JPS58108018A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
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- JPS58108018A JPS58108018A JP20487881A JP20487881A JPS58108018A JP S58108018 A JPS58108018 A JP S58108018A JP 20487881 A JP20487881 A JP 20487881A JP 20487881 A JP20487881 A JP 20487881A JP S58108018 A JPS58108018 A JP S58108018A
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- winding
- magnetic
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- film
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本ＩＡ＃４は垂直磁気記録用ヘッドに関する。
従来の垂直磁気記録用ヘッドは第１図に示すよ、う九％
磁性薄膜からなる主磁極１と磁性体ＫＳ線２′を施した
補助磁極２で構成され、垂直磁気記録用媒体５をはさみ
こんでいる。しかし、固定ディスク型磁気記録装置など
のように記録媒体の厚さが厚くなると、主磁極１と補助
ａ極２の間隔が大き（なル、磁束の漏洩が多くなって記
録・再生の効率が悪くなる。
磁性薄膜からなる主磁極１と磁性体ＫＳ線２′を施した
補助磁極２で構成され、垂直磁気記録用媒体５をはさみ
こんでいる。しかし、固定ディスク型磁気記録装置など
のように記録媒体の厚さが厚くなると、主磁極１と補助
ａ極２の間隔が大き（なル、磁束の漏洩が多くなって記
録・再生の効率が悪くなる。
従って上記問題点を改善する為に、従来は紹２脂に示さ
れ九構造の磁気ヘッドが考えられる。
れ九構造の磁気ヘッドが考えられる。
即ち、適当な形状にした磁性薄膜１を付けた基板？に巻
線１′が施されている。ところがこのような構造におい
ては、磁性藩ｊｉｌｔと巻線１′との間に隙間がめる為
、再生の際に記録媒体５からの情報信号でわる磁束がこ
の隙間を通って外部へ漏れることによ如、巻線１′から
得られる信号の出力が劣化するという欠点がわった。
線１′が施されている。ところがこのような構造におい
ては、磁性藩ｊｉｌｔと巻線１′との間に隙間がめる為
、再生の際に記録媒体５からの情報信号でわる磁束がこ
の隙間を通って外部へ漏れることによ如、巻線１′から
得られる信号の出力が劣化するという欠点がわった。
本発明の目的は、上記欠点を除去するために第５図、第
４図に示すように、７オトエツチング技術Ｖ（よって磁
性薄膜１にＩＩＩ線１′となる金鶴導体を巻きつけた構
造をもち、記嚢媒体５０片憫から記録媒体５に接触しな
から配録、Ｐｊ生を行う磁気ヘッドを提供するととに６
る。
４図に示すように、７オトエツチング技術Ｖ（よって磁
性薄膜１にＩＩＩ線１′となる金鶴導体を巻きつけた構
造をもち、記嚢媒体５０片憫から記録媒体５に接触しな
から配録、Ｐｊ生を行う磁気ヘッドを提供するととに６
る。
次に、掲載した図１ｉＩｌ（第５図〜第５図）を参照し
ながら本発明の詳細な説明を行う、第４図は、＃！５図
のＡ−Ｂの断面図である。
ながら本発明の詳細な説明を行う、第４図は、＃！５図
のＡ−Ｂの断面図である。
記録は、５ＩＲＴ層５と巻線上層８で構成される１１１
１’Ｋｆｆ１号電流を流して磁性薄膜１を磁化し、その
磁化によって記１ｉｌｌ［体５を磁化させることによっ
て行う、再生はこの逆で、記録媒体５に記録されている
磁化を磁性薄膜１で検知し、それを壱１ＩＩＩ！１′で
信号として取）出す。
１’Ｋｆｆ１号電流を流して磁性薄膜１を磁化し、その
磁化によって記１ｉｌｌ［体５を磁化させることによっ
て行う、再生はこの逆で、記録媒体５に記録されている
磁化を磁性薄膜１で検知し、それを壱１ＩＩＩ！１′で
信号として取）出す。
なお、 ｆｉ［磁気記録の記録媒体５には垂直磁化膜が
用いられるが１本発明の磁気ヘッドで記録再生を行うＫ
ｄ、第５園に示すように垂直磁化膜１１と媒体基板１５
