JPS58109268A - 砥石整形装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、砥石を高精度に整形加工する整形装置に関
する。

従来、ダイヤモンド又はＣＢＮ（立方晶窒化硼素）類の
砥石の整形には、ＱＣ（グリーンカーボランダム）又は
ＷＡ（ホワイトアランダム）の砥石軸に平行に整形すべ
き砥石を設置して両砥石を回転しながら加工する方法が
採られている。また、放電加工による方法も行われてい
るが、この加工装置は複雑かつ高価となり、しかも取扱
いに熟練を要するという問題があった。

前者による場合にも精密加工装置を要しかつ取扱いが煩
雑となった。特に、薄厚の切断や溝加工用の砥石の断面
形状が非対称であると、加工中の砥石に曲げ応力が生ず
るため整形加工精度の劣化を招く。そして経験上からも
明らかであるが、かかる非対称性が著しくなる）まと上
記の曲り応力が増して被加工物に仕上る加工面のうねり
が犬となる。また、従来のような整形装置をそのま〜用
いてシリコンウェハ材切断用の薄刃切断砥石等を整形加
工することは困難であった。

この発明の目的は、上記した従来技術の諸欠点を除き、
整形加工精度と（にシリコンウェハ切断用砥石について
の整形加工精度が高くしかも構造が簡単な砥石整形装置
を提供するにある。

この発明の要旨は、次のとおりである。即ち、ダイヤモ
ンド等の硬い砥粒の砥石は、ＧＣ砥石等のより軟かい砥
粒から成る砥石で整形する必要があるが、両者の砥石軸
が平行であるとＧＣ砥石が一方的に減耗するため有効に
整形できない。また、ＧＣ砥石を軸方向に送っても、Ｇ
Ｃ砥石の減耗がき−わめて速いため、ダイヤモンド砥石
コーナ部の整形量が多くなり、上記説明のようになって
有効に整形できない。そこで、ＧＣ砥石軸をダイヤモン
ド砥石軸に直角に設置し、ダイヤモンド砥石軸方向、ま
たはこの軸を含む面内で、直線又は曲線状にＧＣ砥石を
送り、かつ回転させながらダイヤモンド砥石を整形する
と、一点だけが集中的に整形され、その整形点が移動す
るので砥石端面全面が精密に整形されるようになるとい
う現象を、本発明は利用している。

以下、図示の実施例について本発明を説明する。

第１図を参照して、偏心ピン２・３をそれぞれ設けた回
転円板４・５を、モータ６によってウオーム１を介して
同期回転させるように構成して、機枠１５に装着する。

そして、揺動バー７を設けて、その一端部を偏心ピン２
によって回転自在に軸支して回転クランクを形成し揺動
バー７に長平方向に貫設した長欠に回転および摺動自在
に偏心ピン３を枢支することによって揺動クランクを形
成し、更に他端に整形用砥石８を装着しベルト９を介し
てこれをモータ１０によって回転するように構成し、し
かも両偏心ピン２・３の偏心量は調節回部とする。いま
、モータ６に駆動されて両回転円板４・５が回転すると
き、偏心ピン２・３０両偏心量が等しいと揺動バー７は
平行移動しながらこハに取付けた整形用砥石８は円軌跡
を描く。そして、機枠１５に・図示の如く取付けたリミ
ットスイッチ１１・１２に当接すると回転円板４・５０
回転は反転するように成っているので、砥石８は繰返し
円弧軸跡を描くようになる。従って、自転しながら円弧
軌跡を描いて往復動する整形用砥石８の外周は−Ｆ丁゛
対称に２個の円弧状包絡線を形成する。そこで、この両
包結線に先端部が当接するように被整形砥石をセットす
れば所期の整形加工が可能となる。

即ち、第１図の如（円板状の整形用砥石８の回転軸に直
角な（砥石）回転軸Ｘの回りに回転しながら上記両包絡
線したがって砥石８外周に接するように、サポート１４
に保持される環状の被整形砥で　・をセットしてその整
形面が上下対称の円弧状に仕上るようにする。被整形砥
石１３の外周を整形加工する場合を図示したが、その内
周を整形する場合も同様にセットすれば良い。そして、
この円弧の形状は、偏心ピン２・３の偏心量を変えて任
意に調節できる。

さらに、偏心ピン２の偏心量を偏心ピン３の偏心量の２
倍にすると、第２図（α）の如く整形用砥石８は上下に
往復動し、回転軸Ｘに平行に直線状に送られる。また、
偏心ピン２の偏心量を偏心ピン３の偏心量の２〜１倍お
よび１倍未満にすると、それぞれ第２図（ｈ）および（
Ｃ）の如く長軸および短軸が回転軸Ｘに平行な楕円軌跡
を対称に゛描くことが試験の結果から確められた。この
現象は、理論的計算結果もこれを支持していることが判
った。即ち、偏心ピンの偏心量を調節することによって
、回転する被整形砥石８の整形すべき加工面の縦断面を
該砥石回転軸に平行な直線または上下対称な円弧や楕円
状にすることができる。

以上の説明から判るように本発明により、ウェハ切断等
の精密加工が可能となる加工用砥石の整形の高精度化が
達成できるので、ＧＧＧ（ガリウムガドリニウムガーネ
ット）又はシリコン等の切断による材料歩留りを向上し
得るという実用効果が生ずる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の概略構成図、第２図は整形用砥石の描
く軌跡を明らかにする説明図である。 １：ウオーム　　　２，３：偏心ピン ４．５：回転円板　　６，１０：モータ７：揺動バー　
　　８：整形用砥石

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 回転円板４と５をそれぞれ偏心ピン２拳３を設けて同期
   回転するように機枠１５に装着し、該偏心ピン２によっ
   て回転自在に軸支されると共に偏心ピン３によって回転
   及び摺動自在に枢支されるように揺動バー７を設け、更
   に該揺動バーの端部に回転する円板状の整形用砥石８を
   取付け、かつ上記両偏心ピンの偏心量を調節可能にし更
   に両すミ、ットスイッチ１１・１２を該機枠１５に装着
   することによって、該整形用砥石８０回転軸に直角な回
   転軸Ｘの回りに回転する環状の被整形砥石１３の整形加
   工面に当該整形用砥石８が当接しながら該回転軸Ｘに平
   行に直線状に又は円弧状にもしくは楕円状に対称に送ら
   れるように構成したことを特徴とする砥石整形装置。