JPS58103155A - 半導体冷却装置 - Google Patents

半導体冷却装置

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Publication number
JPS58103155A
JPS58103155A JP56201632A JP20163281A JPS58103155A JP S58103155 A JPS58103155 A JP S58103155A JP 56201632 A JP56201632 A JP 56201632A JP 20163281 A JP20163281 A JP 20163281A JP S58103155 A JPS58103155 A JP S58103155A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heating element
insulating sheet
cooling
cooling element
semiconductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP56201632A
Other languages
English (en)
Inventor
Yusaku Kobayashi
小林 勇作
Hidetoshi Aizawa
相沢 英俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS58103155A publication Critical patent/JPS58103155A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W40/00—Arrangements for thermal protection or thermal control
    • H10W40/60—Securing means for detachable heating or cooling arrangements, e.g. clamps
    • H10W40/611—Bolts or screws

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はたとえば半導体整流装置等において半導体菓子
が固定される発熱体と冷却体との電気的絶縁に関する。
半導体素子が固定される発熱体と冷却体とを電気的に絶
縁することは既に実用化されておシ、その利点は冷却体
を収納ボックス等の一部分として装置の小型化が図れる
とともに、冷却体の冷媒側と発熱体側の雰囲気を全く異
なる状態に維持できることから電気絶縁材の表面汚損に
よる劣化を防止できる。又、同一構成の装置でありなが
ら、電気回路を自由に接続替えでき複数の半導体素子と
冷却体との標準モジュール化が可能となる等の大きなメ
リットがある。
しかしながら、従来、発熱体と冷却体との絶縁はそれら
の間に良熱導性絶縁シートを挿入し、発熱体と1体構造
にエポキシ樹脂等で成製した絶縁部分をねじや皿ばね等
で冷却体に加圧している。
加圧力は熱伝導の良好な鋼やアルミニウム加工材料のg
1度上から約2h/’m”以下であり、絶縁シートを介
在させたために発熱体部の発生損失をaoowとして1
0〜15Cの製置上昇が生じ、絶縁シートを介在させな
い場合と比較し30%の損失増となっている。
損失30%のうち、90%は絶縁シート両面と金属との
接触部における熱伝導損失によるものであることが実験
で明らかになった。
本発明の目的は絶縁シートを介在させる発熱体と冷却体
との熱伝導損失を大巾に改善し得る半導体冷却装置を提
供するにある。
このような目的を達成するために、本発明は特殊セラ2
ツク等の高熱導性絶縁シートにより発熱体と冷却体を電
気的に絶縁するとともに、発熱体及び冷却体に接する前
記絶縁シート部にはメタライズ加工を施し、発熱体及び
冷却体と絶縁シートを、ロー付又はハンダ付等の施工に
よシ金属的に接合するものである。
以下、実施例を用いて本発明の詳細な説明する。
M1図は本発明による半導体冷却装置の一実施例を示す
構成図である。−図において、たとえば鋼からなる発熱
体lがあシ、この発熱体lの一側面にはターミナル2が
ロー付けされている。前記発熱体lの上面には半導体素
子3がたとえば螺入により置屋され、この半導体素子8
にはリード繍3Aを具備している。前記発熱体lの下面
には絶縁シート4を介してたとえばアルミニウムからな
る冷却体5が固着されている。
冷却体50発熱体l儒の面は前記発熱体1が配置される
顕職を囲んで1lI5Aが形成され、前記絶縁シート4
の周辺は前記溝5A上に及んで延在されている。これに
よシ、発熱体1と冷却体5とのそれぞれの周辺における
絶縁を、突出された絶縁シート40部分による絶縁沿面
距離の確得により保持している。
前記絶縁シート4の両面においては金f14蒸着あるい
は金属印刷によってメタライズ加工がされてお如、これ
ら各両面におけるメタライズ面にて前記発熱体1および
冷却体5とロー付けあるいは半田付けされている。
第2図に従来方式と本実施例による方式の接触部を含め
た絶縁シート部の温度上昇実験値を示す。
同図は横軸に各方式、縦軸にm[上昇値を採っている。
方式人は絶縁シート両面無処理 方式Bは絶縁シート両面にグリース塗布方式〇は絶縁シ
ート片面にグリース塗布片面は本実施例と同じ金属 接合 方式りは本実施例による方式である。
第2図かられかるように、絶縁シートを挿入し九結釆発
生する熱伝導損失は、本実施例によれば金属と絶縁シー
トとの接触部に起因するところは微小で全て絶縁シート
のみによる損失であることがわかる。又、グリース塗布
による効果は大きいが#!3縁シートへのグリースの流
出によるシート表面の汚れはシートの絶縁劣化の危険性
が大で適用は因−である。
以上の実椙例はリード線タイプ半導体素子及び空気冷却
方式を示すが、本実施例は平型半導体素子についても、
又液体冷却あるいは沸騰冷却方式についても適用できる
ことはいうまでもない。
以上述ぺ九ことから明らかなように、本発明によれば絶
縁シートと発熱体及び冷却体を金属的に接合することに
よ)、絶縁シート挿入加圧した場合の熱伝導損失を90
%改善することが可能となり、冷却体の冷却能力を変え
ることなく発熱体と冷却体を電気的に絶縁した半導体冷
却装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による半導体冷却装置の一実施例を示す
概略構成断面図、第2図は絶縁シート挿入部の温度上昇
実験値を従来と比較して示すグラフである。 l・・・発熱体、3・・・半導体冷却装置、4・・・絶
縁シート、5・・・冷却体。 代理4人 弁理士 高橋帆尖

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、半導体素子が固層された発熱体と冷却体との間に鍋
    熱伝導性の絶縁シートを介在し、かつ絶縁シートの発熱
    体及び冷却体との接触面はメタライズ加工され、前記発
    熱体及び冷却体と金属的に納会していることを特徴とす
    る半導体冷却装置。
JP56201632A 1981-12-16 1981-12-16 半導体冷却装置 Pending JPS58103155A (ja)

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JP56201632A JPS58103155A (ja) 1981-12-16 1981-12-16 半導体冷却装置

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JPS58103155A true JPS58103155A (ja) 1983-06-20

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