の間にパーマロイなどの高速ｉ１１率磁性薄［１２を設
けて、垂直磁化１１１１を通る磁束が垂直磁化膜面Ｋｆ
ｉ［Ｋ通るようにすることが有効である。
用いられるが１本発明の磁気ヘッドで記録再生を行うＫ
ｄ、第５園に示すように垂直磁化膜１１と媒体基板１５
の間にパーマロイなどの高速ｉ１１率磁性薄［１２を設
けて、垂直磁化１１１１を通る磁束が垂直磁化膜面Ｋｆ
ｉ［Ｋ通るようにすることが有効である。
続いて製作方法を述べる。
まず、基＆４ＫＩＩＩ線下層５となる金属を蒸着などで
１５〜２μ隅程度付け、フォトエツチングによって＊＊
下層５の形状を作る。
１５〜２μ隅程度付け、フォトエツチングによって＊＊
下層５の形状を作る。
この巻線下層５によってその上に重なる膜の段差が大き
くなる場合は、この壱−下層５の導体間にＳ ｉ ｏ＝
などの絶縁物るるいは＾分子有機物などを埋めこんで１
．ｔ！線下層５の段差を緩和する。
くなる場合は、この壱−下層５の導体間にＳ ｉ ｏ＝
などの絶縁物るるいは＾分子有機物などを埋めこんで１
．ｔ！線下層５の段差を緩和する。
次に８１０１ などの蒸着るるいはスパッタ、るるい
は７オトレジストなどの感光性樹脂の塗布、焼成によっ
て第１層絶縁膜６を数μ購付ける。この時、巻線上層８
と巻線下層５を接続させる坤分に穴をおける必要が弗る
。＃４１層絶縁膜６として感光性樹脂を用いれば、フォ
トレジストでバターニングしてさらｒＣエツチングで５
ｉ０１ などに大をあける工程が不必要となシ、工程
が短縮される。
は７オトレジストなどの感光性樹脂の塗布、焼成によっ
て第１層絶縁膜６を数μ購付ける。この時、巻線上層８
と巻線下層５を接続させる坤分に穴をおける必要が弗る
。＃４１層絶縁膜６として感光性樹脂を用いれば、フォ
トレジストでバターニングしてさらｒＣエツチングで５
ｉ０１ などに大をあける工程が不必要となシ、工程
が短縮される。
続いて、パーマロイや非晶質の磁性薄膜１をα５〜２μ
ｍ程度蒸着あるいはスパッタし、逼轟な形状にエツチン
グする。この磁性簿膜１の膜厚が記録密度を決め、幅が
記録トラック幅を決める。
ｍ程度蒸着あるいはスパッタし、逼轟な形状にエツチン
グする。この磁性簿膜１の膜厚が記録密度を決め、幅が
記録トラック幅を決める。
次に第２層絶縁膜７を数μｍ付け、１ｉ４１層絶縁層６
と同様に、ｌ５ＩＩｊＡ上層８と、巻線下層５を接続さ
ぜるための穴をエツチングでめけておく。
と同様に、ｌ５ＩＩｊＡ上層８と、巻線下層５を接続さ
ぜるための穴をエツチングでめけておく。
次に１巻線上層８となる曾関を蒸着あるいはスパッタし
、エツチングによって形状を作る。
、エツチングによって形状を作る。
＠線となる金属導体の幅を１０μｍとして１回巻きめた
りのピッチを５０μｍとすると、磁性薄膜１の長さ５■
の関に１７０回程度巻線１′となる金属導体を巻くこと
ができる。
りのピッチを５０μｍとすると、磁性薄膜１の長さ５■
の関に１７０回程度巻線１′となる金属導体を巻くこと
ができる。
巻線上層８の上には保饅膜９を付け、必要に応じてその
上からもう１枚基板を重ねるなどして、記録媒体５に接
触するヘッド先端を研磨する。
上からもう１枚基板を重ねるなどして、記録媒体５に接
触するヘッド先端を研磨する。
以上のようｋして、記録媒体の片側から効率よ〈記舜、
再生が行なえる垂直磁気記録用磁気ヘッドが製作できる
。
再生が行なえる垂直磁気記録用磁気ヘッドが製作できる
。
また１枚の基板に多数個の磁気ヘッドを作ることが可能
で量産に適しているとともに、１個の磁気ヘッドに、！
ＩＮを施した磁性薄膜を複数個搭載し九多トラック磁気
ヘッドの製作も容易である。
で量産に適しているとともに、１個の磁気ヘッドに、！
ＩＮを施した磁性薄膜を複数個搭載し九多トラック磁気
ヘッドの製作も容易である。
鯖１＠は従来の喬直磁気紀録用磁気ヘッドと記録媒体の
配置で、矢印は記録媒体の走行方法を示している。 ｍ２図は本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドと記録媒体
の配置である。 第５図と第４図は本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドの
構造で、第４図は第３１のＡ−Ｂの断面図である。 鎖５卸は、本発明の喬厘磁気記婦用ヘッドを有効に用い
