規格外(×) ワークピースの研磨面の粗さ:0.03μm以下……規格内(○) 0.03μm以上……規格外(×) とした。
ては、 研磨テープの鋼球摩耗量:0.003mm3以上……規格内(○) 0.003mm3以下……規格外(×) ワークピースの研磨面の粗さ:0.03μm以下……規格内(○) 0.03μm以上……規格外(×) とした。
【0058】また、総合判定は研磨テープの鋼球摩耗量
の結果およびワークピースの研磨面の粗さの結果をもと
に判定した。
の結果およびワークピースの研磨面の粗さの結果をもと
に判定した。
【0059】上記表1の結果から、本発明の実施例によ
るものでは、研磨層の厚みが大きくなると鋼球摩耗量が
減少し研磨性が低下する一方、研磨面表面粗さは小さく
研磨表面性が良好となる傾向にあるが、いずれの特性も
良好であった。これに対して、比較例1では研磨層が薄
く、鋼球摩耗量が大きく研磨性は大きいが、研磨面表面
粗さが大きく傷の発生を伴い総合評価は不良となった。
比較例2では研磨層が厚く、鋼球研磨量が小さく研磨性
が不足している。
るものでは、研磨層の厚みが大きくなると鋼球摩耗量が
減少し研磨性が低下する一方、研磨面表面粗さは小さく
研磨表面性が良好となる傾向にあるが、いずれの特性も
良好であった。これに対して、比較例1では研磨層が薄
く、鋼球摩耗量が大きく研磨性は大きいが、研磨面表面
粗さが大きく傷の発生を伴い総合評価は不良となった。
比較例2では研磨層が厚く、鋼球研磨量が小さく研磨性
が不足している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による研磨テープの構造を示す概略断面
図
図
【図2】研磨テープによるクランクシャフトの研磨状態
を示す機構図
を示す機構図
【図3】クランクシャフトの研磨部分を示す正面図
1 研磨テープ 2 支持体 3 研磨材 4 バインダー 5 研磨層 6 バック層 7 無機粉末 8 バインダー
Claims (5)
- 【請求項1】 支持体の一面に研磨材およびバインダー
を含む研磨層を設け、前記支持体の他面に無機粉末とバ
インダーを含むバック層を設けた研磨テープにおいて、 前記研磨層の厚みが35〜70μmであり、前記支持体
の厚みが100〜150μmであり、且つ前記バック層
の厚みが35〜70μmであることを特徴とする研磨テ
ープ。 - 【請求項2】 前記研磨層中の前記研磨材とバインダー
は、重量比で100/13〜100/24であることを
特徴とする請求項1に記載の研磨テープ。 - 【請求項3】 前記研磨層表面の鋼球磨耗量が0.00
3〜0.009mm3であることを特徴とする請求項2に
記載の研磨テープ。 - 【請求項4】 前記研磨層中の前記研磨材の平均粒子サ
イズが25〜35μmであることを特徴とする請求項1
に記載の研磨テープ。 - 【請求項5】 前記支持体がエンボスされた支持体であ
ることを特徴とする請求項1に記載の研磨テープ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23675697A JPH1177549A (ja) | 1997-09-02 | 1997-09-02 | 研磨テープ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23675697A JPH1177549A (ja) | 1997-09-02 | 1997-09-02 | 研磨テープ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177549A true JPH1177549A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17005333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23675697A Withdrawn JPH1177549A (ja) | 1997-09-02 | 1997-09-02 | 研磨テープ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1177549A (ja) |
-
1997
- 1997-09-02 JP JP23675697A patent/JPH1177549A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041102 |