JPS5815351U - 半導体検査装置 - Google Patents
半導体検査装置Info
- Publication number
- JPS5815351U JPS5815351U JP1981108789U JP10878981U JPS5815351U JP S5815351 U JPS5815351 U JP S5815351U JP 1981108789 U JP1981108789 U JP 1981108789U JP 10878981 U JP10878981 U JP 10878981U JP S5815351 U JPS5815351 U JP S5815351U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection equipment
- semiconductor inspection
- semiconductor
- detector
- sound waves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は検出器に本考案の音波を使用している状態を示
す図である。第２図は検出器に光学系の検出器を使用し
ている従来技術を示す図である。 第３図はサファイヤ基板上の半導体装置に照射されてい
る様子を表わした平面図である。 図中１． １’・・・・・・サファイヤ基板、２． ２
’・・・・・・半導体装置、３，３′・・・・・・照射
範囲、４．４′・・・・・・照射、５．５′・・・・・
・反射、６．６′・・・・・・回転上面、７，７′・・
・・・・側御装置、８，８′・・・・・・検出器、９・
・・・・・透過である。
す図である。第２図は検出器に光学系の検出器を使用し
ている従来技術を示す図である。 第３図はサファイヤ基板上の半導体装置に照射されてい
る様子を表わした平面図である。 図中１． １’・・・・・・サファイヤ基板、２． ２
’・・・・・・半導体装置、３，３′・・・・・・照射
範囲、４．４′・・・・・・照射、５．５′・・・・・
・反射、６．６′・・・・・・回転上面、７，７′・・
・・・・側御装置、８，８′・・・・・・検出器、９・
・・・・・透過である。
Claims (1)
- 半導体装置の電気的特性試験に使用される半導体検査装
置において、半導体基板を検出するために音波を利用し
た検出器を有することを特徴とした半導体検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981108789U JPS5815351U (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 半導体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981108789U JPS5815351U (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 半導体検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5815351U true JPS5815351U (ja) | 1983-01-31 |
Family
ID=29903180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981108789U Pending JPS5815351U (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 半導体検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5815351U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6070584U (ja) * | 1983-10-20 | 1985-05-18 | 株式会社ハイランド | フレキシブルコンテナ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5258946A (en) * | 1975-11-10 | 1977-05-14 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Displacement detector |
-
1981
- 1981-07-22 JP JP1981108789U patent/JPS5815351U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5258946A (en) * | 1975-11-10 | 1977-05-14 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Displacement detector |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6070584U (ja) * | 1983-10-20 | 1985-05-18 | 株式会社ハイランド | フレキシブルコンテナ |
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