るための記録媒体の構造でるる。 １・・・磁性薄膜 ２・・・補助磁極５・・・記
録媒体 ４・・・基板５・・・巻線下層
６・・・第１層絶縁膜７・・・第２層絶縁膜 ８・・
・４１線上層９・・・保饅膜 １０・・・ＩＩ！
１線電極１１・・・垂直磁化膜 １２−・・高ａｉａ
率磁性薄績１５・・・媒体基板 １／、 ２’−・
・巻線以 上 出願人 株式会社 −訪精工舎 第１図 第２図 第３図
配置で、矢印は記録媒体の走行方法を示している。 ｍ２図は本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドと記録媒体
の配置である。 第５図と第４図は本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドの
構造で、第４図は第３１のＡ−Ｂの断面図である。 鎖５卸は、本発明の喬厘磁気記婦用ヘッドを有効に用い
るための記録媒体の構造でるる。 １・・・磁性薄膜 ２・・・補助磁極５・・・記
録媒体 ４・・・基板５・・・巻線下層
６・・・第１層絶縁膜７・・・第２層絶縁膜 ８・・
・４１線上層９・・・保饅膜 １０・・・ＩＩ！
１線電極１１・・・垂直磁化膜 １２−・・高ａｉａ
率磁性薄績１５・・・媒体基板 １／、 ２’−・
・巻線以 上 出願人 株式会社 −訪精工舎 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- （１： 基板上にフォトエツチング勢によ多形成され
′＃−壱−下層と、該ＩＩＩ綜）層上に絶縁物を介して
任意の形状忙形成された高透磁率性薄膜と、該高透磁率
性薄層上に絶縁物を介してフォトエツチング椰により形
成され九巻線上層とからなシ、 １１１１線上層及び験
＊＊下層は該萬透ａ率磁性薄膜の記録媒体に近い方の形
状端に近接して配置され、骸巻線下層と皺＊細上層とが
接続されていることを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20487881A JPS58108018A (ja) | 1981-12-18 | 1981-12-18 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20487881A JPS58108018A (ja) | 1981-12-18 | 1981-12-18 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58108018A true JPS58108018A (ja) | 1983-06-28 |
Family
ID=16497888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20487881A Pending JPS58108018A (ja) | 1981-12-18 | 1981-12-18 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58108018A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4855718A (ja) * | 1971-11-10 | 1973-08-04 | ||
| JPS554733A (en) * | 1978-06-23 | 1980-01-14 | Fujitsu Ltd | Thin film magnetic head for vertical magnetic recording |
-
1981
- 1981-12-18 JP JP20487881A patent/JPS58108018A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4855718A (ja) * | 1971-11-10 | 1973-08-04 | ||
| JPS554733A (en) * | 1978-06-23 | 1980-01-14 | Fujitsu Ltd | Thin film magnetic head for vertical magnetic recording |
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